CN103995008A

CN103995008A - 图案检查装置及图案检查方法

Info

Publication number: CN103995008A
Application number: CN201410053709.8A
Authority: CN
Inventors: 藤原成章
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2013-02-15
Filing date: 2014-02-17
Publication date: 2014-08-20
Also published as: JP2014157085A; TW201447286A; KR20140103026A; TWI534424B; JP6085188B2; KR101577119B1

Abstract

本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置具有：第一图像获取部，将来自第一光源部的光照射至薄膜状的透明基材的形成有图案的第一主表面，使第一受光部接受该光被图案上表面反射的反射光，获取上表面反射图像；第二图像获取部，将来自第二光源部的光照射至透明基材的第二主表面，使第二受光部接受该光被图案下表面反射的反射光，获取下表面反射图像，该图案下表面是与第一主表面接触的面；检查部，基于上表面反射图像和下表面反射图像来获取图案的检查结果。通过对基于来自图案上表面的反射光而形成的上表面反射图像和基于来自图案下表面的反射光而形成的下表面反射图像进行比较，能够容易地检查出图案要素下端的变粗或变细情况。

Description

图案检查装置及图案检查方法

技术领域

本发明涉及对透明基材上的图案进行检查的图案检查装置及图案检查方法。

背景技术

在制造智能手机等中利用的触摸屏时，在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）薄膜等的透明薄膜上形成金属配线图案。作为引线的金属配线图案形成在触摸屏的外缘部上，与形成在作为触摸屏的画面的中央部上的透明电极图案相连接。近年来，为了增大触摸屏的画面，进行将外缘部上的金属配线图案的图案要素形成得更细小的研究。在该情况下，为了在与以往相同的条件下将相同大小的电流施加到金属配线图案上，通过将金属配线图案的厚度设置得比以往大（增大高宽比）来保持图案要素的截面面积。

此外，在日本特开昭62-119444号公报（文献1）、日本特开2006-72147号公报（文献2）及日本特开2006-105816号公报（文献3）中，公开了如下的检查基材上的图案的方法，即，通过获取反射图像和透过图像来检查基材上的图案，该反射图像基于照射至透明基材的一侧主表面上的光的反射光而形成，该透过图像基于照射至基材的另一侧主表面上的光的透过光而形成。

但是，金属配线图案是例如通过局部蚀刻金属薄膜来形成的。此时，根据蚀刻条件，有时图案要素的上表面变成粗糙的状态或者图案要素蚀刻得不够锐利（Sharp）。从而，对图案要素的上表面和图案要素的下端（下部）这两房进行检查的要求变高。在利用印刷电子技术（Printed Electronics）形成金属配线图案的情况下，由于图案要素的下端易变宽，因而对金属配线图案的下端检查的必要性进一步变高。

在该情况下，为了如上述那样获取微细的图案要素的图像，需要高分辨率（NA（数值孔径）高）的光学系统。另一方面，在高分辨率的光学系统中，焦点深度变浅，变得比图案要素的上表面和下端之间的距离还小。从而，为了检查图案要素的上表面和下端，需要通过变更对焦位置来获取两次图像。另外，还可以考虑应用文献1至文献3的方法来获取表示图案要素的上表面的反射图像和表示图案要素的下端的透过图像。然而，即使在任何情况下，因过度蚀刻等而使图案要素的下端变细时，都不能获取图案要素的下端状态。因此，要求能够容易检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况的新方法。

发明内容

本发明针对用于检查透明基材上的图案的图案检查装置，其目的在于，容易地检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况。

本发明的图案检查装置包括：第一图像获取部，其将来自第一光源部的光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；第二图像获取部，其将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；检查部，其基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。根据本发明，能够容易地检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况。

在本发明的一个优选的方式中，所述第一光源部出射第一波段的光；所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；所述第一图像获取部具有防止所述第二波段的光入射至所述第一受光部的光学元件；所述第二图像获取部具有防止所述第一波段的光入射至所述第二受光部的光学元件；并且，同时获取所述上表面反射图像和所述下表面反射图像。由此，能够快速地检查透明基材上的图案。

在本发明的另一优选的方式中，图案检查装置还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。由此，能够容易地检测出图案要素的上表面上的凹陷。

优选地，所述图案由金属形成。

本发明还针对利用图案检查装置来检查透明基材上的图案的图案检查方法。

上述的目的及其他的目的、特征、方式及优点，通过以下参照附图进行的对本发明的详细说明得以明确。

附图说明

图1是示出图案检查装置的结构的图。

图2是示出图像获取单元的内部结构的图。

图3是示出检查透明基材上的图案的动作流程的图。

图4是示出透明基材上的图案的剖视图。

图5是示出透明基材上的图案的剖视图。

图6是示出上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。

图7是示出上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。

图8是示出图案要素的俯视图。

图9是示出透过图像的图。

图10是示出上表面反射图像的图。

图11是示出另一实施方式的图案检查装置中的图像获取单元的结构的图。

附图标记的说明

1 图案检查装置

9 透明基材

12 检查部

81 图案

91 第一主表面

92 第二主表面

301 第一图像获取部

302 第二图像获取部

303 第三图像获取部

315 分色镜

325 带通滤光器

331 第一光源部

332 第二光源部

341 第一受光部

342 第二受光部

343 第三受光部

811 图案要素

具体实施方式

图1是示出本发明一实施方式的图案检查装置1的结构的图。图案检查装置1是对由金属形成在树脂制透明基材9（例如，PET薄膜）上的图案进行检查的装置。图案检查装置1具有：移动机构2，使作为连续薄膜的透明基材9的连续部位向图1中的Y方向（下面，称为“移动方向”）连续移动；图像获取单元3，获取移动途中的透明基材9的图像；控制部11，负责图案检查装置1的整体控制。控制部11具有基于所获取的图像来检查图案的检查部12。此外，检查部12也可与控制部11分开设置。

移动机构2具有沿图1中的X方向（与移动方向垂直的方向）延伸的长的两个滚子21，两个滚子21隔着图像获取单元3排列在移动方向上。在两个滚子21的负Y（-Y）侧设有供给部22，供给部22用于保持检查前的透明基材9的卷材并且从该卷材送出透明基材9的各部位。在两个滚子21的正Y（+Y）侧设有卷绕部23，卷绕部23将透明基材9的进行了检查的部位以卷曲状卷绕并保持。在下面的说明中，所简称的“透明基材9”是表示，向移动方向的移动途中的透明基材9的部位（即，两个滚子21之间的透明基材9的部位）。如图1所示，在配置在两个滚子21之间的图像获取单元3中，透明基材9垂直于图1中的Z方向（即，在X方向及Y方向上）扩展。

图2是示出图像获取单元3的内部结构的图。图像获取单元3具有：第一光源部331，配置在透明基材9的正Z（+Z）侧；第一光学系统31；第一受光部341；第三受光部343；第二光源部332，配置在透明基材9的负Z（-Z）侧；第二光学系统32；第二受光部342。详细地，第一光源部331是多个发光二极管（LED）排成一列的LED阵列，各LED出射蓝色波段的光。来自第一光源部331的光经由第一光学系统31的准直透镜（Collimator lens）311被准直（collimated）后，被半透半反境（Half mirror）312反射而入射到物镜313。通过了物镜313的光照射至作为透明基材9的一侧（（+Z）侧的）主表面的第一主表面91上。被来自第一光源部331的光照射的透明基材9上的区域，是与移动方向交叉的（优选地，与移动方向垂直）线状区域。在透明基材9的第一主表面91上形成有铜等金属的图案，来自物镜313的光中的照射在图案上的光被该图案反射，照射在其他区域的光则透过透明基材9（参照后述的图4及图5）。

被图案表面反射的光（主要是被图案的朝向正Z（+Z）方向的面所反射的光）入射至物镜313，通过了物镜313的光经由半透半反境312及成像透镜314，导入至分色镜315（Dichroic mirror）。分色镜315是反射蓝色波段的光的镜，因此来自透明基材9的蓝色光被分色镜315反射而导入至第一受光部341。第一受光部341是多个受光元件排成一列的线传感器（line sensor），多个受光元件的受光面，即线状的受光区域接受来自透明基材9上的线状区域的蓝色光。准确地，第一受光部341配置在与图案的上表面（即，图案的朝向正Z（+Z）方向的表面）光学共轭（conjugate）的位置上，由此，在第一受光部341获取基于来自图案上表面的反射光而形成的线状（line）图像（像素排成一列的图像）。线状图像依次输出至控制部11。

第二光源部332也是与第一光源部331同样的LED阵列，各LED出射红色波段的光。来自第二光源部332的光经由第二光学系统32的准直透镜321被准直后，经由半透半反境322入射至物镜323。通过了物镜323的光照射至作为透明基材9的另一侧（负Z（-Z）侧的）主表面的第二主表面92上。透明基材9上的被来自第二光源部332的光照射的区域是与移动方向交叉的（优选地，与移动方向垂直）线状区域，在Z方向上几乎与被来自第一光源部331的光照射的线状区域重叠。来自物镜323的光中的照射至与第一主表面91接触的（粘着的）图案下表面上的光，被该下表面反射，照射至其他区域的光透过透明基材9（参照后述的图4及图5）。

被图案的下表面反射的光入射至物镜323。通过了物镜323的光被半透半反境322反射，并经由成像透镜324及带通滤光器（band pass filter）325导入至第二受光部342。带通滤光器325使红色波段的光透过并遮蔽其他波段的光，因而从第一光源部331出射而透过透明基材9的光不入射至第二受光部342。第二受光部342是与第一受光部341同样的线传感器，多个受光元件的受光面，即线状的受光区域接受来自透明基材9上的线状区域的红色光。准确地，第二受光部342配置在与图案的下表面光学共轭的位置上，由此，在第二受光部342获取基于来自图案下表面的反射光而形成的线状图像。线状图像依次输出至控制部11。

另一方面，从第二光源部332出射而透过了透明基材9的红色光，与被透明基材9反射的蓝色光同样地，经由物镜313、半透半反境312及成像透镜314导入至分色镜315。来自透明基材9的红色光透过分色镜315导入至第三受光部343。如上所述，来自透明基材9的蓝色光被分色镜315反射，因而不入射至第三受光部343。第三受光部343是与第一受光部341及第二受光部342同样的线传感器，线状的受光区域接受透过了透明基材9上的线状区域的红色光。准确地，第三受光部343配置在与图案的上表面光学共轭的位置上，在第三受光部343获取基于红色的透过光而形成的线状图像。线状图像依次输出至控制部11。此外，图案的上表面及下表面不表示重力方向上的上下方向，根据图案检查装置1的图像获取单元3的配置，图案的上表面也可以面向铅直方向的下方或水平方向。

图3是示出图案检查装置1对透明基材9上的图案进行检查的动作的流程的图。在检查图案时，首先由移动机构2开始将透明基材9向移动方向连续移动（步骤S11）。另外，点亮第一光源部331及第二光源部332（连续点亮），蓝色光则照射在透明基材9上的图案的上表面上，红色光则照射在图案的下表面上。然后，与透明基材9的连续移动并行地，在第一受光部341、第二受光部342及第三受光部343分别依次获取线状图像。由此，在第一受光部341获取基于来自图案的上表面的反射光而形成的二维图像（下面，称为“上表面反射图像”）（步骤S12），在第二受光部342获取基于来自图案的下表面的反射光而形成的二维图像（下面，称为“下表面反射图像”）（步骤S13），在第三受光部343获取基于透过光而形成的二维图像（下面，称为“透过图像”）（步骤S14）。

在此，在图案检查装置1中，将用于获取上表面反射图像的结构称为第一图像获取部301时，第一图像获取部301包括第一光源部331、第一光学系统31及第一受光部341作为主要的结构要素。即，在第一图像获取部301中，使来自第一光源部331的光经由第一光学系统31照射至形成有图案的第一主表面91上，来自图案的上表面的该光的反射光经由第一光学系统31被第一受光部341接受，由此获取上表面反射图像。

另外，将用于获取下表面反射图像的结构称为第二图像获取部302时，第二图像获取部302包括第二光源部332、第二光学系统32及第二受光部342作为主要的结构要素。即，在第二图像获取部302中，使来自第二光源部332的光经由第二光学系统32照射至透明基材9的第二主表面92上，来自与第一主表面91接触的图案下表面的该光的反射光经由第二光学系统32被第二受光部342接受，由此获取下表面反射图像。

进而，将用于获取透过图像的结构称为第三图像获取部303时，第三图像获取部303包括第二光源部332、第二光学系统32的一部分、第一光学系统31的一部分及第三受光部343作为主要的结构要素。即，在第三图像获取部303中，使从第二光源部332出射的光经由第二光学系统32导入至透明基材9，透过了透明基材9的光经由第一光学系统31被第三受光部343接受，由此获取透过图像。

第一图像获取部301和第三图像获取部303之间共有第一光学系统31的一部分，第二图像获取部302和第三图像获取部303之间共有第二光源部332及第二光学系统32的一部分。实际上，在第一图像获取部301、第二图像获取部302及第三图像获取部303中，同时（并行地）获取上表面反射图像、下表面反射图像及透过图像。此外，也可以将用于使透明基材9相对于图像获取单元3移动的移动机构2作为第一图像获取部301、第二图像获取部302及第三图像获取部303的各自的结构要素。

图4及图5是示出透明基材9上的图案81的一个例子的剖视图。本实施方式中的图案81是由金属形成的配线图案。在用于制造触摸屏的透明基材9上，图案81形成在与该触摸屏的外缘部相对应的区域，并与由ITO等在相当于中央部的区域上形成的透明电极图案相连接。即，图案81是与透明电极图案相连接的不透明图案。图案81具有多个图案要素811。各图案要素811的宽度例如是10～30微米（μm）。在图4、图5以及后述的图6、图7的上段部分，用双点划线表示理想的图案要素811的外形。在图4的图案要素811中下端较细（根部收窄），在图5的图案要素811中下端较粗（外扩）。

图6及图7是示出上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。在图6及图7的上段部分分别示出图4及图5中的一部分图案要素811，在中间部分示出，在表示该图案要素811的上表面反射图像中沿X方向（与X方向相对应的方向）的像素的亮度值变化，在下段部分示出，在表示该图案要素811的下表面反射图像中沿X方向的像素的亮度值变化。

在检查部12中，基于上表面反射图像、下表面反射图像及透过图像来获取图案的检查结果（步骤S15）。详细地，作为其中一个检查处理，对上表面反射图像和下表面反射图像进行比较。在图案要素811的下端较细的图6的上段部分的例子中，在中间部分所示的上表面反射图像中，包含在与图案要素811的上表面（即，面向相反于透明基材9的那一侧的表面）相对应的范围内的像素的亮度值变高，与此相比，在下段部分所示的下表面反射图像中，包含在与图案要素811的下表面（即，与透明基材9接触的表面）相对应的范围内的像素的亮度值变高。从而，在检查部12中，通过获取上表面反射图像示出的图案要素811上表面的边缘位置与下表面反射图像示出的图案要素811下表面的边缘位置之间的差，来求出图案要素811的下端的变细量Wl。在本实施方式中，通过求出上表面反射图像与下表面反射图像之间的差分图像，来获取变细量Wl（在图7的例子中也同样）。

在图案要素811的下端较粗的图7的上段部分的例子中，与图6的例子同样地，相对于在中间部分所示的上表面反射图像中，包含在与图案要素811上表面相对应的范围内的像素的亮度值变高，在下段部分所示的下表面反射图像中，包含在与图案要素811下表面相对应的范围内的像素的亮度值变高。从而，在检查部12中，通过获取上表面反射图像示出的图案要素811上表面的边缘位置与下表面反射图像示出的图案要素811下表面的边缘位置之间的差分，来求出图案要素811的下端的变粗量W2。

将变细量Wl或变粗量W2与规定的阈值进行比较，在该变细量Wl或变粗量W2在该阈值以上的情况下，将图案要素811的下端超过容许范围地变细或变粗的信息，作为图案的检查结果显示在显示部上（省略图示）。实际上，还将上表面反射图像也显示在显示部上，操作人员通过参照上表面反射图像，来确认图案要素811的上表面的状态（上表面的粗糙情况等）。此外，也可以针对变细量和变粗量分别独立地设定上述阈值。

在检查部12的其他检查处理中，基于透过图像来检测图案要素811的上表面上是否有凹陷。在此，图案要素811的上表面上的凹陷还称为塌陷（Dish down），图案要素811的厚度在产生凹陷的部分变小。在数百纳米（nm）厚度的图案要素811中，当产生了凹陷的部分的图案要素811的厚度例如在70nm以下时，来自第二光源部332的红色光透过数百nm厚度的金属膜的透过率几乎为0，相对于此，透过70nm以下的厚度的金属膜的透过率则较高。

例如，在图8所示的图案要素811上由细线包围的区域812（下面，称为“塌陷区域812”）形成有凹陷的情况下，如图9所示，在透过图像上表示图案要素811的区域的大部分区域亮度值较低（暗），但在表示塌陷区域812的区域亮度值比周围更高（亮）。在图9中，通过改变平行斜线之间的间隔来表示亮度值的差异，平行斜线之间的间隔越窄则表示亮度值越低。

另外，来自第一光源部331的蓝色光透过数百nm的厚度的金属膜（例如，Cu、Ag等）以及70nm以下的厚度的金属膜的透过率均几乎为0，但反射光的方向因塌陷而发生变化，因而塌陷区域变暗一些。如图10所示，在上表面反射图像中，表示图案要素811上表面的区域的几乎全部区域，亮度值变高（亮），但塌陷区域变得暗一些。从而，在检查部12中，通过以规定方法合成透过图像和上表面反射图像，来获取表示塌陷区域812的图像，即，塌陷区域812检测变得容易。在检测出规定面积以上的塌陷区域812的情况下，将图案要素811的上表面形成有凹陷的信息显示在显示部上作为图案的检查结果。此外，也可以将塌陷区域812的图像显示在显示部上。

如上所述，基于上表面反射图像、下表面反射图像及透过图像来获取图案的检查结果。每当透明基材9移动规定距离时，反复执行步骤S12～S15的处理。当对透明基材9整体的检查结束时，第一光源部331及第二光源部332熄灭，透明基材9停止移动，检查结束（步骤S16）。此外，在检查部12中，也可以将变细量Wl、变粗量W2或塌陷区域812的面积等作为图案的检查结果。换句话说，也可以将图案检查装置1作为对图案的变粗量或变细量、塌陷区域812的面积等进行测定的测定装置来使用。

如上面说明的那样，在图案检查装置1中，针对（仅）在一侧主表面上形成有图案81的透明基材9，基于来自图案81上表面的反射光利用第一图像获取部301来获取上表面反射图像，基于来自图案81下表面的反射光利用第二图像获取部302来获取下表面反射图像。而且，在检查部12中，基于上表面反射图像和下表面反射图像来获取图案81的检查结果。由此，能够容易地检查出图案要素811下端的变粗情况及变细情况。

另外，第一图像获取部301具有分色镜315，分色镜315防止来自第二光源部332的光入射至第一受光部341，第二图像获取部302具有带通滤光器325，带通滤光器325防止来自第一光源部331的光入射至第二受光部342。由此，能够容易地同时获取上表面反射图像和下表面反射图像，能够快速地检查透明基材9上的图案81。

进而，在图案检查装置1中，还设有第三图像获取部303，该第三图像获取部303接受从第二光源部332出射后透过了透明基材9的光，来获取透过图像。由此，能够容易地检测出图案要素811上表面上的凹陷。

图11是示出了本发明的另一实施方式的图案检查装置1的图像获取单元3a的结构的图。在图11的图像获取单元3a中，省略了图2的图像获取单元3中的分色镜315、第三受光部343及带通滤光器325，而第一受光部341配置在第三受光部343的位置上。其他结构与图2的图像获取单元3同样，对相同结构标注相同附图标记。

在图像获取单元3a中，在从第一光源部331向第一主表面91照射的光中，来自图案81的反射光经由物镜313、半透半反境312及成像透镜314导入至第一受光部341。另外，来自第一光源部331的光中透过了透明基材9的透过光，经由物镜323、半透半反境322及成像透镜324导入至第二受光部342。另一方面，在从第二光源部332向第二主表面92上照射的光中，来自图案81的下表面的反射光经由物镜323、半透半反境322及成像透镜324导入至第二受光部342。另外，来自第二光源部332的光中透过了透明基材9的透过光，经由物镜313、半透半反境312及成像透镜314导入至第一受光部341。这样，第一受光部341能够接受来自第一光源部331的光中被图案81反射的反射光和来自第二光源部332的光中透过了透明基材9的透过光。另外，第二受光部342能够接受来自第二光源部332的光中被图案81反射的反射光和来自第一光源部331的光中透过了透明基材9的透过光。

在具有图像获取单元3a的图案检查装置1中，一边利用移动机构2使透明基材9在移动方向连续移动，一边利用控制部11（参照图1）进行控制，由此来交替反复点亮第一光源部331和第二光源部332（即，反复进行点亮第一光源部331并关闭第二光源部332的处理和关闭第一光源部331并点亮第二光源部332的处理）。由此，第一受光部341交替获取基于来自图案81上表面的反射光而形成的上表面反射图像的线状图像和基于来自透明基材9的透过光而形成的第一透过图像的线状图像。另外，第二受光部342交替获取基于来自图案81下表面的反射光而形成的下表面反射图像的线状图像和基于来自透明基材9的透过光而形成的第二透过图像的线状图像。而且，检查部12与上述处理例同样地，基于上表面反射图像、下表面反射图像、第一透过图像及第二透过图像来输出图案的检查结果。

此外，在图像获取单元3a中，获取上表面反射图像的第一图像获取部301和获取第一透过图像的第三图像获取部303之间，除了共有第一光学系统31的一部分之外，还共有第一受光部341。第二受光部342不用一定获取第二透过图像。

如上面说明的那样，在具有图像获取单元3a的图案检查装置1中，一边利用移动机构2使透明基材9连续移动，一边交替点亮第一光源部331和第二光源部332，由此利用一个第一受光部341实现基于反射光而形成的上表面反射图像和基于透过光而形成的透过图像的获取。由此，能够减少图案检查装置1的部件数目。此外，在图11的图案检查装置1中，也可以由第一光源部331出射红色波段的光。

能够对上述图案检查装置1实现各种变形。在上述实施方式中，第二光源部332出射红色波段的光，但也可以出射包含在红色至红以外波长范围内的任意波段（例如，近红外线波段）的光。由此，能够容易地检测出图案要素811上表面上的凹陷。另外，图2的第三受光部343也可以配置在透明基材9的负Z（-Z）侧，并且第一光源部331也可以出射包含在上述波长范围内的任意波段的光。此时，由第三受光部343接受从第一光源部331出射而透过了透明基材9的光，从而获取透过图像。根据图案检查装置1的检查对象的图案类型，第一光源部331及第二光源部332也可以出射其他波段的光。第一光源部331及第二光源部332也可以具有LED以外的发光元件或灯作为光源。

另外，根据图像获取单元3的设计，也可以将用于防止来自第二光源部332的光入射至第一受光部341的带通滤光器设置在第一光学系统31上，并且也可以将用于防止来自第一光源部331的光入射至第二受光部342的分色镜设置在第二光学系统32上。另外，也可以使用仅使特定波段的光透过或遮蔽特定波段的光的其他类型的光学元件。在图案检查装置1中为了同时获取上表面反射图像和下表面反射图像，重要的是；当第一光源部331出射第一波段的光，第二光源部332出射与第一波段不同的第二波段的光时，使第一图像获取部301具有用于防止第二波段的光入射至第一受光部341的光学元件，以及使第二图像获取部302具有用于防止第一波段的光入射至第二受光部342的光学元件。

第一受光部341、第二受光部342及第三受光部343也可以是受光元件二维排列的区域传感器。此时，也可以通过利用移动机构使透明基材9断续地向移动方向移动（步进移动），来获取上表面反射图像、下表面反射图像及透过图像。另外，在图11的图案检查装置1中，也可以一边使透明基材9断续地移动一边在透明基材9的各停止位置上交替点亮第一光源部331及第二光源部332，来高精度地获取上表面反射图像、下表面反射图像、第一透过图像及第二透过图像。

也可以与第一光学系统31及第二光学系统32的结构相配合地，适当变更第一光源部331及第二光源部332的配置和第一受光部341、第二受光部342及第三受光部343的配置。

在图案检查装置1中，也可以设置使图像获取单元3、3a相对于透明基材9向移动方向移动的移动机构。另外，也可以将透明基材9放置在透明的载物台（Stage）上，并通过使该载物台相对于图像获取单元向移动方向相对移动，来获取上表面反射图像、下表面反射图像及透过图像。

作为图案检查装置1的检查对象物，除了是形成在薄膜状的透明基材9上的图案以外，还可以是形成在玻璃等板状的透明基材上的图案。透明基材也可以用在触摸屏以外的用途。另外，透明基材上的图案只要不透明，例如也可以是由光刻胶（Photoresist）形成的图案等。

只要不相互矛盾，能够适当组合上述实施方式及各变形例的结构。

通过详细描述说明了本发明，但上述说明仅是例示，并不是限定。从而，只要不脱离本发明的范围，能够实现多种变形及方式。

Claims

1.一种图案检查装置，用于检查透明基材上的图案，其特征在于，包括：

第一图像获取部，其将来自第一光源部的光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；

第二图像获取部，其将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；

检查部，其基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。

2.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，

所述第一光源部出射第一波段的光；

所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；

所述第一图像获取部具有防止所述第二波段的光入射至所述第一受光部的光学元件；

所述第二图像获取部具有防止所述第一波段的光入射至所述第二受光部的光学元件；

并且，同时获取所述上表面反射图像和所述下表面反射图像。

3.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

4.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，所述图案由金属形成。

6.一种图案检查方法，利用图案检查装置来检查透明基材上的图案，其特征在于，包括以下工序：

工序a），将来自第一光源部的光照射至在板状或薄膜状的透明基材上形成有图案的一侧主表面上，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；

工序b），将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；

工序c），基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。

7.如权利要求6所述的图案检查方法，其特征在于，

所述第一光源部出射第一波段的光；

所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；

8.如权利要求6所述的图案检查方法，其特征在于，还具有透过图像获取工序，在该透过图像获取工序中，第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

9.如权利要求7所述的图案检查方法，其特征在于，还具有透过图像获取工序，在该透过图像获取工序中，第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

10.如权利要求6至9中任一项所述的图案检查方法，其特征在于，所述图案由金属形成。