JPH07103904A - 透光性物体内部の欠点検出方法 - Google Patents
透光性物体内部の欠点検出方法Info
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- JPH07103904A JPH07103904A JP24827593A JP24827593A JPH07103904A JP H07103904 A JPH07103904 A JP H07103904A JP 24827593 A JP24827593 A JP 24827593A JP 24827593 A JP24827593 A JP 24827593A JP H07103904 A JPH07103904 A JP H07103904A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】表裏面が散乱面である透光性物体内部の欠点検
出。 【構成】表裏面が散乱面４である透光性物体２内部の欠
点検出方法であって、光ビーム光源６、受光素子および
光学系１等を用いて、該透光性物体２の端面３を通して
前記欠点に検出の焦点を合わせる。
出。 【構成】表裏面が散乱面４である透光性物体２内部の欠
点検出方法であって、光ビーム光源６、受光素子および
光学系１等を用いて、該透光性物体２の端面３を通して
前記欠点に検出の焦点を合わせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透光性物体内部の欠点
検出方法、特に表裏面が散乱面である透光性物体内部の
欠点の検出方法に関するものである。
検出方法、特に表裏面が散乱面である透光性物体内部の
欠点の検出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来表裏面が散乱面である透光性物体内
部の欠点の検出をする場合、表面の散乱による効果を除
去するために、検査対象である透光性物体を該物体と屈
折率の近い液体につけたり、液体を塗ったり、あるいは
可変形の物体を押しつけたりする方法が採用されてい
た。
部の欠点の検出をする場合、表面の散乱による効果を除
去するために、検査対象である透光性物体を該物体と屈
折率の近い液体につけたり、液体を塗ったり、あるいは
可変形の物体を押しつけたりする方法が採用されてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこのような方法
では、等屈折率の液を塗る工程等において透光性物体と
の間に泡が発生することがあり、それが誤検出の原因と
なるという問題がある。さらに、等屈折率の液体を塗っ
たり、乾かしたりの余計な工程が入る上、等屈折率の液
体との接触により検査対象である透光性物体の特性が変
わってしまうおそれがあるなどの問題がある。
では、等屈折率の液を塗る工程等において透光性物体と
の間に泡が発生することがあり、それが誤検出の原因と
なるという問題がある。さらに、等屈折率の液体を塗っ
たり、乾かしたりの余計な工程が入る上、等屈折率の液
体との接触により検査対象である透光性物体の特性が変
わってしまうおそれがあるなどの問題がある。
【０００４】また、欠点よりの散乱光のうち透光性物体
内部を反射等により伝播してくる光量を受光素子等を用
いて端面より検出する方法（特開昭64-57154号, 特開平
5-79994 号）を表裏面が散乱面である透光性物体内部の
欠点の検出に利用する場合、光ビームが直接当たった部
分、および欠点部分から受光素子までのみちすじに相当
する部分の散乱面である表面の面性状により検出光量が
大きくばらつき、特に表面の散乱面のばらつきが大きい
場合の微細な欠点の検出は困難であるという問題があ
る。また、端面が散乱面であるような場合の検出ははき
わめて難しい。
内部を反射等により伝播してくる光量を受光素子等を用
いて端面より検出する方法（特開昭64-57154号, 特開平
5-79994 号）を表裏面が散乱面である透光性物体内部の
欠点の検出に利用する場合、光ビームが直接当たった部
分、および欠点部分から受光素子までのみちすじに相当
する部分の散乱面である表面の面性状により検出光量が
大きくばらつき、特に表面の散乱面のばらつきが大きい
場合の微細な欠点の検出は困難であるという問題があ
る。また、端面が散乱面であるような場合の検出ははき
わめて難しい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決すべくなされたものであり、表裏面が散乱面である透
光性物体内部の欠点検出方法であって、光ビーム光源、
受光素子および光学系等を用いて、該透光性物体の端面
を通して前記欠点に検出の焦点を合わせることを特徴と
する透光性物体内部の欠点検出方法を提供するものであ
る。
決すべくなされたものであり、表裏面が散乱面である透
光性物体内部の欠点検出方法であって、光ビーム光源、
受光素子および光学系等を用いて、該透光性物体の端面
を通して前記欠点に検出の焦点を合わせることを特徴と
する透光性物体内部の欠点検出方法を提供するものであ
る。
【０００６】
【作用】本発明の実施例においては、表裏面が散乱面で
ある透光性物体内部の欠点の検出をする際、散乱面ある
いは他の端面より光ビームを入射し、欠点における反
射、散乱による輝点を受光素子、光学系等を用いて、端
面を通して輝点に検出の焦点を合わせて検出を行ってい
るので、等屈折率液などを使う必要なく非接触で確実で
簡易な透光性物体内部の欠点検査が可能となる。端面が
散乱面であっても、一般に表面あるいは裏面の散乱面よ
りも端面の散乱面の方が欠点から遠いため、結像系のア
ウトフォーカス効果により、散乱面の影響を小さく抑え
ることができる。
ある透光性物体内部の欠点の検出をする際、散乱面ある
いは他の端面より光ビームを入射し、欠点における反
射、散乱による輝点を受光素子、光学系等を用いて、端
面を通して輝点に検出の焦点を合わせて検出を行ってい
るので、等屈折率液などを使う必要なく非接触で確実で
簡易な透光性物体内部の欠点検査が可能となる。端面が
散乱面であっても、一般に表面あるいは裏面の散乱面よ
りも端面の散乱面の方が欠点から遠いため、結像系のア
ウトフォーカス効果により、散乱面の影響を小さく抑え
ることができる。
【０００７】また、この方法および装置は表裏面が散乱
面である場合のみに限定されるわけではなく、例えば表
裏面が汚れや凹凸等を伴い検出の障害となるような場合
についても有用である。検出の位置情報より、表面の欠
点、汚れ等と透光性物体内部の欠点を容易に確実に識別
することが可能となる。
面である場合のみに限定されるわけではなく、例えば表
裏面が汚れや凹凸等を伴い検出の障害となるような場合
についても有用である。検出の位置情報より、表面の欠
点、汚れ等と透光性物体内部の欠点を容易に確実に識別
することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明を実施例を用いて説明する。図
１は本発明の実施例の斜視図であり、１は例えばカメラ
のような受光素子および光学系であり、場合によっては
複数台となる。２は検査対象である透光性物体であり、
仮に３を検出に用いる端面面、４を散乱面とする。この
実施例では６のレーザー光源よりのレーザー光７を５の
ポリゴンミラーあるいはガルバノミラーのような走査装
置５を用いて、照射場所を線状に限定した光ビームを作
成したが、これはファイバ、マスク光源などどのような
手段を用いて実施してもよい。８は検出器より得られた
信号を処理、判定する装置である。また、必ずしもレー
ザー光を走査するなどして線状に照射する必要はなく、
たとえば点状に照射し検査対象である投光性物体を縦横
に走査することによっても同様の効果が得られる。
１は本発明の実施例の斜視図であり、１は例えばカメラ
のような受光素子および光学系であり、場合によっては
複数台となる。２は検査対象である透光性物体であり、
仮に３を検出に用いる端面面、４を散乱面とする。この
実施例では６のレーザー光源よりのレーザー光７を５の
ポリゴンミラーあるいはガルバノミラーのような走査装
置５を用いて、照射場所を線状に限定した光ビームを作
成したが、これはファイバ、マスク光源などどのような
手段を用いて実施してもよい。８は検出器より得られた
信号を処理、判定する装置である。また、必ずしもレー
ザー光を走査するなどして線状に照射する必要はなく、
たとえば点状に照射し検査対象である投光性物体を縦横
に走査することによっても同様の効果が得られる。
【０００９】図２は図１の実施例のある断面における検
出の概念図である。散乱面４に照射されたレーザー光は
散乱面上の線９において散乱光源となる。線９を含む端
面面３と平行な面にカメラ１の焦点は合わされており、
その面上に例えば気泡などの欠点１０があれば反射、散
乱されて輝点となり検出される。検査対象を走査するこ
とにより全面の検査が可能である。
出の概念図である。散乱面４に照射されたレーザー光は
散乱面上の線９において散乱光源となる。線９を含む端
面面３と平行な面にカメラ１の焦点は合わされており、
その面上に例えば気泡などの欠点１０があれば反射、散
乱されて輝点となり検出される。検査対象を走査するこ
とにより全面の検査が可能である。
【００１０】この実施例においては、検査対象の走査位
置つまり線状に限定したレーザー光が当っている断面に
欠点があると特定でき、さらにカメラ内の輝点の検出さ
れる位置より、欠点がガラス内のどこにあるかを三次元
的に知ることができる。
置つまり線状に限定したレーザー光が当っている断面に
欠点があると特定でき、さらにカメラ内の輝点の検出さ
れる位置より、欠点がガラス内のどこにあるかを三次元
的に知ることができる。
【００１１】この原理において端面が鏡面となっていれ
ばもっともよいが、たとえ散乱面であっても、欠点であ
る輝点と散乱面との距離が大きいため、散乱面がアウト
フォーカスの位置となり検出への影響は小さい。実施例
では、１５０ｍｍ角、厚さ３ｍｍの表裏面および端面が
散乱面のガラス内の直径０．２ｍｍ程度の気泡につい
て、２次元ＣＣＤカメラを用いて、ｆ７０、Ｆ１１の光
学系でＳ／Ｎが３以上で検出できた。
ばもっともよいが、たとえ散乱面であっても、欠点であ
る輝点と散乱面との距離が大きいため、散乱面がアウト
フォーカスの位置となり検出への影響は小さい。実施例
では、１５０ｍｍ角、厚さ３ｍｍの表裏面および端面が
散乱面のガラス内の直径０．２ｍｍ程度の気泡につい
て、２次元ＣＣＤカメラを用いて、ｆ７０、Ｆ１１の光
学系でＳ／Ｎが３以上で検出できた。
【００１２】また、図３の別の実施例のようにレーザー
光のような光ビーム７を走査することなく、他の端面面
から入射しても同様の効果が得られる。図４に示すさら
に別の実施例のように光ビームを検出方向と平行に線状
に走査し、それと同期させて焦点あわせをし、検出され
たタイミングにより欠点の位置を求めても同じ効果を得
ることができる。
光のような光ビーム７を走査することなく、他の端面面
から入射しても同様の効果が得られる。図４に示すさら
に別の実施例のように光ビームを検出方向と平行に線状
に走査し、それと同期させて焦点あわせをし、検出され
たタイミングにより欠点の位置を求めても同じ効果を得
ることができる。
【００１３】本発明は表裏面が散乱面である板状の透光
性物体内部の欠点検出に用いて好適であるが、板状に限
定されるものではない。
性物体内部の欠点検出に用いて好適であるが、板状に限
定されるものではない。
【００１４】
【発明の効果】本発明の実施により、等屈折率液を用い
ることなく、簡易に安定的に表裏面が散乱面である透光
性物体内部の欠点の検出、検査が可能となる。それによ
り、検査の信頼性の向上、工程の簡略化を達成すること
ができる。
ることなく、簡易に安定的に表裏面が散乱面である透光
性物体内部の欠点の検出、検査が可能となる。それによ
り、検査の信頼性の向上、工程の簡略化を達成すること
ができる。
【図１】本発明の実施例の斜視図。
【図２】図１に示す実施例の断面図。
【図３】本発明の別の実施例の斜視図。
【図４】本発明の別の実施例の斜視図。
１：例えばカメラのような光学系および受光素子 ２：検査対象である透光性物体 ３：検出に用いる端面 ４：散乱面 ５：ポリゴンミラーあるいはガルバノミラーのような走
査手段 ６：レーザー光源等の光源 ７：レーザー光などのビーム光 ８：検出器より得られた信号を処理、判定する手段 ９：レーザー光が散乱面に照射された軌跡 １０：透光性物体内部の欠点
査手段 ６：レーザー光源等の光源 ７：レーザー光などのビーム光 ８：検出器より得られた信号を処理、判定する手段 ９：レーザー光が散乱面に照射された軌跡 １０：透光性物体内部の欠点
Claims (4)
- 【請求項１】表裏面が散乱面である透光性物体内部の欠
点検出方法であって、光ビーム光源、受光素子および光
学系等を用いて、該透光性物体の端面を通して前記欠点
に検出の焦点を合わせることを特徴とする透光性物体内
部の欠点検出方法。 - 【請求項２】光ビームを透光性物体表面の散乱面より入
射して透光性物体表面に散乱光源をつくり、その光源よ
りの光の反射、散乱により欠点を輝点として検出するこ
とを特徴とする請求項１記載の透光性物体内部の欠点検
出方法。 - 【請求項３】光ビームを検出光を透過させない端面より
入射し、その光の反射、散乱により欠点を輝点として検
出することを特徴とする請求項１記載の透光性物体内部
の欠点検出方法。 - 【請求項４】光ビームを透光性物体表面の限定した場所
に照射することにより、欠点の位置情報を得ることを特
徴とする請求項１記載の透光性物体内部の欠点検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24827593A JP3369268B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 透光性物体内部の欠点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24827593A JP3369268B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 透光性物体内部の欠点検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103904A true JPH07103904A (ja) | 1995-04-21 |
| JP3369268B2 JP3369268B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=17175699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24827593A Expired - Fee Related JP3369268B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 透光性物体内部の欠点検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3369268B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1025122C2 (nl) * | 2002-12-27 | 2008-02-05 | Infineon Technologies Ag | Inrichting en werkwijze voor het bepalen van de fysische eigenschappen van een onbewerkt masker. |
| JP2017032523A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 株式会社オハラ | 光学ガラス母材欠陥検査装置及び光学ガラス母材欠陥検査方法 |
-
1993
- 1993-10-04 JP JP24827593A patent/JP3369268B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1025122C2 (nl) * | 2002-12-27 | 2008-02-05 | Infineon Technologies Ag | Inrichting en werkwijze voor het bepalen van de fysische eigenschappen van een onbewerkt masker. |
| JP2017032523A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 株式会社オハラ | 光学ガラス母材欠陥検査装置及び光学ガラス母材欠陥検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3369268B2 (ja) | 2003-01-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081115 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |