CN108020184B - 坐标测量机的线性引导件以及坐标测量机 - Google Patents

Abstract

提出了坐标测量机(110)的线性引导件(112)及坐标测量机。该线性引导件包括：至少一个板状主体(114)，其中板状主体(114)的材料具有第一热膨胀系数；至少一个导轨(118)，其材料具有第二热膨胀系数，其中第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数，导轨(118)连接至板状主体(114)。导轨(118)布置在板状主体(114)的中性轴线(122)中。

Description

坐标测量机的线性引导件以及坐标测量机

技术领域

本发明涉及坐标测量机的线性引导件、以及坐标测量机。

背景技术

在先技术披露了用于测量工件的坐标测量机的多种线性引导件。这样的坐标测量机能够设计为门式测量机。门式测量机包含门，该门具有两个垂直柱和在上部区域中连接两个垂直柱的横梁，该门被安装在用于支承待测量的工件的主体上，使得其在水平方向上可移动。安装测量滑块以使其沿横梁移动，其中测量滑块安装了在垂直方向上可移动的套筒。在套筒的下端处布置有传感器，特别是触觉传感器，可以通过该传感器探测工件的表面。通过所述的门机构，传感器可以相对于待测量的工件在所有坐标方向x，z，y上移动。

门的引导，例如沿着y轴，能够通过一个或多个线性引导件实现。所述类型的线性引导件例如在US 9,109,747B2中公开。线性移动装置描述为具有基座和仪器，所述基座带有支承一个或多个工件的表面。该仪器布置为通过多个导轨相对于该基座可移动，使得仪器沿着三个轴线相对于基座的移动是可能的。至少一个导轨包括长形的导轨元件，该导轨元件由多个长形的、基本平面的腹板元件构成。每个腹板元件具有长度，并且具有沿着该长度分布的相对定位的侧边缘的对。腹板元件在至少一个或多个的侧边缘处彼此连接，以便形成长形的导轨元件。导轨元件包括陶瓷材料。

根据在先技术已知使用流体压力轴承，特别是空气轴承作为引导件，所述流体压力轴承在主体上运行，例如在以高精度加工的花岗岩板上。这种解决方案使得允许在测量工件时的精确测量结果。然而，这种空气轴承仅可以适应在一个方向上的作用力，使得例如沿y轴的引导需要多个空气轴承和高精度表面。这种解决方案从而可能导致在设备方面的高花费和和高成本。另外，空气轴承可能在动态力的存在下表现出非常软的特性，例如可能在门的加速期间出现。特别是在受污染的环境空气存在的情况下，例如由于车间区域内的污染物(比如油雾和金属尘埃)，这可能导致高度磨损和故障。

还根据在先技术已的知门式测量机具有由铸铁构成的主体，循环滚珠引导件形式的线性引导件附接至所述主体。这种引导件可以甚至在动态力的存在下表现出高水平的刚度。例如，相对于空气轴承引导件，循环滚珠引导件对于污染物较不敏感。

然而，使用由花岗岩构成的主体可以相对于铸铁是有利的，因为花岗岩表现出更低的热膨胀且具有高的质量，并且在形状和尺寸方面是恒定的，尤其不受任何老化过程影响。然而，循环滚珠引导件通常用钢制造。然而，钢的热膨胀系数与花岗岩的热膨胀系数有很大的区别，导致花岗岩板在引导件区域内的弯曲，因而可能发生不精确测量。

发明目的

因此本发明的目的是提供线性引导件和坐标测量机，其至少实质上避免了现有系统的缺点。特别地，期望能够实现高水平的刚度、具有同步不灵敏度的低热膨胀、特别是对车间环境的适应性。

发明内容

通过具有独立权利要求中的特征的线性引导件和坐标测量机实现所述目的。在从属权利要求中呈现了有益的改进，其可以单独地或组合地实现。

在下文中，表述“表现出”、“具有”、“包括”或“包含”或其任何语法变体都以非排他性的方式使用。因此，这些表述可以指两种情况：一种情况是，除了由这些表述引入特征之外，不提供另外的特征，另一种情况是提供一个或多个另外的特征。例如，表述“A表现出B”，“A具有B”，“A包括B”或“A包含B”可以是以下两种情况：一种情况是，A中不提供除了B之外的另外元件(换言之A由B独占地组成)，另一种情况是，除了B之外，在A中还提供了一个或多个另外的元件，例如元件C、元件C和D、或甚至其他元件。

进一步指出的是，表述“至少一个”和“一个或多个”以及这类表述或类似表述的语法变形，在结合一个或多个元件或者特征使用且旨在表达可能单个地或多个地提供元件或特征的情况下，通常仅使用一次，例如当首次将特征或元件引入时。当该特征或元件被再次提及时，相应的表述“至少一个”或“一个或多个”通常将不再被使用，而不限制单个地或多个地提供特征的可能性。

另外，下文中，表述“优选地”、“特别”、“例如”或类似表述将结合可选的特征使用，而替代性的实施例在此不受限制。因此，通过这种表述引入的特征是可选的特征，且并非意在通过这些特征限制权利要求的保护范围，且特别是独立权利要求的保护范围。因此，如本领域技术人员认识到的，本发明也可以使用其他改进来实施。类似地，通过“在本发明的一个实施例中”或者“在本发明的示例性实施例中”引入的特征将理解为可选的特征，而这些不旨在限定替代的改进或独立权利要求的保护范围。另外，旨在使得此处引入的特征与其他特征的结合所有可能性(不论是可选的或非可选的特征)保持不受这种引入式表述的影响。

在本发明的第一方面，提出了坐标测量机的线性引导件。线性引导件可以通常理解为机械引导元件，该机械引导元件设计为用于沿着轴线(特别是在直线上)相对于第二部件(例如板状主体)来移动第一部件(例如门和/或门柱)。线性引导件可以设计用于将第一部件相对于第二部件移动。线性引导件可以基本上用于机械工程领域的各种装置，例如在机床、铣床或坐标测量机中。在本发明的情景下，线性引导件将在坐标测量机的情景下描述。然而，其他的使用领域也是可设想的。

线性引导件包括：

-至少一个板状主体，其中该板状主体的材料具有第一热膨胀系数；

-至少一个导轨，导轨的材料具有第二热膨胀系数，其中第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数，其中导轨连接至板状主体。

板状主体可以通常理解为带有矩形基部表面的长方体，在其上布置线性引导件的其他部件。板状主体可以具有用于支承工件的至少一个支承表面。支承表面可以是矩形的支承表面，它是基本上平坦的。支承表面可以优选地完全平坦，尽管平面度的小偏差是可设想的。特别地，板状主体可以是坐标测量机的测量台。.

导轨可以通常理解为这样的部件，一个或多个引导滑架沿着该部件运行。特别地，导轨可以是直线和/或线性轨道。线性引导件可以具有至少一个引导滑架，例如运行的滑架和/或滑块，将它们设计为在导轨中或导轨上运行。线性引导件可以具有选自以下组的引导件，所述组包括：循环滚珠引导件，循环滚子引导件。例如，线性引导件可以具有异形轨道引导件，其带有异形轨道和至少一个运行滑架，该运行滑架具有例如至少两个或四个滚珠或滚子回路。例如，线性引导件可以具有笼式轨道引导件。其他轨道引导件基本上也是可设想的。

表述“第一”和“第二”热膨胀系数仅是指示，且不提供关于顺序、以及关于板状主体和/或导轨是否具有其他热膨胀系数的其他材料的任何信息。热膨胀的系数，又称为热膨胀系数，可以通常理解为，在温度变化的情况下，关于材料的尺寸的变化的材料行为的度量。第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数。板状主体的材料可以表现出与导轨材料不同的热膨胀。板状主体可以完全由第一热系数的材料构成。板状主体的材料可以选自包括花岗岩、聚合物混凝土/矿物铸件、陶瓷的组。板状主体可以是花岗岩板。例如，板状主体的材料的热系数α可以介于4·10^-6/K和7·10^-6/K之间。导轨可以完全由第二热系数的材料构成。例如，导轨的材料的热系数α可以介于10·10^-6/K和14·10^-6/K之间。导轨的材料可以是钢。例如，导轨的材料的热系数α可以是12·10^-6/K。

导轨连接到板状主体。表述“连接”可以理解为导轨和板状主体的可拆卸或者不可拆卸的连接。特别地，导轨可以紧固到板状主体。导轨可以通过选自以下组中的至少一种连接来连接到板状主体，所述组包括：非强制联锁连接(non-positively lockingconnection)、强制联锁连接(positively locking connection)、聚合连接(cohesiveconnection)。该连接可以具有至少一个螺钉连接和/或至少一个粘合连接，例如使用粘合剂和/或水泥，和/或至少一个夹紧连接。连接可以是直接连接，或者其他元件可以布置在板状主板和导轨之间，例如一个或多个间隔片。

导轨布置在板状主体的中性轴线中。中性轴线也称为零线，可以理解为板状主体例如沿z轴的截面的轴线或层，所述板状主体的长度在特别是关于x轴线的扭转或弯曲的情况下不改变。板状主体可以具有至少一个坐标系，例如笛卡尔坐标系。板状主体可以具有沿y轴延伸的至少一个侧表面。如上文所述，板状主体可以具有至少一个支承表面。支承表面可以垂直于y轴延伸。x轴可以在板状主体的支承表面的平面中垂直于y轴分布。z轴可以在竖直方向上垂直于支承表面的平面延伸。中性轴线可以是相对于关于x轴的弯曲的中性轴线。例如，线性引导件可以沿y轴水平延伸。中性轴线可以通过截面区域的几何中心延伸。板状主体可以具有矩形且基本上平坦的至少一个侧表面。侧表面可以具有高度h。高度可以理解为沿z轴的长度。导轨以0.4h到0.6h之间的高度、优选0.5h的高度布置在板状主体的侧表面。导轨以0.5h的高度布置，其中±20％的公差是可能的。例如，在具有矩形截面的平板情况下，导轨可以布置在0.5h处。导轨可以布置在板状主体的高度的中点处。导轨可以布置为使得，当存在由于板状主体的材料与导轨的材料的不同的热膨胀引起的板状主体和导轨之间的热诱导应力的情况下，不会产生关于x轴的力矩。因此，可以阻止在z轴方向上发生弯曲。中性轴线可以特别不受力。

当存在板状主体和导轨之间热诱导应力的情况下，可以产生关于z轴的力矩。板状主体可以具有沿x轴的大的范围，使得板状主体具有关于z轴的高的第二力矩，从而关于z轴的所述力矩导致非常低程度的弯曲，它对于机器的精确度没有影响或几乎没有任何影响。

在本发明的另一方面，提出的坐标测量机包括至少一个线性引导件。线性引导件具有至少一个板状主体。板状主体具有第一热膨胀系数的材料。线性引导件具有至少一个导轨，所述导致具有第二热膨胀系数的材料。第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数。导轨连接到板状主体。导轨布置在板状主体的中性轴线中。

线性引导件可以根据上述实施例中的一个来设计。关于坐标测量机的细节和定义，参照对线性引导件的描述。

坐标测量机可以是门式测量机或桥式测量机。板状主体可以是坐标测量机的测量桌台。板状主体可以具有用于至少一个支承工件的至少一个支承表面。其中板状主体可以具有高度为h的至少一个侧表面，其中将导轨以0.4h到0.6h之间的高度、优选0.5h的高度布置在侧表面上。

坐标测量机可以具有至少一个门，其具有至少一个第一垂直柱、至少一个第二垂直柱和横梁，该横梁连接第一垂直柱和第二垂直柱。选自第一垂直柱和第二垂直柱的至少一个垂直柱可以安装在板状主体上，以便通过线性引导件在水平方向上可移动。该水平方向可以是沿y轴的方向。坐标测量机可以具有坐标系，例如笛卡尔坐标系或球坐标系。其他坐标系也是可设想的。坐标系的原点或零点可以例如由坐标测量机的传感器限定。例如，线性引导件可以沿y轴水平延伸，且设计为将门和/或至少一个门柱沿y轴线性地移动。x轴可以在板状主体的支承表面的平面中垂直于y轴分布。z轴可以在竖直方向上垂直于支承表面的平面延伸。垂直柱可以沿z轴延伸。横梁可以沿x轴延伸。

在一个实施例中，另一个垂直柱的端部布置有至少一个流体压力轴承，例如至少一个空气轴承，该空气轴承设计为适应垂直作用于液体压力轴承的压力。横梁可以连接该垂直柱的另一端部。

在一个实施例中，第一垂直柱和第二垂直柱可以安装在板状主体上，以便通过线性引导件在水平方向上移动。

坐标测量机可以具有至少一个测量滑块，安装该测量滑块以使得其沿横梁移动。测量滑块通常可以理解为设计为直接容纳或经由其他元件容纳至少一个传感器的滑块。测量滑块可以安装有套筒，其在垂直方向上，例如沿着z轴是可移动的。在套筒的下端，特别是指向套筒的支承表面的方向的端部，可以安装传感器，例如触觉传感器，通过该传感器可以探测工件的表面。这里，在本发明的情景下，工件通常可以理解为待测量的任意形状的物体。

线性引导件可以手动和/或自动地进行操作和/或设置和/或调整。坐标测量机，特别是线性引导件，可以具有至少一个驱动器，例如至少一个电动机。坐标测量机可以具有设计为致动线性引导件的控制单元，特别是驱动线性引导件，并且沿水平方向移动它。例如，控制器可以具有至少一个调节器，其涉及为调节驱动器，例如对引导滑架的驱动。另外，控制器可以包括至少一个接口，例如电子接口和/或人机接口，例如，比如显示器和/或键盘和/或操作控制台的输入/输出装置。

坐标测量机可以设计成通过门和/或测量滑块和/或套筒在所有三个空间方向上的移动借助于传感器来探测工件，特别是工件的表面。传感器可以例如包括至少一个探头，例如至少一个探针球。传感器可以设计成产生至少一个信号，例如电信号。坐标测量机可以具有至少一个评价单元，其设计为评价由传感器产生的电信号，并从该信号产生关于在工件的表面上的测量点的至少一个信息项。关于测量点的信息项基本上可以理解为关于测量点的任意信息项，例如在传感器的坐标系中的位置和/或坐标。例如，为了这一目的，一个或多个电子连接可以设置在传感器和评价单元之间。评价单元可以例如包括至少一个数据处理装置，例如至少一个计算机或微控制器。数据处理装置可以具有一个或多个易失性和/或非易失性数据存储器，其中数据处理装置可以例如在编程技术方面进行设定，从而致动传感器。评价单元可以是控制器的一部分。

综上，在本发明的情景下，特别优选了如下的实施例。

实施例1：坐标测量机的线性引导件，包括：

-至少一个板状主体，其中该板状主体的材料具有第一热膨胀系数；

-至少一个具有导轨，所述导轨的材料具有第二热膨胀系数，其中第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数，其中导轨连接至板状主体，

其中将导轨布置在板状主体的中性轴线中。

实施例2：根据前一项实施例的线性引导件，其中板状主体具有至少一个高度为h的侧表面，其中以0.4h和0.6h之间的高度、优选0.5h的高度将导轨布置在所述板状主体的侧表面上。

实施例3：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中板状主体具有至少一个坐标系，其中板状主体具有沿y轴延伸的至少一个侧表面，其中板状主体具有垂直于y轴延伸的至少一个支承表面，其中x轴在支承表面的平面中垂直于y轴延伸，其中中性轴线是相对于关于x轴的弯曲的中性轴线。

实施例4：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中线性引导件具有设计为在导轨上运行的至少一个引导滑架。

实施例5：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中所述板状主体的材料选自包括花岗岩、聚合物混凝土/矿物铸件、陶瓷的组。

实施例6：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中所述导轨是钢。

实施例7：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中所述导轨通过选自以下组中的至少一种连接来连接到所述板状主体，所述组包括：非强制联锁连接、强制联锁连接、聚合连接。

实施例8：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中该连接具有至少一个螺钉连接和/或至少一个粘合连接和/或至少一个夹紧连接。

实施例9：根据前述实施例中任一项的线性引导件，其中该线性引导件具有至少一个导轨，其选自包括循环滚珠引导件、循环滚子引导件的组。

实施例10：坐标测量机，包括至少一个线性引导件，其中线性引导件具有至少一个板状主体，其中所述板状主体的材料具有第一热膨胀系数，其中线性引导件具有至少一个导轨，所述导轨的材料具有第二热膨胀系数，其中第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数，其中导轨连接至板状主体，其中导轨布置在板状主体的中性轴线中。

实施例11：根据前述实施例的坐标测量机，其中线性引导件根据涉及线性引导件的前述实施例中的任一项来设计。

实施例12：根据涉及坐标测量机的前述实施例中的任一项所述的坐标测量机，其中坐标测量机是门式测量机或桥式测量机。

实施例13：根据涉及坐标测量机的前述实施例中的任一项所述的坐标测量机，其中板状主体具有用于支承至少一个工件的至少一个支承表面，其中板状主体具有高度为h的至少一个侧表面，其中导轨以0.4h和0.6h之间的高度、优选0.5h的高度布置在侧表面上。

实施例14：根据涉及坐标测量机的前述实施例中的任一项所述的坐标测量机，其中坐标测量机具有至少一个门，该门具有至少一个第一垂直柱、至少一个第二垂直柱、以及连接第一垂直柱与第二垂直柱的横梁，其中选自第一垂直柱或第二垂直柱的至少一个垂直柱安装在板状主体上，以便通过线性引导件在水平方向上可移动。

实施例15：根据前一项实施例的坐标测量机，其中另一个垂直柱的端部上布置有至少一个流体压力轴承，其设计为适应垂直作用在流体压力轴承上的压力。

实施例16：根据前两项实施例中任一项的坐标测量机，其中第一垂直柱和第二垂直柱安装在板状主体上，以便通过线性引导件在水平方向上可移动。

实施例17：根据前三项实施例中任一项的坐标测量机，其中该坐标测量机具有至少一个测量滑块，其安装为沿着横梁移动，其中在垂直方向上可移动的套筒安装在测量滑块上，其中将传感器布置在套管的下端部。

附图说明

根据对优选实施例的以下说明，特别是结合从属权利要求，本发明的进一步的细节和优点将变得显而易见。在这里，特征分别可以单独地或多个彼此结合地实现。本发明不限于示例性实施例。示例性实施例在附图中示意性示出。在这里，相同的附图标记在相同的附图中标识相同或功能相同的元件，或在其功能上彼此对应的元件。

具体为：

图1示出了根据本发明的坐标测量机的示例性实施例的示意图；以及

图2示出了示例性实施例放大的细节。

具体实施方式

图1示出了根据本发明的坐标测量机110的示例性实施例的示意图。坐标测量机110可以设计为门式测量机。

坐标测量机110包括至少一个线性引导件112。线性引导件112具有至少一个板状主体114。板状主体114可以具有用于支承工件(未示出)的至少一个支承表面116。支承表面116可以是矩形的支承表面，它是基本上平坦的。特别地，板状主体114可以是坐标测量机110的测量台。.

板状主体114具有第一热膨胀系数的材料。板状主体114可以完全由第一热系数的材料构成。板状主体114的材料可以选自包括花岗岩、聚合物混凝土/矿物铸件、陶瓷的组。板状主体114可以是花岗岩板。例如，板状主体114的材料的热系数α可以介于4·10^-6/K和7·10^-6/K之间。

线性引导件112具有至少一个导轨118，其具有第二热膨胀系数的材料。第一热膨胀系数不同于第二热膨胀系数。板状主体114的材料可以表现出与导轨材料118不同的热膨胀。导轨118可以完全由第二热系数的材料构成。导轨118的材料可以是钢。例如，导轨118的材料的热系数α可以是12·10^-6/K。

将导轨118连接到板状主体114。图2示出了线性引导件112放大的细节。导轨118可以是直线的和/或线性的轨道。线性引导件112可以具有至少一个引导滑架120，例如运行的滑架和/或滑块，其设计为在导轨118中或上运行。在附图1所示出的示例性实施例中，线性引导件112可以具有循环滚珠引导件。例如，线性引导件112可以具有异形(profiled)轨道引导件，其带有异形轨道和至少一个运行滑架，该运行滑架具有例如至少两个或四个滚珠或滚子回路。其他轨道引导件也基本上是可设想的。

导轨118可以紧固至板状主体114。导轨118可以通过选自以下组中的至少一种连接来连接到板状主体114，所述组包括：非强制联锁连接、强制联锁连接、聚合连接。该连接可以具有至少一个螺钉连接和/或至少一个粘合连接，例如使用粘合剂和/或水泥，和/或至少一个夹紧连接。

将导轨118布置在板状主体114的中性轴线122中。板状主体114可以具有至少一个坐标系124。板状主体114可以具有沿y轴延伸的至少一个侧表面126。如上文所述，板状主体114可以具有至少一个支承表面116。支承表面116可以垂直于y轴延伸。x轴可以在板状主体114的支承表面116的平面中垂直于y轴分布。z轴可以在竖直方向上垂直于支承表面116的平面延伸。中性轴线可以是相对于关于x轴的弯曲的中性轴线。例如，线性引导件可以沿y轴水平延伸。中性轴线122可以穿过截面的几何重心，例如沿z轴。侧表面126可以具有高度h。将导轨118以0.4h和0.6h之间的高度、优选0.5h的高度布置在板状主体114的侧表面126上。导轨118可以布置在板状主体114的高度的中点处。导轨118可以布置为使得，当存在由于板状主体114的材料与导轨118的材料的不同的热膨胀引起的板状主体和导轨之间的热诱导应力的情况下，不会产生关于x轴的力矩。因此，可以阻止在z轴方向上发生弯曲。中性轴线122可以特别不受力。

在图1示出的示例性实施例中，坐标测量机具有至少一个门128，该门结构具有至少一个第一垂直柱130、至少一个第二垂直柱132和横梁134，横梁134连接第一垂直柱130和第二垂直柱132。在附图1中，第一垂直柱130安装在板状主体114上，以便通过线性引导件112在水平方向上可移动。坐标测量机110可以具有坐标系136，该坐标系例如与板状主体114的坐标系124相同。坐标系136的原点或零点可以由坐标测量机110的传感器138限定。例如，线性引导件112可以沿y轴水平延伸，且设计为将门128和/或至少一个门128的垂直柱130、132沿y轴线性地移动。x轴可以在板状主体114的支承表面116的平面中垂直于y轴分布。z轴可以在竖直方向上垂直于支承表面116的平面延伸。垂直柱130、132可以沿z轴延伸。横梁134可以沿x轴延伸。

在附图1中，在垂直柱132的端部上布置有至少一个流体压力轴承138，例如至少一个空气轴承，其设计为适应垂直作用于流体压力轴承138的压力。横梁134可以连接垂直柱130、132的另一端部。

坐标测量机110可以具有至少一个测量滑块140，安装该测量滑块以使其沿横梁134可移动。在测量滑块140中可以安装有套筒142，其在垂直方向上是可移动的，例如沿着z轴。在套筒142的下端，特别是指向支承表面116的方向的端部，可以布置传感器138，例如触觉传感器，通过该传感器可以探测工件的表面。

线性引导件112可以手动和/或自动地进行操作和/或设置和/或调整。坐标测量机110，特别线性引导件112，可以具有至少一个驱动器(这里未示出)，例如至少一个电动机。坐标测量机110可以具有控制单元(未在附图中示出)，其设计为致动线性引导件112，特别是线性引导件112的驱动，并且沿水平方向移动它。例如，控制器可以具有至少一个调节器，其设计为调节驱动器，例如对引导滑架的驱动。控制器还可以包括至少一个接口，例如电子接口和/或人机接口，例如，诸如显示器和/或键盘和/或操作控制台的输入/输出装置。

坐标测量机110通过门128和/或测量滑块140和/或套筒142在所有三个空间方向上的移动借助于传感器138来探测工件，特别是工件的表面。传感器138可以例如包括至少一个探头，例如至少一个探针球。传感器可以设计成产生至少一个信号，例如电信号。坐标测量机110还可以具有至少一个评价单元(未在图中示出)，其设计为评价由传感器138产生的电信号，并从该信号产生关于在工件的表面上的测量点的至少一个信息项。例如，为了这一目的，一个或多个电子连接可以设置在传感器138和评价单元之间。评价单元可以例如包括至少一个数据处理装置，例如至少一个计算机或微控制器。数据处理装置可以具有一个或多个易失性和/或非易失性数据存储器，其中数据处理装置可以例如在编程技术方面进行设定，从而致动传感器137。评价单元可以是控制器的一部分。

附图标记列表

110 坐标测量机

112 线性引导件

114 板状主体

116 支承表面

118 导轨

120 引导滑架

122 中性轴线

124 坐标系

126 侧表面

128 门

130 第一垂直柱

132 第二垂直柱

134 横梁

136 坐标系

138 传感器

140 测量滑块

142 套筒

Claims (17)

1.用于坐标测量机(110)的线性引导件(112)，包括：

-至少一个板状主体(114)，其中所述板状主体(114)的材料具有第一热膨胀系数；

-至少一个导轨(118)，所述导轨的材料具有第二热膨胀系数，其中所述第一热膨胀系数与所述第二热膨胀系数不同，其中所述导轨(118)连接至所述板状主体(114)，

其中所述导轨(118)布置在所述板状主体(114)的中性轴线(122)中。

2.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述板状主体(114)具有高度为h的至少一个侧表面(126)，其中所述导轨(118)以0.4h和0.6h之间的高度布置在所述板状主体(114)的侧表面上。

3.如权利要求2所述的线性引导件(112)，其中所述导轨(118)以0.5h的高度布置在所述板状主体(114)的侧表面上。

4.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述线性引导件(112)具有至少一个引导滑架(120)，其设计为在所述导轨(118)上运行。

5.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述板状主体的材料选自以下组，所述组包括：花岗岩，聚合物混凝土/矿物铸件，陶瓷。

6.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述导轨(118)的材料是钢。

7.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述导轨(118)通过选自以下组中的至少一种连接来连接到所述板状主体(114)，所述组包括：非强制联锁连接、强制联锁连接、聚合连接。

8.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述连接具有至少一个螺钉连接和/或至少一个粘合连接和/或至少一个夹紧连接。

9.如权利要求1所述的线性引导件(112)，其中所述线性引导件(112)具有选自以下组中的至少一种连接，所述组包括：循环滚珠引导件，循环滚子引导件。

10.坐标测量机(110)，包括至少一个线性引导件(112)，其中所述线性引导件(112)具有至少一个板状主体(114)，其中所述板状主体(114)的材料具有第一热膨胀系数，其中所述线性引导件(112)具有至少一个导轨(118)，所述导轨的材料具有第二热膨胀系数，其中所述第一热膨胀系数不同于所述第二热膨胀系数，其中所述导轨(118)连接至所述板状主体(114)，其中所述导轨(118)布置在所述板状主体(114)的中性轴线(122)中。

11.如权利要求10所述的坐标测量机(110)，其中所述线性引导件包括(112)根据涉及线性引导件的权利要求1-9中的任一项的线性引导件。

12.如权利要求10所述的坐标测量机(110)，其中所述坐标测量机(110)是门式测量机或桥式测量机。

13.如权利要求10所述的坐标测量机(110)，其中所述板状主体(114)具有用于支承至少一个工件的至少一个支承表面(116)，其中所述板状主体(114)具有高度为h的至少一个侧表面(126)，其中所述导轨(118)以0.4h和0.6h之间的高度布置在所述侧表面上。

14.如权利要求13所述的坐标测量机(110)，其中所述导轨(118)以0.5h的高度布置在所述侧表面上。

15.如权利要求12所述的坐标测量机(110)，其中所述坐标测量机(110)具有至少一个门(128)，所述门具有至少一个第一垂直柱(130)、至少一个第二垂直柱(132)和横梁(134)，所述横梁连接所述第一垂直柱(130)和所述第二垂直柱(132)，其中选自所述第一垂直柱(130)和所述第二垂直柱(132)中的至少一个垂直柱安装在所述板状主体(114)上，以便通过所述线性引导件(112)在水平方向上可移动。

16.如权利要求15所述的坐标测量机(110)，其中，选自所述第一垂直柱(130)和所述第二垂直柱(132)中的一个垂直柱安装在所述板状主体(114)上，以便通过所述线性引导件(112)在水平方向上可移动，且其中，在另一个垂直柱的端部布置有至少一个流体压力轴承(138)，所述流体压力轴承设计为适应垂直作用在所述流体压力轴承(138)上的压力。

17.如权利要求15或16所述的坐标测量机(110)，其中所述第一垂直柱(130)和所述第二垂直柱(132)安装在所述板状主体(114)上，以便通过所述线性引导件(112)在水平方向上可移动。

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