CN103808255B - 裸片位置判定系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种判定利用吸嘴吸附的裸片的位置的裸片位置判定系统，兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面。在晶片托盘(22)的上表面的两个部位设有基准位置标记(41)，并且预先将在以基准位置标记的位置为基准的晶片托盘的坐标系中生成的裸片排列位置信息存储在存储单元中。利用相机来拍摄在裸片拾取装置的规定位置上设置的晶片托盘上的两个基准位置标记，处理该拍摄图像而识别裸片拾取装置的机械坐标系中的两个基准位置标记的位置，计算晶片托盘的坐标系相对于裸片拾取装置的机械坐标系的位置偏差量，根据该位置偏差量来校正裸片排列位置信息，由此求出裸片拾取装置的机械坐标系中的各裸片(21)的排列位置。

Description

裸片位置判定系统

技术领域

本发明是涉及判定由吸嘴吸附的裸片的位置的裸片位置判定系统的发明。

背景技术

例如专利文献1(日本特开2006-332417号公报)所记载那样，将铺开有可伸缩的切割片的晶片托盘设置于裸片拾取装置，该切割片粘贴有切割成棋盘格状的晶片，在利用吸嘴来吸附从切割片上的晶片分割出的裸片而进行拾取时，将切割片中的待吸附的裸片的粘贴部分从其正下方利用顶起瓶(裸片推顶器)顶起而使该裸片的粘贴部分从切割片部分地剥离，并同时利用吸嘴吸附该裸片而从切割片拾取。

在该裸片拾取装置中，需要在每次裸片吸附动作中使吸嘴与裸片进行对位，因此在生产开始前，将晶片托盘上的裸片的排列位置的映射数据存储于存储装置，并存储在生产开始后首先吸附的裸片(以下称为“生产开始裸片”)的位置数据，在生产开始时从存储装置读出生产开始裸片和映射数据，从生产开始裸片开始进行拾取，依次拾取相邻的裸片。

这种情况下，设置于裸片拾取装置的晶片托盘的坐标系可能与裸片拾取装置的坐标系产生偏差。因此，在专利文献1中，从切割片上的多个裸片中，将预定的位置的多个裸片设定作为多个参考裸片(参照芯片)，并利用相机来拍摄切割片上的晶片整体(多个裸片)而显示在显示面板上，在该显示画面上，操作者利用手动来示教与形成在晶片的缘部的凹口相邻的一个参考裸片，输入该参考裸片的位置，并以该参考裸片为基准而自动地图像识别其他的参考裸片的位置，基于这多个参考裸片的位置而计测裸片拾取装置的机械坐标系与晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量(X、Y、θ坐标的偏差)，校正映射数据。

另一方面，在专利文献2(日本特开2002-26041号公报)中，为了自动地图像识别多个参考裸片，而在晶片制作与作为产品使用的裸片不同的多个专用的参考裸片。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-332417号公报

【专利文献2】日本特开2002-26041号公报

然而，在如上述专利文献1那样，将选自切割片上的多个裸片中的、与形成在晶片的缘部的凹口相邻的裸片作为参考裸片的方法中，操作者必须利用手动来示教参考裸片，存在生产效率较低的缺点。而且，可能因作业错误而误指定参考裸片，以致进行错误的数据校正。

另一方面，在专利文献2中，在晶片制作与作为产品使用的裸片不同的多个专用的参考裸片，因此，相应地存在每一张晶片的裸片的成品率下降而成本上升的缺点。

发明内容

因此，本发明要解决的课题在于提供一种裸片位置判定系统，其能够兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面，并能够避免因作业错误引起的参考裸片的误指定。

为了解决上述课题，本发明的第一方面涉及一种裸片位置判定系统，判定利用裸片拾取装置的吸嘴或设置有该裸片拾取装置的零件安装机的吸嘴来吸附切割片上的裸片的过程中的裸片位置，所述裸片拾取装置安装有晶片托盘，该晶片托盘上张设有所述切割片，该切割片上粘贴有通过对晶片进行切割而形成的裸片，所述裸片位置判定系统中，具备：基准位置标记，设置在所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置；存储单元，存储有在以所述基准位置标记的位置为基准的所述晶片托盘的坐标系中生成的所述裸片的排列位置信息；相机，拍摄设置在规定位置的所述晶片托盘的基准位置标记；图像处理单元，处理所述相机的拍摄图像而识别所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述基准位置标记的位置；和裸片位置运算单元，基于由所述图像处理单元识别出的所述基准位置标记的位置和存储于所述存储单元中的所述裸片的排列位置信息，计算所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。

在该结构中，在晶片托盘的上表面设置基准位置标记，将在以该基准位置标记的位置为基准的晶片托盘的坐标系中生成的裸片的排列位置信息存储于存储单元，因此若设置于裸片拾取装置的晶片托盘上的基准位置标记的位置被判明，则能够基于该基准位置标记的位置和存储于存储单元的裸片的排列位置信息而计算裸片拾取装置或零件安装机的机械坐标系中的裸片的位置。这种情况下，基准位置标记不设置于晶片而设置于晶片托盘，因此无需在晶片制作与作为产品使用的裸片不同的多个专用的参考裸片，不会使每一张晶片的裸片的成品率下降。而且，能够自动地对晶片托盘上的基准位置标记的位置进行图像识别，因此无需由操作者手动地示教参考裸片。由此，能够解决所述专利文献1中的生产效率下降的课题，能够兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面，并且还能够避免作业错误引起的参考裸片的误指定。

这种情况下，即使设置于晶片托盘的基准位置标记的个数为一个，若使该基准位置标记的形状为具有方向性的形状，则也能够计测裸片拾取装置的机械坐标系与晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量(X，Y，θ坐标的偏差量)，但也可以如本发明的第二方面那样，在晶片托盘的上表面设有多个基准位置标记，基于由图像处理单元进行图像识别而识别出的多个基准位置标记的位置来计算晶片托盘的坐标系相对于裸片拾取装置或零件安装机的机械坐标系的位置偏差量，根据该位置偏差量来校正裸片的排列位置信息，由此求出裸片拾取装置或零件安装机的机械坐标系中的裸片的位置。如此，若使用多个基准位置标记，则能够高精度地计算晶片托盘的坐标系相对于裸片拾取装置或零件安装机的机械坐标系的位置偏差量，从而能够高精度地计算裸片拾取装置或零件安装机的机械坐标系中的裸片的位置。

本发明如第三方面那样，图像处理单元及裸片位置运算单元设置于拾取装置的控制装置、零件安装机的控制装置及包含该零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一控制装置上。这是因为，各控制装置能够由网络连接而相互发送接收信号。

另外，如本发明的第四方面那样，存储裸片的排列位置信息的存储单元可以设置于晶片托盘，也可以使用裸片拾取装置的控制装置的存储装置，也可以使用零件安装机的控制装置的存储装置，或者还可以使用零件安装线的控制装置的存储装置。

将裸片拾取装置的控制装置的存储装置或零件安装线的控制装置的存储装置作为存储裸片的排列位置信息的存储单元使用时，如本发明的第五方面那样，在存储单元中存储有多个晶片托盘的裸片的排列位置信息，并且在晶片托盘上设有记录或存储该晶片托盘的识别信息的识别信息记录部，且在裸片拾取装置上设有从所述识别信息记录部读取所述识别信息的识别信息读取单元，从存储于所述存储单元中的多个晶片托盘的裸片的排列位置信息中读出与由所述识别信息读取单元所读取的识别信息对应的晶片托盘的裸片的排列位置信息，并计算该晶片托盘的裸片的位置。如此，具有能够利用一个存储单元来统一管理多个晶片托盘的裸片的排列位置信息的优点。

这种情况下，识别信息记录部既可以记录条形码、二维码等代码，也可以使用以电子方式存储的电子标签或以磁性方式记录的磁带等。从识别信息记录部读取识别信息的识别信息读取单元可以根据识别信息记录部的记录方式而设置专用的读取器，但相应地成本上升。因此，考虑在设置晶片托盘的裸片拾取装置上以标准方式装备拍摄晶片托盘上的裸片的相机，作为识别信息记录部，使用在上表面记录有表示识别信息的代码的部件，识别信息读取单元也可以利用所述相机拍摄所述代码来对该代码进行图像识别。如此，能够将拍摄晶片托盘上的裸片的相机兼用作为从识别信息记录部读取识别信息的识别信息读取单元，从而能够满足低成本化的要求。

另外，在生产开始后首先利用吸嘴吸附的裸片(以下称为“生产开始裸片”)可以由操作者通过示教等进行指定，或也可以如本发明第六方面那样，在存储单元中存储生产开始裸片的位置信息。如此，可以省略由操作者通过示教等指定生产开始裸片的作业，能够进一步提高生产效率，并且能够避免因作业错误引起的生产开始裸片的误指定。

这种情况下，如本发明第七方面那样，在存储单元中，在生产结束时将在下一次的生产中首先吸附的裸片的位置信息作为生产开始裸片的位置信息进行更新并存储。如此，即使在下一次的生产中再使用在生产结束时残留在晶片托盘上的裸片的情况下，也能够自动地取得在下一次的生产中首先吸附的生产开始裸片的位置，能够省略由操作者通过示教等指定生产开始裸片的作业，并且也能够避免作业错误引起的生产开始裸片的误指定。

附图说明

图1是本发明的一实施例的零件供给装置的外观立体图。

图2是顶起单元部分的放大立体图。

图3是设置有零件供给装置的零件安装机的外观立体图。

图4是晶片托盘的外观立体图。

图5是表示裸片位置运算程序的处理的流程的流程图。

【标号说明】

11…裸片拾取装置，12…料仓保持部，13…托盘拉出台，14…托盘拉出机构，15…辅助机械手，16…穿梭机构，17…翻转单元，18…顶起单元，19…NG输送机，20…嘴更换器，21…裸片(晶片零件)，22…晶片托盘，23…晶片安装板，24…相机(识别信息读取单元)，25…零件安装机，26…穿梭嘴，27…顶起瓶，28…托盘主体，32…控制装置(图像处理单元、裸片位置运算单元)，33…输入装置，34…显示装置，35…识别信息记录部，36…切割片，41…基准位置标记

具体实施方式

使用附图，说明将用于实施本发明的方式具体化的一实施例。

如图1所示，本实施例的裸片拾取装置11具备：料仓保持部12(盘塔)、托盘拉出台13、托盘拉出机构14、辅助机械手15、穿梭机构16、翻转单元17、顶起单元18(参照图2)、NG输送机19、嘴更换器20等。如图3所示，该裸片拾取装置11设置为将托盘拉出台13插入到零件安装机25的供料器设置用槽的状态。

在裸片拾取装置11的料仓保持部12内以可上下移动的方式收纳的料仓(未图示)中，能够以多级方式混合搭载载置有裸片21(晶片零件)的晶片托盘22和载置有料盘零件(电子零件)的料盘托盘(未图示)。如图4及图5所示，晶片托盘22将粘贴有切割成棋盘格状的晶片(多个裸片21)的可伸缩的切割片36以扩张的状态安装于具有圆形的开口部的晶片安装板23，并通过螺纹紧固等将该晶片安装板23安装于托盘主体28。需要说明的是，切割片36的扩张可以通过任何方法进行，例如，只要将切割片36以从下方利用圆形环推起的状态安装于晶片安装板23即可。

托盘拉出机构14按照生产程序(生产任务)，将晶片托盘22和料盘托盘中的任一个托盘从料仓保持部12内的料仓拉出到托盘拉出台13上，能够将托盘22拉出到通过零件安装机25(参照图3)的吸嘴(未图示)拾取托盘上的零件42或裸片21的位置(以下称为“零件安装机用拉出位置”)和接近料仓的拉出位置(以下称为“辅助机械手用拉出位置”)中的任一个位置上。零件安装机用拉出位置是托盘拉出台13的前端的位置(从料仓离开最远的位置)，辅助机械手用拉出位置是能够通过辅助机械手15的吸嘴(未图示)吸附晶片托盘22的切割片36上的裸片21的位置。

辅助机械手15位于料仓保持部12的背面部(辅助机械手用拉出位置侧的面)中的托盘拉出台13的上方而设置，沿着XZ方向(托盘拉出台13的宽度方向及垂直方向)移动。需要说明的是，辅助机械手15的移动方向仅为X方向，辅助机械手15相对于晶片托盘22的Y方向(托盘拉出方向)的相对位置通过利用托盘拉出机构14将晶片托盘22沿Y方向逐渐拉出来控制。1个或多个吸嘴(未图示)朝下设置于该辅助机械手15，能够根据待拾取的裸片21的尺寸等而通过嘴更换器20来更换吸嘴。在辅助机械手15设有相机24，基于该相机24的拍摄图像，能够确认作为拾取对象的裸片21的位置或裸片21的吸附姿态。

穿梭机构16通过穿梭嘴26接收由辅助机械手15的吸嘴拾取的零件而移送至能够通过零件安装机25的吸嘴拾取的位置。

翻转单元17根据需要而使从辅助机械手15接收的裸片21上下翻转。这是因为，根据裸片21的种类的不同，而存在在晶片托盘22的切割片36上上下相反地粘贴的裸片(例如倒装片等)。

顶起单元18(参照图2)设置于托盘拉出台13，能够使晶片托盘22的切割片下方的空间区域沿XY方向(托盘拉出台13的宽度方向及其垂直方向)移动。并且，在将晶片托盘22拉出至零件安装机用拉出位置和辅助机械手用拉出位置中的任何位置的情况下，都利用顶起瓶27将切割片36中的待拾取的裸片21的粘贴部分从其下方局部地顶起，由此将该裸片21的粘贴部分从切割片36部分地剥离而使裸片21浮起成容易拾取的状态。顶起单元18中，为了能够根据裸片21的尺寸等来选择顶起瓶27，而将多个种类(例如4个种类)的顶起瓶27以规定角度间距(在图2的例子中为90°间距)呈放射状设置，使其旋转至进行顶起动作的顶起瓶27朝上的位置。

该顶起单元18以伺服电动机(未图示)为驱动源而顶起单元18整体进行上下移动。在裸片拾取动作时，顶起单元18上升而顶起瓶27的上端与晶片托盘22的切割片36接触时，通过限动机构(未图示)来阻止顶起单元18的上升，而且继续进行上升动作时，顶起销从顶起瓶27向上方突出，顶起切割片36中的待吸附的裸片21的粘贴部分(吸嘴的吸附点)。这种情况下，通过调整作为驱动源的伺服电动机的旋转量，而能够调整顶起销的顶起高度。

需要说明的是，NG输送机19是将不良零件和吸附不良的裸片21排出的输送机。

如图3所示，在料仓保持部12设有窗部31，该窗部31用于从操作者侧确认利用辅助机械手15的吸嘴拾取晶片托盘22的切割片36上的裸片21的状态，在操作者确认利用辅助机械手15的吸嘴拾取晶片托盘22上的裸片21的状态时，能够选择使料仓保持部12内的托盘向窗部31的下方退避的确认模式的运转。而且，在确认模式中，在辅助机械手15的吸嘴拾取了晶片托盘22上的裸片21的状态下，能够停止辅助机械手15。

以上构成的裸片拾取装置11的控制装置32由具备键盘、鼠标等输入装置33、液晶显示器等显示装置34等周边装置的计算机构成，根据按照生产程序向零件安装机25供给的零件的种类而选择托盘的拉出位置和零件的拾取方法，并根据其选择结果而如下控制托盘拉出机构14、辅助机械手15及穿梭机构16、翻转单元17、顶起单元18等的动作。

(1)小裸片21的情况下

在小裸片21的情况下，裸片21的向辅助机械手15→穿梭嘴26→零件安装机25的吸嘴的抓取交换困难，因此将晶片托盘22从料仓保持部12拉出到零件安装机用拉出位置，利用零件安装机25的吸嘴直接拾取该晶片托盘22的切割片36上的裸片21。

(2)上述以外的尺寸的裸片21的情况下

在裸片21为可抓取交换的尺寸的裸片21的情况下，以缩短安装时间为目的，将晶片托盘22从料仓保持部12内的料仓拉出到辅助机械手用拉出位置，利用辅助机械手15的吸嘴来拾取该晶片托盘22的切割片36上的裸片21，利用穿梭机构16的穿梭嘴26接收该裸片21而移送到规定的拾取位置，在该拾取位置上，利用零件安装机25的吸嘴从穿梭机构16的穿梭嘴26拾取裸片21。

(3)料盘零件的情况下

在料盘零件的情况下，将料盘托盘从料仓保持部12内的料仓拉出到零件安装机用拉出位置，而利用零件安装机25的吸嘴直接拾取该料盘托盘上的零件。

利用吸嘴来吸附并拾取晶片托盘22的切割片36上的裸片21时，顶起瓶27位于铺开有切割片36的晶片托盘22的圆形开口部内而大致紧贴在该切割片36的下表面，且在吸引状态下沿着该切割片36的下表面在XY方向上移动，因此需要避免顶起瓶27与晶片托盘22的圆形开口缘部发生干涉的情况。

另外，晶片托盘22的切割片36上的晶片的尺寸为8英寸、6英寸、4英寸等各种尺寸，而且即使为相同尺寸，也有在内侧具有夹紧环和没有夹紧环的情况，根据夹紧环的有无，而晶片的有效区域(圆形开口部)的直径不同。因此，需要根据晶片托盘22的切割片36上的晶片的尺寸、夹紧环的有无，来设定顶起瓶27的XY方向的可移动范围。

因此，在本实施例中，在晶片托盘22设置记录或存储了其识别信息的识别信息记录部35，在该识别信息记录部35中，除了晶片托盘22的识别信息之外，还记录或存储与切割片36上的晶片的尺寸及/或拾取动作范围相关的晶片信息。该识别信息记录部35既可以记录条形码、二维码等代码，也可以使用以电子方式存储的电子标签或以磁方式记录的磁带等。从识别信息记录部35读取识别信息、晶片信息的识别信息读取单元可以根据识别信息记录部35的记录方式而设置专用的读取器，但相应地成本上升。

因此，考虑在裸片拾取装置11上以标准方式装备裸片摄像用的相机24，而在本实施例中，作为识别信息记录部35，使用在上表面记录有表示识别信息和晶片信息的代码(条形码、二维码等)的记录部，并且作为识别信息读取单元，使用装备于裸片拾取装置11的裸片摄像用的相机24，利用相机24拍摄识别信息记录部35的代码而利用裸片拾取装置11的控制装置32进行图像处理，由此读取识别信息记录部35的代码。如此，能够将从识别信息记录部35读取识别信息和晶片信息的识别信息读取单元兼用于裸片摄像用的相机24，能够避免成本上升。

裸片拾取装置11的控制装置32在开始裸片拾取动作之前使用裸片摄像用的相机24，从晶片信息记录部35的代码读取识别信息和晶片信息，而自动设定顶起瓶27的XY方向的可移动范围。由此，无需进行输入顶起瓶27与晶片托盘22的圆形开口缘部不干涉的XY方向的可移动范围的信息的作业，能够提高生产率。

从料仓保持部12内的料仓将晶片托盘22拉出到托盘拉出台13上，而利用吸嘴来吸附该晶片托盘22上的裸片21时，每当进行裸片吸附动作时需要使吸嘴与裸片21进行对位，因此通过如下的方法，来计算晶片托盘22上的裸片21的位置。

在晶片托盘22的上表面的比晶片靠外侧的位置(晶片安装板23)的例如两个部位设置基准位置标记41。两个基准位置标记41的位置只要设定在例如圆形的晶片的直径方向两外侧或其附近即可，总之只要以能够更高精度地设定以两个基准位置标记41为基准的晶片托盘22的坐标系的方式较宽地设置两个基准位置标记41的间隔即可。两个基准位置标记41的形状只要是能够高精度地对其中心位置进行图像识别的形状即可，可以是任何形状。

在生产开始前，在以基准位置标记41的位置为基准的晶片托盘22的坐标系中，生成表示晶片托盘22上的裸片21的排列的裸片排列位置信息(映射数据)而存储在存储单元中。该存储单元既可以设置于晶片托盘22，也可以使用裸片拾取装置11的控制装置32的存储装置，也可以使用零件安装机25的控制装置的存储装置，或者还可以使用设置了裸片拾取装置11的零件安装线的控制装置(生产管理用计算机)的存储装置。在将存储单元设置于晶片托盘22时，只要在该存储单元中也存储识别信息、晶片信息即可。

在本实施例中，在裸片拾取装置11的控制装置32的存储装置或零件安装机25的控制装置的存储装置或零件安装线的控制装置的存储装置中存储多个晶片托盘22的裸片排列位置信息，从存储于该存储装置的多个晶片托盘22的裸片排列位置信息中，读出与利用所述识别信息读取单元读出的识别信息对应的晶片托盘22的裸片排列位置信息而计算该晶片托盘22的裸片21的位置。如此，具有能够利用1个存储装置统一管理多个晶片托盘22的裸片排列位置信息的优点。

在此，裸片排列位置信息(映射数据)例如所述专利文献1(日本特开2006-332417号公报)所记载那样可以使用检査装置等生成，或者也可以使用改良了数字转换器等的专用的装置生成。除了裸片排列位置信息，还可以存储不良裸片的位置信息，而避免利用吸嘴来吸附不良裸片。

另外，在生产开始后，首先，利用吸嘴吸附的裸片21(以下称为“生产开始裸片”)可以由操作者通过示教等来指定，但在本实施例中，在存储单元中存储有生产开始裸片的位置信息。如此，能够省略由操作者通过示教等指定生产开始裸片的作业，从而能够进一步提高生产效率。

这种情况下，在存储装置中，可以在生产结束时将在下一次的生产中首先吸附的裸片21的位置信息作为生产开始裸片的位置信息进行更新并存储。如此，即使在将生产结束时残留在晶片托盘22上的裸片21再使用在下一次的生产中的情况下，也能够自动地取得生产开始裸片的位置，可以省略由操作者通过示教等而指定生产开始裸片的作业。

在本实施例中，通过裸片拾取装置11的控制装置32或零件安装机25的控制装置或零件安装线的控制装置来执行图5的裸片位置运算程序，由此，基于图像识别出的基准位置标记41的位置和存储于存储装置的裸片排列位置信息，计算裸片拾取装置11的机械坐标系中的裸片21的位置。在此，裸片拾取装置11的机械坐标系是指在使吸附裸片21的吸嘴移动的辅助机械手15的控制中使用的坐标系。

图5的裸片位置运算程序在裸片拾取装置11的运转中以规定周期反复执行，起到作为图像处理单元及裸片位置运算单元的作用。当本程序起动时，首先在步骤101中，判定是否将晶片托盘22从料仓保持部12内的料仓拉出到托盘拉出台13上的规定位置，若未拉出，则待机至拉出为止。然后，在将晶片托盘22拉出到托盘拉出台13上的时刻，前进到步骤102，使用相机24等识别信息读取单元，从晶片托盘22的识别信息记录部35读取识别信息。

然后，前进到步骤103，从存储在存储装置中的多个晶片托盘22的裸片排列位置信息和生产开始裸片的位置信息中，读入与利用识别信息读取单元读取的识别信息对应的晶片托盘22的裸片排列位置信息和生产开始裸片的位置信息。

然后，前进到步骤104，利用相机24来拍摄晶片托盘22的两个部位的基准位置标记41，在接下来的步骤105中，处理相机24的拍摄图像，识别裸片拾取装置11的机械坐标系中的基准位置标记41的位置。

然后，前进到步骤106，基于裸片拾取装置11的机械坐标系中的基准位置标记41的位置，计算晶片托盘22的坐标系相对于裸片拾取装置11的机械坐标系的位置偏差量(X轴方向偏差量ΔX，Y轴方向偏差量ΔY，旋转方向偏差量Δθ)。并且，在接下来的步骤107中，利用上述晶片托盘22的坐标系的位置偏差量(ΔX，ΔY，Δθ)对在上述步骤103中读入的裸片排列位置信息和生产开始裸片的位置信息进行校正，由此，求出裸片拾取装置11的机械坐标系中的各裸片21的位置及生产开始裸片的位置。

根据以上说明的本实施例，在晶片托盘22的上表面设置基准位置标记41，将在以该基准位置标记41的位置为基准的晶片托盘22的坐标系中生成的裸片排列位置信息存储于存储单元，因此若设置于裸片拾取装置11的晶片托盘22上的基准位置标记41的位置被判明，则能够基于该基准位置标记41的位置和存储于存储单元的裸片排列位置信息，来计算裸片拾取装置11的机械坐标系中的裸片21的位置。这种情况下，基准位置标记41也可以不设置于晶片而设置于晶片托盘22，因此无需在晶片制作与作为产品使用的裸片21不同的多个专用的参考裸片，不会使每一张晶片的裸片21的成品率下降。而且，能够自动地对晶片托盘22上的基准位置标记41的位置进行图像识别，因此无需由操作者手动地示教基准位置标记41。由此，也能够解决所述专利文献1(日本特开2006-332417号公报)中的生产效率下降的课题，能够兼顾生产效率提高和裸片21的成品率提高这两方面，并且还能够避免作业错误引起的参考裸片的误指定。

在本实施例中，设定设置于晶片托盘22的基准位置标记41的个数为两个(多个)，但本发明的基准位置标记也可以为一个，这种情况下，只要将基准位置标记的形状形成为具有方向性的形状(例如具有沿X方向延伸的直线部分和沿Y方向延伸的直线部分的L字形状)，就能够计测裸片拾取装置11的机械坐标系与晶片托盘22的坐标系之间的位置偏差量(ΔX，ΔY，Δθ)。

需要说明的是，在本实施例中，利用裸片拾取装置11的相机24来拍摄晶片托盘22的基准位置标记41，计算裸片拾取装置11的机械坐标系中的裸片的位置，但也可以利用设置在零件安装机25的安装头上的基板标记摄像用的相机来拍摄晶片托盘22的基准位置标记41，计算该零件安装机25的机械坐标系中的裸片的位置，利用该零件安装机25的安装头的吸嘴来直接吸附晶片托盘22上的裸片。

此外，本发明当然也可以适当变更零件供给装置11的结构等，在不脱离主旨的范围内能够进行各种变更来实施。

Claims (8)

1.一种裸片位置判定系统，判定利用裸片拾取装置的吸嘴或设置有该裸片拾取装置的零件安装机的吸嘴来吸附切割片上的裸片的过程中的裸片位置，所述裸片拾取装置安装有晶片托盘，该晶片托盘上张设有所述切割片，该切割片上粘贴有通过对晶片进行切割而形成的裸片，其特征在于，具备：

一个或多个基准位置标记，其中，在具备多个基准位置标记的情况下，所述多个基准位置标记设置于所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置，在具备一个基准位置标记的情况下，所述一个基准位置标记设置在所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置，并且具有方向性的形状，使得能够计测所述裸片拾取装置的机械坐标系与所述晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量；

存储单元，存储有在以所述基准位置标记的位置为基准的所述晶片托盘的坐标系中生成的所述裸片的排列位置信息；

相机，拍摄设置在规定位置的所述晶片托盘的基准位置标记；

图像处理单元，处理所述相机的拍摄图像而识别所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述基准位置标记的位置；和

裸片位置运算单元，基于由所述图像处理单元识别出的所述基准位置标记的位置和存储于所述存储单元中的所述裸片的排列位置信息，计算所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。

2.根据权利要求1所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

所述裸片位置运算单元基于由所述图像处理单元进行图像识别而识别出的所述多个基准位置标记的位置来计算所述晶片托盘的坐标系相对于所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系的位置偏差量，根据该位置偏差量来校正所述裸片的排列位置信息，由此求出所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。

3.根据权利要求1所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

所述图像处理单元及所述裸片位置运算单元设置于所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一控制装置上。

4.根据权利要求2所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

所述图像处理单元及所述裸片位置运算单元设置于所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一控制装置上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

所述存储单元设置于所述晶片托盘、所述裸片拾取装置的控制装置、所述零件安装机的控制装置及包含所述零件安装机在内的零件安装线的控制装置中的任一方上。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

在所述存储单元中存储有多个晶片托盘的裸片的排列位置信息，

在所述晶片托盘上设有记录或存储有该晶片托盘的识别信息的识别信息记录部，

在所述裸片拾取装置上设有从所述识别信息记录部读取所述识别信息的识别信息读取单元，

所述裸片位置运算单元从存储于所述存储单元中的多个所述晶片托盘的裸片的排列位置信息中读出与由所述识别信息读取单元所读取的所述识别信息对应的晶片托盘的裸片的排列位置信息，并计算该晶片托盘的裸片的位置。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

在所述存储单元中，存储有生产开始裸片的位置信息，所述生产开始裸片是在生产开始后首先利用所述吸嘴吸附的裸片。

8.根据权利要求7所述的裸片位置判定系统，其特征在于，

在所述存储单元中，在生产结束时将在下一次的生产中首先吸附的裸片的位置信息作为所述生产开始裸片的位置信息进行更新并存储。