CN113510725A - 工业用机器人的手和工业用机器人 - Google Patents

Abstract

一种包括上表面侧供搬运对象物载置的叉部的工业用机器人的手和工业用机器人，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。搬运搬运对象物(2)的工业用机器人的手(3)包括：上表面侧供搬运对象物(2)载置的直线状的多个叉部(18)；吸附载置于叉部(18)的上表面侧的搬运对象物(2)的下表面，并且安装于叉部(18)的吸附垫(20)；以及安装有多个叉部(18)的基端部的手基部(17)，在手(3)中，能在以叉部(18)的长边方向为转动的轴向的叉部(18)的转动方向上调节叉部(18)相对于手基部(17)的安装角度。

Description

工业用机器人的手和工业用机器人

技术领域

本发明涉及搬运搬运对象物的工业用机器人的手。此外，本发明涉及包括上述手的工业用机器人。

背景技术

以往，已知搬运有机EL显示器的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人的手包括：直线状的四根叉部，所述四根叉部的上表面侧供有机EL显示器载置；手基部(基部)，所述手基部安装有四根叉部的基端部；以及吸附垫，所述吸附垫吸附载置于叉部的上表面侧的有机EL显示器的下表面。吸附垫经由浮动机构安装于叉部。因此，在专利文献1所记载的手中，即使载置于叉部的上表面侧的有机EL显示器产生翘曲，也能使吸附垫追随有机EL显示器的翘曲通过吸附垫吸附有机EL显示器的下表面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2019-10692号公报

发明内容

近年来，在长方形或正方形的大型面板上并排大量的芯片而一并制造多个半导体封装件的施工方法(面板级封装(PLP))开始普及，并且在使用PLP的半导体封装件的制造线中开始使用工业用机器人。PLP包括通过树脂对载置有大量芯片的面板的上表面进行涂敷(密封)的工序等，在使用PLP的半导体封装件的制造线中处理的面板容易产生较大的翘曲。

在专利文献1所记载的手中，吸附垫经由浮动机构安装于叉部，因此，即使搬运对象物产生某种程度的翘曲，也能使吸附垫追随搬运对象物的翘曲通过吸附垫吸附搬运对象物的下表面。然而，在专利文献1所记载的手的情况下，若如使用PLP的半导体封装件的制造线中处理的面板那样搬运对象物产生大幅的翘曲，则吸附垫无法追随搬运对象物的翘曲，其结果是，可能无法通过吸附垫吸附搬运对象物的下表面。

因此，本发明的技术问题在于提供一种包括上表面侧供搬运对象物载置的叉部的工业用机器人的手，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。此外，本发明的技术问题在于提供一种包括上述手的工业用机器人。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的手，所述工业用机器人搬运搬运对象物，其特征是，包括：直线状的叉部，所述叉部的上表面侧供搬运对象物载置；吸附垫，所述吸附垫吸附载置于叉部的上表面侧的搬运对象物的下表面，并且安装于叉部；以及手基部，所述手基部安装有多个叉部的基端部；能在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上调节叉部相对于手基部的安装角度，或者，叉部在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上自由转动地保持于手基部。

在本发明的工业用机器人的手中，能在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上调节叉部相对于手基部的安装角度，或者叉部在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上自由转动地保持于手基部。

因此，在本发明中，在能在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上调节叉部相对于手基部的安装角度的情况下，通过以与搬运对象物的翘曲对应的安装角度将叉部固定于手基部，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。此外，在本发明中，在叉部在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上自由转动地保持于手基部的情况下，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能使叉部的整体追随搬运对象物的翘曲，因此，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。

此外，在本发明中，例如，在具有多个制造工序的制造线中使用工业用机器人的情况下，即使每个制造工序中搬运对象物的翘曲的大小变化，通过在每个制造工序中调节叉部相对于手基部的安装角度，也能在所有的制造工序中使用同一个手来搬运搬运对象物。或者，在本发明中，例如，在具有多个制造工序的制造线中使用工业用机器人的情况下，即使每个制造工序中搬运对象物的翘曲的大小变化，也能使相对于手基部自由转动的叉部根据搬运对象物的翘曲的大小转动，以追随搬运对象物的翘曲，因此，能在所有的制造工序中使用同一个手来搬运搬运对象物。因此，在本发明中，能提高手的通用性。

另外，本发明的“直线状的叉部”是整体形成为直线状的叉部。因此，即使是局部包含平缓地弯曲的部分的叉部、或者整体平缓地弯曲的叉部，只要整体形成为直线状，则这些叉部也包含在本发明的“直线状的叉部”中。

在本发明中，较为理想的是，叉部包括叉基部，所述叉基部安装于手基部，在叉基部形成有外周面，所述外周面的从叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状或圆形，在手基部形成有供叉基部插入的插入孔，从叉部的长边方向观察时的插入孔的形状呈圆形，叉基部的外周面与插入孔的侧面接触，叉基部的外周面的曲率半径与插入孔的曲率半径大致相等。

此外，在本发明中，也可以是，叉部包括叉基部，所述叉基部安装于手基部，在叉基部形成有外周面，所述外周面的从叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状，在手基部形成有供叉基部插入的插入孔，插入孔的侧面的局部为从叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状的圆弧面，叉基部的外周面与插入孔的圆弧面接触，叉基部的外周面的曲率半径与插入孔的圆弧面的曲率半径大致相等，从叉部的长边方向观察时，呈圆弧状的插入孔的圆弧面的中心角比呈圆弧状的叉基部的外周面的中心角大。

若以上述方式构成，则能使叉基部沿插入孔的侧面转动，因此，能容易地调节叉部相对于手基部的安装角度。此外，若以上述方式构成，则能在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上连续地调节叉部相对于手基部的安装角度。或者，若以上述方式构成，则能通过相对简单的结构以使叉部相对于手基部的转动在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上变得自由的方式将叉部保持于手基部。

在本发明中，较为理想的是，叉基部形成为半圆筒状。若以上述方式构成，则与叉基部形成为半圆柱状、圆筒状或圆柱状的情况相比，能使叉基部变轻。

在本发明中，较为理想的是，能在以叉部的长边方向为转动的轴向的叉部的转动方向上调节叉部相对于手基部的安装角度，在手基部形成有从手基部的外侧面到达插入孔的螺纹孔，插入到插入孔的叉基部通过与螺纹孔螺合的止动螺钉固定于手基部。若以上述方式构成，则能容易地将相对于手基部的安装角度调节之后的叉基部固定于手基部。

本发明的手能应用于包括臂和主体部的工业用机器人，其中，所述臂的前端侧能转动地连接有手，所述主体部能转动地连接有臂的基端侧。在所述工业用机器人中，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。

如上所述，在本发明中，提供一种包括上表面侧供搬运对象物载置的叉部的工业用机器人的手，即使搬运对象物产生大幅的翘曲，也能通过安装于叉部的吸附垫吸附搬运对象物的下表面。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是图1所示的手的俯视图。

图4(A)是图3的E-E截面的剖视图，图4(B)是用于说明图3所示的叉部的结构的图。

图5(A)、图5(B)和图5(C)是用于说明本发明另一实施方式的叉部的移动的图。

图6是本发明的不同实施方式的手的主视图。

(符号说明)

1 机器人(工业用机器人)

2 搬运对象物

3 手

4 臂

5 主体部

17 手基部

17a 插入孔

17b 螺纹孔

18 叉部

20 吸附垫

22 叉基部

22a 外周面

24 止动螺钉

30 刻度

31 基准标记

X 叉部的长边方向。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。

本实施方式的工业用机器人1(以下，称为“机器人1”)是用于搬运规定的搬运对象物2的水平多关节型的机器人。本实施方式的搬运对象物2是在使用PLP的半导体封装件的制造线中处理的大型的面板。搬运对象物2形成为长方形的平板状。机器人1进行搬运对象物2从供多块搬运对象物2收纳的收纳部的搬出和搬运对象物2向收纳部的搬入。在收纳部以在上下方向上隔开间隔的状态重叠的方式收纳有多块搬运对象物2。

机器人1包括：两个手3，所述两个手3供搬运对象物2装载；两个臂4，在所述两个臂4的前端侧分别连接有两个手3；主体部5，所述主体部5对两个臂4进行支承；以及底座6，所述底座6将主体部5支承成能沿水平方向移动。主体部5包括：臂支承件7，所述臂支承件7对臂4的基端侧进行支承，并且能升降；支承框8，所述支承框8将臂支承件7支承成能升降；基台9，所述基台9构成主体部5的下端部分，并且能相对于基台9水平移动；以及回旋框10，所述回旋框10固定有支承框8的下端，并且能相对于基台9转动。

臂4由第一臂部12和第二臂部13这两个臂部构成。第一臂部12的基端侧能转动地连接于臂支承件7。即，臂4的基端侧能转动地连接于主体部5。两个臂4中的一方的臂4的基端侧连接于臂支承件7的上端侧，另一方的臂4的基端侧连接于臂支承件7的下端侧。在第一臂部12的前端侧能转动地连接有第二臂部13的基端侧。在第二臂部13的前端侧能转动地连接有手3。即，在臂4的前端侧能转动地连接有手3。机器人1包括两个臂驱动机构，两个所述臂驱动机构分别使两个臂4伸缩。

支承框8经由臂支承件7将手3和臂4保持成能升降。机器人1包括：升降机构，所述升降机构使臂支承件7相对于支承框8升降；以及引导机构，所述引导机构沿上下方向引导臂支承件7。支承框8的下端固定于回旋框10。回旋框10如上所述能相对于基台9转动。机器人1包括转动机构，所述转动机构使回旋框10相对于基台9转动。基台9如上所述能相对于基座6水平移动。机器人1包括水平移动机构，所述水平移动机构使基台9相对于基座6水平移动。

(手的结构)

图3是图1所示的手3的俯视图。图4(A)是图3的E-E截面的剖视图，图4(B)是用于说明图3所示的叉部18的结构的图。

手3包括：手基部17，所述手基部17能转动地连接于第二臂部13的前端侧；以及多个叉部18，多个所述叉部18的上面侧供搬运对象物2载置。本实施方式的手3包括两根叉部18。此外，手3包括：多个载置部件19，多个所述载置部件19固定于叉部18的上表面，并且供搬运对象物2载置；以及多个吸附垫20，多个所述吸附垫20吸附载置于载置部件19的搬运对象物2(即载置于叉部18的上面侧的搬运对象物2)的下表面。

叉部18形成为直线状。两根叉部18从手基部17朝水平方向的相同方向突出。此外，两根叉部18配置成相互平行。在以下的说明中，将形成为直线状的叉部18的长边方向(图3等的X方向)设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的、图3等的Y方向设为“左右方向”。两根叉部18以在左右方向上隔开间隔的状态配置。

手基部17例如由铝合金形成。手基部17形成为上下方向的厚度薄的扁平的长方体形状。手基部17配置成手基部17的左右侧面与左右方向正交，且手基部17的前后侧面与前后方向正交。在手基部17安装有两根叉部18的基端部。在手基部17形成有插入孔17a，所述插入孔17a供构成叉部18的基端部的后述叉基部22插入。

插入孔17a是沿前后方向贯穿手基部17的圆孔，从前后方向观察时的插入孔17a的形状呈圆形。插入孔17a以在左右方向上隔开间隔的状态形成于两处。另外，插入孔17a也可以为从手基部17的前后方向的一个面向另一个面凹陷的圆孔。即，插入孔17a也可以不沿前后方向贯穿手基部17。

此外，在手基部17如图4(A)所示形成有从手基部17的外侧面到达插入孔17a的螺纹孔17b。具体而言，在手基部17形成有从手基部17的下侧面到达插入孔17a的螺纹孔17b。螺纹孔17b例如相对于一个插入孔17a形成于多个部位。即，在手基部17形成有多个螺纹孔17b，多个所述螺纹孔17b以沿插入孔17a在前后方向上隔开间隔的状态配置。

叉部18包括：叉基部22，所述叉基部22构成叉部18的基端部；以及叉主体部23，所述叉主体部23从手基部17向前后方向的一侧突出。叉基部22和叉主体部23分体形成。叉基部22安装于手基部17。具体而言，叉基部22以插入到插入孔17a的状态固定于手基部17。

如图4(A)所示，叉基部22形成为半圆筒状。即，在叉基部22形成有外周面22a，所述外周面22a的从前后方向观察时的形状呈圆弧状。具体而言，从前后方向观察时的形状呈半圆弧状的外周面22a形成于叉基部22，从前后方向观察时的外周面22a的中心角为180°。叉基部22以外周面22a配置于下侧的方式插入到插入孔17a。插入到插入孔17a的叉基部22通过螺合于螺纹孔17b的止动螺钉24固定于手基部17。止动螺钉24的上端以规定的接触压力与叉基部22的外周面22a接触。

外周面22a与插入孔17a的侧面接触。外周面22a的曲率半径与插入孔17a的曲率半径大致相等。在叉基部22插入到插入孔17a的状态下，叉基部22能以前后方向为转动的轴向转动。具体而言，在叉基部22插入到插入孔17a的状态下，叉基部22能以外周面22a的曲率中心(插入孔17a的曲率中心)为转动中心沿插入孔17a的侧面转动。在本实施方式中，在将止动螺钉24拧松的状态下，在手动以前后方向为转动的轴向将叉基部22转动规定角度之后，将止动螺钉24拧紧，由此，能在以前后方向为转动的轴向并且以外周面22a的曲率中心为转动中心的叉部18的转动方向上调节叉部18相对于手基部17的安装角度。

叉主体部23形成为前后方向细长的直线状。叉主体部23的上表面为平面。叉主体部23的基端侧固定于半圆筒状的叉基部22的上端面，在叉基部22中，外周面22a配置于下侧。固定于叉基部22的上端面的叉主体部23的基端侧配置于插入孔17a中。搬运对象物2载置于叉主体部23的从前后方向的中心至前端的部分。如上所述，机器人1进行搬运对象物2从供多块搬运对象物2以在上下方向上隔开间隔的状态重叠收纳的收纳部的搬出和搬运对象物2向收纳部的搬入。在搬运对象物2从收纳部搬出时和搬运对象物2向收纳部搬入时，叉主体部23插入到收纳部中。

载置部件19安装于叉部18。具体而言，载置部件19固定于叉主体部23的上表面。吸附垫20安装于叉部18。具体而言，吸附垫20安装于叉主体部23的上表面侧。吸附垫20经由浮动机构(省略图示)安装于叉主体部23，能相对于叉主体部23偏斜。即，能使吸附垫20相对于叉主体部23倾斜。此外，吸附垫20能相对于叉主体部23稍稍上下移动。吸附垫20对搬运对象物2的下表面进行真空吸附。

如上所述，机器人1进行搬运对象物2从供多块搬运对象物2以在上下方向上隔开间隔的状态重叠收纳的收纳部的搬出和搬运对象物2向收纳部的搬入。此外，搬运对象物2是使用PLP的半导体封装件的制造线中处理的大型的面板，收纳于收纳部的搬运对象物2产生相对大幅的翘曲(参照图4(B))。此外，如上所述，能在以前后方向为转动的轴向并且以外周面22a的曲率中心为转动中心的叉部18的转动方向上调节叉部18相对于手基部17的安装角度。

在本实施方式中，根据搬运对象物2的翘曲来调节叉部18相对于手基部17的安装角度，如图4(B)所示，叉部18以与各制造工序中的搬运对象物2的翘曲对应的安装角度固定于手基部17。例如，在各制造工序中，在调节叉部18相对于手基部17的安装角度以使吸附搬运对象物2的下表面之前的吸附垫20的上端与搬运对象物2的下表面大致平行之后，将叉部18固定于手基部17。叉部18相对于手基部17的安装角度的调节是在各制造工序开始之前进行的。

(本实施方式的主要效果)

如以上说明的那样，在本实施方式中，能在以前后方向为转动的轴向并且以叉基部22的外周面22a的曲率中心为转动中心的叉部18的转动方向上调节叉部18相对于手基部17的安装角度。此外，在本实施方式中，根据搬运对象物2的翘曲来调节叉部18相对于手基部17的安装角度，叉部18以与各制造工序中的搬运对象物2的翘曲对应的安装角度固定于手基部17。因此，在本实施方式中，即使搬运对象物2产生无法通过吸附垫20的偏斜动作完全吸收的大幅的翘曲，也能在从收纳部搬出搬运对象物2时通过安装于叉部18的吸附垫20吸附搬运对象物2的下表面。

此外，在本实施方式中，在根据搬运对象物2的翘曲调节叉部18相对于手基部17的安装角度之后，叉部18固定于手基部17，因此，即使供多块搬运对象物2以在上下方向上隔开间隔的状态重叠收纳的收纳部中的搬运对象物2的上下方向的间隔变小，也能防止将叉主体部23插入到收纳部中时的、叉主体部23及吸附垫20与搬运对象物2之间的干涉。而且，在本实施方式中，在每个制造工序中调节叉部18相对于手基部17的安装角度，即使每个制造工序中搬运对象物2的翘曲的大小变化，也能在所有的制造工序中使用同一个手3来搬运搬运对象物2。因此，在本实施方式中，能提高手3的通用性。

在本实施方式中，叉基部22的外周面22a的曲率半径与供叉基部22插入的插入孔17a的曲率半径大致相等，叉基部22能以外周面22a的曲率中心为转动中心沿插入孔17a的侧面转动。因此，在本实施方式中，能容易地调节叉部18相对于叉基部17的安装角度。此外，在本实施方式中，能在以前后方向为转动的轴向的叉部18的转动方向上连续地调节叉部18相对于手基部17的安装角度。

在本实施方式中，叉基部22形成为半圆筒状。因此，在本实施方式中，与叉基部22形成为半圆柱状、圆筒状或圆柱状的情况相比，能使叉基部22变轻。此外，在本实施方式中，插入到插入孔17a的叉基部22通过螺合于螺纹孔17b的止动螺钉24固定于手基部17，因此能容易地将相对于手基部17调节安装角度之后的叉基部22固定于手基部17。

(手的变形例)

图5(A)、图5(B)和图5(C)是用于说明本发明另一实施方式的叉部18的移动的图。

在上述实施方式中，插入到插入孔17a的叉基部22通过与螺纹孔17b螺合的止动螺钉24固定于手基部17，但也可以是插入到插入孔17a的叉基部22不固定于手基部17，而是相对于手基部17自由转动。即，叉部18也可以在以前后方向为转动的轴向并且以外周面22a的曲率中心为转动中心的叉部18的转动方向上自由转动地保持于手基部17。

在本变形例中，在外力未作用于叉部18时，吸附垫20的上端朝向正上方，为了将搬运对象物2从收纳部搬出，在叉主体部23插入到收纳部中时，吸附垫20的上端朝向正上方(参照图5(A))。此外，在将收纳于收纳部的搬运对象物2载置于叉部18时，即使搬运对象物2产生无法通过吸附垫20的偏斜动作完全吸收的大幅的翘曲，叉部18也可追随搬运对象物2的翘曲转动(图5(B))。

如此，在本变形例中，即使搬运对象物2产生无法通过吸附垫20的偏斜动作完全吸收的大幅的翘曲，也能使叉部18的整体追随搬运对象物2的翘曲，因此，能通过安装于叉部18的吸附垫20吸附搬运对象物2的下表面。此外，在本变形例中，即使不事前进行叉部18相对于手基部17的安装角度的调节，也能通过安装于叉部18的吸附垫20吸附产生大幅的翘曲的搬运对象物2的下表面。

此外，在本变形例中，即使在每个制造工序中搬运对象物2的翘曲的大小变化，也能使相对于手基部7自由转动的叉部18根据搬运对象物2的翘曲的大小转动，以追随搬运对象物2的翘曲。因此，在本变形例中，也能在所有的制造工序中使用同一个手3来搬运搬运对象物2。因此，能提高手3的通用性。

在本变形例中，叉基部22的外周面22a的曲率半径与供叉基部22插入的插入孔17a的曲率半径大致相等，叉基部22以外周面22a的曲率中心为转动中心沿插入孔17a的侧面自由转动，因此，能以相对简单的结构将叉部18自由转动地保持于手基部17。

然而，在本变形例中，叉主体部23插入到收纳部中时吸附垫20的上端朝向正上方，因此，若收纳于收纳部的搬运对象物2的上下方向的间隔变小，则如图5(C)所示将叉主体部23插入到收纳部中时，叉主体部23或吸附垫20与搬运对象物2可能会发生干涉。与此相对，若如上述实施方式那样，相对于手基部17的安装角度得到调节之后的叉部18固定于手基部17，则即使收纳于收纳部的搬运对象物2的上下方向的间隙变小，也能防止将叉主体部23插入到收纳部中时的、叉主体部23及吸附垫20与搬运对象物2之间的干涉。

(手的不同变形例)

图6是本发明的不同实施方式的手3的主视图。另外，在图6中，对与上述实施方式相同的结构标注相同的符号。

在图6所示的手3中，在手基部17和叉部18中的至少任一个配置有刻度30，所述刻度30表示叉部18相对于手基部17的转动角度。具体而言，沿形成于手基部17的插入孔17a的边缘形成有刻度30。刻度30既可以形成于插入孔17a的整周，也可以形成于仅局部。此外，在叉部18的表面的与刻度30对应的位置形成有表示基准角度的基准标记31。因此，通过使基准标记对准刻度30，能准确地匹配叉部18相对于手基部17的安装角度。在图6中示出了在手基部7形成有刻度30、在叉部18形成有基准标记31的例子，但也可以在手基部17形成有基准标记31、在叉部18的表面形成有刻度30。

(其它实施方式)

上述实施方式方式是本发明的优选实施方式的一例，但并不限定于此，可在不改变本发明思想的范围内进行各种变形。

在上述实施方式中，叉基部22也可以形成为半圆柱状。此外，叉基部22也可以形成为圆筒状或圆柱状。在叉基部22形成为圆筒状或圆柱状的情况下，从前后方向观察时的叉基部22的外周面22a呈圆形。此外，也可以从前后方向观察时的外周面22a的形状呈中心角大于180°且小于360°的圆弧状的方式形成叉基部22。例如，叉基部22也可以形成为3/4圆筒状。

在上述实施方式中，插入孔17a也可以不形成为圆孔。即，从前后方向观察时的插入孔17a的形状不为圆形亦可。在这种情况下，插入孔17a的侧面的局部为从前后方向观察时的形状呈圆弧状的圆弧面，叉基部22的外周面22a与插入孔17a的圆弧面接触。此外，在这种情况下，外周面22a的曲率半径与插入孔17a的圆弧面的曲率半径大致相等。而且，在这种情况下，在从前后方向观察时，呈圆弧状的插入孔17a的圆弧面的中心角比外周面22a的中心角大。例如，在从前后方向观察时，外周面22a的中心角为180°，插入孔17a的圆弧面的中心角为240°。

在上述实施方式中，叉部18也可以通过止动螺钉24以外的固定手段固定于手基部17。此外，在上述实施方式中，手3也可以包括转动机构，所述转动机构使叉部18自动地相对于手基部17转动。在上述实施方式中，手3所包括的叉部18的数量也可以为3根以上。此外，在上述实施方式中，吸附垫10相对于叉主体部23无法偏斜亦可。

在上述实施方式中，只要叉部18整体形成为直线状，则既可以叉部18包含平缓地弯曲的部分，也可以叉部18整体平缓地弯曲。此外，在上述实施方式中，搬运对象物2也可以是使用PLP的半导体封装件的制造线中处理的大型的面板以外的构件。

在上述实施方式中，两根臂4以在上下方向上错开的状态配置，但例如也可以如日本专利特开2016-207938号公报所记载的那样两根臂4以相同高度且在水平方向上错开的状态配置。此外，在上述实施方式中，机器人1是水平多关节机器人，但应用本发明的机器人也可以是水平多关节机器人以外的工业用机器人。例如，应用本发明的机器人也可以是日本专利特开2017-19061号公报所公开的工业用机器人。

Claims (8)

1.一种工业用机器人的手，所述工业用机器人搬运搬运对象物，其特征在于，包括：

直线状的多个叉部，多个所述叉部的上表面侧供所述搬运对象物载置；

吸附垫，所述吸附垫吸附载置于所述叉部的上表面侧的所述搬运对象物的下表面，并且安装于所述叉部；以及

手基部，所述手基部安装有多个所述叉部的基端部，

能在以所述叉部的长边方向为转动的轴向的所述叉部的转动方向上调节所述叉部相对于所述手基部的安装角度，或者，所述叉部在以所述叉部的长边方向为转动的轴向的所述叉部的转动方向上自由转动地保持于所述手基部。

2.如权利要求1所述的工业用机器人的手，其特征在于，

所述叉部包括叉基部，所述叉基部安装于所述手基部，

在所述叉基部形成有外周面，所述外周面的从所述叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状或圆形，

在所述手基部形成有供所述叉基部插入的插入孔，

从所述叉部的长边方向观察时的所述插入孔的形状呈圆形，

所述叉基部的所述外周面与所述插入孔的侧面接触，

所述叉基部的所述外周面的曲率半径与所述插入孔的曲率半径大致相等。

3.如权利要求1所述的工业用机器人的手，其特征在于，

所述叉部包括叉基部，所述叉基部安装于所述手基部，

在所述叉基部形成有外周面，所述外周面的从所述叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状，

在所述手基部形成有供所述叉基部插入的插入孔，

所述插入孔的侧面的局部为从所述叉部的长边方向观察时的形状呈圆弧状的圆弧面，

所述叉基部的所述外周面与所述插入孔的所述圆弧面接触，

所述叉基部的所述外周面的曲率半径与所述插入孔的所述圆弧面的曲率半径大致相等，

从所述叉部的长边方向观察时，呈圆弧状的所述插入孔的所述圆弧面的中心角比呈圆弧状的所述叉基部的所述外周面的中心角大。

4.如权利要求2或3所述的工业用机器人的手，其特征在于，

所述叉基部形成为半圆筒状。

5.如权利要求2或3所述的工业用机器人的手，其特征在于，

能在以所述叉部的长边方向为转动的轴向的所述叉部的转动方向上调节所述叉部相对于所述手基部的安装角度，

在所述手基部形成有从所述手基部的外侧面到达所述插入孔的螺纹孔，

插入到所述插入孔的所述叉基部通过与所述螺纹孔螺合的止动螺钉固定于所述手基部。

6.如权利要求4所述的工业用机器人的手，其特征在于，

能在以所述叉部的长边方向为转动的轴向的所述叉部的转动方向上调节所述叉部相对于所述手基部的安装角度，

在所述手基部形成有从所述手基部的外侧面到达所述插入孔的螺纹孔，

插入到所述插入孔的所述叉基部通过与所述螺纹孔螺合的止动螺钉固定于所述手基部。

7.如权利要求1至3中任一项所述的工业用机器人的手，其特征在于，

在所述手基部和所述叉部中的至少任一个配置有刻度，所述刻度表示所述叉部相对于所述手基部的转动角度。

8.一种工业用机器人，其特征在于，包括：

权利要求1至7中任一项所述的工业用机器人的手；臂，所述臂的前端侧能转动地连接有所述手；以及主体部，所述主体部能转动地连接有所述臂的基端侧。

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