JP2018088449A - 吸着開始ダイ教示システム - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1に基づいてダイ供給装置11の構成を概略的に説明する。
Claims (7)
- 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの少なくとも一部分をカメラで撮像したウエハ画像を表示する表示装置を備え、ダイ供給装置がダイ吸着動作を開始する前に作業者が前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から最初に吸着するダイ(以下「吸着開始ダイ」という)を指定して実際の吸着開始ダイの位置を前記ダイ供給装置に教示する吸着開始ダイ教示システムにおいて、
前記ウエハの複数のダイのうち他のダイとは外観が異なるダイの中から指定されたダイを基準位置となる基準ダイとして設定する基準ダイ設定部と、
前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の各ダイが前記基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する制御部と
を備える、吸着開始ダイ教示システム。 - 前記制御部は、前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の少なくとも縦一列と横一列に並ぶ各ダイにそれぞれ前記相対位置情報を重ねて表示する、請求項1に記載の吸着開始ダイ教示システム。
- 前記カメラは、その視野内にウエハの一部分のみを収めて撮像し、
前記基準ダイと前記吸着開始ダイとの位置関係は、どちらか一方が前記カメラの視野内で、他方が前記カメラの視野外となる位置関係に設定され、
前記制御部は、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記基準ダイが含まれる撮像エリアから前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記カメラで撮像したウエハ画像を処理して各ダイを分割する縦横のダイシング溝を認識して各ダイの縦方向の列と横方向の列に沿って前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する、請求項1又は2に記載の吸着開始ダイ教示システム。 - 前記カメラは、その視野内にウエハの一部分のみを収めて撮像し、
前記基準ダイと前記吸着開始ダイとの位置関係は、どちらか一方が前記カメラの視野内で、他方が前記カメラの視野外となる位置関係に設定され、
前記制御部は、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記基準ダイが含まれる撮像エリアから前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記カメラで撮像したウエハ画像を処理して各ダイを縦方向及び横方向に1つずつ認識して各ダイの縦方向の列と横方向の列に沿って前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する、請求項1又は2に記載の吸着開始ダイ教示システム。 - 前記制御部は、前記基準ダイからの前記吸着開始ダイの相対位置情報を取得して、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報の計測結果を確認しながら前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる、請求項3又は4に記載の吸着開始ダイ教示システム。
- 前記基準ダイは、前記ウエハの各ダイの情報を示すウエハマッピングデータ又は生産ジョブによって指定される、請求項1乃至5のいずれかに記載の吸着開始ダイ教示システム。
- 前記基準ダイは、前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から作業者によって指定される、請求項1乃至5のいずれかに記載の吸着開始ダイ教示システム。
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