JP2004363165A - ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に表面保護テープが貼付けられているウェーハの裏面にダイシングテープを貼り付けてウェーハ全体をフレームに固定する固定工程と、ウェーハのダイシングテープに紫外線を照射する照射工程と、ウェーハの表面から表面保護テープを剥離する剥離工程とを含み、表面保護テープの粘着力と紫外線照射部による紫外線照射作用の前後におけるダイシングテープの粘着力との間の関係に基づいて、紫外線照射部によってダイシングテープに紫外線を照射する照射作用と剥離部によって表面保護テープを剥離する剥離作用との順番を決定するようにしたウェーハ処理方法およびこの方法を実施するウェーハ処理装置が提供される。さらに、ウェーハまたはフレームの少なくとも一方に設けられた認識マークを読みとってこれを認識する認識部を具備してもよい。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面に表面保護テープが貼り付けられているウェーハを処理するウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄葉化が進んでいる。ウェーハを薄葉化するために、素子が形成されたウェーハの表面に表面保護テープを貼り付け、ウェーハの表面を吸着させた状態でウェーハの裏面を研削するバックグラインドが行われている。次いで、ウェーハを賽の目状に切断するダイシングが行われる。裏面を研削して薄くなったウェーハは機械的強度が大幅に低下するので、ウェーハにフレームを取り付け、これにより後工程、例えばダイシング等におけるウェーハのハンドリングを容易にしている。図2(b)はウェーハをフレームに取り付けた状態を示す断面図である。図2(b)に示されるように、通常は表面保護テープ11が表面に貼付られているウェーハ12の裏面をダイシングテープ21に貼付け、次いでウェーハ12をダイシングテープ21と共にフレーム15にマウントする。次いでダイシングテープ21は適切に切断される。次いで表面保護テープ11を剥離した後に、ダイシング工程においてウェーハをダイシングする。使用されるダイシングテープ21は通常は紫外線の照射により硬度が増すと共に接着性が低下するタイプである。従って、ダイシングテープ21に紫外線を照射することによりダイシングテープ21を或る程度、硬化させ、これによりダイシング工程の際にダイシングテープ21の一部がダイサのブレードに固着するのを妨げている(例えば、特許文献1〜特許文献3参照)。
【特許文献1】
特開平10−27836号公報
【特許文献2】
特開平10−284564号公報
【特許文献3】
特開平7−183365号公報
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際には表面保護テープ11およびダイシングテープ21は性質の異なる様々な種類が存在している。例えば表面保護テープ11については紫外線を照射することにより硬度が増すと共に接着性が低下するテープ、および紫外線の照射によって硬度および接着性が変化しないテープが存在する。同様にダイシングテープ21についても、紫外線を照射することにより硬度が増すと共に接着性が低下するテープおよび紫外線の照射によって硬度等が変化しないテープが存在している。従って、これら表面保護テープ11およびダイシングテープ21の性質を考慮した上でウェーハを加工するのが好ましい。
特に、紫外線の照射によって接着性が低下するダイシングテープ21を使用すると共にダイシングテープ21に紫外線を照射した後に表面保護テープ11を剥離する場合には、表面保護テープ11の接着力がダイシングテープ21の接着力よりも大きくなりうるのでウェーハ12が表面保護テープ11に引っ張られ、ウェーハ12が破損する場合がある。従って、表面保護テープ11およびダイシングテープ21の性質、特に紫外線に対する性質に応じてウェーハ12を取り扱うことが極めて重要である。
【0004】
【課題を解決するための手段】
1番目の発明によれば、表面に表面保護テープが貼付けられているウェーハの裏面にダイシングテープを貼り付けてウェーハ全体をフレームに固定するマウント部と、前記ウェーハの前記ダイシングテープに紫外線を照射する紫外線照射部と、前記ウェーハの表面から前記表面保護テープを剥離する剥離部とを具備し、前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係に基づいて、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射する照射作用と前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離する剥離作用との順番を決定するようにしたウェーハ処理装置が提供される。
【0005】
すなわち1番目の発明によって、ダイシングテープへの紫外線照射作用と表面保護テープ剥離作用とをこれらテープの粘着力に応じて決定するようにしたので、表面保護テープおよび/またはダイシングテープの性質に応じてウェーハを取り扱うことができるようになる。このような場合には、表面保護テープの粘着力がダイシングテープの粘着力よりも大きいことに基づいてウェーハが表面保護テープ剥離時に引っ張られて破損するのを妨げることができる。
【0006】
2番目の発明によれば、1番目の発明において、さらに、前記ウェーハまたは前記フレームの少なくとも一方に設けられた認識マークを読みとってこれを認識する認識部を具備し、前記認識マークには前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係が組み入れられている。
すなわち2番目の発明によって、ウェーハ等に設けられた認識マークを単に認識させることにより前記照射作用と前記剥離作用との順番が決定されて自動的に実行されるので、作業者の不注意に基づく操作ミスが生じるのを回避することができる。当然のことながら、ウェーハをロット単位で収容するカセットに認識マークが設けられている場合も本発明の範囲に含まれる。
【0007】
3番目の発明によれば、1番目または2番目の発明において、前記ダイシングテープが紫外線を照射されると硬化して粘着力が低下する紫外線硬化性である場合に、前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離した後に前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射するようにした。
すなわち3番目の発明によって、紫外線をダイシングテープに照射することによりダイシングテープの接着性が低下するものの、表面保護テープの剥離時にはダイシングテープは十分な接着性を有しているので、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを妨げることができる。
【0008】
4番目の発明によれば、1番目から3番目のいずれかの発明において、前記ダイシングテープが紫外線を照射されることによって粘着力が変化せず且つ前記ダイシングテープの粘着力が表面保護テープの粘着力よりも大きい場合に、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射した後に前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離するようにした。
すなわち4番目の発明によって、紫外線をダイシングテープに照射することによりダイシングテープの接着性が増すので、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを確実に妨げることができる。
【0009】
5番目の発明によれば、表面に表面保護テープが貼付けられているウェーハの裏面にダイシングテープを貼り付けてウェーハ全体をフレームに固定する固定工程と、前記ウェーハの前記ダイシングテープに紫外線を照射する照射工程と、前記ウェーハの表面から前記表面保護テープを剥離する剥離工程とを含み、前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係に基づいて、前記照射工程と前記剥離工程との順番を決定するようにしたウェーハ処理方法が提供される。
すなわち5番目の発明によって、ダイシングテープへの紫外線照射作用と表面保護テープ剥離作用とをこれらテープの粘着力に応じて決定するようにしたので、表面保護テープおよび/またはダイシングテープの性質に応じてウェーハを取り扱うことができるようになる。このような場合には、表面保護テープの粘着力がダイシングテープの粘着力よりも大きいことに基づいてウェーハが表面保護テープ剥離時に引っ張られて破損するのを妨げることができる。
【0010】
6番目の発明によれば、5番目の発明において、さらに、前記ウェーハまたは前記フレームの少なくとも一方に設けられた認識マークを読みとってこれを認識する認識工程を含み、前記認識マークには前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係が組み入れられているようにした。
すなわち6番目の発明によって、ウェーハ等に設けられた認識マークを単に認識させることにより前記照射作用と前記剥離作用との順番が決定されて自動的に実行されるので、作業者の不注意に基づく操作ミスが生じるのを回避することができる。当然のことながら、ウェーハをロット単位で収容するカセットに認識マークが設けられている場合も本発明の範囲に含まれる。
【0011】
7番目の発明によれば、5番目または6番目の発明において、前記ダイシングテープが紫外線を照射されると硬化して粘着力が低下する紫外線硬化性である場合に、前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離した後に前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射するようにした。
すなわち7番目の発明によって、紫外線をダイシングテープに照射することによりダイシングテープの接着性が低下するものの、表面保護テープの剥離時にはダイシングテープは十分な接着性を有しているので、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを妨げることができる。
【0012】
8番目の発明によれば、5番目から7番目のいずれかの発明において、前記ダイシングテープが紫外線を照射されることによって粘着力が変化せず且つ前記ダイシングテープの粘着力が表面保護テープの粘着力よりも大きい場合に、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射した後に前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離するようにした。
すなわち8番目の発明によって、紫外線をダイシングテープに照射することによりダイシングテープの接着性が増すので、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを確実に妨げることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図1は本発明に基づくウェーハ処理装置を示す略図である。図2(a)は表面保護テープを剥離することを示す略平面図である。図2(b)はウェーハをフレームに取り付けた状態を示す断面図である。前述したようにウェーハの裏面を研削する際にはウェーハの表面を吸着するので、表面保護テープ11がウェーハ12の表面に予め貼付られている(図2(b)を参照されたい)。表面保護テープ11が紫外線硬化性である場合には、バックグラインダ(BG)1において裏面が研削されたウェーハ12の表面保護テープ11は表面保護テープ用紫外線照射部90(図示しない)によって紫外線が照射されている。表面保護テープ11が紫外線を照射することにより粘着性が変化しない場合には表面保護テープ用紫外線照射部90は使用されない。次いで図1に示されるように、このようなウェーハ12がウェーハ処理装置10に供給される。
【0014】
図1に示されるようにウェーハ処理装置10はウェーハ12にフレーム15を取り付けるためのマウントユニット20を含んでいる。表面に表面保護テープ11が貼付られていてバックグラインダ1によって裏面研削されたウェーハ12が図示しないローダによりマウントユニット20内に供給される。同様に図示しない別のローダによってフレーム15がマウントユニット20内に供給される。マウントユニット20においては、前述したウェーハ12の裏面にダイシングテープ21を貼付けた後に、このウェーハ12にフレーム15をマウントする(図2(b)を参照されたい)。最終的にダイシングテープ21をフレーム15の形状に応じて切断する。バックグラインダ1において裏面研削されたウェーハ12は厚さが薄くなってハンドリングが困難であるが、このようにウェーハ12をフレーム15上にマウントすることによって後工程におけるハンドリングを容易にすることができる。
【0015】
なお、ダイシングテープ21をウェーハ12の裏面に貼り付ける前に、ウェーハ12の裏面にダイアタッチフィルム・テープ(DAFテープ)を貼り付けることもできる。DAFテープはダイシング後のダイボンディング時にダイの底面における接着剤の役目を果たす。また、図2(b)に示されるように、ウェーハ12とほぼ等しい形状のダイアタッチフィルム25(DAF)が予め設けられたダイシングテープ21を使用してもよい。表面保護テープ11およびダイシングテープ21の性質については詳細に後述するが、単にダイシングテープ21と呼ぶ場合は特に断りのない限りダイアタッチフィルム25も含んでいるものとする。
【0016】
ウェーハ処理装置10はウェーハ12を反転させる反転ユニット30も含んでいる。フレーム15にマウントされたウェーハ12(図2(b)を参照されたい)が反転ユニット30に移動される。反転ユニット30においてはこのようなウェーハ12が上下反転される。当然のことながら、ウェーハ12を反転させることなしに、ウェーハ12が反転ユニット30を単に通過するようにすることもできる。
【0017】
さらにウェーハ処理装置10は紫外線照射ユニット、すなわち紫外線(以下、適宜「UV」と称する)照射ユニット40も含んでいる。UV照射ユニット40はUVランプ41を備えており、所望の光量の紫外線をウェーハ12の一方の面、例えばダイシングテープ21の面に照射する。
【0018】
さらにウェーハ処理装置10は表面保護テープ11を剥離する剥離ユニット50も含んでいる。図2(a)に表面保護テープ11の剥離作用を示している。図2(a)に示されるように剥離ユニット50においては、ウェーハ12は表面保護テープ11が貼り付けられている表面が上方を向くように配置される。剥離ユニット50内に予め配置された比較的幅狭の剥離用テープ51がウェーハ12の一方の縁部付近において表面保護テープ11に取り付けられる。次いで、この剥離用テープ51をウェーハ12の反対側の縁部に向かって引っ張ることにより、表面保護テープ11が一方の端部から徐々に剥離され、最終的には表面保護テープ11全体がウェーハ12から剥離されるようになる。
【0019】
図1に示されるようにウェーハ処理装置10の左下付近には収容部70が配置されており、ウェーハ処理装置10において所望の処理を受けたウェーハ12がカセット内に収容される。この際、剥離ユニット50からのウェーハ12が通過ユニット55を通過する。この通過ユニット55においてはウェーハ12は特別の処理を受けておらず、通過ユニット55を省略するようにしてもよい。
【0020】
図1において点線の矢印で示されるようにウェーハ12をマウントユニット20から反転ユニット30に向かって移動させられ、剥離ユニット50から収容部70に向かって移動させられる。さらに、ウェーハ12を反転ユニット30とUV照射ユニット40との間、および反転ユニット30と剥離ユニット50との間において相互に移動させられる。このようにウェーハ12を移動させる際には移動装置、例えばロボットアーム等が使用されるが、これらは一般的な装置であるので図示および説明を省略する。
【0021】
ウェーハ処理装置10は図示しない制御部80を含んでいる。制御部80は記憶部(図示しない)、例えばROMまたはRAMに予め記憶された複数のプログラムに基づいてウェーハ12を各ユニット20、30、40、50において処理するようにしている。これら複数のプログラムはウェーハ12の表面に貼付られた表面保護テープ11および/またはウェーハ12の裏面に貼り付けられたダイシングテープ21(DAF、またはDAFテープ25を含む)の性質に応じて異なる。以下、これら複数のプログラムについて説明する。
【0022】
図3から図7はウェーハ処理装置10により実行されるプログラムのフローチャートである。はじめに図3に示されるプログラム100について説明する。プログラム100は、ダイシングテープ21がUV照射により硬化して接着性が低下する場合、すなわちUV照射後のダイシングテープ21の接着性が表面保護テープ11の接着性よりも小さくなる場合に使用される。
【0023】
プログラム100のステップ101においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21(図面においては「D/Cテープ」と称する)によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ102においてウェーハ12を反転ユニット30で反転させる。これにより、ウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いで、ステップ103に進み、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで直接的に移動させる。ステップ103においてはウェーハ12表面の表面保護テープ11を剥離ユニット50において剥離する。次いでステップ104においてウェーハ12を剥離ユニット50から反転ユニット30まで再び戻し、反転ユニット30に単に通過させる。次いでステップ105においてウェーハ12を反転ユニット30からUV照射ユニット40まで移動させ、UV照射ユニット40においてウェーハ12の裏面、すなわちダイシングテープ21にUVを所定量だけ下方から照射する。その後、ステップ106においてウェーハ12をUV照射ユニット40から反転ユニット30に移動させて、反転ユニットに単に通過させる。次いで、ステップ107において剥離ユニット50を単に通過した後に、ステップ108においてウェーハ12を収容部70に収容し、プログラムを終了する。
【0024】
このプログラム100においては、表面保護テープ11を剥離した後にダイシングテープ21にUVを照射している。この場合のダイシングテープ21は前述したようにUV硬化性であるのでUVの照射により接着性が低下するものの、本プログラムにおいてはこのようなUV照射作用の前に表面保護テープ11を剥離している。すなわち、表面保護テープ11の剥離時においては、ダイシングテープ21の接着力は表面保護テープ11の接着力よりも高くなっており、また吸着テーブル59の吸着力は当然にダイシングテープ21の接着力よりも強い。従って、このような順番で処理を行うことにより、表面保護テープ11の剥離時に、剥離用テープ51を引っ張ることによってウェーハ12自体が浮き上がることはなく、結果的にウェーハ12が破損することもなくなる。
【0025】
図4はウェーハ処理装置により実行される他のプログラムのフローチャートである。図4を用いて他のプログラム110について説明する。プログラム110はダイシングテープ21にUVを照射しても接着性が変化せず且つ表面保護テープ11の接着力がダイシングテープ21の接着力よりも小さい場合、またはダイシングテープ21にUVを照射することによって接着性が高まる場合を想定している。
【0026】
プログラム110のステップ111においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いで、ステップ112においてウェーハ12を反転ユニット30まで移動させ、反転ユニット30においてウェーハ12を反転させる。これにより、ダイシングテープ21が貼り付けられているウェーハ12の裏面が下方を向くようになる。次いでステップ113においてウェーハ12を反転ユニット30からUV照射ユニット40まで移動させ、UV照射ユニット40においてウェーハ12の裏面、すなわちダイシングテープ21にUVを所定量だけ下方から照射する。その後、ステップ114においてウェーハ12をUV照射ユニット40から反転ユニット30に移動させ、反転ユニット30に単に通過させる。次いで、ステップ115に進み、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで移動させる。ステップ115においてはウェーハ12表面の表面保護テープ11を剥離ユニット50において剥離する。次いで、ステップ116においてウェーハ12を収容部70に収容し、プログラムを終了する。
【0027】
ダイシングテープ21がUVを照射することによって接着性が変化しない場合で且つダイシングテープ21の接着力が表面保護テープ11の接着力よりも大きい場合には本プログラム110を採用することができる。このプログラム110においては、ダイシングテープ21にUVを照射した後に表面保護テープ11を剥離している。また吸着テーブル59の吸着力は当然にダイシングテープ21の接着力よりも強い。従って、このような順番で処理を行うことにより、表面保護テープ11の剥離時に、剥離用テープ51を引っ張ることによってウェーハ12自体が浮き上がることはなく、結果的にウェーハ12が破損することもなくなる。また、UVを照射することにより接着性が増すダイシングテープ21を使用する場合にも、表面保護テープ11の剥離時には表面保護テープ11の接着力よりもダイシングテープ21の接着力が高くなっているので、プログラム110を採用できる。
【0028】
図5(a)および図5(b)はそれぞれさらに他のプログラム120、プログラム130のフローチャートである。プログラム120においては、表面保護テープ11はUV照射により接着性が低下し且つダイシングテープ21はUV照射により接着性が変化しない場合を想定している。プログラム130においては、表面保護テープ11およびダイシングテープ21の両方がUV照射により接着性が低下する場合を想定している。
【0029】
最初にプログラム120について説明する。前述したプログラムと同様にステップ121においては、マウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ122においてウェーハ12を反転ユニット30にて反転させる。これにより、ウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いで、ステップ123に進み、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで移動させる。ステップ123においてはウェーハ12表面の表面保護テープ11を剥離ユニット50において剥離する。次いで、ステップ124においてウェーハ12を収容部70に収容する。
【0030】
プログラム120においてはダイシングテープ21にUVを照射していないが、前述したように表面保護テープ11はウェーハ処理装置10内に供給される前に表面保護テープ用紫外線照射部90によってUVが照射されており、これにより表面保護テープ11の接着力は既に低下している。従って、紫外線照射前には表面保護テープ11の接着力がダイシングテープ21の接着力より大きい場合であっても、表面保護テープ11の剥離時には表面保護テープ11の接着力がダイシングテープ21の接着力よりも小さくなる。それゆえ、このような順番で処理を行うことにより、表面保護テープ11を剥離する際にウェーハ12自体が浮き上がって破損することはなくなる。
【0031】
次いでプログラム130について説明する。前述したようにプログラム130においては、表面保護テープ11およびダイシングテープ21の両方がUV照射により接着性が低下する場合を想定している。ステップ131においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ132においてウェーハ12を反転ユニット30において反転させる。これによりウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いで、ステップ133に進み、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで移動させる。ステップ133においてはウェーハ12表面の表面保護テープ11を剥離ユニット50において剥離する。次いでステップ134に進み、ウェーハ12を剥離ユニット50から反転ユニット30まで再び移動させ、ウェーハ12を反転ユニット30に単に通過させる。すなわち、ダイシングテープ21が貼り付けられているウェーハ12の裏面が下方を向いている。次いでステップ135においてウェーハ12を反転ユニット30からUV照射ユニット40まで移動させ、UV照射ユニット40においてウェーハ12の裏面、すなわちダイシングテープ21にUVを所定量だけ下方から照射する。その後、ステップ136においてウェーハ12をUV照射ユニット40から反転ユニット30まで移動させ、ウェーハ12を反転ユニット30に単に通過させる。次いで、ステップ137においてウェーハ12が剥離ユニット50を単に通過した後に、ステップ138においてウェーハ12を収容部70に収容し、プログラムを終了する。
【0032】
表面保護テープ用UV照射部90においてUVを照射することによって表面保護テープ11の接着性が既に低下しているので、プログラム130においては表面保護テープ11を容易に剥離することができる。プログラム130においては前に表面保護テープ用紫外線照射部90において既に紫外線が照射された表面保護テープ11を想定しているが、ダイシングテープ21にUV照射した後に表面保護テープ11にUV照射することもできる。しかしながら、表面保護テープ11の剥離時に表面保護テープ11の接着力がダイシングテープ21の接着力よりも小さいのが好ましいので、プログラム130に示すように表面保護テープ11を剥離した後にダイシングテープ21にUV照射するのが好ましい。このような順番で処理を行うことにより、表面保護テープ11を剥離する際にウェーハ12自体が浮き上がって破損することはほぼ確実になくなる。
【0033】
図6はさらに別のプログラム150のフローチャートである。プログラム150においては、UVを照射することによってダイシングテープ21の接着性および硬度が変化せず且つダイシングテープ21の接着力が表面保護テープ11の接着力よりも大きい場合を想定している。
【0034】
プログラム150のステップ151においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ152においてウェーハ12を反転ユニット30において反転させる。これにより、ウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いで、ステップ153に進み、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで直接的に移動させる。ステップ153においてはウェーハ12表面の表面保護テープ11を剥離ユニット50において剥離する。次いで、ステップ154においてウェーハ12を収容部70に収容する。
【0035】
プログラム150はダイシングテープ21はUVを照射することによって接着性および硬度が変化せず且つダイシングテープ21の接着力が表面保護テープ11の接着力よりも大きい場合に行われるので、このような順番で処理を行うことにより、表面保護テープ11の剥離時に、ウェーハ12自体が浮き上がって破損することはない。
【0036】
図7(a)および図7(b)はそれぞれ表面保護テープ11を剥離しない場合または表面保護テープ11が存在しない場合のプログラムのフローチャートである。はじめに図7(a)を参照しつつプログラム160について説明する。
【0037】
プログラム160のステップ161においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ162においてウェーハ12を反転ユニット30において反転させる。これにより、ウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いでステップ163においてウェーハ12を反転ユニット30からUV照射ユニット40まで移動させ、UV照射ユニット40においてウェーハ12の裏面、すなわちダイシングテープ21にUVを所定量だけ下方から照射する。その後、ステップ164においてウェーハ12をUV照射ユニット40から反転ユニット30に移動させ、ウェーハ12を反転ユニット30に単に通過させる。次いで、ステップ165においてウェーハ12が剥離ユニット50を単に通過した後に、ステップ166においてウェーハ12を収容部70に収容し、プログラムを終了する。プログラム160は表面保護テープ11を剥離しないかまたは表面保護テープ11自体が存在しないものの、ダイシングテープ21がUV照射により接着性が変化するのでダイシングテープ21にUVを照射する必要がある場合に採用される。
【0038】
次いで図7(b)を参照しつつプログラム170について説明する。プログラム170のステップ171においては、前述したようにマウントユニット20においてダイシングテープ21によりウェーハ12をフレーム15にマウントする。次いでステップ172においてウェーハ12を反転ユニット30において反転させる。これにより、ウェーハ12の表面保護テープ11が上方を向くようになる。次いで、ステップ173においてウェーハ12が剥離ユニット50を単に通過した後に、ステップ174においてウェーハ12を収容部70に収容し、プログラムを終了する。プログラム170はUV照射によって接着性が変化しないダイシングテープ21を使用していて表面保護テープ11を剥離する必要がないかまたは表面保護テープ11自体が存在しない場合に採用される。
【0039】
複数のプログラム100、110、120、130、150、160および170について説明したが、どのプログラムを採用するかは、使用される表面保護テープ11およびダイシングテープ21の種類(すなわち性質)に応じて異なる。一方、量産段階等においては、どの表面保護テープ11およびどのダイシングテープ21を使用するかについては少なくともロット単位で既に定まっている。従って、どのプログラムを採用するかをロット単位で決定できる。そして、ウェーハ12またはフレーム15自体もしくはウェーハ12をロット単位で収容するカセットは通常はID、すなわち認識マークを備えているので、採用するプログラムの番号をこのようなIDに予め組み入れておくのが好ましい。この場合には、ウェーハ処理装置10に備え付けられた特定のリーダ(図示しない)によってウェーハ12またはフレーム15もしくはカセットのIDを読み取り、これにより、IDに組み入れられたプログラム番号に応じてウェーハ処理装置10のプログラムを自動的に設定するようにする。このような場合には、特にダイシングテープ21へのUV照射作用と表面保護テープ11の剥離作用との順番が自動的に決定されて実行されるので、作業者の不注意に基づく操作ミス、すなわち表面保護テープ11の剥離時におけるウェーハ12の破損を回避することができる。また、前工程における装置、例えばバックグラインダ1において処理する際に、バックグラインダ1のリーダ(図示しない)によってIDを読み取り、ウェーハ処理装置10における処理が開始する前にIDの内容をウェーハ処理装置10に自動的に送るようにしても良い。この場合にはウェーハ処理装置10における作業時間を短縮することができる。当然のことながら、手動でウェーハ処理装置10を操作することも本発明の範囲に含まれる。
【0040】
また図1に示したウェーハ処理装置10は通過ユニット55を備えているが、この通過ユニット55を排除すると共に、例えば剥離ユニット50を通過ユニット55の位置に配置してUV照射ユニット40を剥離ユニット50の位置に配置することもできる。この場合には、ウェーハ12を反転ユニット30から剥離ユニット50まで斜方向に移動させる必要があるものの、ウェーハ処理装置10全体が略正方形状となるのでウェーハ処理装置10の設置場所を小さくすることができる。
【0041】
【発明の効果】
各発明によれば、表面保護テープおよび/またはダイシングテープの性質に応じてウェーハを取り扱うことができるという共通の効果を奏しうる。
【0042】
さらに、2番目および6番目の発明によれば、作業者の不注意に基づく操作ミスが生じるのを回避することができるという効果を奏しうる。
さらに、3番目および7番目の発明によれば、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを妨げることができるという効果を奏しうる。
さらに、4番目および8番目の発明によれば、表面保護テープ剥離時にウェーハが破損するのを確実に妨げることができるという効果を奏しうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づくウェーハ処理装置を示す略図である。
【図2】(a)表面保護テープを剥離することを示す略平面図である。
(b)ウェーハをフレームに取り付けた状態を示す断面図である。
【図3】ウェーハ処理装置により実行される一つのプログラムのフローチャートである。
【図4】ウェーハ処理装置により実行される他のプログラムのフローチャートである。
【図5】(a)ウェーハ処理装置により実行されるさらに他のプログラムのフローチャートである。
(b)ウェーハ処理装置により実行されるさらに他のプログラムのフローチャートである。
【図6】ウェーハ処理装置により実行されるさらに別のプログラムのフローチャートである。
【図7】(a)表面保護テープを剥離しない場合のプログラムのフローチャートである。
(b)表面保護テープを剥離しない場合のプログラムのフローチャートである。
【符号の説明】
10…ウェーハ処理装置
11…表面保護テープ
12…ウェーハ
20…マウントユニット
21…ダイシングテープ
30…反転ユニット
40…UV照射ユニット
50…剥離ユニット
90…表面保護テープ用UV照射部
Claims (8)
- 表面に表面保護テープが貼付けられているウェーハの裏面にダイシングテープを貼り付けてウェーハ全体をフレームに固定するマウント部と、
前記ウェーハの前記ダイシングテープに紫外線を照射する紫外線照射部と、
前記ウェーハの表面から前記表面保護テープを剥離する剥離部とを具備し、
前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係に基づいて、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射する照射作用と前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離する剥離作用との順番を決定するようにしたウェーハ処理装置。 - さらに、前記ウェーハまたは前記フレームの少なくとも一方に設けられた認識マークを読みとってこれを認識する認識部を具備し、前記認識マークには前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係が組み入れられている請求項1に記載のウェーハ処理装置。
- 前記ダイシングテープが紫外線を照射されると硬化して粘着力が低下する紫外線硬化性である場合に、前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離した後に前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射するようにした請求項1または2に記載のウェーハ処理装置。
- 前記ダイシングテープが紫外線を照射されることによって粘着力が変化せず且つ前記ダイシングテープの粘着力が表面保護テープの粘着力よりも大きい場合に、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射した後に前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離するようにした請求項1から3のいずれか一項に記載のウェーハ処理装置。
- 表面に表面保護テープが貼付けられているウェーハの裏面にダイシングテープを貼り付けてウェーハ全体をフレームに固定する固定工程と、
前記ウェーハの前記ダイシングテープに紫外線を照射する照射工程と、
前記ウェーハの表面から前記表面保護テープを剥離する剥離工程とを含み、
前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係に基づいて、前記照射工程と前記剥離工程との順番を決定するようにしたウェーハ処理方法。 - さらに、前記ウェーハまたは前記フレームの少なくとも一方に設けられた認識マークを読みとってこれを認識する認識工程を含み、
前記認識マークには前記表面保護テープの粘着力と前記紫外線照射部による紫外線照射作用の前後における前記ダイシングテープの粘着力との間の関係が組み入れられているようにした請求項5に記載のウェーハ処理方法。 - 前記ダイシングテープが紫外線を照射されると硬化して粘着力が低下する紫外線硬化性である場合に、前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離した後に前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射するようにした請求項5または6に記載のウェーハ処理方法。
- 前記ダイシングテープが紫外線を照射されることによって粘着力が変化せず且つ前記ダイシングテープの粘着力が表面保護テープの粘着力よりも大きい場合に、前記紫外線照射部によって前記ダイシングテープに紫外線を照射した後に前記剥離部によって前記表面保護テープを剥離するようにした請求項5から7のいずれか一項に記載のウェーハ処理方法。
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