KR20210107094A

KR20210107094A - 로봇의 위치 보정 방법 및 로봇

Info

Publication number: KR20210107094A
Application number: KR1020217023537A
Authority: KR
Inventors: 마사야 요시다; 하지메 나카하라; 타카오 야마구치; 다니엘 정
Original assignee: 카와사키 주코교 카부시키 카이샤; 카와사키 로보틱스 (유에스에이), 인코포레이티드
Priority date: 2018-12-27
Filing date: 2019-12-19
Publication date: 2021-08-31
Also published as: TWI721730B; TW202030064A; JP7064624B2; US20200206933A1; WO2020137800A1; US11059178B2; CN113226660A; JPWO2020137800A1; KR102560896B1; CN113226660B

Abstract

로봇의 위치 보정 방법이, 핸드가 미리 정해진 제1 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과, 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제1 위치 검출 스텝과, 핸드가 미리 정해진 제2 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과, 상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제2 위치 검출 스텝과, 상기 제1 초기 자세에서 취득된 타겟의 위치와, 상기 제2 초기 자세에서 취득된 타겟의 위치의 차이에 기초하여, 상기 제2 축 및 상기 제3 축의 회전각 보정량을 구하는 보정량 연산 스텝을 구비한다.

Description

로봇의 위치 보정 방법 및 로봇

본 발명은 로봇의 위치 보정 방법 및 로봇에 관한 것이다. 위치 보정에는, 제로잉(zeroing) 보정, 또는, 교시 위치 보정이 포함된다.

특허문헌 1에 개시된 바와 같이, 기판 반송용의 로봇에는, 핸드의 선단에 장착된 센서를 구비한 것이 있다. 이러한 로봇에서, 교시 정밀도의 향상을 위해서, 임의로 정해진 선회축의 둘레로 핸드를 요동시킴으로써, 센서의 실제 위치와 로봇에 의해 인식되는 위치의 어긋남이 수정된다.

미국 특허 제9796086호 명세서

이러한 기술에 의하면, 어느 단일의 선회축에서 발생하는 어긋남을 수정할 수 있다. 한편, 일반적으로 로봇은 복수의 회전축을 구비한다. 따라서, 어긋남을 수정하는 기술은 개선의 여지가 있을 가능성이 있다.

따라서 본 발명은 로봇의 위치 제어 정밀도를 개선하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 예에 따른 로봇의 위치 보정 방법은, 상기 로봇이, 기대(基台)와, 2 개 이상의 링크를 연결하여 구성되고, 상기 기대에 연결되는 암과, 상기 암에 연결되고, 두 갈래로 나누어진 제1 선단부 및 제2 선단부를 구비하는 핸드와, 검출광이 상기 제1 선단부와 상기 제2 선단부의 사이에서 전파하도록 구성되고, 타겟이 당해 검출광을 차단하는지 여부를 검출하는 센서와, 상기 암 및 상기 핸드의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 복수의 회전축이 복수의 연결부 각각에서 서로 평행하게 향하도록 설정되고, 상기 복수의 연결부에는, 상기 기대와 상기 암의 연결부, 상기 암을 이루는 링크 중 인접한 두 링크 연결부, 및 상기 암과 상기 핸드의 연결부가 포함되고, 상기 회전축 중 3 개에 대해서, 상기 기대에 가까운 것부터 순서대로 제1 축, 제2 축 및 제3 축으로 한 경우에, 상기 방법은, 상기 핸드가 미리 정해진 제1 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과, 상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제1 위치 검출 스텝과, 상기 핸드가 상기 제1 초기 자세와는 다른 미리 정해진 제2 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과, 상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제2 위치 검출 스텝과, 상기 제1 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각과, 상기 제2 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각의 차이에 기초하여, 상기 제2 축 및 상기 제3 축의 회전각 보정량을 구하는 보정량 연산 스텝을 구비한다.

상기 구성에 의하면, 제3 축뿐만 아니라 제2 축의 위치를 수정할 수 있어서, 로봇의 위치 제어 정밀도가 개선된다.

[도 1] 도 1은 실시예에 따른 로봇을 도시하는 개념도이다.
[도 2] 도 2는 실시예에 따른 핸드를 도시하는 평면도이다.
[도 3] 도 3은 실시예에 따른 로봇의 제어 시스템을 도시하는 블록도이다.
[도 4] 도 4는 실시예에 따른 로봇의 위치 보정 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
[도 5] 도 5A는 이상 상태에서 핸드와 타겟의 위치 관계를 도시하는 도면, 도 5B는 실제로 일어날 수 있는 핸드와 타겟의 위치 관계를 도시하는 도면, 도 5C는 제2 축의 보정량을 설명하는 도면, 도 5D는 제3 축의 보정량을 설명하는 도면이다.
[도 6] 도 6은 제2 실시예에 따른 위치 보정 방법을 도시하는 도면이다.

이하에서, 도면을 참조하여 실시예를 설명한다. 전체 도면을 통해 동일하거나 대응하는 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복된 설명을 생략한다.

도 1은 로봇(1)을 도시한다. 로봇(1)은, 반도체 소자를 제조하는 반도체 처리 설비에서, 기판(S)을 반송하기 위해 이용될 수 있다. 기판(S)은 웨이퍼로 불리는 반도체 소자의 재료이고, 원반 형상으로 형성되어 있다. 반도체 처리 설비에는, 열처리, 불순물 도입 처리, 박막 형성 처리, 리소그래피 처리, 세정 처리 또는 평탄화 처리와 같은 다양한 처리를 기판(S)에 실시하기 위해서, 복수의 처리 장치가 설치되어 있다.

로봇(1)은, 예를 들어, 카세트(2)에 수납된 기판(S)을 처리 장치에 반송한다. 카세트(2)는, 예를 들어 정면 개구식 일체형 포드(FOUP)이다. 여기서, 단일의 카세트(2)가 도시되어 있지만, 반도체 처리 설비에는, 복수(예를 들어, 2 또는 3)의 카세트(2)를 집약적으로 구비한 EFEM(Equipment Front End Module)이 설치되어 있어도 좋다. 이 경우, 바람직하게는, 로봇(1)은 주행 장치 없이 각각의 카세트(2) 내에 액세스 가능하게 구성된다.

로봇(1)은 기대(10), 암(12), 핸드(14), 센서(17) 및 제어 장치(20)를 구비하고 있다.

기대(10)는 반도체 처리 설비의 적소(예를 들어, 수평한 바닥면)에 고정된다(또는 주행 장치를 통해 설비 바닥명에 지지되어도 좋다). 이하에서는, 기대(10)가 수평한 바닥면에 적정하게 설치되어 있는 것으로 하여, 방향을 설명한다.

암(12)은 승강축(11)을 통해 기대(10)에 연결되어 있다. 승강축(11)은 기대(10)에 대해 상하 방향(Z 방향)으로 동작할 수 있고, 그로 인하여 암(12) 및 핸드(14)를 상하 방향으로 이동시킨다. 암(12)은 2 이상의 링크를 연결함으로써 구성되어 있다. 핸드(14)는 암(12)에 연결된다. 로봇(1) 또는 암(12)은 이른바 수평 다관절형이다. 로봇(1)에는, 복수의 회전축(A1, A2, ...)이 복수의 연결부 각각에서 서로 평행하게 향하도록 설정되어 있다. 모든 회전축(A1, A2, ...)은 상하 방향으로 향한다.

「복수의 연결부」에는, 기대(10)와 암(12)의 연결부, 암(12)을 구성하는 링크 중 인접한 두 링크끼리의 연결부, 및 암(12)과 핸드(14)의 연결부가 포함된다. 로봇(1)에서 회전축의 개수는 기대(10)로부터 핸드(14)까지 설치된 연결부의 개수와 대응한다. 예를 들어, 본 실시예에서는, 암(12)이 제1 링크(13a) 및 제2 링크(13b)의 두 링크를 구비하고, 로봇(1)에 3 개의 연결부 및 3 개의 회전축이 설정되어 있다(링크 개수가 3 이상이면, 로봇(1)에 4 이상의 회전축이 설정된다).

제1 링크(13a)의 기단부는 기대(10)에 회전축(A1) 둘레로 회전 가능하게 연결되어 있다. 제2 링크(13b)의 기단부는 제1 링크(13a)의 선단부에 회전축(A2) 둘레로 회전 가능하게 연결되어 있다. 핸드(14)는 제2 링크(13b)의 선단부에 회전축(A3) 둘레로 회전 가능하게 연결되어 있다. 링크(13a, 13b) 및 핸드(14)는 수평면(XY 평면) 내에서 요동할 수 있다. 핸드(14)는 암(12)의 자세(각각의 회전축(A1 ~ A3) 둘레의 회전각)에 따라 수평면 내에서 임의의 궤적(직선 및 곡선을 포함)을 따라서 이동할 수 있다.

3 개의 회전축(A1 ~ A3)을 기대(10)에 가까운 것부터 순서대로. 제1 축(A1), 제2 축(A2) 및 제3 축(A3)이라고 부른다. 제1 축(A1) 둘레의 회전각을 제1 회전각(φ1), 제2 축(A2) 둘레의 회전각을 제2 회전각(φ2), 제3 축(A3) 둘레의 회전각을 제3 회전각(φ3)으로 부른다. 중앙의 제2 축(A2)이 설정되어 있는 연결부(2 링크식의 본 실시예에서는, 제1 링크(13a)와 제2 링크(13b)의 연결부)에 대해서, 설명의 편의상, 「팔꿈치 관절(Je)」이라고 부르는 경우가 있다.

도 2는 핸드(14)를 도시한다. 핸드(14)는 박판 형상이다. 핸드(14)는 암(12)의 선단부로부터 수평으로 연장되어 있다. 핸드(14)는 원반 형상의 기판(S)을 그의 상면에서 유지할 수 있고, 그에 따라서 기판(S)은 대략 수평 자세로 유지된다. 유지를 위한 구성은 특별히 한정되지 않고, 에지 그립식 또는 흡인식을 채용할 수 있다. 핸드(14)가 기판(S)을 유지하는 상태에서 암(12) 및 핸드(14)가 승강 및/또는 요동함으로써, 로봇(1)은 X, Y 및/또는 Z 방향으로 임의의 궤적을 따라 기판(S)을 수평 자세 유지하면서 반송할 수 있다.

핸드(14)는 평면에서 볼 때 U 형상으로 형성되어 있다. 핸드(14)는 단일의 기단부(15), 그리고 기단부(15)로부터 두 갈래 형상으로 나뉘어 연장되는 제1 선단부(16a) 및 제2 선단부(16b)를 구비한다. 핸드(14)는 평면에서 볼 때 중심선(C)에 대해 좌우 대칭이다. 회전축(A3)이 중심선(C) 상에 위치하게 하여, 핸드(14)의 기단부(15)는 암(12)에 연결되어 있다.

센서(17)는 핸드(14)의 제1 선단부(16a)와 제2 선단부(16b) 사이의 공간을 전파하는 검출광(L)을 형성하는 광학 센서이다. 검출광(L)은 빔 형태이고, 공간 내에서 직선적으로 현성된다. 센서(17)는, 물체가 검출광(L)을 차단하는지 여부, 다시 말해서, 상기 공간 내에 물체가 존재하는지 여부를 검출한다. 본 실시예에서는, 센서(17)를 투과형으로 구성하고 있지만, 반사형으로 구성하여도 좋다. 센서(17)는 발광 소자(18a) 및 수광 소자(18b)를 구비한다. 발광 소자(18a)는 제어 장치(20)에 의해 구동되어 검출광(L)을 발생시키고, 검출광(L)은 광파이버(19a)를 통해 제1 선단부(16a)로 인도되어 제1 선단부(16a)로부터 상기 공간에 출사된다. 상기 공간에 물체가 없으면, 검출광(L)은 상기 공간 내를 직선적으로 진행하여 제2 선단부(16b)로 입사하여 광파이버(19b)를 통해 수광 소자(18b)에 인도된다. 수광 소자(18b)는 수광량에 따른 신호를 제어 장치(20)로 출력한다. 물체가 검출광(L)을 차단하고 있는지 여부에 따라서, 센서(17)로부터 출력되는 신호의 특성이 변한다. 제어 장치(20)는 이러한 신호 특성의 차이에 기초하여, 검출광(L)이 차단되었는지 여부를 판단할 수 있다.

도 3은 로봇(1)의 제어계를 도시하고 있다. 제어 장치(40)는 암(12) 및 핸드(14)의 동작을 제어한다. 제어 장치(40)는, 예를 들어 마이크로 컨트롤러 등의 컴퓨터 장치를 구비한 로봇 컨트롤러이고, 단일의 장치로는 한정되지 않고 복수의 장치로 구성되어 있어도 좋다.

제어 장치(20)는 연산부(21), 기억부(22) 및 서보 제어부(23)를 구비한다. 기억부(22)는 제어 장치(20)의 기본 프로그램, 로봇(1)의 동작 프로그램, 및 동작 프로그램의 실행 중에 취득되는 데이터 등의 정보를 기억한다. 동작 프로그램에는, 로봇(1)이 반도체 처리 설비에서 실용되어 기판(S)의 반송 작업을 자동적으로 수행하기 위한 작업 프로그램뿐만 아니라, 로봇(1)의 가공 오차, 조립 오차 및/또는 설치 오차 등의 오차에 기인한 위치 어긋남을 작업 전에 보정하기 위한 프로그램도 포함된다. 이러한 「위치 어긋남」이란, 제어 장치(20)가 인식하고 있는 암(12) 또는 핸드(14)의 위치, 자세 또는 좌표(이하, 소프트웨어 값이라고 부르는 것이 있다)와, 오차로 인해 생기는 실제의 암(12) 또는 핸드(14)의 위치, 자세 또는 좌표(이하, 실제 값이라고 부르는 것이 있다)의 차이이다. 이러한 보정을 위한 프로그램을 실행함으로써, 실시예에 따른 위치 보정 방법이 실행된다.

연산부(21)는 로봇 제어를 위한 연산 처리를 실행하고, 로봇(1)의 제어 지령을 생성한다. 서보 제어부(23)는 연산부(21)에 의해 생성된 제어 명령에 기초하여, 로봇(1)의 구동 장치(26)를 제어하도록 구성되어 있다. 이러한 구동 장치(26)에는, 예를 들어, 승강축(11)을 승강시키는 승강 액츄에이터(27a)(예를 들어, 에어 실린더), 회전축(A1 ~ A3) 각각에 대응하는 복수의 회전 액츄에이터(28a, 28b, 28c)(예를 들어, 전기 모터)가 포함된다. 구동 장치(26)는 제어 장치(20)로부터의 제어 지령에 따라서, 핸드(14)를 이동시킨다. 이하의 설명에서, 암(12) 및 핸드(14)의 자세 또는 위치의 변화는 제어 장치(20)에 의해 실행되는 제어를 통해 실현된다.

이하에서, 제어 장치(20)에 의한 프로그램의 실행, 그에 따른 로봇(1)의 동작에 의해 실현되는 위치 보정 방법을 설명한다. 위치 보정 방법을 실시하는 전제로서, 타겟(40)이 로봇(1)의 가동 범위 내에(핸드(14)가 액세스 가능한 위치에) 설치된다. 타겟(40)은 작업자에 의해 반도체 처리 설비에 분리 가능하게 설치되어도 좋고, 카세트(2)의 내부 또는 외면에 미리 설치되어도 좋다.

여기서, 타겟(40)의 형상, 설치 시 자세 및 설치 위치는 임의이다. 일례로서, 타겟(40)은 원기둥 형상으로 형성되어도 좋고, 「핀」이라고 부르는 것이라도 좋다. 이 경우, 타겟(40)의 수평 단면은 원이 된다. 다른 예로서, 타겟(40)은 그의 수평 단면의 일부만이 원호로 되어도 좋다. 일례로서, 타겟(40)은 상하 방향으로 연장되는 자세로 설치된다. 타겟(40)은 카세트(2)의 내부 또는 외면에 설치되어도 좋고, 웨이퍼를 본 뜬 지그에 설치되어도 좋다. 지그는 카세트(2) 내에 수납된 상태라도 좋다. 이하의 설명에서, 타겟(40)의 중심이란, 타겟(40)의 수평 단면의 원 또는 원호의 중심으로 한다.

위치 보정 방법에서는, 먼저, 암(12)이 제1 초기 자세가 되는 상태에서 핸드(14)를 타겟(40)에 대향시킨다(S1). 다음으로, 핸드(14)를 요동시켜 복수의 회전축 둘레의 회전각에 기초하여 타겟(40)의 중심의 위치를 검출한다(S2). 이러한 검출은, 상술한 특허문헌 1에서 교시된 기술을 적절하게 적용할 수 있고, 당해 문헌에 교시되는 기술을 여기에 원용한다. 개요를 설명하면, 핸드(14)의 요동을 위해서, 제3 축(A3) 둘레로 핸드(14)를 회전시킨다. 위치의 검출을 위해서, 센서(17)의 출력을 모니터링하고 타겟(40)이 검출광(L)을 차단하였는지 여부를 판단하여, 차단하였을 때의 제1 축(A1), 제2 축(A2) 및 제3 축(A3)의 회전각을 취득한다. 그리고, 제1 초기 자세와는 다른 제2 초기 자세에서 핸드(14)를 타겟(40)에 대향시킨다(S3). 앞서와 마찬가지로, 핸드(14)를 요동시켜 복수의 회전축 둘레의 회전각에 기초하여 타겟(40)의 중심의 위치를 검출한다(S4).

검출된 2 개의 타겟(40)의 중심의 위치는, 상술한 오차에 기인하여 완전히 일치하지 않고, 2 개의 위치의 차이가 생긴다. 그리고, 이러한 차이를 해소하기 위한 보정량이 오차를 해소하기 위한 보정량이 된다. 예를 들어, 2 개의 위치의 차이에 기초하여, 오차를 해소하기 위한 보정량을 계산한다(S5). 보정량은 제2 축(A2)의 회전각 및 제3 축(A3)의 회전각에 관해 구해진다. 구체적으로는, 제1 초기 자세 및 제2 초기 자세 각각으로부터 제2 축(A2) 둘레로 동일한 보정량(Δφ2) 만큼 회전시키고(도 5C 참조), 또한, 제1 초기 자세 및 제2 초기 자세 각각으로부터 제3 축(A3) 둘레로 동일한 보정량(Δφ3)만큼 회전시킨 때에(도 5D 참조), 핸드(14)의 선단이 동일한 위치가 되도록 하는 보정량(Δφ2, Δφ3)이 구해진다.

소프트웨어 값에 이와 같이 구해진 보정량(Δφ2, Δφ3)이 가미됨으로써, 초기의 오차를 흡수하여 로봇(1)의 초기 위치를 교정할 수 있어서, 위치 제어 정밀도가 향상된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 타겟이 2 개인 경우, 제1 축(A1)의 회전각에 대해서도 보정 가능하게 된다. 여기서, 2 개의 타겟을 제1 타겟(40a), 제2 타겟(40b)으로 부르기로 한다. 이상적인 배치에서는, 제1 축(A1)으로부터 제1 타겟(40a)까지의 거리와, 제1 축(A1)으로부터 제2 타겟(40b)까지의 거리가 같도록 하여, 2 개의 타겟(40a, 40b)이 설치된다. 2 이상의 카세트(2)를 구비한 EFEM에서는 이러한 타겟(40a, 40b)의 배치가 용이하다. 제1 타겟(40a)이 어느 1 개의 카세트(2)에 설치되고, 제2 타겟(40b)이 다른 카세트(2)에 설치된다. 그러나, 상술한 오차에 기인하여, 2 개의 거리가 반드시 같게 되지 않는다. 제2 축(A2) 및 제3 축(A3)에 관한 교정은 상기의 보정량 연산 스텝을 통해 이루어지고 있기 때문에, 여기에서는 제1 축(A1)에 관한 소프트웨어 값에 보정을 거는 것으로, 최종적인 위치 보정이 수행된다.

구체적으로는, 핸드(14)를 제1 타겟(40a)을 향해 이동시키고, 센서(17)를 모니터링하여 제1 타겟(40a)에 검출광(L)을 차단시킨다. 차단하였을 때의 제1 축(A1)으로부터 제1 타겟(40a)까지의 거리(B)와, 제1 축(A1)의 회전각(φ1)을 취득한다. 이와 마찬가지로 하여, 핸드(14)를 제2 타겟(40b)를 향해 이동시키고, 제1 축(A1)으로부터 제2 타겟(40b)까지의 거리(B')와 제1 축(A1)의 회전각(φ1')을 취득한다.

만일 실제의 제1 축으로부터 제1 타겟까지의 거리와, 제1 축으로부터 제2 타겟까지의 거리가 같으면, 취득된 2 개의 거리가 서로 동일하고, 또한, 제1 자세에서 취득된 제1 회전각과, 제2 자세에서 취득된 제2 회전각이 같게 된다. 다른 경우는, 2 개의 거리 및/또는 제1 회전축 둘레의 액추에이터의 장착 등에 오차가 존재하는 것을 의미한다. 따라서, 거리가 다른 경우는, 거리를 보정하기 위한 보정량을 연산한다. 제1 회전각의 절대값에 차이가 있다면, 그 차이를 해소하기 위한 보정량을 연산한다.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 제2 축(A2) 및 제3 축(A3) 뿐만 아니라, 제1 축(A1)의 회전각 및 2 개의 타겟(40a, 40b)까지의 거리를 보정할 수 있어서, 위치 제어의 정밀도를 더 향상시킬 수 있다.

지금까지 실시 형태에 대해 설명하였지만, 상기 구성 및 방법은 본 발명의 취지의 범위 내에서 추가, 수정 및/또는 삭제 가능하다.

예를 들어, 상술한 바와 같이, 3 이상의 링크를 구비하는 암에서도 동일하게 적용 가능하다. 3 링크식의 경우에는 회전축이 4 개로 된다. 이 경우, 상기 방법을 적용하는 때에는, 예를 들어, 먼저, 핸드(14) 측으로부터 순서대로 3 개의 회전축을 제3 축, 제2 축 및 제1 축으로 하고, 기대(10)와 암(12)의 연결부에서 회전축에 대해서는 동작시키지 않고 둔다. 이에 따라서, 여기에서 정의된 제1 ~ 제3 축의 회전각에 대하여 보정할 수 있다. 다음으로, 기대(10) 측으로부터 순서대로 3 개의 회전축을 제1 축, 제2 축 및 3 축으로 하고, 핸드(14)와 암(12)의 연결부에서 회전축에 대해서는 동작시키지 않고 둔다. 이에 따라서, 4 이상의 회전축이 존재하는 로봇에서도, 보정 정밀도를 향상시킬 수 있고, 위치 제어 정밀도가 향상된다.

Claims

로봇의 위치 보정 방법으로서,
상기 로봇이,
기대와,
2 개 이상의 링크를 연결하여 구성되고, 상기 기대에 연결되는 암과,
상기 암에 연결되고, 두 갈래로 나누어진 제1 선단부 및 제2 선단부를 구비하는 핸드와,
검출광이 상기 제1 선단부와 상기 제2 선단부의 사이에서 전파하도록 구성되고, 타겟이 당해 검출광을 차단하는지 여부를 검출하는 센서와,
상기 암 및 상기 핸드의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
복수의 회전축이 복수의 연결부 각각에서 서로 평행하게 향하도록 설정되고, 상기 복수의 연결부에는, 상기 기대와 상기 암의 연결부, 상기 암을 이루는 링크 중 인접한 두 링크 연결부, 및 상기 암과 상기 핸드의 연결부가 포함되고,
상기 회전축 중 3 개에 대해서, 상기 기대에 가까운 것부터 순서대로 제1 축, 제2 축 및 제3 축으로 한 경우에, 상기 방법은,
상기 핸드가 미리 정해진 제1 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과,
상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제1 위치 검출 스텝과,
상기 핸드가 상기 제1 초기 자세와는 다른 미리 정해진 제2 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키는 스텝과,
상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하는 제2 위치 검출 스텝과,
상기 제1 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각과, 상기 제2 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각의 차이에 기초하여, 상기 제2 축 및 상기 제3 축의 회전각 보정량을 구하는 보정량 연산 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 위치 보정 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 위치 검출 스텝 및 상기 제2 위치 검출 스텝에서, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각으로부터 상기 타겟의 위치가 구해지고,
상기 보정량 연산 스텝에서, 구해진 2 개의 위치의 차이에 기초하여 회전각 보정량이 구해지는 것을 특징으로 하는 위치 보정 방법.
제1항에 있어서,
상기 타겟이 제1 타겟 및 제2 타겟을 포함하고,
상기 제2 축 및 상기 제3 축의 회전각 보정량이 가미된 상태에서, 상기 제1 타겟을 이용하여 상기 위치 검출 스텝을 실행하는 동시에, 상기 제2 타겟을 이용하여 상기 위치 검출 스텝을 실행하고,
이러한 2 개의 위치 검출 스텝으로부터 취득된 상기 제1 축으로부터 타겟까지의 거리의 데이터 및 상기 제1 축의 회전각 데이터에 기초하여, 상기 제1 축의 회전각 보정량이 구해지는 것을 특징으로 하는 로봇의 위치 보정 방법.
기대와,
2 개 이상의 링크를 연결하여 구성되고, 상기 기대에 연결되는 암과,
상기 암에 연결되고, 두 갈래로 나누어진 제1 선단부 및 제2 선단부를 구비하는 핸드와,
검출광이 상기 제1 선단부와 상기 제2 선단부의 사이에서 전파하도록 구성되고, 타겟이 당해 검출광을 차단하는지 여부를 검출하는 센서와,
상기 암 및 상기 핸드의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
복수의 회전축이 복수의 연결부 각각에서 서로 평행하게 향하도록 설정되고, 상기 복수의 연결부에는, 상기 기대와 상기 암의 연결부, 상기 암을 이루는 링크 중 인접한 두 링크 연결부, 및 상기 암과 상기 핸드의 연결부가 포함되고,
상기 회전축 중 3 개에 대해서, 상기 기대에 가까운 것부터 순서대로 제1 축, 제2 축 및 제3 축으로 한 경우에, 상기 제어 장치는,
상기 핸드가 미리 정해진 제1 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키고,
상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하고,
상기 핸드가 상기 제1 초기 자세와는 다른 미리 정해진 제2 초기 자세가 되도록 상기 핸드를 이동시킴으로써, 상기 핸드를 타겟과 대향시키고,
상기 핸드를 요동시키고, 상기 타겟이 상기 검출광을 차단하였을 때의 상기 회전축의 회전각을 검출하고,
상기 제1 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각과, 상기 제2 초기 자세에서 취득된 상기 회전축의 회전각의 차이에 기초하여, 상기 제2 축 및 상기 제3 축의 회전각 보정량을 구하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇.