JP2005118951A - キャリブレーション方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】収納容器あるいは搬送装置の半導体ウェハの載置位置に載置した教示治具11を、ロボット1のハンド5上に設けたセンサ6で検出することによって、ロボット1に前記半導体ウェハの位置を教示するために、センサ6の光軸10をキャリブレーションする方法において、ロボット1で教示治具11を所定の位置に載置させ、教示治具11をセンサ6で検出して教示冶具11の位置を推定し、教示治具11を載置した教示位置と前記推定値との差を求めるものである。
【選択図】 図7
Description
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、ハンドに対するセンサの光軸のずれを求めてキャリブレーションを行う方法を提供するものである。また、アームに対するハンドのずれを求めてキャリブレーションを行う方法を提供するものである。
(式1)
(式2)
(ステップ1)教示治具11をロボットのウェハ把持部5にセットする。
(ステップ2)装置図面などの情報から仮ステーション23の位置は既知であるので、ロボットがウェハを置載することができる教示位置を(θs1、Rs1、Zs1、Ts1)にセットする。
(ステップ3)i=1とする。
(ステップ4)教示位置(θsi、Rsi、Zsi、Tsi)すなわち仮ステーション23へロボット自身で教示治具11を置載する。
(ステップ5)ロボットがウェハを載置した教示位置(θsi、Rsi、Zsi、Tsi)は既知であるので、ウェハ把持部5を大円板部12の下へ自動で移動させる。
(ステップ6)ウェハ把持部5を上昇させ(図11および図12参照)、大円板部12の下面を透過式センサ6で検出し、その時のロボットのZ軸の座標値Z1を記録する。さらにウェハ把持部5を上昇させ、大円板部12の上面を透過式センサ6で検出し、その時のロボットのZ軸の座標値Z2を記録する。
(ステップ7)ウェハ把持部5を大円板部12の上に移動させる。つまり、ウェハ把持部5を前進(ここで前進とはR軸の+方向をいう)させたときに、透過式センサ6が小円板部13を検出できる高さへ設定する。
(ステップ8)透過式センサ6が小円板部13を検出しない位置までウェハ把持部5を後退させる。
(ステップ9)θ軸を動作させて、ウェハ把持部5の向きを変え(図13参照)、次にR軸を動作させて、ウェハ把持部5を前進させて、小円板部13にゆっくり接近させ、透過式センサ6が小円板部13を最初に検出した(つまり光軸10が小円板部13の円周に接する)時のθ軸とR軸の座標を記録する。
(ステップ10)ステップ8とステップ9を繰り返して、ウェハ把持部5を異なる方向から小円板部13に接近させて、光軸10が小円板部13の円周に接する時のθ軸とR軸の座標を複数求め、これらの値から最小2乗法を解くことにより、小円板部13すなわち教示治具の中心の位置(θei、Rei)を求めて記録する。なお、最小2乗法を用いて中心の位置を求めるアルゴリズムは特許文献1に詳述しているので、参照されたい。
(ステップ11)ステップ4で仮ステーション23に載置した教示治具11をステップ10でセンシングして求めた(θei、Rei)と教示治具11を載置した教示位置(θsi、Rsi)との差ΔθiとΔRiを計算し記憶する。またRsiも記憶する。
(ステップ13)i=2の場合、ステップ16へジャンプする。
(ステップ14)次回(i+1)の教示治具の載置位置を(式4)とする。
(ステップ15)i= i + 1として、ステップ4にジャンプする。
(ステップ16)ステップ11で記憶したΔθi、ΔRi、Rsiを使って、キャリブレーション値ΔθとΔRを求める。本実施例ではサンプル数は2であるので、式5,6を解くことによってα、βが求まり式2によりΔθが求まる。ΔRは(ΔR1+ΔR2)/2とする。求めたα、β、ΔRをコントローラに保存する。
(式5)
(式6)
(ステップ17)ロボットのウェハ把持部5上の教示治具11を回収する。
また、ステップ2からステップ16までの操作を予め、プログラムしておけば、自動ティーチングのためのセンサキャリブレーションを、作業者の操作に拠らず、自動的に行なうことができる。
(ステップ18)教示治具11を収納容器等の半導体ウェハを載置する場所に載置する。大円板部12は実物の半導体ウェハと全く同一の外径を有するから、収納容器等の位置決めガイド等により、教示用治具11は正しく位置決めさせる。また、教示するステーションが複数ある場合は、全てのステーションに教示治具11を載置する。
(ステップ19)装置図面などの情報からウェハ教示位置の概略位置は既知であり、ロボットの機構も既知であるので、図12に示す位置を逆算して求めることが可能であり、ウェハ把持部5を大円板部12の下へ自動で移動させる。
(ステップ20)ウェハ把持部5を上昇させ(図12と13の姿勢を参照)、大円板部12の下面を透過式センサ6で検出し、その時のロボットのZ軸の座標値Z1を記録する。さらにウェハ把持部5を上昇させ、大円板部12の上面を透過式センサ6で検出し、その時のロボットのZ軸の座標値Z2を記録する。
(ステップ21)ウェハ把持部5を大円板部12の上に移動させる。つまり、ウェハ把持部5を前進(ここで前進とはR軸の+方向をいう)させたときに、透過式センサ6が小円板部13を検出できる高さへ設定する。
(ステップ22)透過式センサ6が小円板部13を検出しない位置までウェハ把持部5を後退させる。
(ステップ23)θ軸を動作させて、ウェハ把持部5の向きを変え(図14の姿勢を参照)、次にR軸を動作させて、ウェハ把持部5を前進させて、小円板部13にゆっくり接近させ、透過式センサ6が小円板部13を最初に検出した(つまり光軸10が小円板部13の円周に接する)時のθ軸とR軸の座標を記録する。
(ステップ24)ステップ22とステップ23を繰り返して、ウェハ把持部5を異なる方向から小円板部13に接近させて、光軸10が小円板部13の円周に接する時のθ軸とR軸の座標を複数求め、これらの値から最小2乗法を解くことにより、小円板部13すなわち教示治具の中心の位置(θei、Rei)を求めて記録する。
(ステップ25)ウェハの推定位置は、ステップ20で記憶したZ1、Z2より(Z1+Z2)/2をZ軸の推定値とし、ステップ24で求めた(θei、Rei)にステップ16で求めたキャリブレーション値を足しこんだ(θei+Δθ、Rei+ΔR)をθ軸、R軸の推定値とする。これらの値を該当ステーションの教示位置としてコントローラに保存する。
(ステップ26)教示ステーションが複数ある場合は、ステップ19〜25を繰り返す。
(ステップ27)ステップ25において各ステーションの教示位置が求まっているのでロボットはそれらの情報を基に通常ウェハを搬送するのと同じ要領で、自動で全ての教示治具を回収する。回収とは、例えば処理装置の蓋を開けて直接手で教示治具を取り出すのではなく、カセットステーションの異なるスロットへ教示治具同士が干渉しないように搬送して、カセットに溜めた教示治具をまとめて取り出すことである。
また、ステップ19からステップ27までの操作を予め、プログラムしておけば、半導体ウェハの位置の教示を、作業者の操作に拠らず、自動的に行なうことができる。
Claims (4)
- 収納容器あるいは搬送装置の半導体ウェハの載置位置に載置した教示治具を、ロボットのハンド上に設けたセンサで検出することによって、前記ロボットに前記半導体ウェハの位置を教示するために、前記センサの光軸をキャリブレーションする方法において、前記ロボットで前記教示治具を所定の位置に載置させ、前記教示治具を前記センサで検出して前記教示冶具の位置を推定し、前記教示治具を載置した教示位置と前記推定値との差を求めることを特徴とするキャリブレーション方法。
- 前記教示治具を前記センサで検出して半導体ウェハ位置を推定する操作をロボットアームの伸縮量の異なる2つ以上の姿勢で繰り返すことを特徴とする請求項1に記載のキャリブレーション方法。
- ロボットがアームの伸縮量の異なる2つ以上の姿勢でアクセスできるキャリブレーション用ステーションを備えた搬送装置を用いることを特徴とする請求項1に記載のキャリブレーション方法。
- 前記ステーションは、ロボットによってウェハもしくは教示治具を設置する際に、そのウェハ位置がずれることのないよう平面でウェハを保持する機構を備えていることを特徴とする請求項3に記載のキャリブレーション方法。
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