KR20230017831A - 기판 유지 장치 - Google Patents

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KR20230017831A
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신야 키노시타
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카와사키 주코교 카부시키 카이샤
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Abstract

기판 유지 장치(2)는, 베이스(3)와, 베이스(3)에 설치되어 기판을 유지하는 복수의 유지체(5)를 구비한다. 복수의 유지체(5)는, 소정의 배열방향으로 배열됨과 더불어, 배열방향과 교차하는 면인 기준면(R)에 평행으로 착탈 가능하게 베이스(3)에 설치된다.

Description

기판 유지 장치
여기에 개시된 기술은, 기판 유지 장치에 관한 것이다.
종래, 기판을 유지하는 기판 유지 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에는, 복수의 기판을 유지하는 기판 유지 장치가 개시되어 있다. 구체적으로, 특허문헌 1에 개시된 기판 유지 장치는, 기판을 유지하는 복수의 유지체를 구비하며, 복수의 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 복수의 유지체는, 기판의 두께 방향으로 배열된 상태로 피치 변환 기구부에 설치된다. 이때, 복수의 유지체는, 하방에 위치하는 유지체부터 차례로 피치 변환 기구부에 설치된다.
특허문헌 1 : 일본 특허공개 2006-313865호 공보
그런데, 기판 유지 장치에서는, 유지체를 유지보수 또는 교환을 위해 기판 유지 장치로부터 분리시키는 경우가 있다. 그러나, 전술한 바와 같은 구성에서는, 일부 유지체만을 제거하고 싶은 경우라도, 제거할 필요가 없는 유지체까지 제거할 필요가 있거나, 기판 유지 장치 전체를 분해시킬 필요가 있다.
여기에 개시된 기술은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 기판 유지 장치의 유지보수성을 향상시키는 것에 있다.
여기에 개시된 기판 유지 장치는, 베이스와, 상기 베이스에 설치되어 기판을 유지하는 복수의 유지체를 구비하며, 상기 복수의 유지체는, 소정의 배열방향으로 배열됨과 더불어, 상기 배열방향으로 교차하는 가상면인 기준면에 평행으로 착탈 가능하게 상기 베이스에 설치된다.
상기 기판 유지 장치에 따르면, 기판 유지 장치의 유지보수성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 기판 반송 로봇의 개략적인 정면도이다.
도 2는 기판 유지 장치의 측면도이다.
도 3은 기판 유지 장치의 평면도이다.
도 4는 기판 유지 장치의 사시도이다.
도 5는 홀수번째 유지체의 설치부 사시도이다.
도 6은 짝수번째 유지체의 평면도이다.
도 7은 도 3의 VII-VII선에서의 설치부 단면도이다.
도 8은 도 3의 VIII-VIII선에서의 설치부 단면도이다.
도 9는 경사 조절부의 단면도이다.
도 10은 베이스의 사시도이다.
도 11은 일부 설치 블록을 분리시킨 상태의 베이스 사시도이다.
도 12는 복수의 유지체 간격이 제 1 피치일 때의 계합부 상태를 나타내는 모식도이다.
도 13은 복수의 유지체 간격이 제 2 피치일 때의 계합부 상태를 나타내는 모식도이다.
도 14는 도 3의 VII-VII선에서 단면으로 절단한 기판 유지 장치의 일부를 나타내는 모식도이다.
도 15는 하나의 유지체를 착탈시키는 양상을 나타내는 기판 유지 장치의 평면도이다.
(실시형태)
이하, 예시적인 실시형태를 도면에 기초하여 상세히 설명한다. 도 1은 기판 반송 로봇(100)의 개략적인 정면도이다.
기판 반송 로봇(100)은, 기대(基台)(101)와, 기대(101)에 연결된 로봇 암(102)과, 로봇 암(102)에 연결된 기판 유지 장치(2)를 구비한다. 기판 반송 로봇(100)은 기판을 반송하는 장치이다. 예를 들어, 기판 반송 로봇(100)은, 기판을 제 1 수용부(108)와 제 2 수용부(109) 사이에서 반송한다. 예를 들어, 제 1 수용부는 후프(FOUP: Front-Opening Unified Pod)이고, 제 2 수용부는 보트이다.
예를 들어, 기판은 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판이다. 반도체 웨이퍼는 예를 들어, 실리콘 웨이퍼, 실리콘 카바이트 웨이퍼, 또는 사파이어 웨이퍼이다. 유리 기판은, 예를 들어, 반도체 공정으로 처리되는 박형 디스플레이(액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이)용 유리 기판이다.
로봇 암(102)은 복수의 관절을 포함하며, 관절에 따라 변형되거나 이동한다. 예를 들어, 로봇 암(102)은 수평 다관절 암이다. 로봇 암(102)의 선단부에, 기판 유지 장치(2)가 상하 방향으로 연장되는 축 둘레로 회전 가능하게 연결된다.
도 2는, 기판 유지 장치(2)의 측면도이다. 도 3은, 기판 유지 장치(2)의 평면도이다. 도 4는, 기판 유지 장치(2)의 사시도이다. 기판 유지 장치(2)는, 베이스(3)와, 베이스(3)에 설치되어 기판을 유지하는 복수의 유지체(5)를 구비한다. 기판 유지 장치(2)에서, 베이스(3)는 케이싱(21)으로 덮여 있다. 도 3 및 4에서는 케이싱(21)이 생략된다. 또한, 도 4에서는, 유지체(5)의 일부가 생략된다. 기판 유지 장치(2)는, 12개의 유지체(5)를 구비하며, 12개의 기판을 유지한다.
유지체(5)는, 소정의 배열방향으로 서로 간격을 두고 배열된다. 배열방향은, 기판의 두께 방향과 일치한다. 이하에서는, 설명의 편의상 배열방향을 상하 방향으로 하여 설명한다. 또한, 상하 방향과 직교하는 한 방향을 전후 방향으로 하고, 상하 방향 및 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향으로 한다.
베이스(3)는, 배열방향과 직교하는 방향을 향하는 복수의 측부(31)를 갖는다. 이 예에서, 베이스(3)는 제 1 측부(31a), 제 2 측부(31b), 제 3 측부(31c) 및 제 4 측부(31d)를 갖는다. 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)는 좌우 방향을 향한다. 구체적으로, 제 1 측부(31a)는 좌우 방향의 우측을 향하고, 제 2 측부(31b)는 좌우 방향의 좌측을 향한다. 즉, 제 1 측부(31a)와 제 2 측부(31b)는 서로 반대 방향으로 배치된다. 제 3 측부(31c) 및 제 4 측부(31d)는 전후 방향을 향한다. 구체적으로, 제 3 측부(31c)는 전후 방향의 전측을 향하고, 제 4 측부(31d)는 전후 방향의 후측을 향한다. 즉, 제 3 측부(31c)와 제 4 측부(31d)는 서로 반대 방향으로 배치된다. 베이스(3)는, 대략 직육면체 형상으로 형성된다.
제 1 측부(31a)에는 유지체(5)가 설치된다. 또한, 제 2 측부(31b)에는 유지체(5)가 설치된다. 구체적으로, 유지체(5)는, 배열방향으로 배열되는 차례로 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)에 교대로 설치된다. 예를 들면, 밑에서 위로 향하는 순서로, 홀수번째의 유지체(5)가 제 1 측부(31a)에, 짝수번째의 유지체(5)가 제 2 측부(31b)에 설치된다. 이하, 각 유지체(5)를 구별하는 경우에는, 아래쪽부터 차례로, 유지체(5)의 부호 말미에 대문자 알파벳을 부여한다. 예를 들면, 제일 아래의 유지체(5)는 "유지체(5A)"로 나타내고, 아래에서 2번째의 유지체(5)는 "유지체(5B)"로 나타낸다. 각 유지체(5)를 구별하지 않는 경우에는, 단순히 "유지체(5)"로 나타낸다.
홀수번째 유지체(5)와 짝수번째 유지체(5)의 기본적인 구성은 동일하다. 홀수번째 유지체(5)와 짝수번째 유지체(5)는, 대략 좌우 대칭의 형상을 갖는다.
유지체(5)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 베이스(3)에 설치되는 설치부(51)와, 기판을 유지하는 유지부(61)를 포함한다. 유지체(5)는, 베이스(3)에 대한 유지부(61)의 경사를 조절하는 경사 조절부(7)를 추가로 포함할 수도 있다. 홀수번째의 유지체(5)와 짝수번째의 유지체(5)에서는, 설치부(51), 유지부(61) 및 경사 조절부(7)의 기능은 동일하나, 형상 또는 배치가 다르다.
도 5는, 홀수번째 유지체(5)의 설치부(51) 사시도이다. 도 6은, 짝수번째의 유지체(5)의 평면도이다. 도 7은, 도 3의 VII-VII선에서의 설치부(51) 단면도이다. 도 8은, 도 3의 VIII-VIII선에서의 설치부(51) 단면도이다.
설치부(51)는, 상하 방향에 직교하는 평면 내(즉, 수평면 내)에서 넓어지는 플레이트 형상으로 형성된다. 설치부(51)는, 전후 방향으로 연장되는 전후부분(51a)과 좌우 방향으로 연장되는 좌우부분(51b)을 포함하며, 평면에서 보아 대략 L자형으로 형성된다. 홀수번째 유지체(5)의 설치부(51)에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 좌우부분(51b)은 전후부분(51a)의 전단부에서 좌측으로 연장된다. 짝수번째 유지체(5)의 설치부(51)에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 좌우부분(51b)은 전후부분(51a)의 전단부에서 우측으로 연장된다. 좌우부분(51b)은 전후부분(51a)에 비해 얇게 형성된다.
설치부(51)는, 제 1 부분(52)과 제 2 부분(53)의 분할 구조로 구성된다. 제 1 부분(52)은 베이스(3)에 설치되는 부분이다. 제 2 부분(53)은 유지부(61)가 설치되는 부분이다. 제 2 부분(53)은, 위쪽으로부터 제 1 부분(52)에 설치된다.
전후부분(51a)(구체적으로, 제 1 부분(52)에서의 전후부분(51a))에는, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 설치부(51)를 베이스(3)에 설치할 때 볼트(58)가 삽입되는 관통공(55)이 형성된다. 관통공(55)은 좌우 방향으로 연장된다. 관통공(55)은 전후부분(51a)의 2개소에 형성된다.
좌우부분(51b)에는, 유지부(61)가 설치되는 2개의 돌출부(56)가 형성된다. 짝수번째 유지체(5)의 2개 돌출부(56)의 좌우 방향 간격은, 홀수번째의 유지체(5)에 비해 넓다.
다음으로, 유지부(61)의 구성에 대하여, 도 3 및 도 5를 참조하여 설명한다.
유지부(61)는 두 갈래로 분리된 형상으로 형성된 본체(62)와, 유지기구(63)를 포함한다. 유지부(61)에 의한 유지는, 파지, 흡착, 재치(載置), 또는 끼움 결합 등, 다양한 형태로 실현할 수 있다. 이 예에서는, 유지부(61)가 기판(S)을 파지하도록 구성된다.
본체(62)는 설치부(51)에 설치된다. 구체적으로, 본체(62)는 돌출부(56)에 설치된다. 본체(62)는, 설치부(51)로부터 대략 전후 방향으로 두 갈래 형태로 연장된다. 본체(62)의 2개의 선단부 각각에는 제 1 클로(爪)(64)가 고정적으로 형성된다.
유지기구(63)는, 이동 가능한 제 2 클로(65)와, 제 2 클로(65)를 구동하는 액추에이터(66), 및 제 2 클로(65)의 동작을 검출하는 동작 센서(68)를 포함한다. 제 2 클로(65)는, 본체(62) 중 설치부(51)에 형성되는 단부에 배치된다. 액추에이터(66) 및 동작 센서(68)는 설치부(51)에 배치된다.
액추에이터(66)는, 예를 들어 에어 실린더이다. 에어 실린더에는 압축 공기가 공급된다. 에어 실린더는, 압축 공기에 의해 로드(rod; 도시 생략)를 전진 및 후퇴시킨다. 제 2 클로(65)는, 연결부(67)를 통해 액추에이터(66)에 연결된다. 로드가 전진하면, 제 2 클로(65)는 전후 방향의 전방으로, 즉, 제 1 클로(64)에 접근하는 방향으로 이동한다. 한편, 로드가 후퇴하면, 제 2 클로(65)는 전후 방향의 후방으로, 즉, 제 1 클로(64)로부터 이격되는 방향으로 이동한다.
제 1 클로(64)와 제 2 클로(65) 사이에 기판(S)이 위치한 상태에서 제 2 클로(65)를 전진시킴으로써, 제 1 클로(64) 및 제 2 클로(65)가 기판(S)의 단부 가장자리에 계합(係合)된다. 이로써, 유지부(61)가 기판(S)을 유지한다. 이 상태로부터 제 2 클로(65)를 후퇴시킴으로써, 제 2 클로(65)가 기판(S)의 단부 가장자리로부터 멀어진다. 이로써, 유지부(61)가 기판(S)을 해제한다.
동작 센서(68)는 접촉식 또는 비접촉식 센서이다. 동작 센서(68)는, 예를 들어 포토 인터럽터 등의 광 센서이다. 동작 센서(68)는, 액추에이터(66)의 로드 또는 제 2 클로(65)와 일체적으로 이동 또는 연동하는 피검출부(69)의 동작을 검출함으로써 제 2 클로(65)의 동작을 검출한다.
경사 조절부(7)는, 설치부(51)의 제 1 부분(52)에 대한 제 2 부분(53)의 경사를 조절함으로써, 베이스(3)에 대한 유지부(61)의 경사를 조절한다. 이 예에서, 유지체(5)는 3개의 경사 조절부(7)를 갖는다. 구체적으로는, 설치부(51)의 전후부분(51a)의 후단부, 전후부분(51a)의 전단부, 및 좌우부분(51b) 중 전후부분(51a)과 반대쪽의 단부(홀수번째의 유지체(5)에서는 좌단부, 짝수번째의 유지체(5)에서는 우단부) 각각에 경사 조절부(7)가 형성된다. 각 경사 조절부(7)는, 제 1 부분(52)과 제 2 부분(53)의 상하 방향의 간격을 조절한다. 설치부(51)의 3개소에서 제 1 부분(52)과 제 2 부분(53)의 상하 방향의 간격이 조절됨으로써, 제 1 부분(52)에 대한 제 2 부분(53)의 경사(즉, 평행도)가 조절된다. 제 1 부분(52)은 베이스(3)에 설치되고, 제 2 부분(53)에는 유지부(61)가 설치되므로, 결과적으로 베이스(3)에 대한 유지부(61)의 경사가 조절된다.
예를 들면, 경사 조절부(7)는 차동 나사로 형성된다. 도 9는, 경사 조절부(7)의 단면도이다. 경사 조절부(7)는 제 1 나사(71)와 제 2 나사(72)를 포함한다. 제 1 나사(71)에는, 수나사(71a)와 암나사(71b)가 형성된다. 수나사(71a)의 피치와 암나사(71b)의 피치는 서로 다르다. 수나사(71a)는 제 1 부분(52)에 형성되어, 상하 방향으로 연장되는 암나사(52a)에 나사 결합한다. 제 2 나사(72)에는 수나사(72a)가 형성된다. 제 2 나사(72)는 제 2 부분(53)에 형성되며, 상하 방향으로 연장되는 관통공(53a)에 삽입된다. 수나사(72a)는 제 1 나사(71)의 암나사(71b)에 나사 결합한다. 제 2 나사(72)는, 제 2 부분(53)에 대해 회전하지 않도록 회전 막이가 형성된다.
제 1 나사(71)에는, 수나사(71a) 및 암나사(71b)와 동축인 원형 고리 형태의 조작부(73)가 형성된다. 조작부(73)의 일부는, 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제 1 부분(52) 및 제 2 부분(53)으로부터 바깥 방향으로 돌출된다. 예를 들어, 평면에서 볼 때, 조작부(73)의 일부는 제 1 부분(52)의 단부 가장자리 및 제 2 부분(53)의 단부 가장자리로부터 수평면과 평행한 방향으로 돌출된다. 이로써, 사용자는, 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서, 수평면과 평행한 방향에서 조작부(73)를 조작하여, 제 1 나사(71)를 회전시킬 수 있다.
제 1 나사(71)가 회전하면, 제 1 나사(71)는 제 1 부분(52)에 대하여 상하 방향으로 수나사(71a)의 피치에 따라 상대적으로 이동한다. 한편, 제 2 나사(72)는, 제 1 나사(71)에 대하여 상하 방향으로 암나사(71b)의 피치에 따라 상대적으로 이동한다. 여기서, 수나사(71a)의 피치와 암나사(71b)의 피치가 다르므로, 제 1 부분(52)과 제 1 나사(71)의 상대 이동량과, 제 1 나사(71)와 제 2 나사(72)의 상대 이동량은 서로 다르다. 이 상대 이동량의 차분에 따라, 제 1 부분(52)과 제 2 부분(53)의 상하 방향의 간격이 변화한다.
이러한 제 1 부분(52)과 제 2 부분(53)의 상하 방향 간격의 조절이 설치부(51)의 3개소에서 이루어짐으로써, 제 1 부분(52)에 대한 제 2 부분(53)의 경사, 나아가 베이스(3)에 대한 유지부(61)의 경사가 조절된다.
이와 같이 구성된 유지체(5)의 설치부(51)가 베이스(3)에 설치된다. 구체적으로, 홀수번째의 유지체(5)는, 설치부(51)의 전후부분(51a)이 베이스(3)의 제 1 측부(31a)를 따르도록 베이스(3)에 설치된다. 제 1 측부(31a)에서는, 홀수번째 유지체(5)의 설치부(51)의 전후부분(51a)이 배열방향으로 나열 설치된다. 짝수번째 유지체(5)는, 설치부(51)의 전후부분(51a)이 베이스(3)의 제 2 측부(31b)를 따르도록 베이스(3)에 설치된다. 제 2 측부(31b)에서는, 짝수번째 유지체(5)의 설치부(51)의 전후부분(51a)이 배열방향으로 나열 설치된다.
이 때, 홀수번째 유지체(5) 및 짝수번째 유지체(5) 모두에서, 설치부(51)의 좌우부분(51b)은, 베이스(3)의 제 3 측부(31c)와 대향하는 위치에 배치된다. 이로써, 각 유지체(5)의 유지부(61)는, 전후 방향으로 베이스(3)와 나열 배치된다. 베이스(3)의 전방에서는, 모든 유지체(5)의 좌우부분(51b) 및 유지부(61)가 배열방향, 즉 상하 방향으로 나열 배치된다.
이어서,베이스(3)의 구성을 상세하게 설명한다. 도 10은, 베이스(3)의 사시도이다. 도 11은, 일부 설치 블록(44)을 분리시킨 상태의 베이스(3)의 사시도이다. 상세하게는, 도 11에서는, 밑에서부터 첫번째의 설치 블록(44A)과 세번째의 설치 블록(44C)만이 설치된다.
베이스(3)는, 복수 유지체(5)의 배열방향에서의 각 간격을 조절하는 피치 조절기구(4)를 포함한다. 피치 조절기구(4)는, 복수의 유지체(5)의 각 간격을 제 1 피치와 제 1 피치보다 큰 제 2 피치 중 어느 하나로 조절한다. 피치 조절기구(4)는, 리니어 가이드(41), 설치 블록(44), 계합부(45), 및 액추에이터(48)(도 4 참조)를 포함한다.
리니어 가이드(41)는, 베이스(3)의 본체(30)에 형성된다. 구체적으로는, 베이스(3)의 제 1 측부(31a)에 4개의 리니어 가이드(41)가 형성되고, 베이스(3)의 제 2 측부(31b)에 4개의 리니어 가이드(41)가 형성된다. 각 리니어 가이드(41)는, 슬라이딩 블록(42)과, 슬라이딩 블록(42)을 유지체(5)의 배열방향, 즉 상하 방향으로 안내하는 레일(43)을 포함한다. 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)의 각각에 형성된 4 개의 리니어 가이드(41)는, 전후 방향으로 등간격을 두고 배열된다. 1개의 레일(43)에 3개의 슬라이딩 블록(42)이 형성된다.
각 유지체(5)에는, 대응하는 슬라이딩 블록(42), 설치 블록(44) 및 계합부(45)가 할당된다. 여기서, 슬라이딩 블록(42), 설치 블록(44) 및 계합부(45)의 부호의 말미에, 대응하는 유지체(5) 부호의 말미에 부여된 알파벳과 동일한 알파벳을 부여함으로써, 유지체(5)와의 대응 관계를 나타낸다. 예를 들어, 슬라이딩 블록(42A), 설치 블록(44A) 및 계합부(45A)는, 각각 첫번째 유지체(5A)에 대응한다. 또한, 유지체(5)와의 대응 관계를 구별하지 않는 경우에는, 단순히 "슬라이딩 블록(42)", "설치 블록(44)" 및 "계합부(45)"라 칭한다.
설치 블록(44)은, 유지체(5)를 슬라이딩 블록(42)에 설치하기 위한 부재이다. 설치 블록(44)이 슬라이딩 블록(42)에 설치되고, 유지체(5)가 설치 블록(44)에 설치된다. 즉, 유지체(5)는, 설치 블록(44)을 개재하고 슬라이딩 블록(42)에 간접적으로 설치된다.
상세하게는, 베이스(3)의 제 1 측부(31a)에는, 3개의 슬라이딩 블록(42)을 갖는 4개의 리니어 가이드(41)가 설치되어 있으므로, 총 12개의 슬라이딩 블록(42)이 설치된다. 제 1 측부(31a)에 설치되는 6개의 홀수번째 유지체(5)에는, 제 1 측부(31a)의 슬라이딩 블록(42)이 2개씩 할당된다.
마찬가지로, 베이스(3)의 제 2 측부(31b)에는, 3개의 슬라이딩 블록(42)을 갖는 4개의 리니어 가이드(41)가 설치되어 있으므로, 총 12개의 슬라이딩 블록(42)이 설치된다. 제 2 측부(31b)에 설치되는 6개의 짝수번째 유지체(5)에는, 제 2 측부(31b)의 슬라이딩 블록(42)이 2개씩 할당된다.
구체적으로, 제 1 측부(31a)에는, 전후 방향으로 배열되는 4개의 슬라이딩 블록(42)이 상하 방향으로 3단 배치되어, 12개의 슬라이딩 블록(42)이 행렬 형태로 배치된다. 전후 방향에서의 최전열을 제 1 열로 하고, 상하 방향에서의 최하단을 제 1 단으로 한다. 제 1 유지체(5A)에 할당된 슬라이딩 블록(42A, 42A)은, 제 1 단의 제 1 열 및 제 3 열에 배치된다. 제 3 유지체(5C)에 할당된 슬라이딩 블록(42C, 42C)은, 제 1 단의 제 2 열 및 제 4 열에 배치된다. 제 5 유지체(5E)에 할당된 슬라이딩 블록(42E, 42E)은, 제 2 단의 제 1 열 및 제 3 열에 배치된다. 제 7, 제 9 및 제 11 유지체(5G, 5I, 5K)에 할당된 슬라이딩 블록(42G, 42I, 42K)도 마찬가지로 배치된다.
각 유지체(5)에 할당된 2개의 슬라이딩 블록(42)에는, 1개의 설치 블록(44)이 설치된다.
구체적으로는, 제 1 단의 4개의 슬라이딩 블록(42) 중, 슬라이딩 블록(42A, 42A)에는 1개의 설치 블록(44A)이 설치되고, 슬라이딩 블록(42C, 42C)에는 1개의 설치 블록(44C)이 설치된다. 설치 블록(44A)과 설치 블록(44C)은 배열방향으로 배열되고, 설치 블록(44C)이 설치 블록(44A)의 위쪽에 위치한다.
제 2 단 및 제 3 단에 대해서도 마찬가지이다. 슬라이딩 블록(42E, 42E)에는 설치 블록(44E)이 설치되고, 슬라이딩 블록(42G, 42G)에는 설치 블록(44G)이 설치된다. 설치 블록(44G)이 설치 블록(44E)의 위쪽에 위치한다. 슬라이딩 블록(42I, 42I)에는 설치 블록(44I)이 설치되고, 슬라이딩 블록(42K, 42K)에는 설치 블록(44K)이 설치된다. 설치 블록(44K)이 설치 블록(44I)의 위쪽에 위치한다.
여기서, 설치 블록(44A)과 설치 블록(44C)은 형상이 조금 다르다. 제 2 단 및 제 3 단의 설치 블록(44)에 대해서도 마찬가지이며, 제 1 열 및 제 3 열의 슬라이딩 블록(42)에 설치되는 설치 블록(44)과, 제 2 열 및 제 4 열의 슬라이딩 블록(42)에 설치되는 설치 블록(44)과는 형상이 조금 다르다. 이하, 양자를 구별하는 경우에는, 제 1 열 및 제 3 열의 슬라이딩 블록(42)에 설치되는 설치 블록(44)을 "하측 설치 블록(44)"이라 칭하고, 제 2 열 및 제 4 열의 슬라이딩 블록(42)에 설치되는 설치 블록(44)을 "상측 설치 블록(44)"이라 칭한다. 즉, 설치 블록(44A, 44E, 44I)가 하측 설치 블록(44)이고, 설치 블록(44C, 44G, 44K)가 상측 설치 블록이다.
하측 설치 블록(44) 및 상측 설치 블록(44)에 공통된 구성으로서, 설치 블록(44)은, 전후 방향으로 연장되는 본체(44a)와, 2 개의 슬라이딩 블록(42)에 설치되는 2개의 설치부(44b)를 포함한다.
하측 설치 블록(44)의 2 개의 설치부(44b)는, 제 1 열 및 제 3 열의 슬라이딩 블록(42)에 대응하는 위치에 배치되고, 본체(44a)로부터 위쪽으로 연장된다. 상측 설치 블록(44)의 본체(44a)에는, 하측 설치 블록(44)의 2개의 설치부(44b)와의 간섭을 피하기 위한 2개의 노치부(44c)가 형성된다.
한편, 상측 설치 블록(44)의 2 개의 설치부(44b)는, 제 2 열 및 제 4 열의 슬라이딩 블록(42)에 대응하는 위치에 배치되고, 본체(44a)로부터 아래쪽으로 연장된다. 하측 설치 블록(44)의 본체(44a)에는, 상측 설치 블록(44)의 2개의 설치부(44b)와의 간섭을 피하기 위한 2개의 노치부(44c)가 형성된다.
또한, 하측 설치 블록(44) 및 상측 설치 블록(44)에 공통된 구성으로서, 본체(44a)에는 유지체(5)를 설치하기 위한 나사 구멍(44d)이 형성된다. 본체(44a)에는, 전후 방향으로 배열되는 2개의 나사 구멍(44d)이 형성된다. 나사 구멍(44d)은, 배열방향과 교차하는 가상면인 기준면(R)(도 4 참조)에 평행하게, 구체적으로는 좌우 방향으로 연장된다.
제 2 측부(31b)에 대해서도 마찬가지이다. 도시는 생략하나, 제 2 측부(31b)에는, 전후 방향으로 배열되는 4개의 슬라이딩 블록이 상하 방향으로 3단 배치되어, 12개의 슬라이딩 블록이 행렬 형태로 배치된다. 제 1 단의 제 1 열 및 제 3 열의 슬라이딩 블록에는, 제 2 유지체(5B)가 할당되고 설치 블록(44B)이 설치된다. 제 1 단의 제 2 열 및 제 4 열의 슬라이딩 블록에는, 제 4 유지체(5D)가 할당되고 설치 블록(44D)이 설치된다. 이하, 마찬가지로 하여, 제 2 단의 4 개의 슬라이딩 블록에는, 제 6 유지체(5F)와 제 8 유지체(5H)가 할당되고, 설치 블록(44F, 44H)이 설치된다. 제 3 단의 4 개의 슬라이딩 블록에는, 제 10 유지체(5J)와 제 12 유지체(5L)가 할당되고, 설치 블록(44J, 44L)이 설치된다. 설치 블록(44B, 44F, 44J)가 하측 설치 블록(44)이고, 설치 블록(44D, 44H, 44L)이 상측 설치 블록이다.
이와 같이 구성된 설치 블록(44)에 계합부(45)가 형성된다. 구체적으로는, 설치 블록(44)의 후단부에 계합부(45)가 형성된다. 즉, 계합부(45)는 베이스(3)의 제 4 측부(31d)에 배치된다. 복수의 계합부(45)는 배열방향으로 배열된다. 이때, 복수의 계합부(45)는, 대응하는 유지체(5)와 같은 순서로 배열방향으로 배열된다.
계합부(45)는, 외팔보 형상으로 좌우 방향으로 연장되는 제 1 계합편(係合片)(45a), 제 2 계합편(45b) 및 제 3 계합편(45c)을 갖는다. 제 1 계합편(45a), 제 2 계합편(45b) 및 제 3 계합편(45c)은, 위로부터 상기 순서로 상하 방향으로 나열된다.
제 1 측부(31a)에 배치된 설치 블록(44)의 계합부(45)에서, 제 1 계합편(45a), 제 2 계합편(45b) 및 제 3 계합편(45c)은 좌향으로 연장된다. 즉, 제 1 계합편(45a)과 제 2 계합편(45b)의 간극, 및 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극은 좌측으로 개구된다. 한편, 제 2 측부(31b)에 배치된 설치 블록(44)의 계합부(45)에서, 제 1 계합편(45a), 제 2 계합편(45b) 및 제 3 계합편(45c)은 우향으로 연장된다. 즉, 제 1 계합편(45a)과 제 2 계합편(45b)의 간극, 및 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극은 우측으로 개구된다.
여기서, 제 12 계합부(45L)는, 제 1 계합편(45a)을 갖지 않고, 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)을 갖는다.
각 계합부(45)는, 배열방향, 즉 상하 방향으로 인접하는 계합부(45)와 맞물린다. 구체적으로, 제 1 계합부(45A)의 제 1 계합편(45a)은, 제 2 계합부(45B)의 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극으로 진입한다. .
제 2 계합부(45B)의 제 3 계합편(45c)은, 제 1 계합부(45A)의 제 1 계합편(45a)과 제 2 계합편(45b)의 간극으로 진입한다. 제 2 계합부(45B)의 제 1 계합편(45a)은 제 3 계합부(45C)의 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극으로 진입한다.
제 3 계합부(45C)의 제 3 계합편(45c)은, 제 2 계합부(45B)의 제 1 계합편(45a)과 제 2 계합편(45b)의 간극으로 진입한다. 제 3 계합부(45C)의 제 1 계합편(45a)은, 제 4 계합부(45D)의 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극으로 진입한다.
이와 같이, 각 계합부(45)의 제 1 계합편(45a)은, 위쪽으로 인접하는 계합부(45)의 제 2 계합편(45b)과 제 3 계합편(45c)의 간극으로 진입한다. 각 계합부(45)의 제 3 계합편(45c)은, 아래쪽으로 인접하는 계합부(45)의 제 1 계합편(45a)과 제 2 계합편(45b)의 간극으로 진입한다.
여기서, 제 1 계합부(45A)는 아래쪽으로 인접하는 계합부(45)가 존재하지 않으므로, 위쪽으로 인접하는 제 2 계합부(45B)만과 맞물린다. 또한, 제 12 계합부(45L)는 위쪽으로 인접하는 계합부(45)가 존재하지 않으므로, 아래쪽으로 인접하는 제 11 계합부(45K)만과 맞물린다.
제 12 계합부(45L)에는, 도 4에 나타내는 바와 같이 액추에이터(48)가 연결된다. 액추에이터(48)는, 제 12 계합부(45L)를 배열방향, 즉, 상하 방향으로 구동한다. 액추에이터(48)는, 예를 들어 에어 실린더이다. 에어 실린더는, 공급되는 압축 공기에 의해 제 12 계합부(45)를 위쪽 및 아래쪽으로 택일적으로 이동시킨다.
도 12는, 복수의 유지체(5) 간격이 제 1 피치일 때의 계합부(45) 상태를 나타내는 모식도이다. 도 13은, 복수의 유지체(5) 간격이 제 2 피치일 때의 계합부(45) 상태를 나타내는 모식도이다. 여기서, 도 12 및 도 13에서는, 제 10, 제 11 및 제 12 계합부(45J, 45K, 45L)가 도시된다.
액추에이터(48)에 의해 제 12 계합부(45L)가 가장 아래쪽에 위치할 때, 제 12 계합부(45L)의 제 2 계합편(45b)은, 위쪽에서 제 11 계합부(45K)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하여, 제 11 계합부(45K)를 아래쪽으로 누른다. 이로써, 제 11 계합부(45K)의 제 2 계합편(45b)은, 위쪽에서 제 10 계합부(45J)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하여, 제 10 계합부(45J)를 아래쪽으로 누른다. 이와 같이, 상하로 인접하는 각 2개의 계합부(45)에 있어서, 위쪽 계합부(45)의 제 2 계합편(45b)이 아래쪽 계합부(45)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하는 상태가 된다. 이로써, 복수의 유지체(5)의 각 간격이 제 1 피치가 된다.
한편, 액추에이터(48)에 의해 제 12 계합부(45L)가 위쪽으로 이동하면, 제 12 계합부(45L)의 제 3 계합편(45c)은, 아래쪽에서 제 11 계합부(45K)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하여, 제 11 계합부(45K)를 상승시킨다. 이로써, 제 11 계합부(45K)의 제 3 계합편(45c)은, 아래쪽에서 제 10 계합부(45J)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하여, 제 10 계합부(45J)를 상승시킨다. 이와 같이, 상하로 인접하는 각 2개의 계합부(45)에 있어서, 위쪽 계합부(45)의 제 3 계합편(45c)이 아래쪽 계합부(45)의 제 1 계합편(45a)에 접촉하는 상태가 된다. 이로써, 복수의 유지체(5)의 각 간격이 제 2 피치가 된다.
이어서, 이와 같이 구성된 기판 유지 장치(2)에서의 유지체(5)의 착탈에 대하여 설명한다. 도 14는, 도 3의 VII-VII선에서 단면으로 절단한 기판 유지 장치(2)의 일부를 나타내는 모식도이다. 도 15는, 하나의 유지체(5)를 착탈시키는 양상을 나타내는 기판 유지 장치(2)의 평면도이다. 도 14 및 도 15는, 유지체(5G)가 착탈되는 상태를 나타낸다.
각 유지체(5)는, 배열방향으로 교차하는 가상면인 기준면(R)에 평행으로 착탈 가능하게 베이스(3)에 설치된다. 이 예에서, 기준면(R)은 배열방향에 직교하는 면, 즉, 수평면이다. 구체적으로는, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 유지체(5)는 베이스(3)에 형성된 설치 블록(44)에 설치된다. 유지체(5)는, 설치 블록(44)에 대하여 수평 방향에서 설치된다. 유지체(5)는, 볼트(58)에 의해 설치 블록(44)(즉, 베이스(3))에 고정된다.
복수의 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서 하나의 유지체(5)를 베이스(3)로부터 분리할 때에는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 하나의 유지체(5)를 베이스(3)에 고정시키는 볼트(58)를 제거한 후, 하나의 유지체(5)를 수평 방향으로 이동시킴으로써, 하나의 유지체(5)를 베이스(3)로부터 분리시킬 수 있다. 또한, 복수의 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서 하나의 유지체(5)를 베이스(3)에 설치할 때에는, 하나의 유지체(5)를 설치 블록(44)을 향하여 수평 방향으로 이동시켜 설치 블록(44)에 접촉시킨 후, 볼트(58)를 장착함으로써, 하나의 유지체(5)를 베이스(3)에 설치할 수 있다.
구체적으로는, 베이스(3)의 제 1 측부(31a)에는, 복수의 홀수번째 유지체(5)가 배열방향으로 나열 설치된다. 예를 들면, 하나의 홀수번째(예를 들어, 제 7) 유지체(5G)에 대하여 배열방향의 양측에 위치하는 2개의 홀수번째(예를 들어, 제 5 및 제 9) 유지체(5E, 5I)의 배열방향으로의 간극(G)은, 하나의 홀수번째 유지체(5G)의 배열방향으로의 치수보다 크다. 이로써, 하나의 홀수번째 유지체(5G)를 베이스(3)로부터 분리할 때, 하나의 홀수번째 유지체(5G)를, 배열방향의 양측에 나열되는 2개의 홀수번째 유지체(5E, 5I)에 간섭하는 일 없이, 배열방향과 직교하는 기준면(R)에 평행하게 이동시킬 수 있다. 하나의 홀수번째 유지체(5G)를 베이스(3)에 설치할 때도 마찬가지로, 하나의 홀수번째 유지체(5G)를, 배열방향의 양측에 나열되는 2개의 홀수번째 유지체(5E, 5I)에 간섭하는 일 없이, 기준면(R)에 평행하게 이동시킬 수 있다. 이 때, 하나의 홀수번째 유지체(5G)의 이동 방향은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 기준면(R)과 평행한 방향이면 되고, 좌우 방향에 한정되지 않는다.
베이스(3)의 제 2 측부(31b)에 설치된 짝수번째 유지체(5)에 대해서도 마찬가지이다.
여기서, 상기 관계는, 복수의 유지체(5)의 각 간격이 적어도 제 2 피치일 경우에 성립되며, 바람직하게는 복수의 유지체(5)의 각 간격이 적어도 제 1 피치일 경우에도 성립된다.
또한, 베이스(3)(상세하게는 설치 블록(44))에 형성되고, 볼트(58)가 나사 결합하는 나사 구멍(44d)은, 기준면(R)에 평행하게 연장된다. 상세하게는, 베이스(3)는 피치 조절기구(4)를 갖는다. 유지체(5)는, 피치 조절 기구(4)의 설치 블록(44)에 볼트(58)로 고정된다. 설치 블록(44)에는, 유지체(5) 설치용 볼트(58)가 나사 결합하는 나사 구멍(44d)이 형성된다. 나사 구멍(44d)은, 기준면(R)에 평행하게, 보다 구체적으로는 좌우 방향으로 연장된다. 또한, 유지체(5)가 설치 블록(44)에 설치된 상태에서, 볼트(58)는 기준면(R)과 평행한 방향에서 접근하여 조작할 수 있다. 상세하게는, 베이스(3)의 측부(31)에 있어서, 하나의 유지체(5)에 대하여 배열방향 양측에 위치하는 2개의 유지체(5) 사이에는, 하나의 유지체(5)가 기준면(R)에 평행하게 이동 가능한 간극(G)이 형성된다. 이 간극(G)에 공구 등을 삽입함으로써, 기준면(R)과 평행한 방향에서 볼트(58)에 접근하여 볼트(58)를 조작할 수 있다. 그리고, 나사 구멍(44d)이 기준면(R)과 평행한 방향으로 연장되므로, 기준면(R)과 평행한 방향으로부터 삽입된 공구에 의해 볼트(58)의 체결 및 체결 해제 작업을 실시할 수 있다. 그 결과, 배열방향의 양측에 위치하는 2개의 유지체(5)의 영향을 받는 일 없이, 볼트(58)의 체결 및 체결 해제 작업을 실시할 수 있다.
이와 같이, 유지체(5)는, 베이스(3)에 고정시키기 위한 볼트(58)를 기준면(R)과 평행한 방향에서 조작할 수 있음과 더불어, 기준면(R)과 평행한 방향으로 이동시켜 베이스(3)로부터 분리하거나, 베이스(3)에 설치할 수 있다. 이로써, 다른 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 채, 하나의 유지체(5)만을 베이스(3)에 착탈시킬 수 있다.
또한, 유지부(61)는 배열방향과 직교하는 방향 중 제 1 방향으로서의 전후 방향으로 베이스(3)와 나열 배치되고, 유지체(5)의 설치부(51)는, 복수의 측부(31) 중 전후 방향 이외의 방향을 향하는 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)에 설치된다. 이로써, 볼트(58)에 대한 조작이나 유지체(5)의 착탈 조작을, 유지부(61)의 영향을 받지 않고 실시할 수 있다. 즉, 베이스(3)의 제 3 측부(31c)에는 유지부(61)가 대향하여 배치된다. 유지체(5)가 제 3 측부(31c)에 설치되면, 볼트(58)에 대한 조작이나 유지체(5)의 착탈 조작에 있어서 유지부(61)가 방해가 된다. 한편, 베이스(3)의 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)에는 유지부(61)가 대향하여 배치되지 않으므로, 볼트(58)에 대한 조작이나 유지체(5)의 착탈 조작을, 유지부(61)의 영향을 받지 않고 실시할 수 있다.
이상과 같이, 기판 유지 장치(2)는, 베이스(3)와, 베이스(3)에 설치되어 기판을 유지하는 복수의 유지체(5)를 구비하며, 복수의 유지체(5)는 소정의 배열방향으로 배열됨과 더불어, 배열 방향과 교차하는 가상면인 기준면(R)에 평행으로 착탈 가능하게 베이스(3)에 설치된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)는, 배열방향과 교차하는 기준면(R)에 평행하게 베이스(3)에 착탈 가능하다. 이로써, 복수의 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서, 하나의 유지체(5)를 다른 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 채 기준면(R)에 평행하게 이동시켜, 베이스(3)로부터 분리할 수 있다. 하나의 유지체(5)를 베이스(3)에 설치할 때도, 다른 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 채 하나의 유지체(5)를 기준면(R)에 평행하게 이동시켜, 베이스(3)에 설치할 수 있다. 즉, 하나의 유지체(5)를 착탈시킬 때에, 기판 유지 장치(2) 전체를 분해할 필요 없이, 다른 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태를 유지할 수 있으므로, 기판 유지 장치(2)의 유지보수성을 향상시킬 수 있다.
또한, 유지체(5)는, 베이스(3)에 설치되는 설치부(51)와, 기판을 유지하는 유지부(61)를 포함하며, 베이스(3)는, 배열방향과 직교하는 방향을 향하는 복수의 측부(31)를 포함하고, 유지부(61)는, 배열방향과 직교하는 방향 중 제 1 방향으로 베이스(3)와 나열 배치되며, 설치부(51)는, 복수의 측부(31) 중 제 1 방향 이외의 방향을 향하는 제 1 측부 31a에 설치된다.
이 구성에 따르면, 베이스(3)와 유지부(61)가 제 1 방향으로 나열된다. 이로써, 설치부(51)를 복수의 측부(31) 중 제 1 방향을 향하는 측부(31)에 설치하면, 베이스(3), 설치부(51) 및 유지부(61)는, 이 순서로 제 1 방향으로 나열되게 된다. 이 경우, 설치부(51)를 베이스(3)에 착탈시키기 위해 설치부(51)를 취급할 때 유지부(61)가 방해가 된다. 예를 들어, 설치부(51)를 제 1 방향에서 베이스(3)에 볼트 체결하는 경우, 유지부(61)가 방해가 되어 볼트(58)의 조작이 번잡해진다. 또한, 설치부(51)를 제 1 방향에서 베이스(3)에 설치하는 경우에도, 다른 유지체(5)의 유지부(61)의 존재에 의해, 베이스(3) 중 설치부(51)가 설치되는 부분의 시인이 어려워, 설치부(51)의 설치 작업이 번잡해진다.
이에 반해, 설치부(51)를 복수의 측부(31) 중 제 1 방향 이외의 방향을 향하는 제 1 측부(31a)에 설치함으로써, 유지부(61)의 영향을 받는 일 없이 설치부(51)의 베이스(3)에 착탈이 가능하다.
또한, 복수의 측부(31)는, 제 1 방향 이외의 방향을 향하는 제 2 측부(31b)를 포함하며, 복수의 유지체(5)는, 배열방향으로 배열된 순서로 교대로 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)에 설치된다.
이 구성에 따르면, 모든 유지체(5)를 하나의 측부(31)에 설치하는 경우에 비해, 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b) 각각에서 유지체(5)를 설치하기 위한 공간에 여유가 생긴다. 그 결과, 유지체(5)를 베이스(3)에 착탈시킬 때의 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 제 1 측부(31a)와 제 2 측부(31b)는 서로 반대쪽을 향한다.
이 구성에 따르면, 제 1 측부(31a)와 제 2 측부(31b)는 서로 반대쪽을 향하므로, 제 1 측부(31a)에 대한 유지체(5)의 착탈과 제 2 측부(31b)에 대한 유지체(5)의 착탈을, 베이스(3)에 대하여 각각 반대쪽에서 실시할 수 있다. 이로써, 제 1 측부(31a)에 설치된 유지체(5)와 제 2 측부(31b)에 설치된 유지체(5)가, 각각의 유지체(5)의 착탈에 서로 영향을 끼치는 것을 억제할 수 있다.
구체적으로는, 제 1 측부(31a)와 제 2 측부(31b)는, 제 1 방향과 직교하는 방향을 향한다.
이 구성에 따르면, 유지부(61)와, 제 1 측부(31a)에 설치된 유지체(5), 및 제 2 측부(31b)에 설치된 유지체(5)를, 유지체(5)의 착탈에 미치는 영향이 작아지도록 배치할 수 있다.
또한, 유지체(5)는, 베이스(3)에 볼트(58)로 고정되며, 베이스(3)에 형성되어 볼트(58)가 나사 결합하는 나사 구멍(44d)은, 기준면(R)에 평행하게 연장된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)의 착탈과 마찬가지로, 유지체(5)를 베이스(3)에 고정시키기 위한 볼트(58)의 체결 및 체결 해제 조작도 기준면(R)과 평행한 방향에서 이루어지게 된다. 복수의 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서는, 하나의 유지체(5)를 기준면(R)에 평행하게 이동시킬 수 있는 공간이 확보된다. 이로써, 이 공간을 이용하여 볼트(58)의 체결 및 체결 해제 조작을 실시할 수 있다. 그 결과, 볼트(58)의 체결 및 체결 해제의 작업성도 향상시킬 수 있다.
또한, 유지체(5)는, 베이스(3)에 대한 경사를 조절하는 경사 조절부(7)를 포함한다.
이 구성에 따르면, 베이스(3)에 대한 유지체(5)의 경사는, 경사 조절부(7)에 의해 조절된다. 베이스(3)에 대한 유지체(5)의 경사는, 베이스(3)에 유지체(5)가 설치된 상태에도 의존한다. 그러나, 베이스(3)에는, 배열방향으로 나열되는 복수의 유지체(5)가 설치되어 있어, 베이스(3)에 유지체(5)를 설치할 때 유지체(5)의 경사를 조절하는 것은 쉽지 않다. 경사 조절부(7)를 형성함으로써, 유지체(5)를 베이스(3)에 설치한 상태에서, 베이스(3)에 대한 유지체(5)의 경사를 조절할 수 있다. 바꾸어 말하면, 유지체(5)를 베이스(3)에 설치할 때, 베이스(3)에 대한 유지체(5)의 경사를 엄격하게 관리할 필요가 없으므로, 유지체(5)의 설치 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 경사 조절부(7)는 유지체(5)의 복수 지점에 형성된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)의 복수 지점에서 유지체(5)의 경사를 조절할 수 있다. 그 결과, 베이스(3)에 대한 유지체(5)의 경사 조절 능력을 향상시킬 수 있다.
또한, 경사 조절부(7)는, 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서, 기준면(R)과 평행한 방향에서 조작 가능한 위치에 배치된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)가 베이스(3)에 설치된 상태에서의 경사 조절부(7)의 조작성을 향상시킬 수 있다.
또한, 베이스(3)에는, 슬라이딩 블록(42)과, 슬라이딩 블록(42)을 배열방향으로 안내하는 레일(43)을 포함하는 리니어 가이드(41)가 설치되며, 유지체(5)는 슬라이딩 블록(42)에 설치되어, 배열방향으로의 위치가 조절 가능하게 구성된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)는, 배열방향으로의 위치가 조절 가능하게 베이스(3)에 설치된다. 즉, 복수 유지체(5)의 배열방향에서의 각 간격을 조절할 수 있다. 이 경우, 리니어 가이드(41) 등이 설치되지 않은 구성에 비해, 베이스(3)의 구성이 복잡해진다. 이러한 구성이라도, 복수의 유지체(5)를 기준면(R)에 평행으로 착탈 가능하게 베이스(3)에 설치함으로써, 유지체(5)의 유지보수성을 향상시킬 수 있다.
또한, 슬라이딩 블록(42)에는 유지체(5)를 설치하기 위한 설치 블록(44)이 설치되며, 유지체(5)는 설치 블록(44)에 설치됨으로써 슬라이딩 블록(42)에 설치된다.
이 구성에 따르면, 유지체(5)는, 설치 블록(44)을 개재하고 슬라이딩 블록(42)에 간접적으로 설치된다.
(그 밖의 실시형태)
이상과 같이, 본 출원에서 개시하는 기술의 예시로서, 상기 실시형태를 설명하였다. 그러나, 본 개시의 기술은 이에 한정되지 않으며, 적절히 변경, 치환, 부가, 생략 등을 행한 실시의 형태에도 적용 가능하다. 또한, 상기 실시형태에서 설명한 각 구성 요소를 조합하여 새로운 실시의 형태로 하는 것도 가능하다. 또한, 첨부 도면 및 상세한 설명에 기재된 구성요소 중에는, 과제 해결을 위해 필수적인 구성요소뿐만 아니라, 상기 기술을 예시하기 위하여, 과제 해결을 위해서는 필수적이지 않은 구성요소도 포함될 수 있다. 따라서, 이들 필수적이지 않은 구성요소가 첨부 도면이나 상세한 설명에 기재된 것으로써, 바로 이들 필수적이지 않은 구성요소가 필수인 것으로 인정해서는 안된다.
예를 들어, 기판 유지 장치(2)의 유지체(5)의 개수는 12개로 한정되지 않는다. 유지체(5)의 개수는 복수이면 된다.
또한, 복수의 유지체(5)의 배열방향에서의 간격은 조절 불가능, 즉 고정적일 수 있다. 그러므로, 피치 조절 기구(4)를 생략할 수도 있다. 이 경우, 유지체(5)는 베이스(3)의 본체(30)에 설치된다.
또한, 기준면(R)은, 배열방향과 교차하면 되고, 직교하지 않아도 된다. 즉, 유지체(5)는, 배열방향인 상하 방향에 대하여, 경사진 위쪽 또는 경사진 아래쪽으로 이동하여 베이스(3)에 착탈될 수도 있다.
복수의 유지체(5)는, 베이스(3)의 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)에 설치되나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 모든 유지체(5)가, 베이스(3)의 일 측부(31)(예를 들어, 제 1 측부(31a))에 설치될 수도 있다.
또한, 복수의 유지체(5)가 베이스(3)의 복수 측부(31)에 설치되는 경우라도, 제 1 측부(31a) 및 제 2 측부(31b)로 한정되지 않으며, 임의의 측부(31)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 유지체(5)는, 제 1 측부(31a) 및 제 4 측부(31d)에 설치될 수도 있다.
경사 조절부(7)의 개수는 3개로 한정되지 않는다. 경사 조절부(7)는 1개, 2개 또는 4개 이상일 수도 있다. 또한, 유지체(5)는 경사 조절부(7)를 포함하지 않을 수도 있다.
유지체(5)는, 피치 조절 기구(4)의 설치 블록(44)에 설치되나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 피치 조절 기구(4)는, 설치 블록(44)을 포함하지 않고, 유지체(5)는 슬라이딩 블록(42)에 설치될 수도 있다.
2 : 기판 유지 장치 3 : 베이스
31 : 측부 31a : 제 1 측부
31b : 제 2 측부 41 : 리니어 가이드
42 : 슬라이딩 블록 43 : 레일
44 : 설치 블록 44d : 나사 구멍
5 : 유지체 51 : 설치부
58 : 볼트 61 : 유지부
7 : 경사 조절부 R : 기준면

Claims (11)

  1. 베이스와,
    상기 베이스에 설치되며, 기판을 유지하는 복수의 유지체를 구비하며,
    상기 복수의 유지체는, 소정의 배열방향으로 배열됨과 더불어, 상기 배열방향과 교차하는 가상면인 기준면에 평행으로 착탈 가능하게 상기 베이스에 설치되는, 기판 유지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지체는, 상기 베이스에 설치되는 설치부와, 기판을 유지하는 유지부를 포함하며,
    상기 베이스는, 상기 배열방향과 직교하는 방향을 향하는 복수의 측부를 포함하고,
    상기 유지부는, 상기 배열방향과 직교하는 방향 중 제 1 방향으로 상기 베이스와 나열 배치되며,
    상기 설치부는, 상기 복수의 측부 중 상기 제 1 방향 이외의 방향을 향하는 제 1 측부에 설치되는, 기판 유지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 측부는, 제 1 방향 이외의 방향을 향하는 제 2 측부를 포함하며,
    상기 복수의 유지체는, 상기 배열방향으로 배열된 순서로 교대로, 상기 제 1 측부 및 상기 제 2 측부에 설치되는, 기판 유지 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 측부 및 상기 제 2 측부는, 서로 반대쪽을 향하는, 기판 유지 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 측부 및 상기 제 2 측부는, 상기 제 1 방향과 직교하는 방향을 향하는, 기판 유지 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지체는, 상기 베이스에 볼트에 의해 고정되고,
    상기 베이스에 형성되어 상기 볼트가 나사 결합되는 나사 구멍은, 상기 기준면에 평행하게 연장되는, 기판 유지 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지체는, 상기 베이스에 대한 경사를 조절하는 경사 조절부를 포함하는, 기판 유지 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 경사 조절부는, 상기 유지체의 복수 지점에 형성되는, 기판 유지 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 경사 조절부는, 상기 유지체가 상기 베이스에 설치된 상태에서, 상기 기준면과 평행한 방향에서 조작 가능한 위치에 배치되는, 기판 유지 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스에는, 슬라이딩 블록과, 상기 슬라이딩 블록을 상기 배열방향으로 안내하는 레일을 포함하는 리니어 가이드가 설치되며,
    상기 유지체는, 상기 슬라이딩 블록에 설치되어, 상기 배열방향으로의 위치가 조절 가능하게 구성되는, 기판 유지 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 블록에는, 상기 유지체를 설치하기 위한 설치 블록이 설치되며,
    상기 유지체는, 상기 설치 블록에 설치됨으로써 상기 슬라이딩 블록에 설치되는, 기판 유지 장치.
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