JPH0760615A - Ｘｙテーブル装置 - Google Patents
Ｘｙテーブル装置Info
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- JPH0760615A JPH0760615A JP21672493A JP21672493A JPH0760615A JP H0760615 A JPH0760615 A JP H0760615A JP 21672493 A JP21672493 A JP 21672493A JP 21672493 A JP21672493 A JP 21672493A JP H0760615 A JPH0760615 A JP H0760615A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的ラフな温度管理を行なうだけで、熱変
位による影響を抑制することのできるＸＹテーブル装置
を提供する。 【構成】 Ｙ軸スライドテーブル１ｂの上面には、支
持アーム９の基端９ａが固定されている。支持アーム９
の先端９ｂは、基端９ａの固定中心Ｏ１からＸ軸方向に
寸法Ｘ１だけ延在して、Ｘ軸スライドテーブル２ｂの上
方に位置している。Ｘ軸スライドテーブル２ｂのスライ
ド位置を検出する位置検出ヘッド８は、位置検出ヘッド
支持台１１の他端１１ｂの中心Ｏ４に装着されている。
この位置検出ヘッド支持台１１は、支持アーム９と線膨
張係数を同じくする同種材料で形成されており、その一
端１１ａはＹ軸ガイドレール１ａの下面に固定されてい
る。一端１１ａの固定中心Ｏ２は、支持アーム９の基端
９ａの固定中心Ｏ１を通るＹＺ平面内にあり、他端９ｂ
は、一端１１ａの固定中心Ｏ２からＸ軸方向に寸法Ｘ２
だけ延在している。寸法Ｘ１とＸ２とは同一である。
位による影響を抑制することのできるＸＹテーブル装置
を提供する。 【構成】 Ｙ軸スライドテーブル１ｂの上面には、支
持アーム９の基端９ａが固定されている。支持アーム９
の先端９ｂは、基端９ａの固定中心Ｏ１からＸ軸方向に
寸法Ｘ１だけ延在して、Ｘ軸スライドテーブル２ｂの上
方に位置している。Ｘ軸スライドテーブル２ｂのスライ
ド位置を検出する位置検出ヘッド８は、位置検出ヘッド
支持台１１の他端１１ｂの中心Ｏ４に装着されている。
この位置検出ヘッド支持台１１は、支持アーム９と線膨
張係数を同じくする同種材料で形成されており、その一
端１１ａはＹ軸ガイドレール１ａの下面に固定されてい
る。一端１１ａの固定中心Ｏ２は、支持アーム９の基端
９ａの固定中心Ｏ１を通るＹＺ平面内にあり、他端９ｂ
は、一端１１ａの固定中心Ｏ２からＸ軸方向に寸法Ｘ２
だけ延在している。寸法Ｘ１とＸ２とは同一である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークの加工や測定な
どに用いるＸＹテーブル装置に関する。
どに用いるＸＹテーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、図２に示すＸＹテーブル装置
は、リニアスケール２５、２７を組み込んだ２組のリニ
アモータ駆動のエアスライド２１、２２を上下直交２段
に別置き配置して構成したもので、Ｙ軸ガイドレール２
１ａに沿ってＹ軸方向に位置決め駆動されるＹ軸スライ
ドテーブル２１ｂと、Ｘ軸ガイドレール２２ａに沿って
Ｘ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸スライドテーブル２
２ｂとを備えている。Ｙ軸スライドテーブル２１ｂの側
面にはリニアスケール２５が装着され、Ｘ軸スライドテ
ーブル２２ｂの側面にはリニアスケール２７が装着され
ている。Ｙ軸スライドテーブル２１ｂおよびＸ軸スライ
ドテーブル２２ｂのスライド位置は、リニアスケール２
５、２７に対向配置された位置検出ヘッド２６、２８の
変位センサによって非接触で検出することができる。位
置検出ヘッド２６はＹ軸ガイドレール２１ａに、位置検
出ヘッド２８はＸ軸ガイドレール２２ａにそれぞれ固定
されている。
は、リニアスケール２５、２７を組み込んだ２組のリニ
アモータ駆動のエアスライド２１、２２を上下直交２段
に別置き配置して構成したもので、Ｙ軸ガイドレール２
１ａに沿ってＹ軸方向に位置決め駆動されるＹ軸スライ
ドテーブル２１ｂと、Ｘ軸ガイドレール２２ａに沿って
Ｘ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸スライドテーブル２
２ｂとを備えている。Ｙ軸スライドテーブル２１ｂの側
面にはリニアスケール２５が装着され、Ｘ軸スライドテ
ーブル２２ｂの側面にはリニアスケール２７が装着され
ている。Ｙ軸スライドテーブル２１ｂおよびＸ軸スライ
ドテーブル２２ｂのスライド位置は、リニアスケール２
５、２７に対向配置された位置検出ヘッド２６、２８の
変位センサによって非接触で検出することができる。位
置検出ヘッド２６はＹ軸ガイドレール２１ａに、位置検
出ヘッド２８はＸ軸ガイドレール２２ａにそれぞれ固定
されている。
【０００３】Ｙ軸スライドテーブル２１ｂの上面には、
支持アーム２９の基端２９ａが固定されている。支持ア
ーム２９の先端２９ｂは、基端２９ａの固定中心Ｏ５か
らＸ軸方向に寸法Ｘ１だけ延在して、Ｘ軸スライドテー
ブル２２ｂの上方に位置している。この支持アーム２９
の先端２９ｂの中心Ｏ６には、例えば、Ｚ軸方向の位置
決め送り機構を備えたエアスピンドルユニット（図示省
略）等が装着され、その主軸に加工工具３０が保持され
る。
支持アーム２９の基端２９ａが固定されている。支持ア
ーム２９の先端２９ｂは、基端２９ａの固定中心Ｏ５か
らＸ軸方向に寸法Ｘ１だけ延在して、Ｘ軸スライドテー
ブル２２ｂの上方に位置している。この支持アーム２９
の先端２９ｂの中心Ｏ６には、例えば、Ｚ軸方向の位置
決め送り機構を備えたエアスピンドルユニット（図示省
略）等が装着され、その主軸に加工工具３０が保持され
る。
【０００４】Ｘ軸スライドテーブル２２ｂの上面にはワ
ークＷが位置決め固定される。そして、Ｙ軸スライドテ
ーブル２１ｂとＸ軸スライドテーブル２２ｂの位置決め
駆動によって、加工工具３０とワークＷとの相対位置が
ＸＹ平面内で位置決めされ、ワークＷが加工される。
ークＷが位置決め固定される。そして、Ｙ軸スライドテ
ーブル２１ｂとＸ軸スライドテーブル２２ｂの位置決め
駆動によって、加工工具３０とワークＷとの相対位置が
ＸＹ平面内で位置決めされ、ワークＷが加工される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したような構成の
ＸＹテーブル装置にあっては、加工工具３０の位置決め
を行なうＹ軸スライドテーブル系と、ワークＷの位置決
めを行なうＸ軸スライドテーブル系とが別置き配置され
ているため、周囲温度の変化などによって構成部材に熱
変位が生じると、加工工具３０とワークＷとの間に相対
位置ずれが起こり、これが加工誤差となって現われる。
すなわち、支持アーム２９の固定中心Ｏ５を通るＹＺ平
面を基準にすると、加工工具３０の位置ずれは支持アー
ム２９の延在寸法Ｘ１間の膨張収縮によって起こり、ワ
ークＷの位置ずれは位置検出ヘッド２８の位置Ｘ２の位
置ずれによって起こる。加工工具３０と位置検出ヘッド
２８の位置ずれはそれぞれ個別に起こるので、その総和
分だけ両者の相対的な位置関係にずれが生じ、ワークＷ
の加工誤差となるのである。従来、このような熱変位に
よる加工誤差を抑制するために、周囲温度管理を含め、
装置全体の精密な温度管理を行なう必要があった。
ＸＹテーブル装置にあっては、加工工具３０の位置決め
を行なうＹ軸スライドテーブル系と、ワークＷの位置決
めを行なうＸ軸スライドテーブル系とが別置き配置され
ているため、周囲温度の変化などによって構成部材に熱
変位が生じると、加工工具３０とワークＷとの間に相対
位置ずれが起こり、これが加工誤差となって現われる。
すなわち、支持アーム２９の固定中心Ｏ５を通るＹＺ平
面を基準にすると、加工工具３０の位置ずれは支持アー
ム２９の延在寸法Ｘ１間の膨張収縮によって起こり、ワ
ークＷの位置ずれは位置検出ヘッド２８の位置Ｘ２の位
置ずれによって起こる。加工工具３０と位置検出ヘッド
２８の位置ずれはそれぞれ個別に起こるので、その総和
分だけ両者の相対的な位置関係にずれが生じ、ワークＷ
の加工誤差となるのである。従来、このような熱変位に
よる加工誤差を抑制するために、周囲温度管理を含め、
装置全体の精密な温度管理を行なう必要があった。
【０００６】尚、上述したようなＸＹテーブル装置は、
加工工具３０に代えて測定用のセンサ等を装着すること
により、ワークＷの測定に用いることができるが、この
場合にも同様の不都合が生じる。
加工工具３０に代えて測定用のセンサ等を装着すること
により、ワークＷの測定に用いることができるが、この
場合にも同様の不都合が生じる。
【０００７】そこで、本発明の目的は、比較的ラフな温
度管理を行なうだけで、熱変位による影響を抑制するこ
とのできるＸＹテーブル装置を提供することにある。
度管理を行なうだけで、熱変位による影響を抑制するこ
とのできるＸＹテーブル装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のＸＹテーブル装
置は、Ｘ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸スライドテー
ブル系と、このＸ軸スライドテーブル系と独立して配置
され、Ｙ軸方向に位置決め駆動されるＹ軸スライドテー
ブル系と、基端がＹ軸スライドテーブル上に固定され、
先端がこの基端の固定中心からＸ軸方向に所定寸法だけ
延在してＸ軸スライドテーブルの上方に位置した支持ア
ームと、一端がＹ軸スライドテーブル系の一定位置に固
定され、かつ、この一端の固定中心が上記支持アームの
固定中心を通るＹＺ平面内にあり、他端がこの一端の固
定中心からＸ軸方向に所定寸法だけ延在した位置検出ヘ
ッド支持台と、この位置検出ヘッド支持台の他端に支持
され、Ｘ軸スライドテーブルのスライド位置を検出する
位置検出ヘッドとを備えたものであって、固定中心を基
準とした支持アームのＸ軸方向の熱膨張量と位置検出ヘ
ッド支持台のＸ軸方向の熱膨張量とが等しくなるよう
に、これらを構成する部材の材質とＸ軸方向長さとを定
めたものである。
置は、Ｘ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸スライドテー
ブル系と、このＸ軸スライドテーブル系と独立して配置
され、Ｙ軸方向に位置決め駆動されるＹ軸スライドテー
ブル系と、基端がＹ軸スライドテーブル上に固定され、
先端がこの基端の固定中心からＸ軸方向に所定寸法だけ
延在してＸ軸スライドテーブルの上方に位置した支持ア
ームと、一端がＹ軸スライドテーブル系の一定位置に固
定され、かつ、この一端の固定中心が上記支持アームの
固定中心を通るＹＺ平面内にあり、他端がこの一端の固
定中心からＸ軸方向に所定寸法だけ延在した位置検出ヘ
ッド支持台と、この位置検出ヘッド支持台の他端に支持
され、Ｘ軸スライドテーブルのスライド位置を検出する
位置検出ヘッドとを備えたものであって、固定中心を基
準とした支持アームのＸ軸方向の熱膨張量と位置検出ヘ
ッド支持台のＸ軸方向の熱膨張量とが等しくなるよう
に、これらを構成する部材の材質とＸ軸方向長さとを定
めたものである。
【０００９】また、本発明のＸＹテーブル装置は、上記
構成において、支持アームと位置検出ヘッド支持台とを
線膨張係数を同じくする同種材料で形成し、かつ、支持
アームのＸ軸方向の延在寸法と位置検出ヘッド支持台の
Ｘ軸方向の延在寸法とを同一にしたものである。
構成において、支持アームと位置検出ヘッド支持台とを
線膨張係数を同じくする同種材料で形成し、かつ、支持
アームのＸ軸方向の延在寸法と位置検出ヘッド支持台の
Ｘ軸方向の延在寸法とを同一にしたものである。
【００１０】
【作用】支持アームと位置検出ヘッド支持台とをＹ軸ス
ライドテーブル系に固定し、かつ、両部材の固定中心を
同一のＹＺ平面内に位置させることにより、両部材の熱
変位の方向を一致（Ｘ軸方向）させることができる。さ
らに、固定中心を基準とした支持アームのＸ軸方向の熱
膨張量と位置検出ヘッド支持台のＸ軸方向の熱膨張量と
が等しくなるように、これらを構成する部材の材質とＸ
軸方向長さとを定めることにより、両部材に熱変位が生
じた場合でも、熱変位による影響分が相殺されるので、
支持アームの先端とＸ軸スライドテーブルとの相対位置
ずれが抑制される。
ライドテーブル系に固定し、かつ、両部材の固定中心を
同一のＹＺ平面内に位置させることにより、両部材の熱
変位の方向を一致（Ｘ軸方向）させることができる。さ
らに、固定中心を基準とした支持アームのＸ軸方向の熱
膨張量と位置検出ヘッド支持台のＸ軸方向の熱膨張量と
が等しくなるように、これらを構成する部材の材質とＸ
軸方向長さとを定めることにより、両部材に熱変位が生
じた場合でも、熱変位による影響分が相殺されるので、
支持アームの先端とＸ軸スライドテーブルとの相対位置
ずれが抑制される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１２】図１は、リニアモータ駆動のエアスライド
１、２を上下直交２段に別置き配置して構成したＸＹテ
ーブル装置を示している。
１、２を上下直交２段に別置き配置して構成したＸＹテ
ーブル装置を示している。
【００１３】エアスライド１は、リニアモータの固定子
３を組み込んだＹ軸ガイドレール１ａと、リニアモータ
の可動子４を組み込んだＹ軸スライドテーブル１ｂと、
Ｙ軸スライドテーブル１ｂの側面に装着されたリニアス
ケール５と、リニアスケール５のＹ軸方向変位を非接触
で検出する位置検出ヘッド６とを主要な要素として構成
されている。リニアモータの固定子３に通電すると、図
示されていない空気軸受に支持されたＹ軸スライドテー
ブル１ｂが、Ｙ軸ガイドレール１ａに沿ってスライド駆
動される。このＹ軸スライドテーブル１ｂのスライド位
置は、リニアスケール５の側方に対向配置された位置検
出ヘッド６の変位センサによって逐次検出され、検出信
号として図示されていない制御器に送られる。制御器
は、この検出信号に基づいてリニアモータを駆動制御
し、Ｙ軸スライドテーブル１ｂの位置決めを行なう。
３を組み込んだＹ軸ガイドレール１ａと、リニアモータ
の可動子４を組み込んだＹ軸スライドテーブル１ｂと、
Ｙ軸スライドテーブル１ｂの側面に装着されたリニアス
ケール５と、リニアスケール５のＹ軸方向変位を非接触
で検出する位置検出ヘッド６とを主要な要素として構成
されている。リニアモータの固定子３に通電すると、図
示されていない空気軸受に支持されたＹ軸スライドテー
ブル１ｂが、Ｙ軸ガイドレール１ａに沿ってスライド駆
動される。このＹ軸スライドテーブル１ｂのスライド位
置は、リニアスケール５の側方に対向配置された位置検
出ヘッド６の変位センサによって逐次検出され、検出信
号として図示されていない制御器に送られる。制御器
は、この検出信号に基づいてリニアモータを駆動制御
し、Ｙ軸スライドテーブル１ｂの位置決めを行なう。
【００１４】Ｙ軸スライドテーブル１ｂの上面には、支
持アーム９の基端９ａが固定されている。支持アーム９
の先端９ｂは、基端９ａの固定中心Ｏ１からＸ軸方向に
延在して、Ｘ軸スライドテーブル２ｂの上方に位置して
いる。基端９ａの固定中心Ｏ１から先端９ｂの中心Ｏ３
までのＸ軸方向の寸法はＸ１である。この支持アーム９
の先端９ｂの中心Ｏ３には、例えば、Ｚ軸方向の位置決
め送り機構を備えたエアスピンドルユニット（図示省
略）が装着され、その主軸に加工工具１０が保持され
る。加工工具１０の軸線は、先端９ｂの中心Ｏ３を通る
Ｚ軸と一致している。
持アーム９の基端９ａが固定されている。支持アーム９
の先端９ｂは、基端９ａの固定中心Ｏ１からＸ軸方向に
延在して、Ｘ軸スライドテーブル２ｂの上方に位置して
いる。基端９ａの固定中心Ｏ１から先端９ｂの中心Ｏ３
までのＸ軸方向の寸法はＸ１である。この支持アーム９
の先端９ｂの中心Ｏ３には、例えば、Ｚ軸方向の位置決
め送り機構を備えたエアスピンドルユニット（図示省
略）が装着され、その主軸に加工工具１０が保持され
る。加工工具１０の軸線は、先端９ｂの中心Ｏ３を通る
Ｚ軸と一致している。
【００１５】エアスライド２は、エアスライド１と同様
の構成で、Ｘ軸ガイドレール２ａ、図示されていないリ
ニアモータによってＸ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸
スライドテーブル２ｂ、リニアスケール７、位置検出ヘ
ッド８を主要な要素として構成される。Ｘ軸スライドテ
ーブル２ｂの上面には、ワークＷが位置決め固定され
る。
の構成で、Ｘ軸ガイドレール２ａ、図示されていないリ
ニアモータによってＸ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸
スライドテーブル２ｂ、リニアスケール７、位置検出ヘ
ッド８を主要な要素として構成される。Ｘ軸スライドテ
ーブル２ｂの上面には、ワークＷが位置決め固定され
る。
【００１６】Ｘ軸スライドテーブル２ｂのスライド位置
を検出する位置検出ヘッド８は、位置検出ヘッド支持台
１１の他端１１ｂの中心Ｏ４に装着されている。この位
置検出ヘッド支持台１１は、支持アーム９と線膨張係数
を同じくする同種材料（線膨張係数α）で形成されてお
り、その一端１１ａはＹ軸ガイドレール１ａの下面に固
定されている。一端１１ａの固定中心Ｏ２は、支持アー
ム９の基端９ａの固定中心Ｏ１を通るＹＺ平面内にあ
り、他端９ｂは、一端１１ａの固定中心Ｏ２からＸ軸方
向に延在している。一端１１ａの固定中心Ｏ２から他端
１１ｂの中心Ｏ４までのＸ軸方向の寸法はＸ２である。
寸法Ｘ２は寸法Ｘ１と同一である。
を検出する位置検出ヘッド８は、位置検出ヘッド支持台
１１の他端１１ｂの中心Ｏ４に装着されている。この位
置検出ヘッド支持台１１は、支持アーム９と線膨張係数
を同じくする同種材料（線膨張係数α）で形成されてお
り、その一端１１ａはＹ軸ガイドレール１ａの下面に固
定されている。一端１１ａの固定中心Ｏ２は、支持アー
ム９の基端９ａの固定中心Ｏ１を通るＹＺ平面内にあ
り、他端９ｂは、一端１１ａの固定中心Ｏ２からＸ軸方
向に延在している。一端１１ａの固定中心Ｏ２から他端
１１ｂの中心Ｏ４までのＸ軸方向の寸法はＸ２である。
寸法Ｘ２は寸法Ｘ１と同一である。
【００１７】この実施例のＸＹテーブル装置は、支持ア
ーム９の固定中心Ｏ１と位置検出ヘッド支持台１１の固
定中心Ｏ２とが同一のＹＺ平面内に設定され、しかも両
部材が線膨張係数を同じくする同種材料で形成され、か
つ、Ｘ軸方向の延在寸法Ｘ１とＸ２とが同一である。そ
のため、両部材の熱変位量（αＸ１＝αＸ２）および熱
変位の方向（Ｘ軸方向）が同一になり、両部材の熱変位
による影響分が完全に相殺されるので、加工工具１０と
ワークＷとの熱変位による相対位置ずれが抑制され、比
較的ラフな温度管理で高精度な加工を行なうことができ
る。
ーム９の固定中心Ｏ１と位置検出ヘッド支持台１１の固
定中心Ｏ２とが同一のＹＺ平面内に設定され、しかも両
部材が線膨張係数を同じくする同種材料で形成され、か
つ、Ｘ軸方向の延在寸法Ｘ１とＸ２とが同一である。そ
のため、両部材の熱変位量（αＸ１＝αＸ２）および熱
変位の方向（Ｘ軸方向）が同一になり、両部材の熱変位
による影響分が完全に相殺されるので、加工工具１０と
ワークＷとの熱変位による相対位置ずれが抑制され、比
較的ラフな温度管理で高精度な加工を行なうことができ
る。
【００１８】尚、支持アーム９と位置検出ヘッド支持台
１１とを、それぞれ、線膨張係数の異なる異種材料を組
み合わせて形成する場合は、支持アーム９を構成する各
部材の線膨張係数をα１、α２、・・・、αｎ、Ｘ軸方
向長さをＳ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎ（ただし、Ｙ軸スラ
イドテーブル１ｂに固定される部材については、固定中
心Ｏ１からの長さとする）、位置検出ヘッド支持台１１
を構成する各部材の線膨張係数をβ１、β２、・・・、
βｎ、Ｘ軸方向長さをＬ１、Ｌ２、・・・、Ｌｎ（ただ
し、Ｙ軸ガイドレール１ａに固定される部材について
は、固定中心Ｏ２からの長さとする）とすると、α１・
Ｓ１＋α２・Ｓ２＋・・・＋αｎ・Ｓｎ＝β１・Ｌ１＋
β２・Ｌ２＋・・・＋βｎ・Ｌｎとなり、かつ、Ｓ１＋
Ｓ２＋・・・Ｓｎ＝Ｌ１＋Ｌ２＋・・・＋Ｌｎとなるよ
うに各部材の材質およびＸ軸方向長さを定めることによ
り、上記と同様の効果を得ることができる。
１１とを、それぞれ、線膨張係数の異なる異種材料を組
み合わせて形成する場合は、支持アーム９を構成する各
部材の線膨張係数をα１、α２、・・・、αｎ、Ｘ軸方
向長さをＳ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎ（ただし、Ｙ軸スラ
イドテーブル１ｂに固定される部材については、固定中
心Ｏ１からの長さとする）、位置検出ヘッド支持台１１
を構成する各部材の線膨張係数をβ１、β２、・・・、
βｎ、Ｘ軸方向長さをＬ１、Ｌ２、・・・、Ｌｎ（ただ
し、Ｙ軸ガイドレール１ａに固定される部材について
は、固定中心Ｏ２からの長さとする）とすると、α１・
Ｓ１＋α２・Ｓ２＋・・・＋αｎ・Ｓｎ＝β１・Ｌ１＋
β２・Ｌ２＋・・・＋βｎ・Ｌｎとなり、かつ、Ｓ１＋
Ｓ２＋・・・Ｓｎ＝Ｌ１＋Ｌ２＋・・・＋Ｌｎとなるよ
うに各部材の材質およびＸ軸方向長さを定めることによ
り、上記と同様の効果を得ることができる。
【００１９】以上説明した実施例は、本発明のＸＹテー
ブル装置を機械加工装置として用いる場合についてのも
のであるが、加工工具１０（エアスピンドルユニット
等）に代えて、レーザ光を投下するためのレーザ光学台
等を装着することによりレーザ加工装置として、ワーク
Ｗを計測するためのセンサ等を装着することにより測定
装置として用いることもできる。また、Ｘ軸スライドテ
ーブルおよびＹ軸スライドテーブルの駆動方式は、リニ
アモータ駆動に限定されず、ボールねじ駆動等を採用し
ても良い。
ブル装置を機械加工装置として用いる場合についてのも
のであるが、加工工具１０（エアスピンドルユニット
等）に代えて、レーザ光を投下するためのレーザ光学台
等を装着することによりレーザ加工装置として、ワーク
Ｗを計測するためのセンサ等を装着することにより測定
装置として用いることもできる。また、Ｘ軸スライドテ
ーブルおよびＹ軸スライドテーブルの駆動方式は、リニ
アモータ駆動に限定されず、ボールねじ駆動等を採用し
ても良い。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、加工手段または測
定手段を支持するための支持アームと、Ｘ軸スライドテ
ーブル用の位置検出ヘッドを支持するための位置検出ヘ
ッド支持台とをＹ軸スライドテーブル系に固定し、か
つ、両部材の固定中心を同一のＹＺ平面内に設定するこ
とにより、両部材の熱変位の方向を一致（Ｘ軸方向）さ
せることができる。さらに、固定中心を基準とした支持
アームのＸ軸方向の熱膨張量と位置検出ヘッド支持台の
Ｘ軸方向の熱膨張量とが等しくなるように、これらを構
成する部材の材質とＸ軸方向の延在寸法とを定めること
により、両部材に熱変位が生じた場合でも、熱変位によ
る影響分が相殺され、支持アームの先端とＸ軸スライド
テーブルとの相対位置ずれが抑制されるので、ワークの
加工精度や測定精度を向上させることができる。
定手段を支持するための支持アームと、Ｘ軸スライドテ
ーブル用の位置検出ヘッドを支持するための位置検出ヘ
ッド支持台とをＹ軸スライドテーブル系に固定し、か
つ、両部材の固定中心を同一のＹＺ平面内に設定するこ
とにより、両部材の熱変位の方向を一致（Ｘ軸方向）さ
せることができる。さらに、固定中心を基準とした支持
アームのＸ軸方向の熱膨張量と位置検出ヘッド支持台の
Ｘ軸方向の熱膨張量とが等しくなるように、これらを構
成する部材の材質とＸ軸方向の延在寸法とを定めること
により、両部材に熱変位が生じた場合でも、熱変位によ
る影響分が相殺され、支持アームの先端とＸ軸スライド
テーブルとの相対位置ずれが抑制されるので、ワークの
加工精度や測定精度を向上させることができる。
【００２１】また、支持アームと位置検出ヘッド支持台
とを線膨張係数を同じくする同種材料で形成し、かつ、
支持アームのＸ軸方向の延在寸法と位置検出ヘッド支持
台のＸ軸方向の延在寸法とを同一にすることによって
も、上記と同様の効果を得ることができる。
とを線膨張係数を同じくする同種材料で形成し、かつ、
支持アームのＸ軸方向の延在寸法と位置検出ヘッド支持
台のＸ軸方向の延在寸法とを同一にすることによって
も、上記と同様の効果を得ることができる。
【図１】実施例に係わるＸＹテーブル装置を示す平面図
（図ａ）、側面図（一部断面：図ｂ）である。
（図ａ）、側面図（一部断面：図ｂ）である。
【図２】従来のＸＹテーブル装置を示す平面図（図
ａ）、側面図（一部断面：図ｂ）である。
ａ）、側面図（一部断面：図ｂ）である。
１ エアスライド １ｂ Ｙ軸スライドテーブル ２ エアスライド ２ｂ Ｘ軸スライドテーブル ８ 位置検出ヘッド ９ 支持アーム ９ａ 基端 ９ｂ 先端 １１ 位置検出ヘッド支持台 １１ａ 一端 １１ｂ 他端 Ｏ１ 支持アームの固定中心 Ｏ２ 位置検出ヘッド支持台の固定中心
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ軸方向に位置決め駆動されるＸ軸スラ
イドテーブル系と、このＸ軸スライドテーブル系と独立
して配置され、Ｙ軸方向に位置決め駆動されるＹ軸スラ
イドテーブル系と、基端がＹ軸スライドテーブル上に固
定され、先端がこの基端の固定中心からＸ軸方向に所定
寸法だけ延在してＸ軸スライドテーブルの上方に位置し
た支持アームと、一端がＹ軸スライドテーブル系の一定
位置に固定され、かつ、この一端の固定中心が上記支持
アームの固定中心を通るＹＺ平面内にあり、他端がこの
一端の固定中心からＸ軸方向に所定寸法だけ延在した位
置検出ヘッド支持台と、この位置検出ヘッド支持台の他
端に支持され、Ｘ軸スライドテーブルのスライド位置を
検出する位置検出ヘッドとを備えたものであって、固定
中心を基準とした支持アームのＸ軸方向の熱膨張量と位
置検出ヘッド支持台のＸ軸方向の熱膨張量とが等しくな
るように、これらを構成する部材の材質とＸ軸方向長さ
とを定めたことを特徴とするＸＹテーブル装置。 - 【請求項２】 支持アームと位置検出ヘッド支持台とを
線膨張係数を同じくする同種材料で形成し、かつ、支持
アームのＸ軸方向の延在寸法と位置検出ヘッド支持台の
Ｘ軸方向の延在寸法とを同一にしたことを特徴とする請
求項１のＸＹテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21672493A JPH0760615A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘｙテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21672493A JPH0760615A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘｙテーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760615A true JPH0760615A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16692933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21672493A Withdrawn JPH0760615A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘｙテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760615A (ja) |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21672493A patent/JPH0760615A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001031 |