JP2014157085A - パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン検査装置は、フィルム状の透明基材9においてパターンが形成された第1主面91に第1光源部331からの光を照射し、パターンの上面からの当該光の反射光を第1受光部341にて受光して上面反射画像を取得する第1画像取得部301と、透明基材9の第2主面92に第2光源部332からの光を照射し、第1主面91に接するパターンの下面からの当該光の反射光を第2受光部342にて受光して下面反射画像を取得する第2画像取得部302と、上面反射画像と下面反射画像とに基づいてパターンの検査結果を取得する検査部とを備える。パターンの上面からの反射光に基づく上面反射画像と、パターンの下面からの反射光に基づく下面反射画像とを比較することにより、パターン要素の裾における太りや細りを容易に検査することが可能となる。
【選択図】図2
Description
9 透明基材
12 検査部
81 パターン
91 第1主面
92 第2主面
301 第1画像取得部
302 第2画像取得部
303 第3画像取得部
315 ダイクロイックミラー
325 バンドパスフィルタ
331 第1光源部
332 第2光源部
341 第1受光部
342 第2受光部
343 第3受光部
811 パターン要素
Claims (4)
- 透明基材上のパターンを検査するパターン検査装置であって、
板状またはフィルム状の透明基材においてパターンが形成された一方の主面に第1光源部からの光を照射し、前記パターンの上面からの前記光の反射光を第1受光部にて受光して上面反射画像を取得する第1画像取得部と、
前記透明基材の他方の主面に第2光源部からの光を照射し、前記一方の主面に接する前記パターンの下面からの前記光の反射光を第2受光部にて受光して下面反射画像を取得する第2画像取得部と、
前記上面反射画像と前記下面反射画像とに基づいて前記パターンの検査結果を取得する検査部と、
を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置であって、
前記第1光源部が、第1波長帯の光を出射し、
前記第2光源部が、前記第1波長帯と相違する第2波長帯の光を出射し、
前記第1画像取得部が、前記第2波長帯の光が前記第1受光部に入射することを防止する光学素子を有し、
前記第2画像取得部が、前記第1波長帯の光が前記第2受光部に入射することを防止する光学素子を有し、
前記上面反射画像と前記下面反射画像とが同時に取得されることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1または2に記載のパターン検査装置であって、
前記第1光源部または前記第2光源部から出射され、前記透明基材を透過した光を受光して透過画像を取得する第3画像取得部をさらに備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン検査装置であって、
前記パターンが金属にて形成されることを特徴とするパターン検査装置。
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