JP2013045988A - ダイ突き上げ動作管理システム - Google Patents

Abstract

【課題】ダイ供給装置の突き上げポットと突き上げピンの突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測できるようにする。
【解決手段】ダイ供給装置の突き上げユニットの周辺に、突き上げポット２７と突き上げピン２９を撮像対象物とする２台のカメラを設置し、突き上げポット２７の上方にウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポット２７を上昇させて突き上げピン２９を突出させた状態で、一方のカメラで、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＸ方向の側面画像を撮像し、他方のカメラで、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＹ方向の側面画像を撮像した後、Ｘ方向とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７と突き上げピン２９の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を計測すると共に、突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定する。
【選択図】図６

Description

本発明は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットを備えたダイ供給装置におけるダイ突き上げ動作を管理するダイ突き上げ動作管理システムに関する発明である。

近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。ダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、突き上げポットをダイシングシートの下面に接触する所定の吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。

特開２０１０−１２９９４９号公報

ところで、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着する際に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイを突き上げピンで突き上げる場合は、突き上げピンの水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。

しかし、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置は、突き上げユニットの各部品の組付精度や突き上げピンの取り付け具合に影響され、要求される位置精度を確保するのが難しい。そのため、生産開始前に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を計測して、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていることが判明すれば、部品を組み付け直すなどして再び計測するという作業が必要となるが、その際、作業者が突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を手作業で計測するようにしていたため、多くの時間を費やすことがあった。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測する機能を備えたダイ突き上げ動作管理システムを提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面の画像を撮像するカメラと、前記カメラから出力された前記突き上げポットの側面画像を画像処理して突き上げ動作時の前記突き上げポットの上面の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出する画像処理手段とを備えた構成としたものである。この構成によれば、突き上げ動作時の突き上げポットの側面画像を画像処理して突き上げポットの突き上げ高さ位置を検出する機能を備えているため、突き上げポットの突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。

また、請求項２のように、突き上げポットの上方にウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面の画像をカメラで撮像し、その突き上げピンの側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げピンの上端の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出するようにしても良い。このようにすれば、突き上げ動作時の突き上げピンの側面画像を用いて、突き上げピンの突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。

或は、請求項３のように、突き上げポットの上方にウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面をＸ方向とＹ方向からそれぞれカメラで撮像し、突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出するようにしても良い。このようにすれば、突き上げピンの側面画像を用いて、突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。

この場合、請求項４のように、突き上げピンのＸ方向の側面画像を撮像するカメラと、突き上げピンのＹ方向の側面画像を撮像するカメラとを別々に設けた構成としても良い。この構成では、２台のカメラを用いるため、突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像とを同時に撮像しても良いし、いずれか一方向の側面画像を撮像した後、他方向の側面画像を撮像するようにしても良い。

或は、請求項５のように、突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像のいずれか一方をカメラで撮像した後、他方を撮像する位置に該カメラを移動させて他方を撮像するようにしても良い。この場合は、１台のカメラでＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像の両方を撮像することができる。

また、請求項６のように、突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定するようにしても良い。このようにすれば、突き上げピンの側面画像を用いて、突き上げピンの破損や曲りも自動的に検出することができる。

以上説明した請求項１乃至６に係る発明を実施する場合、請求項７のように、カメラは、ダイ供給装置に設けられていても良いし、或は、請求項８のように、ダイ供給装置からダイが供給される部品実装機に設けられたカメラを用いるようにしても良い。他の用途に用いられるカメラを用いて突き上げポットや突き上げピンの側面画像を撮像するようにすれば、カメラを増設する必要がなく、低コスト化や省スペース化の要求を満たすことができる。

図１は本発明の一実施例における部品供給装置の外観斜視図である。 図２は突き上げユニット部分の拡大斜視図である。 図３は部品供給装置をセットした部品実装機の外観斜視図である。 図４はウエハパレットの外観斜視図である。 図５は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大正面図である。 図６は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。 図７は突き上げポット、突き上げピンと２台のカメラの位置関係を説明する平面図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例の部品供給装置１１（ダイ供給装置）は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８（図２参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。この部品供給装置１１は、図３に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。

部品供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ダイ２１（ウエハ部品）を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。図４に示すように、ウエハパレット２２は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３６を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２８にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート３６のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート３６を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板２３に装着すれば良い。

パレット引き出し機構１４は、生産プログラム（生産ジョブ）に従って、ウエハパレット２２とトレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上のトレイ部品やダイ２１を部品実装機２５（図３参照）の吸着ノズル３０ａ（図５、図６参照）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレット２２を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル３０ｂ（図５、図６参照）でウエハパレット２２のダイシングシート３６上のダイ２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び上下方向）に移動するように構成されている。サブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル３０ｂが下向きに設けられ、ピックアップするダイ２１のサイズ等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズル３０ｂを交換できるようになっている。サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ２１の位置又はダイ２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズル３０ｂでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズル３０ａでピックアップ可能な位置まで移送する。

反転ユニット１７は、サブロボット１５から受け取るダイ２１を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシート３６に上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。

突き上げユニット１８（図２参照）は、パレット引き出しテーブル１３に設けられて、ウエハパレット２２のダイシングシート３６下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角水平方向）に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、ダイシングシート３６のうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７の突き上げピン２９（図５、図６参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシート３６から部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット１８は、ダイ２１のサイズ等に応じて突き上げポット２７を選択できるようにするために、複数種類（例えば４種類）の突き上げポット２７が所定角度ピッチ（図２の例では９０°ピッチ）で放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット２７が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。

この突き上げユニット１８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット１８が上昇して突き上げポット２７の上面がウエハパレット２２のダイシングシート３６に接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９（図５、図６参照）が上方に突出して、ダイシングシート３６のうちの吸着しようとするダイ２１の貼着部分（吸着ノズル３０ａ，３０ｂの吸着点）を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン２９の突き上げ高さ位置を調整できるようになっている。

尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のダイ２１を排出するコンベアである。 以上のように構成した部品供給装置１１の制御装置３２は、図３に示すように、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８、部品実装機２５の吸着ノズル３０ａ等の動作を次のように制御する。

（１）小さいダイ２１の場合
小さいダイ２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の吸着ノズル３０ａへのダイ２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート３６上のダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズル３０ａで直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのダイ２１の場合
ダイ２１のつかみ替えが可能なサイズのダイ２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズル３０ｂで当該ウエハパレット２２のダイシングシート３６上のダイ２１をピックアップし、当該ダイ２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズル３０ａでピックアップする。

（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上の部品を部品実装機２５の吸着ノズル３０ａで直接ピックアップする。

ところで、部品実装機２５の吸着ノズル３０ａ又はサブロボット１５の吸着ノズル３０ｂでウエハパレット２２のダイシングシート３６上のダイ２１を吸着する際に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズル３０ａ，３０ｂの下端がダイシングシート３６上のダイ２１に強く当たり過ぎてダイ２１が傷付いたり、割れたり、ダイ２１の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズル３０ａ，３０ｂでダイ２１を安定して吸着できない。従って、吸着ノズル３０ａ，３０ｂでダイ２１を傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイ２１を突き上げピン２９で突き上げる場合は、突き上げピン２９の水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。

そこで、本実施例では、突き上げユニット１８の周辺に、突き上げポット２７と突き上げピン２９を撮像対象物とする２台のカメラ４１，４２を設置し、突き上げユニット１８の上方にウエハパレット２２をセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて突き上げピン２９を突出させた状態で、一方のカメラ４１で、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＸ方向の側面画像を撮像し、他方のカメラ４２で、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＹ方向の側面画像を撮像するようにしている。この際、各カメラ４１，４２は、それぞれ視野内に突き上げポット２７と突き上げピン２９の両方を収めて撮像するようにしても良いし、突き上げポット２７と突き上げピン２９のいずれか一方を撮像した後、他方を撮像するようにしても良い。突き上げポット２７と突き上げピン２９とを別々に撮像する場合は、突き上げポット２７については、２台のカメラ４１，４２のいずれか一方のみで撮像し、突き上げピン２９についてのみ２台のカメラ４１，４２で撮像するようにしても良い。

また、各カメラ４１，４２を移動させる機構を設け、突き上げポット２７と突き上げピン２９を撮像するときに、各カメラ４１，４２を所定の撮像位置まで移動させ、それ以外の時は、各カメラ４１，４２をウエハパレット２２等の出し入れに邪魔にならない位置に退避させるようにしても良い。突き上げポット２７と突き上げピン２９とを別々に撮像する場合は、各カメラ４１，４２を突き上げポット２７の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の突き上げ高さ位置に合わせて上下動させるようにしても良い。

また、撮像対象物のＸ方向とＹ方向にそれぞれプリズム又は反射鏡を配置して、プリズム又は反射鏡により所定方向に屈折又は反射された側面画像を各カメラ４１，４２で撮像するようにしても良い。この場合は、サブロボット１５に設けられたカメラ２４を用いて、突き上げポット２７や突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにしても良い。

部品供給装置１１の制御装置３２は、特許請求の範囲でいう画像処理手段として機能し、生産開始前に突き上げユニット１８の上方にウエハパレット２２をセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて突き上げピン２９を突出させた状態で、一方のカメラ４１で、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＸ方向の側面画像を撮像し、他方のカメラ４２で、突き上げポット２７と突き上げピン２９のＹ方向の側面画像を撮像し、各カメラ４１，４２から出力された突き上げポット２７の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出すると共に、突き上げピン２９の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げピン２９の上端の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出する。

この際、各カメラ４１，４２の視野内に基準高さ位置を示す指標を撮像対象物と一緒に収めて撮像することで、当該基準高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良いし、或は、各カメラ４１，４２の視野の高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良い。尚、高さ位置を検出する場合は、２台のカメラ４１，４２の画像から求めた高さ位置を平均して最終的な高さ位置を求めるようにしても良いし、２台のカメラ４１，４２の片方の画像のみから高さ位置を求めるようにしても良い。

部品供給装置１１の制御装置３２は、突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置の検出結果に基づいて、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを判定し、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていると判定されれば、表示装置３４等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。

また、部品供給装置１１の制御装置３２は、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出すると共に、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定し、突き上げピン２９の破損や曲りを検出した場合は、表示装置３４等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。

この場合、２台のカメラ４１，４２を用いるため、Ｘ方向の側面画像とＹ方向の側面画像とを同時に撮像しても良いし、いずれか一方向の側面画像を撮像した後、他方向の側面画像を撮像するようにしても良い。

以上説明した本実施例によれば、突き上げ動作時の突き上げポット２７の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出する機能を備えているため、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。しかも、突き上げ動作時の突き上げピン２９の側面画像を用いて、突き上げ動作時の突き上げピン２９の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。

しかも、本実施例では、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出するようにしたので、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。

更に、本実施例では、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定するようにしたので、突き上げピン２９の破損や曲りも自動的に検出することができる。

尚、本実施例では、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の破損・曲りを全て検出するようにしたが、これらの中から、いずれか１つ又は２つを検出するようにしても良い。

また、本実施例では、２台のカメラ４１，４２を用いたが、１台のカメラのみとしても良い。１台のカメラで突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像の両方を撮像する場合は、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像のいずれか一方を撮像した後、他方を撮像する位置にカメラを移動させて他方を撮像するようにすれば良い。

また、本実施例では、部品供給装置１１に設けたカメラ４１，４２を用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにしたが、部品実装機２５に設けられたカメラとプリズム等を用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにしても良い。他の用途に用いられるカメラを用いて突き上げポット２７や突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにすれば、カメラを増設する必要がなく、低コスト化や省スペース化の要求を満たすことができる。

また、本実施例では、突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を部品供給装置１１の制御装置３２で画像処理するようにしたが、この画像処理を部品実装機２５の制御装置で行うようにしても良い。

また、本実施例では、ウエハパレット２２とトレイパレットとを混載した部品供給装置１１を部品実装機２５にセットするようにしたが、ウエハパレット２２のみを積載したダイ供給装置を部品実装機２５にセットした構成に本発明を適用して実施ても良い等、本発明は種々変更して実施できる。

１１…部品供給装置（ダイ供給装置）、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１６…シャトル機構、１７…反転ユニット、１８…突き上げユニット、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げポット、２８…パレット本体、２９…突き上げピン、３０ａ，３０ｂ…吸着ノズル、３２…制御装置（画像処理手段）、３３…入力装置、３４…表示装置、３６…ダイシングシート、４１，４２…カメラ

Claims (8)

1. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
   前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面の画像を撮像するカメラと、
   前記カメラから出力された前記突き上げポットの側面画像を画像処理して突き上げ動作時の前記突き上げポットの上面の高さ位置を検出する画像処理手段と
   を備えていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
2. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
   前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて前記突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面の画像を撮像するカメラと、
   前記カメラから出力された前記突き上げピンの側面画像を画像処理して突き上げ動作時の前記突き上げピンの上端の高さ位置を検出する画像処理手段と
   を備えていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
3. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
   前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて前記突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面をＸ方向とＹ方向からそれぞれ撮像するカメラと、
   前記カメラから出力された前記突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して前記突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出する画像処理手段と
   を備えていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
4. 請求項３に記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
   前記カメラは、前記突き上げピンのＸ方向の側面画像を撮像するカメラと、前記突き上げピンのＹ方向の側面画像を撮像するカメラとが別々に設けられていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
5. 請求項３に記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
   前記カメラは、前記突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像のいずれか一方を撮像した後、他方を撮像する位置に移動して他方を撮像することを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
6. 請求項２乃至５のいずれかに記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
   前記画像処理手段は、前記突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定する手段を備えていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
   前記カメラは、前記ダイ供給装置に設けられていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
8. 請求項１乃至６のいずれかに記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
   前記カメラは、前記ダイ供給装置からダイが供給される部品実装機に設けられたカメラが用いられることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。

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