JP5991912B2 - 基板を支持するバックアップピンの管理装置 - Google Patents
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Description
2 バックアップピン
4 基板認識カメラ
7 バックアップテーブル
7H 挿入孔
20 制御装置
21 記憶装置
28 モニタ
Claims (2)
- バックアップテーブルに開設された複数の挿入孔内に抜き差し可能に配設されて基板下面に当接して支持するバックアップピンの管理装置であって、
前記バックアップテーブル上のストックエリア内にある前記複数の挿入孔を所定の順序に従って撮像するカメラと、
このカメラにより撮像された画像に基づいてストックエリア内にある前記挿入孔内に挿入されている前記バックアップピンの有無及び前記挿入孔の有無を確認して前記バックアップピンの配置位置データを作成する作成装置と、
この作成装置により作成された前記配置位置データを格納する記憶装置とからなり、
前記作成装置は、前記バックアップピンの有無結果と前記挿入孔の有無結果とが一致した場合に前記配置位置データを更新することを特徴とするバックアップピンの管理装置。 - バックアップテーブルに開設された複数の挿入孔内に抜き差し可能に配設されて基板下面に当接して支持するバックアップピンの管理装置であって、
前記バックアップテーブル上のストックエリア内にある前記複数の挿入孔を所定の順序に従って撮像するカメラと、
このカメラにより撮像された画像に基づいてストックエリア内にある前記挿入孔内に挿入されている前記バックアップピンの有無及び前記挿入孔の有無を確認してこの確認の都度モニタに前記バックアップピンの配置位置を表示させる表示制御装置と、
前記カメラにより撮像された画像に基づいてストックエリア内にある前記挿入孔内に挿入されている前記バックアップピンの有無及び前記挿入孔の有無を確認して前記バックアップピンの配置位置データを作成する作成装置と、
この作成装置により作成された前記配置位置データを格納する記憶装置とからなり、
前記表示制御装置は、前記バックアップピンの有無結果と前記挿入孔の有無結果とが一致した場合に前記バックアップピンの配置位置を表示させ、
前記作成装置は、前記バックアップピンの有無結果と前記挿入孔の有無結果とが一致した場合に前記配置位置データを更新することを特徴とするバックアップピンの管理装置。
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