JP2004212159A - テープ部材の検査装置 - Google Patents
テープ部材の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004212159A JP2004212159A JP2002380851A JP2002380851A JP2004212159A JP 2004212159 A JP2004212159 A JP 2004212159A JP 2002380851 A JP2002380851 A JP 2002380851A JP 2002380851 A JP2002380851 A JP 2002380851A JP 2004212159 A JP2004212159 A JP 2004212159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- image
- tape
- tape member
- csp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】CSPテープの上方に、CSPテープの表面側から光を照射してCSPテープを照明するシアン色光を照射する光源50A、カラーCCDラインセンサ50Bを配置し、CSPテープの下方に、CSPテープの裏面側から光を照射してCSPテープを照明する赤色光を照射する光源52Aを配置する。光源50A、52Aから同時に光を照射したときに得られる反射画像及び透過画像を用いてCSPテープ上の金属パターンの欠陥を検出する。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ部材検査装置に関し、特に、テープ部材表面に形成された金属パターンの良否を検査するテープ部材の検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体チップをマウントするテープ状の基盤であるCSP(Chip size package)テープの外観を検査するCSPテープ検査装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。CSPテープは、光透過性のポリイミド製ベーステープに光透過性のレジストのパターンと光非透過性の金属のパターンとが形成されており、このCSPテープ検査装置は、CSPテープに光を照射して、CSPテープに形成された金属のパターンの良否を検査するものである。
【0003】
このCSPテープに塵埃等が付着していると、金属パターンの良否を検査する際に塵埃等によって光が遮光または減光されるため、塵埃等を金属パターンとして誤検出してしまうことがあるため、従来のCSPテープ検査装置では、CSPテープの上方から光を照射した検査とCSPテープの下方から光を照射した検査との2回に分けて検査を行なっていた。
【0004】
【特許文献1】
特願2000−288355
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のCSPテープ検査装置では、2回に分けて検査を行なっていたため、検査に時間を要する、という問題があった。
【0006】
本発明は上記問題点を解消するためになされたもので、塵等の影響を受けずに短時間に検査を終了することができるCSPテープ等のテープ部材の検査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、表面に光非透過性のパターンが形成された光透過性のテープ部材を長さ方向に搬送する搬送手段と、前記テープ部材の表面側から所定波長域の光または所定強度の光を照射して該テープ部材を照明する第1の照明手段と、前記テープ部材の裏面側から前記所定波長域と異なる波長域の光または前記所定強度と異なる強度の光を照射して該テープ部材を照明する第2の照明手段と、前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段の一方から照射されかつ前記テープ状部材で反射された光による画像、及び前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段の他方から照射されかつ前記テープ状部材を透過した光による画像を撮影して画像信号を出力する撮影手段と、前記テープ部材を搬送しながら前記第1の照明手段と前記第2の照明手段とから同時に光を照射して撮影した際の画像信号に基づいて、反射光による画像と透過光による画像とを分離し、分離した画像を用いて前記光非透過性のパターンの良否を検査する検査手段と、を含んで構成したものである。
【0008】
本発明の撮影手段は、テープ状部材の表面側または裏面側に配置することができる。撮影手段をテープ状部材の表面側に配置した場合には、撮影手段は、第1の照明手段から照射されかつテープ状部材で反射した光による画像、及び第2の照明手段から照射されかつテープ状部材を透過した光による画像を撮影して画像信号を出力する。また、撮影手段をテープ状部材の裏面側に配置した場合には、撮影手段は、第2の照明手段から照射されかつテープ状部材で反射した光による画像、及び第1の照明手段から照射されかつテープ状部材を透過した光による画像を撮影して画像信号を出力する。
【0009】
第1の照明手段から照射される光と第2の照明手段から照射される光とは、波長域または強度が異なっているので、反射光による画像と透過光による画像とを分離することができる。また、光非透過性のパターンと塵埃等の光非透過性のパターン以外の部分との反射率及び透過率が異なっているので、光非透過性のパターンで反射した光による画像と塵埃等の光非透過性のパターン以外の部分で反射した光による画像とを区別することができる。したがって、テープ部材を搬送しながら第1の照明手段と第2の照明手段とから同時に光を照射して撮影した際の画像信号に基づいて、反射光による画像と透過光による画像とを分離し、分離した画像を用いて光非透過性のパターンの良否を検査することができる。
【0010】
本発明では、第1の照明手段と第2の照明手段とから同時に光を照射して撮影した画像信号に基づいて、光非透過性のパターンの良否を検査しているため、塵等の影響を受けずに短時間に検査を終了することができる。
【0011】
CSPテープを検査対象とする場合、CSPテープのベーステープの色は赤色であり、CSPテープの表面に形成されたレジストパターンは緑色であり、かつCSPテープの表面に金属パターンが形成されているため、CSPテープの表面側からCSPテープを照明する所定波長域の光はシアン波長域の光、青色波長域の光、または緑波長域の光を用いるのが好ましく、CSPテープの裏面側からCSPテープを照明する所定波長域と異なる波長域の光は、赤色波長域の光であるのが好ましい。
【0012】
光非透過性のパターンが金属パターンである場合には、反射光による画像において輝度が高く(2値画像で白)、かつ透過光による画像において輝度が低い(2値画像で黒)の領域(パターン)となり、CSPテープの光透過性部分の場合には、反射光による画像において輝度が低く、かつ透過光による画像において輝度が高い領域(パターン)となり、塵または細い金属(立体形状)の場合には反射光による画像及び透過光による画像の両方において輝度が低い領域(パターン)となる。したがって、撮影手段をテープ部材の表面側に配置し、検査手段によって、反射光による画像において輝度が高く、かつ透過光による画像において輝度が低い領域、反射光による画像において輝度低く、かつ透過光による画像において輝度が高い領域、及び反射光による画像及び透過光による画像の両方において輝度が低い領域を分離し、分離した領域に基づいてテープの裏面に付着した塵等のの影響を受けずに前記光非透過性のパターンの良否を検査することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1に示すように、本実施の形態のテープ部材検査装置は、光透過性のポリイミド製ベーステープの表面に、光透過性のレジストパターンと光非透過性の金属パターンとからなる多数のパッケージパターンが繰り返し形成されたCSPテープ12と、スペーサテープ14とを共に巻き取ってロール状に形成したCSPロール10aを保持する供給側リールハンドラー20を備えている。
【0014】
供給側リールハンドラー20のテープ引出し側には、CSPロール10aから引出されたCSPテープ12の搬送経路を形成するCSPテープ搬送用ローラ(第1のローラ22、第2のローラ24、第3のローラ26、第4のローラ28、第5のローラ30)と、CSPテープ12と共に引き出されたスペーサテープ14をCSPテープ12とは別の搬送経路で搬送するスペーサテープ搬送用ローラ34、36と、検査終了後のCSPテープ12を他の搬送経路を介して搬送されたスペーサテープ14と共に巻き取ってロール状のCSPロール10bとする巻取側リールハンドラー32とが配置されている。
【0015】
図2にも示すように、CSPテープの搬送経路におけるCSPテープの上方には、CSPテープの表面側から光を照射してCSPテープを照明するシアン色波長域の光(シアン色光)を照射するC光源50Aと、CSPテープの幅方向に沿って配置されたカラーCCDラインセンサ50Bとが配置されている。カラーCCDラインセンサは、RGBの3色を検出するセンサを用いることができるが、RCの2色を検出するセンサを用いてもよい。
【0016】
CSPテープの搬送経路におけるCSPテープの下方には、CSPテープの裏面側から光を照射してCSPテープを照明する赤色波長域の光(R色光)を照射するR光源52Aが配置されている。
【0017】
カラーCCDラインセンサ50Bは、カラーCCDラインセンサでの撮影により得られた画像信号に基づいて画像処理を行って、金属パターンの欠陥を検出するとにより金属パターンの良否を検出するコンピュータ42に接続されている。カラーCCDラインセンサ配置位置の搬送方向下流側には、欠陥が検出された金属パターンに対応する予め定めた位置に穿孔するパンチ装置54が配置され、このパンチ装置54はコンピュータ42からの制御信号に基づいてパンチ装置54を駆動する駆動装置46に接続されている。
【0018】
次に、本実施の形態の検査ルーチンを図3を参照して詳細に説明する。ステップ100において、CSPテープの搬送を開始する。搬送を開始すると、CSPロール10aから引き出されたCSPテープ12は、第1のローラ22から第2のローラ24に搬送され、第2のローラ24と第3のローラ26及び第4のローラ28とによって平坦な状態で搬送される。
【0019】
CSPテープの搬送が開始されると同時に、ステップ102においてC光源とR光源とを同時に点灯し、CSPテープの表面側からシアン波長域の光で照明し、CSPテープの裏面側から赤色波長域の光で照明する。シアン色光は、CSPテープの表面で反射されてCCDラインセンサに入射され、R色光はCSPテープを透過してCCDラインセンサに入射される。CCDラインセンサからは、受光したシアン色光及びR色光の光量に応じた画像信号が出力される。この画像信号は、デジタル値に変換された後ステップ104においてコンピュータ42に取込まれる。
【0020】
ステップ106では、取込まれた画像信号による画像をシアン色光による画像(反射画像)とR色光による画像(透過画像)とに分離する。ステップ108において、反射画像及び透過画像の各々を一定の明るさ(2値化レベル)を越える部分を「白」、一定の明るさ以下の部分を「黒」に置き換えたることにより、2値化画像を生成する。
【0021】
次のステップ110では、以下の表1に示す判定テーブルを使用して、取込んだ画像を、反射画像で「白」かつ透過画像で「黒」の部分を金属パターンの部分(メタルパターン)、反射画像で「黒」かつ透過画像で「白」の部分をテープのベース部分(ベースパターン)、反射画像で「黒」かつ透過画像で「黒」の部分(黒黒パターン)に分離する。
【0022】
【表1】
【0023】
黒黒パターンは塵または細い金属であるので、ステップ112において、一旦黒黒パターンをメタルパターンであると仮定し、突起が存在するか否かを判断する。突起のペアが存在する場合には、細い金属(金属細線)であると判定することができるので、メタルパターンとして確定し、それ以外の黒黒パターンは、ベースパターンに変更する。これにより、黒黒パターンが、メタルパターンまたはベースパターンの何れかに変換され、取込まれた画像の全領域は、メタルパターンの部分またはベースパターンの部分の2つの部分に分離される。
【0024】
次のステップ114では、メタルパターン及びベースパターンに基づいて、公知の方法で金属パターンの欠陥検査を行ない、ステップ116で欠陥が検出されたと判断されると、ステップ118で穿孔処理を実施する。
【0025】
穿孔処理では、欠陥が存在する金属パターンの位置を制御部46に出力する。制御部46では、入力された位置情報に基づき、欠陥有りと判断された金属パターンがパンチ装置54の下方に搬送された時にパンチ装置54に穿孔指示を出力し、例えば、金属パターンの対向する2隅や4隅などのように、金蔵パターンの予め定めた個所に目印となる孔を形成する。これにより、欠陥が検出された金属パターンに対するマーキングが施される。
【0026】
その後、欠陥検査が終了したCSPテープは、第5のローラ30を介して巻取側リールハンドラー32により別の搬送経路で搬送されたスペーサテープ14と対となって巻き取られ、ロール状に巻回される。
【0027】
上記では、CSPテープの表面から照射する光とテープの裏面から照射する光との波長を異ならせて検査する例について説明したが、光の強度を変化させて検査するようにしても良い。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第1の照明手段と第2の照明手段とから同時に光を照射して撮影した際の透過画像と反射画像とに基づいて、光非透過性のパターンの部分とテープ部材の光透過性部分とを認識し、光非透過性のパターンの良否を検査しているため、塵に影響されることなく短時間に検査を終了することができる、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の検査装置の概略構成図である。
【図2】本発明の実施の形態の検出部の詳細を示すブロック図である。
【図3】本発明の実施の形態の検査ルーチンを示す流れ図である。
【符号の説明】
12 CSPテープ
20 供給側リールハンドラー
32 巻取側リールハンドラー
40 CCDラインセンサ
42 コンピュータ
Claims (3)
- 表面に光非透過性のパターンが形成された光透過性のテープ部材を長さ方向に搬送する搬送手段と、
前記テープ部材の表面側から所定波長域の光または所定強度の光を照射して該テープ部材を照明する第1の照明手段と、
前記テープ部材の裏面側から前記所定波長域と異なる波長域の光または前記所定強度と異なる強度の光を照射して該テープ部材を照明する第2の照明手段と、前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段の一方から照射されかつ前記テープ状部材で反射された光による画像、及び前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段の他方から照射されかつ前記テープ状部材を透過した光による画像を撮影して画像信号を出力する撮影手段と、
前記テープ部材を搬送しながら前記第1の照明手段と前記第2の照明手段とから同時に光を照射して撮影した際の画像信号に基づいて、反射光による画像と透過光による画像とを分離し、分離した画像を用いて前記光非透過性のパターンの良否を検査する検査手段と、
を含むテープ部材の検査装置。 - 前記テープ部材の表面側から照射する光はシアン波長域の光、青色波長域の光、または緑色波長域の光であり、前記テープ部材の裏面側から照射する光は赤色波長域の光である請求項1記載のテープ部材の検査装置。
- 前記検査手段は、反射光による画像において輝度が高く、かつ透過光による画像において輝度が低い領域、反射光による画像において輝度低く、かつ透過光による画像において輝度が高い領域、及び反射光による画像及び透過光による画像の両方において輝度が低い領域を分離し、分離した領域に基づいて前記光非透過性のパターンの良否を検査する請求項1または請求項2記載のテープ部材の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380851A JP4304690B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | テープ部材の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380851A JP4304690B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | テープ部材の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004212159A true JP2004212159A (ja) | 2004-07-29 |
JP4304690B2 JP4304690B2 (ja) | 2009-07-29 |
Family
ID=32816953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002380851A Expired - Fee Related JP4304690B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | テープ部材の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4304690B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105816A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | 物品検査装置、及び物品検査方法 |
JP2008170197A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Toyama Sumitomo Denko Kk | 金属多孔体の異物検出装置およびその装置による異物検出工程を経た金属多孔体 |
JP2009176648A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属多孔体の異物検出装置および金属多孔体 |
JP2012047482A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Omron Corp | シート用の外観検査システム |
US8224062B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-07-17 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for inspection of wafer and semiconductor device |
CN103995008A (zh) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | 大日本网屏制造株式会社 | 图案检查装置及图案检查方法 |
CN103995003A (zh) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | 大日本网屏制造株式会社 | 图案检查装置及图案检查方法 |
US9689820B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-06-27 | Purdue Research Foundation | Thermography for battery component quality assurance |
CN107917918A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-17 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
JP2020204521A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 澁谷工業株式会社 | ラベル検査装置 |
CN112654136A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-13 | 深圳市景旺电子股份有限公司 | 柔性电路板的补强偏位检测板及检测方法 |
-
2002
- 2002-12-27 JP JP2002380851A patent/JP4304690B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105816A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | 物品検査装置、及び物品検査方法 |
US8224062B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-07-17 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for inspection of wafer and semiconductor device |
JP2008170197A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Toyama Sumitomo Denko Kk | 金属多孔体の異物検出装置およびその装置による異物検出工程を経た金属多孔体 |
JP4557990B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2010-10-06 | 富山住友電工株式会社 | 金属多孔体の異物検出装置 |
JP2009176648A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属多孔体の異物検出装置および金属多孔体 |
JP2012047482A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Omron Corp | シート用の外観検査システム |
US9689820B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-06-27 | Purdue Research Foundation | Thermography for battery component quality assurance |
JP2014157085A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン検査装置 |
CN103995003A (zh) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | 大日本网屏制造株式会社 | 图案检查装置及图案检查方法 |
KR101577119B1 (ko) | 2013-02-15 | 2015-12-11 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 패턴 검사 장치 및 패턴 검사 방법 |
CN103995003B (zh) * | 2013-02-15 | 2017-04-19 | 斯克林集团公司 | 图案检查装置及图案检查方法 |
CN103995008A (zh) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | 大日本网屏制造株式会社 | 图案检查装置及图案检查方法 |
CN107917918A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-17 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
CN107917918B (zh) * | 2017-11-17 | 2021-02-23 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
JP2020204521A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 澁谷工業株式会社 | ラベル検査装置 |
JP7290825B2 (ja) | 2019-06-17 | 2023-06-14 | 澁谷工業株式会社 | ラベル検査装置 |
CN112654136A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-13 | 深圳市景旺电子股份有限公司 | 柔性电路板的补强偏位检测板及检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4304690B2 (ja) | 2009-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2017104575A1 (ja) | 検査システム及び検査方法 | |
JP2008026212A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2006292419A (ja) | 不良検査装置及びptp包装機 | |
TW200842347A (en) | Pattern checking device and pattern checking mehtod | |
JP2015143656A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2007064801A (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 | |
JP2004212159A (ja) | テープ部材の検査装置 | |
JP2006226724A (ja) | ラベル検査方法およびその装置 | |
JP2008292273A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
TW200923351A (en) | Pattern inspection apparatus | |
JP2006105816A (ja) | 物品検査装置、及び物品検査方法 | |
JP2004219399A (ja) | 異物検査方法、及び異物検査装置並びに異物検査用の照明装置 | |
JP4213108B2 (ja) | 外観検査用照明装置 | |
JP2005214720A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
JP2009128268A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2006244869A (ja) | プラズマディスプレイパネルの検査装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法、デバイスの検査方法 | |
KR100633798B1 (ko) | 반도체 안착상태 및 외관형상 검사장치 | |
JPH0843047A (ja) | 光学検査装置 | |
JP2004117103A (ja) | 容器のラベル破れ検査装置 | |
JP2010085388A (ja) | 印刷物の検査方法及び検査装置 | |
JP2006105852A (ja) | 外観検査装置及びptp包装機 | |
JP6260175B2 (ja) | サインパネル検査システム、サインパネル検査方法 | |
JP2004028904A (ja) | ラベル検査装置 | |
JP2970663B1 (ja) | 印刷物汚染検査装置ならびに検査方法 | |
KR200336984Y1 (ko) | 표면 및 형상 검사장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090407 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090417 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120515 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130515 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130515 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |