DE102016221260A1

DE102016221260A1 - Linearführung für ein Koordinatenmessgerät und Koordinatenmessgerät

Info

Publication number: DE102016221260A1
Application number: DE102016221260.5A
Authority: DE
Inventors: Berthold Matzkovits; Roland Brenner; Heinz Broghammer
Original assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Priority date: 2016-10-28
Filing date: 2016-10-28
Publication date: 2018-05-03
Also published as: US20180120077A1; US10451397B2; CN108020184B; CN108020184A

Abstract

Es wird eine Linearführung (112) für ein Koordinatenmessgerät (110) vorgeschlagen. Die Linearführung umfasst:mindestens einen plattenförmigen Grundkörper (114), wobei der plattenförmige Grundkörper (114) ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist;mindestens eine Führungsschiene (118), welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient verschieden ist, wobei die Führungsschiene (118) mit dem plattenförmigen Grundkörper (114) verbunden ist.Die Führungsschiene (118) ist in einer neutralen Faser (122) des plattenförmigen Grundkörpers (114) angeordnet.

Description

Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Linearführung für ein Koordinatenmessgerät und ein Koordinatenmessgerät.
Stand der Technik
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Linearführungen für ein Koordinatenmessgerät zur Vermessung von Werkstücken bekannt. Derartige Koordinatenmessgeräte können als Portalmessgeräte ausgestaltet sein. Portalmessgeräte umfassen ein Portal, welches zwei vertikale Säulen und eine die zwei Säulen in einem oberen Bereich verbindende Traverse aufweist, und welches auf einem Grundkörper zur Auflage des zu vermessenden Werkstückes in einer horizontalen Richtung beweglich gelagert ist. Entlang der Traverse ist ein Messschlitten beweglich gelagert, in welchem eine in vertikaler Richtung bewegliche Pinole gelagert ist. An einem unteren Ende der Pinole ist ein Sensor, insbesondere ein taktiler Sensor, mit welchem eine Oberfläche des Werkstückes abgetastet werden kann, angeordnet. Der Sensor kann durch die beschriebene Portal-Mechanik in allen Koordinatenrichtungen x, z, y relativ zum zu vermessenden Werkstück bewegt werden.
Eine Führung des Portals, beispielsweise entlang einer y-Achse, kann mittels einer oder mehrerer Linearführungen realisiert sein. Eine derartige Linearführung wird beispielsweise in US 9,109,747 B2 gezeigt. Es wird eine Linear-Bewegungsvorrichtung beschrieben, welche eine Basis mit einer Oberfläche zur Auflage eines oder mehrerer Werkstücke und ein Instrument aufweist. Das Instrument ist beweglich zu der Basis über eine Vielzahl von Führungsschienen angeordnet, so dass eine Bewegung des Instruments relativ zu der Basis entlang von drei Achsen ermöglicht ist. Mindestens eine der Führungsschienen umfasst ein längliches Führungsschienenelement, das aus einer Vielzahl von länglichen, grundsätzlich ebenen, Stegelemente besteht. Jedes der Stegelemente hat eine Länge und ein Paar von gegenüberliegenden Seitenkanten, welche entlang der Länge verlaufen. Die Stegelemente sind miteinander an zumindest einem oder mehreren der Seitenränder verbunden, um das längliche Führungsschienenelement zu bilden. Das Führungsschienenelement umfasst ein keramisches Material.
Aus dem Stand der Technik ist weiterhin bekannt, Fluiddrucklager, insbesondere Luftlager als Führung zu verwenden, welche auf dem Grundkörper, beispielsweise einer hochgenau bearbeiteten Granitplatte, laufen. Derartige Lösung erlauben exakte Messergebnisse bei der Vermessung des Werkstücks. Derartige Luftlager können jedoch nur in eine Richtung eine Kraft aufnehmen, so dass, beispielsweise für die Führung entlang der y-Achse, eine Vielzahl von Luftlagern und hochgenauen Flächen notwendig sein kann. Derartige Lösungen können somit zu einem hohen apparativen Aufwand und hohen Kosten führen. Weiter können Luftlager sehr weich bei dynamischen Kräften sein, welche beispielsweise bei einer Beschleunigung des Portals auftreten können. Insbesondere bei einer verschmutzten Umgebungsluft, beispielsweise durch Verschmutzungen im Werkstattbereich wie Ölnebel und Metallstaub, kann dieses zu einem hohen Verschleiß und zu Ausfällen führen.
Aus dem Stand der Technik sind weiter Portalmessgeräte bekannt, welche einen Grundkörper aus Gusseisen aufweisen, auf welchem Linearführungen in Form von Kugelumlaufführungen angebracht sind. Derartige Führungen können auch bei dynamischen Kräften eine hohe Steifigkeit aufweisen. Kugelumlaufführungen sind zudem deutlich unempfindlicher gegen Verschmutzung als beispielsweise Luftlagerführungen.
Die Verwendung eines Grundkörpers aus Granit kann jedoch, gegenüber von Gusseisen, vorteilhaft sein, da Granit eine geringe Wärmeausdehnung und eine hohe Masse aufweist und in Form und Abmessungen konstant ist, insbesondere keinen Alterungsprozessen unterliegt. Kugelumlaufführungen sind jedoch regelmäßig aus Stahl gefertigt. Der thermische Wärmeausdehnungskoeffizient von Stahl unterscheidet sich jedoch deutlich von dem thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Granit, so dass es zu einer Verbiegung der Granitplatte im Bereich der Führung und so zu ungenauen Messungen kommen kann.
Aufgabe der Erfindung
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Linearführung und ein Koordinatenmessgerät bereitzustellen, welche die Nachteile bekannter Vorrichtungen zumindest weitgehend vermeiden. Insbesondere soll eine hohe Steifigkeit, eine geringe Wärmeausdehnung bei gleichzeitiger Unempfindlichkeit, insbesondere Werkstatttauglichkeit, ermöglicht werden.
Offenbarung der Erfindung
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Linearführung und ein Koordinatenmessgerät mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche. Vorteilhafte Weiterbildungen, welche einzeln oder in Kombination realisierbar sind, sind in den abhängigen Ansprüchen dargestellt.
Im Folgenden werden die Begriffe „haben“, „aufweisen“, „umfassen“ oder „einschließen“ oder beliebige grammatikalische Abweichungen davon in nicht-ausschließlicher Weise verwendet. Dementsprechend können sich diese Begriffe sowohl auf Situationen beziehen, in welchen, neben dem durch diese Begriffe eingeführten Merkmal, keine weiteren Merkmale vorhanden sind, oder auf Situationen, in welchen ein oder mehrere weitere Merkmale vorhanden sind. Beispielsweise kann sich der Ausdruck „A hat B“, „A weist B auf“, „A umfasst B“ oder „A schließt B ein“ sowohl auf die Situation beziehen, in welcher, abgesehen von B, kein weiteres Element in A vorhanden ist (d.h. auf eine Situation, in welcher A ausschließlich aus B besteht), als auch auf die Situation, in welcher, zusätzlich zu B, ein oder mehrere weitere Elemente in A vorhanden sind, beispielsweise Element C, Elemente C und D oder sogar weitere Elemente.
Weiterhin wird darauf hingewiesen, dass die Begriffe „mindestens ein“ und „ein oder mehrere“ sowie grammatikalische Abwandlungen dieser Begriffe oder ähnliche Begriffe, wenn diese in Zusammenhang mit einem oder mehreren Elementen oder Merkmalen verwendet werden und ausdrücken sollen, dass das Element oder Merkmal einfach oder mehrfach vorgesehen sein kann, in der Regel lediglich einmalig verwendet werden, beispielsweise bei der erstmaligen Einführung des Merkmals oder Elementes. Bei einer nachfolgenden erneuten Erwähnung des Merkmals oder Elementes wird der entsprechende Begriff „mindestens ein“ oder „ein oder mehrere“ in der Regel nicht mehr verwendet, ohne Einschränkung der Möglichkeit, dass das Merkmal oder Element einfach oder mehrfach vorgesehen sein kann.
Weiterhin werden im Folgenden die Begriffe „vorzugsweise“, „insbesondere“, „beispielsweise“ oder ähnliche Begriffe in Verbindung mit optionalen Merkmalen verwendet, ohne dass alternative Ausführungsformen hierdurch beschränkt werden. So sind Merkmale, welche durch diese Begriffe eingeleitet werden, optionale Merkmale, und es ist nicht beabsichtigt, durch diese Merkmale den Schutzumfang der Ansprüche und insbesondere der unabhängigen Ansprüche einzuschränken. So kann die Erfindung, wie der Fachmann erkennen wird, auch unter Verwendung anderer Ausgestaltungen durchgeführt werden. In ähnlicher Weise werden Merkmale, welche durch „in einer Ausführungsform der Erfindung“ oder durch „in einem Ausführungsbeispiel der Erfindung“ eingeleitet werden, als optionale Merkmale verstanden, ohne dass hierdurch alternative Ausgestaltungen ausgeschlossen oder der Schutzumfang der unabhängigen Ansprüche eingeschränkt werden soll. Weiterhin sollen durch diese einleitenden Ausdrücke sämtliche Möglichkeiten, die hierdurch eingeleiteten Merkmale mit anderen Merkmalen zu kombinieren, seien es optionale oder nicht-optionale Merkmale, unangetastet bleiben.
In einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Linearführung für ein Koordinatenmessgerät vorgeschlagen. Unter einer Linearführung kann allgemein ein mechanisches Führungselement verstanden werden, welches eingerichtet ist, ein erstes Bauteil, beispielsweise ein Portal und/oder eine Säule eines Portals, gegen ein zweites Bauteil, beispielsweise einen plattenförmigen Grundkörper, entlang einer Achse, insbesondere auf einer Geraden, zu bewegen. Die Linearführung kann eingerichtet sein, das erste Bauteil linear gegen das zweite Bauteil zu bewegen. Die Linearführung kann grundsätzlich bei verschiedenen Vorrichtungen des Maschinenbaus eingesetzt werden, wie beispielsweise bei Werkzeugmaschinen, Fräsmaschinen, Koordinatenmessgeräten. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird die Linearführung im Zusammenhang mit einem Koordinatenmessgerät beschrieben. Auch andere Einsatzgebiete sind jedoch denkbar.
Die Linearführung umfasst

- mindestens einen plattenförmigen Grundkörper, wobei der plattenförmige Grundkörper ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist;
- mindestens eine Führungsschiene, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten verschieden ist, wobei die Führungsschiene mit dem plattenförmigen Grundkörper verbunden ist.

Unter einem plattenförmigen Grundkörper kann allgemein ein Quader mit rechteckiger Grundfläche verstanden werden, auf welchem weitere Bauteile der Linearführung angeordnet sind. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens eine Auflagefläche zur Auflage eines Werkstücks aufweisen. Die Auflagefläche kann eine rechteckige Auflagefläche sein, welche im Wesentlichen eben ist. Bevorzugt kann die Auflagefläche vollständig eben sein, geringe Abweichungen von einer Planarität sind jedoch denkbar. Insbesondere kann der plattenförmige Grundkörper ein Messtisch eines Koordinatenmessgeräts sein.
Unter einer Führungsschiene kann allgemein ein Bauteil verstanden werden, entlang dessen ein oder mehrere Führungswagen laufen. Insbesondere kann die Führungsschiene eine gerade und/oder lineare Schiene sein. Die Linearführung kann mindestens einen Führungswagen, beispielsweise einen Laufwagen und/oder Schlitten, aufweisen, welcher eingerichtet ist, in oder auf der Führungsschiene zu laufen. Die Linearführung kann eine Führung aufweisen ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer Kugelumlaufführung, einer Rollenumlaufführung. Beispielsweise kann die Linearführung eine Profilschienenführung aufweisen mit einer Profilschiene und mindestens einem Laufwagen, der beispielsweise über mindestens zwei oder vier Kugel- oder Rollenumläufe verfügt. Beispielsweise kann die Linearführung eine Käfigschienenführung aufweisen. Auch andere Schienenführungen sind grundsätzlich denkbar.
Die Ausdrücke „erster“ und „zweiter“ Wärmeausdehnungskoeffizient sind reine Bezeichnungen und geben keine Auskunft über eine Reihenfolge und darüber, ob der plattenförmige Grundkörper und/oder die Führungsschiene weitere Materialien mit weiteren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. Unter einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, auch thermischer Ausdehnungskoeffizient genannt, kann allgemein ein Maß für ein Verhalten eines Materials bezüglich Veränderungen seiner Abmessungen bei Temperaturveränderungen verstehen. Der erste Wärmeausdehnungskoeffizient ist von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten verschieden. Das Material des plattenförmigen Grundkörpers kann eine von dem Material der Führungsschiene verschiedene Wärmeausdehnung aufweisen. Der plattenförmige Grundkörper kann vollständig aus dem Material mit dem ersten Wärmekoeffizienten sein. Das Material des plattenförmigen Grundkörpers kann ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus: Granit, Polymerbeton/Mineralguss, Keramik. Der plattenförmige Grundkörper kann eine Granitplatte sein. Beispielsweise kann der Wärmekoeffizient α des Materials des plattenförmigen Grundkörpers zwischen 4·10^-6/K und 7·10^-6/K sein. Die Führungsschiene kann vollständig aus dem Material mit dem zweiten Wärmekoeffizienten sein. Beispielsweise kann der Wärmekoeffizient α des Materials der Führungsschiene zwischen 10·10^-6/K und 14·10^-6/K sein. Das Material der Führungsschiene kann Stahl sein. Beispielsweise kann der Wärmekoeffizient α des Materials der Führungsschiene 12·10^-6/K sein.
Die Führungsschiene ist mit dem plattenförmigen Grundkörper verbunden. Unter „verbunden“ kann eine lösbare oder eine nicht-lösbare Verbindung von der Führungsschiene und dem plattenförmigen Grundkörper verstanden werden. Insbesondere kann die Führungsschiene an dem plattenförmigen Grundkörper befestigt sein. Die Führungsschiene kann mit dem plattenförmigen Grundkörper durch mindestens eine Verbindung verbunden sein ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer kraftschlüssigen Verbindung, einer formschlüssigen Verbindung, einer stoffschlüssigen Verbindung. Die Verbindung kann mindestens eine Schraubverbindung und/oder mindestens eine Klebverbindung, beispielsweise unter Verwendung eines Kleber und/oder Kits, und/oder mindestens eine Klemmverbindung aufweisen. Die Verbindung kann eine direkte Verbindung sein, oder es können weitere Elemente zwischen dem plattenförmigen Grundkörper und der Führungsschiene angeordnet sein, beispielsweise ein oder mehrere Distanzbleche.
Die Führungsschiene ist in einer neutralen Faser des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet. Unter einer neutralen Faser, auch Nulllinie genannt, kann diejenige Faser oder Schicht eines Querschnitts, beispielsweise entlang einer z-Achse, des plattenförmigen Grundkörpers verstanden werden, deren Länge sich bei Verdrehen bzw. Biegen, insbesondere um eine x-Achse, nicht ändert. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens ein Koordinatensystem, beispielsweise ein kartesisches Koordinatensystem, aufweisen. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens eine Seitenfläche aufweisen, welche sich entlang einer y-Achse erstreckt. Wie oben ausgeführt, kann der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Auflagefläche aufweisen. Die Auflagefläche kann sich senkrecht zu der y-Achse erstrecken. Eine x-Achse kann senkrecht zur y-Achse, in einer Ebene der Auflagefläche des plattenförmigen Grundkörpers verlaufen. Senkrecht zu der Ebene der Auflagefläche, in eine vertikale Richtung, kann sich eine z-Achse erstrecken. Die neutrale Faser kann eine neutrale Faser bezüglich einer Biegung um die x-Achse sein. Beispielsweise kann sich die Linearführung horizontal, entlang der y-Achse erstrecken. Die neutrale Faser kann durch einen geometrischen Schwerpunkt der Querschnittsfläche verlaufen. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens eine Seitenfläche, welche rechteckig und im Wesentlichen planar ist, aufweisen. Die Seitenfläche kann eine Höhe h aufweisen. Unter einer Höhe kann eine Ausdehnung entlang der z-Achse verstanden werden. Die Führungsschiene kann bei einer Höhe von zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h an der Seitenfläche des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet sein. Die Führungsschiene kann bei einer Höhe von 0,5h angeordnet sein, wobei Toleranzen von ± 20% möglich sind. Beispielsweise kann bei einer Platte mit einem rechteckigen Querschnitt die Führungsschiene bei 0,5 h angeordnet sein. Die Führungsschiene kann auf halber Höhe des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet sein. Die Führungsschiene kann derart angeordnet sein, dass bei einer thermisch bedingten Spannung zwischen dem plattenförmigen Grundkörper und der Führungsschiene durch unterschiedliche Wärmeausdehnung des Materials des plattenförmigen Grundkörpers und des Materials der Führungsschiene, kein Moment um die x-Achse entsteht. So kann verhindert werden, dass eine Biegung in Richtung z-Achse entsteht. Die neutrale Faser kann insbesondere kräftefrei sein.
Es kann bei einer thermisch bedingten Spannung zwischen dem plattenförmigen Grundkörper und der Führungsschiene ein Moment um die z-Achse entstehen. Der plattenförmige Grundkörper kann entlang der x-Achse eine derart große Ausdehnung aufweisen, dass der plattenförmige Grundkörper ein hohes Flächenträgheitsmoment um die z-Achse aufweist, so dass dieses Moment um die z-Achse zu einer sehr geringen Biegung führt, welche sich nicht oder kaum auf eine Gerätegenauigkeit auswirkt.
In einem weiteren Aspekt wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Koordinatenmessgerät umfassend mindestens eine Linearführung vorgeschlagen. Die Linearführung weist mindestens einen plattenförmigen Grundkörper auf. Der plattenförmige Grundkörper weist ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten auf. Die Linearführung weist mindestens eine Führungsschiene auf, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist. Der erste Wärmeausdehnungskoeffizient ist von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient verschieden. Die Führungsschiene ist mit dem plattenförmigen Grundkörper verbunden. Die Führungsschiene ist in einer neutralen Faser des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet.
Die Linearführung kann nach einem der oben beschriebenen Ausführungsformen ausgestaltet sein. Für Einzelheiten und Definitionen in Bezug auf das Koordinatenmessgerät wird auf die Beschreibung der Linearführung verwiesen.
Das Koordinatenmessgerät kann ein Portalmessgerät oder ein Brückenmessgerät sein. Der plattenförmige Grundkörper kann ein Messtisch des Koordinatenmessgeräts sein. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens eine Auflagefläche zur Auflage mindestens eines Werkstückes aufweisen. Der plattenförmige Grundkörper kann mindestens eine Seitenfläche mit einer Höhe h aufweist, wobei die Führungsschiene bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h an der Seitenfläche angeordnet ist.
Das Koordinatenmessgerät kann mindestens ein Portal aufweist, welches mindestens eine erste vertikale Säule, mindestens eine zweite vertikale Säule und eine die erste vertikale Säule und die zweite vertikale Säule verbindende Traverse aufweist. Mindestens eine vertikale Säule ausgewählt aus der ersten und zweiten vertikalen Säule kann auf dem plattenförmigen Grundkörper mittels der Linearführung in einer horizontalen Richtung beweglich gelagert sein. Die horizontale Richtung kann eine Richtung entlang einer y-Achse sein. Das Koordinatenmessgerät kann ein Koordinatensystem, beispielsweise ein kartesisches Koordinatensystem oder ein Kugelkoordinatensystem, aufweisen. Auch andere Koordinatensysteme sind denkbar. Ein Ursprung oder Nullpunkt des Koordinatensystems kann beispielsweise durch einen Sensor des Koordinatenmessgeräts gegeben sein. Beispielsweise kann sich die Linearführung horizontal entlang der y-Achse erstrecken und eingerichtet sein, das Portal und/oder die mindestens eine Säule des Portals linear, entlang der y-Achse zu bewegen. Eine x-Achse kann senkrecht zur y-Achse, in einer Ebene der Auflagefläche des plattenförmigen Grundkörpers verlaufen. Senkrecht zu der Ebene der Auflagefläche, in eine vertikale Richtung, kann sich eine z-Achse erstrecken. Die vertikalen Säulen können sich entlang der z-Achse erstrecken. Die Traverse kann sich entlang der x-Achse erstrecken.
In einer Ausführungsform kann an einem Ende der anderen vertikalen Säule mindestens ein Fluiddrucklager, beispielsweise mindestens ein Luftlager, angeordnet sein, welches eingerichtet ist, einen senkrecht auf das Fluiddrucklager wirkenden Druck aufzunehmen. Die Traverse kann die vertikalen Säulen an einem anderen Ende verbinden.
In einer Ausführungsform können die erste vertikale Säule und die zweite vertikale Säule auf dem plattenförmigen Grundkörper mittels der Linearführung in der horizontalen Richtung beweglich gelagert sein.
Das Koordinatenmessgerät kann mindestens einen Messschlitten aufweisen, welcher entlang der Traverse beweglich gelagert ist. Unter einem Messschlitten kann allgemein ein Schlitten verstanden werden, welcher eingerichtet ist, direkt oder mittels weiterer Bauteile mindestens einen Sensor aufzunehmen. In dem Messschlitten kann eine in eine vertikale Richtung, beispielsweise entlang der z-Achse, bewegliche Pinole gelagert ist. An einem unteren Ende, insbesondere einem in Richtung Auflagefläche zeigenden Ende, der Pinole kann ein Sensor, beispielsweise ein taktiler Sensor, mit welchem eine Oberfläche des Werkstückes abgetastet werden kann, angeordnet sein. Unter einem Werkstück kann dabei allgemein im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein beliebig geformtes zu vermessendes Objekt verstanden werden.
Die Linearführung kann manuell und/oder automatisch betrieben und/oder eingestellt und/oder verstellt werden. Das Koordinatenmessgerät, insbesondere die Linearführung, kann mindestens einen Antrieb aufweisen, beispielsweise mindestens einen Motor. Das Koordinatenmessgerät kann eine Steuerungseinheit aufweisen, welche eingerichtet ist, die Linearführung, insbesondere den Antrieb der Linearführung, anzusteuern und entlang der horizontalen Richtung zu bewegen. Beispielsweise kann die Steuerung mindestens einen Regler aufweisen, welcher eingerichtet ist, den Antrieb, beispielsweise einen Antrieb eines Führungswagens, zu regeln. Die Steuerung kann weiterhin mindestens eine Schnittstelle umfassen, beispielsweise eine elektronische Schnittstelle und/oder eine Mensch-Maschine-Schnittstelle wie beispielsweise eine Eingabe-/Ausgabe-Vorrichtung wie ein Display und/oder eine Tastatur und/oder ein Bedienpult.
Das Koordinatenmessgerät kann eingerichtet sein, das Werkstück, insbesondere eine Oberfläche des Werkstücks, durch Bewegen des Portals und/oder des Messschlittens und/oder der Pinole in allen drei Raumrichtungen mit dem Sensor abzutasten. Der Sensor kann beispielsweise mindestens einen Tastkopf umfassen, beispielsweise mindestens eine Tastkugel. Der Sensor kann eingerichtet sein, mindestens ein Signal zu erzeugen, beispielsweise ein elektronisches Signal. Das Koordinatenmessgerät kann weiterhin mindestens eine Auswerteeinheit aufweisen, welche eingerichtet ist, das von dem Sensor erzeugte Signal auszuwerten und um aus dem Signal mindestens eine Information über einen Messpunkt an der Oberfläche des Werkstücks zu erzeugen. Unter einer Information über den Messpunkt kann grundsätzlich eine beliebige Information über den Messpunkt verstanden werden, beispielsweise eine Position und/oder Koordinaten im Koordinatensystem des Sensors. Beispielsweise können zu diesem Zweck eine oder mehrere elektronische Verbindungen zwischen dem Sensor und der Auswerteeinheit vorgesehen sein. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise mindestens eine Datenverarbeitungsvorrichtung umfassen, beispielsweise mindestens einen Computer oder Mikrocontroller. Die Datenverarbeitungsvorrichtung kann einen oder mehrere flüchtige und/oder nicht flüchtige Datenspeicher aufweisen, wobei die Datenverarbeitungsvorrichtung beispielsweise programmtechnisch eingerichtet sein kann, um den Sensor anzusteuern. Die Auswerteeinheit kann Teil der Steuerung sein.
Zusammenfassend sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung folgende Ausführungsformen besonders bevorzugt:

Ausführungsform 1: Linearführung für ein Koordinatenmessgerät, umfassend:
- - mindestens einen plattenförmigen Grundkörper, wobei der plattenförmige Grundkörper ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist;
- - mindestens eine Führungsschiene, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient verschieden ist, wobei die Führungsschiene mit dem plattenförmigen Grundkörper verbunden ist, wobei die Führungsschiene in einer neutralen Faser des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet ist.
Ausführungsform 2: Linearführung nach der vorhergehenden Ausführungsform, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Seitenfläche mit einer Höhe h aufweist, wobei die Führungsschiene bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h, an der Seitenfläche des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet ist.
Ausführungsform 3: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens ein Koordinatensystem aufweist, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Seitenfläche aufweist, welche sich entlang einer y-Achse erstreckt, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Auflagefläche aufweist, welche sich senkrecht zu der y-Achse erstreckt, wobei eine x-Achse sich senkrecht zur y-Achse in einer Ebene der Auflagefläche erstreckt, wobei die neutrale Faser eine neutrale Faser bezüglich einer Biegung um die x-Achse ist.
Ausführungsform 4: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Linearführung mindestens einen Führungswagen aufweist, welcher eingerichtet ist, auf der Führungsschiene zu laufen.
Ausführungsform 5: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Material des plattenförmigen Grundkörpers ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus: Granit, Polymerbeton/Mineralguss, Keramik.
Ausführungsform 6: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Material der Führungsschiene Stahl ist.
Ausführungsform 7: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Führungsschiene mit dem plattenförmigen Grundkörper durch mindestens eine Verbindung verbunden ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer kraftschlüssigen Verbindung, einer formschlüssigen Verbindung, einer stoffschlüssigen Verbindung.
Ausführungsform 8: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Verbindung mindestens eine Schraubverbindung und/oder mindestens eine Klebverbindung und/oder mindestens eine Klemmverbindung aufweist.
Ausführungsform 9: Linearführung nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Linearführung mindestens eine Führung aufweist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer Kugelumlaufführung, einer Rollenumlaufführung.
Ausführungsform 10: Koordinatenmessgerät umfassend mindestens eine Linearführung, wobei die Linearführung mindestens einen plattenförmigen Grundkörper aufweist, wobei der plattenförmige Grundkörper ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei die Linearführung mindestens eine Führungsschiene aufweist, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten verschieden ist, wobei die Führungsschiene mit dem plattenförmigen Grundkörper verbunden ist, wobei die Führungsschiene in einer neutralen Faser des plattenförmigen Grundkörpers angeordnet ist.
Ausführungsform 11: Koordinatenmessgerät nach der vorhergehenden Ausführungsform, wobei die Linearführung nach einer der vorhergehenden, eine Linearführung betreffenden Ausführungsformen ausgestaltet ist.
Ausführungsform 12: Koordinatenmessgerät nach einer der vorhergehenden, ein Koordinatenmessgerät betreffenden Ausführungsformen, wobei das Koordinatenmessgerät ein Portalmessgerät oder ein Brückenmessgerät ist.
Ausführungsform 13: Koordinatenmessgerät nach einer der vorhergehenden, ein Koordinatenmessgerät betreffenden Ausführungsformen, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Auflagefläche zur Auflage mindestens eines Werkstückes aufweist, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens eine Seitenfläche mit einer Höhe h aufweist, wobei die Führungsschiene bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h, an der Seitenfläche angeordnet ist.
Ausführungsform 14: Koordinatenmessgerät nach einer der vorhergehenden, ein Koordinatenmessgerät betreffenden Ausführungsformen, wobei das Koordinatenmessgerät mindestens ein Portal aufweist, welches mindestens eine erste vertikale Säule, mindestens eine zweite vertikale Säule und eine die erste vertikale Säule und die zweite vertikale Säule verbindende Traverse aufweist, wobei mindestens eine vertikale Säule ausgewählt aus der ersten vertikalen Säule und zweiten vertikalen Säule auf dem plattenförmigen Grundkörper mittels der Linearführung in einer horizontalen Richtung beweglich gelagert ist.
Ausführungsform 15: Koordinatenmessgerät nach der vorhergehenden Ausführungsform, wobei an einem Ende der anderen vertikalen Säule mindestens ein Fluiddrucklager angeordnet ist, welches eingerichtet ist, einen senkrecht auf das Fluiddrucklager wirkenden Druck aufzunehmen.
Ausführungsform 16: Koordinatenmessgerät nach einer der zwei vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die erste vertikale Säule und die zweite vertikale Säule auf dem plattenförmigen Grundkörper mittels der Linearführung in der horizontalen Richtung beweglich gelagert sind.
Ausführungsform 17: Koordinatenmessgerät nach einer der drei vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Koordinatenmessgerät mindestens einen Messschlitten aufweist, welcher entlang der Traverse beweglich gelagert ist, wobei in dem Messschlitten eine in eine vertikale Richtung bewegliche Pinole gelagert ist, wobei an einem unteren Ende der Pinole ein Sensor angeordnet ist.

Figurenliste
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen, insbesondere in Verbindung mit den Unteransprüchen. Hierbei können die jeweiligen Merkmale für sich alleine oder zu mehreren in Kombination miteinander verwirklicht sein. Die Erfindung ist nicht auf die Ausführungsbeispiele beschränkt. Die Ausführungsbeispiele sind in den Figuren schematisch dargestellt. Gleiche Bezugsziffern in den einzelnen Figuren bezeichnen dabei gleiche oder funktionsgleiche bzw. hinsichtlich ihrer Funktionen einander entsprechende Elemente.
Im Einzelnen zeigen:

1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Koordinatenmessgeräts; und
2 einen vergrößerten Ausschnitt des Ausführungsbeispiels.

Ausführungsbeispiele
1 zeigt eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Koordinatenmessgeräts 110. Das Koordinatenmessgerät 110 kann als Portalmessgerät ausgestaltet sein.
Das Koordinatenmessgerät 110 umfasst mindestens eine Linearführung 112. Die Linearführung 112 weist mindestens einen plattenförmigen Grundkörper 114 auf. Der plattenförmige Grundkörper 114 kann mindestens eine Auflagefläche 116 zur Auflage eines nicht dargestellten Werkstücks aufweisen. Die Auflagefläche 116 kann eine rechteckige Auflagefläche sein, welche im Wesentlichen eben ist. Insbesondere kann der plattenförmige Grundkörper 114 ein Messtisch eines Koordinatenmessgeräts 110 sein.
Der plattenförmige Grundkörper 114 weist ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten auf. Der plattenförmige Grundkörper 114 kann vollständig aus dem Material mit dem ersten Wärmekoeffizienten sein. Das Material des plattenförmigen Grundkörpers 114 kann ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus: Granit, Polymerbeton/Mineralguss, Keramik. Der plattenförmige Grundkörper 114 kann eine Granitplatte sein. Beispielsweise kann der Wärmekoeffizient α des Materials des plattenförmigen Grundkörpers 114 zwischen 4·10^-6/K und 7·10^-6/K sein
Die Linearführung 112 weist mindestens eine Führungsschiene 118 auf, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist. Der erste Wärmeausdehnungskoeffizient ist von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten verschieden. Das Material des plattenförmigen Grundkörpers 114 kann eine von dem Material der Führungsschiene 118 verschiedene Wärmeausdehnung aufweisen. Die Führungsschiene 118 kann vollständig aus dem Material mit dem zweiten Wärmekoeffizienten sein. Das Material der Führungsschiene 118 kann Stahl sein. Beispielsweise kann der Wärmekoeffizient α des Materials der Führungsschiene 118 zwischen 12·10^-6/K sein.
Die Führungsschiene 118 ist mit dem plattenförmigen Grundkörper 114 verbunden. In 2 ist ein vergrößerter Ausschnitt der Linearführung 112 gezeigt. Die Führungsschiene 118 kann eine gerade und/oder lineare Schiene sein. Die Linearführung 112 kann mindestens einen Führungswagen 120, beispielsweise einen Laufwagen und/oder Schlitten, aufweisen, welcher eingerichtet ist, in oder auf der Führungsschiene 118 zu laufen. In dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel kann die Linearführung 112 eine Kugelumlaufführung aufweisen. Beispielsweise kann die Linearführung 112 eine Profilschienenführung aufweisen mit einer Profilschiene und mindestens einem Laufwagen, der beispielsweise über mindestens zwei oder vier Kugel- oder Rollenumläufe verfügt. Auch andere Schienenführungen sind jedoch grundsätzlich denkbar.
Die Führungsschiene 118 kann an dem plattenförmigen Grundkörper 114 befestigt sein. Die Führungsschiene 118 kann mit dem plattenförmigen Grundkörper 114 durch mindestens eine Verbindung verbunden sein ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer kraftschlüssigen Verbindung, einer formschlüssigen Verbindung, einer stoffschlüssigen Verbindung. Die Verbindung kann mindestens eine Schraubverbindung und/oder mindestens eine Klebverbindung, beispielsweise unter Verwendung eines Kleber und/oder Kits, und/oder mindestens eine Klemmverbindung aufweisen.
Die Führungsschiene 118 ist in einer neutralen Faser 122 des plattenförmigen Grundkörpers 114 angeordnet. Der plattenförmige Grundkörper 114 kann mindestens ein Koordinatensystem 124 aufweisen. Der plattenförmige Grundkörper 114 kann mindestens eine Seitenfläche 126 aufweisen, welche sich entlang einer y-Achse erstreckt. Wie oben ausgeführt, kann der plattenförmige Grundkörper 114 mindestens eine Auflagefläche 116 aufweisen. Die Auflagefläche 116 kann sich senkrecht zu der y-Achse erstrecken. Eine x-Achse kann senkrecht zur y-Achse, in einer Ebene der Auflagefläche 116 des plattenförmigen Grundkörpers 114 verlaufen. Senkrecht zu der Ebene der Auflagefläche 116, in eine vertikale Richtung, kann sich eine z-Achse erstrecken. Die neutrale Faser kann eine neutrale Faser bezüglich einer Biegung um die x-Achse sein. Beispielsweise kann sich die Linearführung horizontal, entlang der y-Achse erstrecken. Die neutrale Faser 122 kann durch einen geometrischen Schwerpunkt eines Querschnitts, beispielsweise entlang einer z-Achse, verlaufen. Die Seitenfläche 126 kann eine Höhe h aufweisen. Die Führungsschiene 118 kann bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h, an der Seitenfläche 126 des plattenförmigen Grundkörpers 114 angeordnet sein. Die Führungsschiene 118 kann auf halber Höhe des plattenförmigen Grundkörpers 114 angeordnet sein. Die Führungsschiene 118 kann derart angeordnet sein, dass bei einer thermisch bedingten Spannung zwischen dem plattenförmigen Grundkörper 114 und der Führungsschiene 118 durch unterschiedliche Wärmeausdehnung des Materials des plattenförmigen Grundkörpers 114 und des Materials der Führungsschiene 118, kein Moment um die x-Achse entsteht. So kann verhindert werden, dass eine Biegung in Richtung z-Achse entsteht. Die neutrale Faser 122 kann insbesondere kräftefrei sein.
In dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel weist das Koordinatenmessgerät 110 mindestens ein Portal 128 auf, welches mindestens eine erste vertikale Säule 130, mindestens eine zweite vertikale Säule 132 und eine die erste vertikale Säule 130 und die zweite vertikale Säule 132 verbindende Traverse 134 aufweist. In 1 ist die erste vertikale Säule 130 auf dem plattenförmigen Grundkörper 114 mittels der Linearführung 112 in einer horizontalen Richtung beweglich gelagert. Das Koordinatenmessgerät 110 kann ein Koordinatensystem 136 aufweisen, welches beispielsweise identisch mit dem Koordinatensystem 124 des plattenförmigen Grundkörper 114 ist. Ein Ursprung oder Nullpunkt des Koordinatensystems 136 kann beispielsweise durch einen Sensor 138 des Koordinatenmessgeräts 110 gegeben sein. Beispielsweise kann sich die Linearführung 112 entlang horizontal der y-Achse erstrecken und eingerichtet sein, das Portal 128 und/oder die mindestens eine vertikale Säule 130, 132 des Portals 128 linear, entlang der y-Achse zu bewegen. Eine x-Achse kann senkrecht zur y-Achse, in einer Ebene der Auflagefläche 116 des plattenförmigen Grundkörpers 114 verlaufen. Senkrecht zu der Ebene der Auflagefläche 116, in eine vertikale Richtung, kann sich eine z-Achse erstrecken. Die vertikalen Säulen 130, 132 können sich entlang der z-Achse erstrecken. Die Traverse 134 kann sich entlang der x-Achse erstrecken.
In 1 ist an einem Ende der vertikalen Säule 132 mindestens ein Fluiddrucklager 138, beispielsweise mindestens ein Luftlager, angeordnet, welches eingerichtet ist, einen senkrecht auf das Fluiddrucklager 138 wirkenden Druck aufzunehmen. Die Traverse 134 kann die vertikalen Säulen 130, 132 an einem anderen Ende verbinden.
Das Koordinatenmessgerät 110 kann mindestens einen Messschlitten 140 aufweisen, welcher entlang der Traverse 134 beweglich gelagert ist. In dem Messschlitten 140 kann eine in eine vertikale Richtung, beispielsweise entlang der z-Achse, bewegliche Pinole 142 gelagert sein. An einem unteren Ende, insbesondere einem in Richtung Auflagefläche 116 zeigenden Ende, der Pinole 142 kann der Sensor 138, beispielsweise ein taktiler Sensor, mit welchem eine Oberfläche des Werkstückes abgetastet werden kann, angeordnet sein.
Die Linearführung 112 kann manuell und/oder automatisch betrieben und/oder eingestellt und/oder verstellt werden. Das Koordinatenmessgerät 110, insbesondere die Linearführung 112, kann mindestens einen, hier nicht dargestellten, Antrieb aufweisen, beispielsweise mindestens einen Motor. Das Koordinatenmessgerät 110 kann eine, in den Figuren nicht gezeigte, Steuerungseinheit aufweisen, welche eingerichtet ist, die Linearführung 112, insbesondere den Antrieb der Linearführung 112, anzusteuern und entlang der horizontalen Richtung zu bewegen. Beispielsweise kann die Steuerung mindestens einen Regler aufweisen, welcher eingerichtet ist, den Antrieb, beispielsweise einen Antrieb eines Führungswagens, zu regeln. Die Steuerung kann weiterhin mindestens eine Schnittstelle umfassen, beispielsweise eine elektronische Schnittstelle und/oder eine Mensch-Maschine-Schnittstelle wie beispielsweise eine Eingabe-/Ausgabe-Vorrichtung wie ein Display und/oder eine Tastatur und/oder ein Bedienpult.
Das Koordinatenmessgerät 110 kann eingerichtet sein, das Werkstück, insbesondere eine Oberfläche des Werkstücks, durch Bewegen des Portals 128 und/oder des Messschlittens 140 und/oder der Pinole 142 in allen drei Raumrichtungen mit dem Sensor 138 abzutasten. Der Sensor 138 kann beispielsweise mindestens einen Tastkopf umfassen, beispielsweise mindestens eine Tastkugel. Der Sensor 138 kann eingerichtet sein, mindestens ein Signal zu erzeugen, beispielsweise ein elektronisches Signal. Das Koordinatenmessgerät 110 kann weiterhin mindestens eine, in den Figuren nicht dargestellte, Auswerteeinheit aufweisen, welche eingerichtet ist, das von dem Sensor 138 erzeugt Signal auszuwerten und um aus dem Signal mindestens eine Information über einen Messpunkt an der Oberfläche des Werkstücks zu erzeugen. Beispielsweise können zu diesem Zweck eine oder mehrere elektronische Verbindungen zwischen dem Sensor 138 und der Auswerteeinheit vorgesehen sein. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise mindestens eine Datenverarbeitungsvorrichtung umfassen, beispielsweise mindestens einen Computer oder Mikrocontroller. Die Datenverarbeitungsvorrichtung kann einen oder mehrere flüchtige und/oder nicht flüchtige Datenspeicher aufweisen, wobei die Datenverarbeitungsvorrichtung beispielsweise programmtechnisch eingerichtet sein kann, um den Sensor 138 anzusteuern. Die Auswerteeinheit kann Teil der Steuerung sein.
Bezugszeichenliste

110: Koordinatenmessgerät
112: Linearführung
114: plattenförmige Grundkörper
116: Auflagefläche
118: Führungsschiene
120: Führungswagen
122: neutrale Faser
124: Koordinatensystem
126: Seitenfläche
128: Portal
130: erste vertikale Säule
132: zweite vertikale Säule
134: Traverse
136: Koordinatensystem
138: Sensor
140: Messschlitten
142: Pinole

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

US 9109747 B2 [0003]

Claims

Linearführung (112) für ein Koordinatenmessgerät (110), umfassend: - mindestens einen plattenförmigen Grundkörper (114), wobei der plattenförmige Grundkörper (114) ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist; - mindestens eine Führungsschiene (118), welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient verschieden ist, wobei die Führungsschiene (118) mit dem plattenförmigen Grundkörper (114) verbunden ist, wobei die Führungsschiene (118) in einer neutralen Faser (122) des plattenförmigen Grundkörpers (114) angeordnet ist.
Linearführung (112) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei der plattenförmige Grundkörper (114) mindestens eine Seitenfläche (126) mit einer Höhe h aufweist, wobei die Führungsschiene (118) bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h, an der Seitenfläche des plattenförmigen Grundkörpers (114) angeordnet ist.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Linearführung (112) mindestens einen Führungswagen (120) aufweist, welcher eingerichtet ist, auf der Führungsschiene (118) zu laufen.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Material des plattenförmigen Grundkörpers (114) ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus: Granit, Polymerbeton/Mineralguss, Keramik.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Material der Führungsschiene (118) Stahl ist.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Führungsschiene (118) mit dem plattenförmigen Grundkörper (114) durch mindestens eine Verbindung verbunden ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer kraftschlüssigen Verbindung, einer formschlüssigen Verbindung, einer stoffschlüssigen Verbindung.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Verbindung mindestens eine Schraubverbindung und/oder mindestens eine Klebverbindung und/oder mindestens eine Klemmverbindung aufweist.
Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Linearführung (112) mindestens eine Führung aufweist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer Kugelumlaufführung, einer Rollenumlaufführung.
Koordinatenmessgerät (110) umfassend mindestens eine Linearführung (112), wobei die Linearführung (112) mindestens einen plattenförmigen Grundkörper (114) aufweist, wobei der plattenförmige Grundkörper (114) ein Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei die Linearführung (112) mindestens eine Führungsschiene (118) aufweist, welche ein Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, wobei der erste Wärmeausdehnungskoeffizient von dem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient verschieden ist, wobei die Führungsschiene (118) mit dem plattenförmigen Grundkörper (114) verbunden ist, wobei die Führungsschiene (118) in einer neutralen Faser (122) des plattenförmigen Grundkörpers (114) angeordnet ist.
Koordinatenmessgerät (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Linearführung (112) nach einem der vorhergehenden, eine Linearführung betreffenden Ansprüche ausgestaltet ist.
Koordinatenmessgerät (110) nach einem der vorhergehenden, ein Koordinatenmessgerät betreffenden Ansprüche, wobei das Koordinatenmessgerät (110) ein Portalmessgerät oder ein Brückenmessgerät ist.
Koordinatenmessgerät (110) nach einem der vorhergehenden, ein Koordinatenmessgerät betreffenden Ansprüche, wobei der plattenförmige Grundkörper (114) mindestens eine Auflagefläche (116) zur Auflage mindestens eines Werkstückes aufweist, wobei der plattenförmige Grundkörper (114) mindestens eine Seitenfläche (126) mit einer Höhe h aufweist, wobei die Führungsschiene (118) bei einer Höhe zwischen 0,4h und 0,6h, bevorzugt bei 0,5h, an der Seitenfläche angeordnet ist.
Koordinatenmessgerät (110) nach einem der zwei vorhergehenden Ansprüche, wobei das Koordinatenmessgerät (110) mindestens ein Portal (128) aufweist, welches mindestens eine erste vertikale Säule (130), mindestens eine zweite vertikale Säule (132) und eine die erste vertikale Säule (130) und die zweite vertikale Säule (132) verbindende Traverse (134) aufweist, wobei mindestens eine vertikale Säule ausgewählt aus der ersten vertikalen Säule (130) und zweiten vertikalen Säule (132) auf dem plattenförmigen Grundkörper (114) mittels der Linearführung (112) in einer horizontalen Richtung beweglich gelagert ist.
Koordinatenmessgerät (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei an einem Ende der anderen vertikalen Säule mindestens ein Fluiddrucklager (138) angeordnet ist, welches eingerichtet ist, einen senkrecht auf das Fluiddrucklager (138) wirkenden Druck aufzunehmen.
Koordinatenmessgerät (110) nach einem der zwei vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste vertikale Säule (130) und die zweite vertikale Säule (132) auf dem plattenförmigen Grundkörper (114) mittels der Linearführung (112) in der horizontalen Richtung beweglich gelagert sind.