JPH0354467B2 - - Google Patents
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- JPH0354467B2 JPH0354467B2 JP11909083A JP11909083A JPH0354467B2 JP H0354467 B2 JPH0354467 B2 JP H0354467B2 JP 11909083 A JP11909083 A JP 11909083A JP 11909083 A JP11909083 A JP 11909083A JP H0354467 B2 JPH0354467 B2 JP H0354467B2
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- JP
- Japan
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- tray
- chip
- magazine
- chips
- trays
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は自動チツプ付装置、詳しくは自動チツ
プ付装置においてチツプトレーから半導体チツプ
を取り出し移載するチツプ供給装置に関する。
プ付装置においてチツプトレーから半導体チツプ
を取り出し移載するチツプ供給装置に関する。
(2) 技術の背景
今日半導体装置の製造においてはその大部分の
工程が自動化され、例えばウエハから切り離され
たチツプをリードフレームにダイ付けする工程は
自動チツプ付装置により自動化されている。
工程が自動化され、例えばウエハから切り離され
たチツプをリードフレームにダイ付けする工程は
自動チツプ付装置により自動化されている。
第１図は上記自動チツプ付装置要部の斜視図
で、同図を参照すると多数のチツプが置かれてい
るチツプトレー１を複数枚（図では９枚）配置し
たトレー配置台（ｘ−ｙテーブル）８が２本の平
行したレール２の上に置かれ、トレー配置台８は
図示せぬ駆動装置によりレール２に沿つて矢印ａ
で示すｘ方向に移動可能であり、また矢印ｂで示
すｙ方向への移動も可能なように構成されてい
る。なお上記ｙ方向への移動は図示せぬ別の駆動
装置によりレール２が固定されている基台９のｙ
方向への移動によつて行われる。
で、同図を参照すると多数のチツプが置かれてい
るチツプトレー１を複数枚（図では９枚）配置し
たトレー配置台（ｘ−ｙテーブル）８が２本の平
行したレール２の上に置かれ、トレー配置台８は
図示せぬ駆動装置によりレール２に沿つて矢印ａ
で示すｘ方向に移動可能であり、また矢印ｂで示
すｙ方向への移動も可能なように構成されてい
る。なお上記ｙ方向への移動は図示せぬ別の駆動
装置によりレール２が固定されている基台９のｙ
方向への移動によつて行われる。
他方、符号３で示す装置はチツプを吸着運搬す
るコレツトで、コレツト３は破線ｃおよびｅで示
す垂直方向および実線ｄに代表される水平方向へ
の動きができ、これらの動きは図示せぬ駆動装置
により制御される。
るコレツトで、コレツト３は破線ｃおよびｅで示
す垂直方向および実線ｄに代表される水平方向へ
の動きができ、これらの動きは図示せぬ駆動装置
により制御される。
以上説明した機構（以下チツプ供給装置と記
す）において、チツプトレー１上にあるチツプ
は、トレー配置台８のｘ方向および基台９のｙ方
向の移動によりコレツト降下位置にチツプトレー
１が位置ぎめされた後、破線ｃに沿つて下降した
コレツト３によつて１個ずつ吸着される。
す）において、チツプトレー１上にあるチツプ
は、トレー配置台８のｘ方向および基台９のｙ方
向の移動によりコレツト降下位置にチツプトレー
１が位置ぎめされた後、破線ｃに沿つて下降した
コレツト３によつて１個ずつ吸着される。
次いでコレツト３の上昇および水平方向への移
動により、チツプ５は先ず中間テーブル４上に移
載される。中間テーブル４は、次工程であるリー
ドフレーム７へのチツプ５のダイ付けのために位
置合せを行う装置である。この位置合せ後は図示
せぬ別の機構により再びコレツト３でチツプ５を
吸着し、次いでリードフレーム上に移動してダイ
付けを行い、かくしてチツプトレー１上のチツプ
は自動的にリードフレーム７にダイ付けされる。
動により、チツプ５は先ず中間テーブル４上に移
載される。中間テーブル４は、次工程であるリー
ドフレーム７へのチツプ５のダイ付けのために位
置合せを行う装置である。この位置合せ後は図示
せぬ別の機構により再びコレツト３でチツプ５を
吸着し、次いでリードフレーム上に移動してダイ
付けを行い、かくしてチツプトレー１上のチツプ
は自動的にリードフレーム７にダイ付けされる。
(3) 従来技術と問題点
ところで、上記チツプ供給装置の運用はオペレ
ータによつて行われている。オペレータの監視の
下で、チツプトレー１のチツプは順次コレツト３
により取り去られ、例えば上述した如くリードフ
レーム７にダイ付けされていく。そしてトイレ配
置台８上のチツプトレー１にあるすべてのチツプ
の供給が終了したときは、オペレータがチツプ自
動付機の運転を停止し、チツプトレー１を交換し
なければならない。
ータによつて行われている。オペレータの監視の
下で、チツプトレー１のチツプは順次コレツト３
により取り去られ、例えば上述した如くリードフ
レーム７にダイ付けされていく。そしてトイレ配
置台８上のチツプトレー１にあるすべてのチツプ
の供給が終了したときは、オペレータがチツプ自
動付機の運転を停止し、チツプトレー１を交換し
なければならない。
上述した従来技術における問題点は、トレー配
置台８に配置しうるチツプトレー１の数が少ない
ために、上記チツプトレー１の交換操作を頻繁に
行わなければならないことにあり、その結果オペ
レータの作業効率が低下し、生産性が低かつた。
置台８に配置しうるチツプトレー１の数が少ない
ために、上記チツプトレー１の交換操作を頻繁に
行わなければならないことにあり、その結果オペ
レータの作業効率が低下し、生産性が低かつた。
なおトレー配置台８上にはチツプトレー１の他
にチツプをテープにはりつけ、このテープを拡張
したリングを置くこともあるが、このリングを用
いてもチツプトレー１の場合と同様の問題があ
る。
にチツプをテープにはりつけ、このテープを拡張
したリングを置くこともあるが、このリングを用
いてもチツプトレー１の場合と同様の問題があ
る。
(4) 発明の目的
本発明は上記従来の問題点に鑑み、チツプトレ
ーの交換回数を少なくし、かつ交換時に装置の運
転を停止することなくオペレータの作業性が向上
した自動チツプ付装置の提供を目的とする。
ーの交換回数を少なくし、かつ交換時に装置の運
転を停止することなくオペレータの作業性が向上
した自動チツプ付装置の提供を目的とする。
(5) 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、半導体チツ
プを収容する複数のチツプトレーを収納するトレ
ーマガジン、当該トレーマガジンの昇降を行い、
所望の位置に停止する手段、該停止しているトレ
ーマガジンからチツプトレーを押し出す手段およ
び押し出されたチツプトレーをトレーマガジン内
へ収納する手段を具備し、上記押し出し手段によ
つて押し出されたチツプトレーから半導体チツプ
をすべて供給した後、上記収納手段によりチツプ
トレーを収納し、順次他のチツプトレーに対して
も同様の操作を行うチツプ供給機構を有すること
を特徴とする自動チツプ付装置を提供することに
よつて達成され、また上記トレーマガジンを複数
配設した自動チツプ付装置を提供することによつ
ても同様に達成される。
プを収容する複数のチツプトレーを収納するトレ
ーマガジン、当該トレーマガジンの昇降を行い、
所望の位置に停止する手段、該停止しているトレ
ーマガジンからチツプトレーを押し出す手段およ
び押し出されたチツプトレーをトレーマガジン内
へ収納する手段を具備し、上記押し出し手段によ
つて押し出されたチツプトレーから半導体チツプ
をすべて供給した後、上記収納手段によりチツプ
トレーを収納し、順次他のチツプトレーに対して
も同様の操作を行うチツプ供給機構を有すること
を特徴とする自動チツプ付装置を提供することに
よつて達成され、また上記トレーマガジンを複数
配設した自動チツプ付装置を提供することによつ
ても同様に達成される。
(6) 発明の実施例
以下本発明実施例を図面により説明する。
第２図は本発明実施例を説明するための自動チ
ツプ付装置主要部の斜視図、第３図は当該チツプ
付装置の側面図である。
ツプ付装置主要部の斜視図、第３図は当該チツプ
付装置の側面図である。
両図を参照すると、符号１１はチツプトレー、
１２は前記チツプトレー１１を縦方向並列に収納
するトレーマガジン、１５はモーター１６によつ
て上下するエレベータで、当該エレベータ１５の
昇降によりトレーマガジン１２が矢印ｆで示す方
向に上下する。また符号１３はトレー１１をトレ
ーマガジン１２方向へ（矢印ｇで示す）押しもど
す収納シリンダ、１４はトレー１１をトレーマガ
ジンから押し出す押し出しシリンダ、１７はトレ
ー１１からチツプを取り出すピツクアツプコレツ
ト、１８はピツクアツプコレツト１７の移動制御
を行うｚ−ｘ−ｙテーブル、１９はアームをそれ
ぞれ示す。なおエレベータ１５はモータ１６の動
力を例えばベルト２１により移動軸２２へ伝達す
ることによつて行う。
１２は前記チツプトレー１１を縦方向並列に収納
するトレーマガジン、１５はモーター１６によつ
て上下するエレベータで、当該エレベータ１５の
昇降によりトレーマガジン１２が矢印ｆで示す方
向に上下する。また符号１３はトレー１１をトレ
ーマガジン１２方向へ（矢印ｇで示す）押しもど
す収納シリンダ、１４はトレー１１をトレーマガ
ジンから押し出す押し出しシリンダ、１７はトレ
ー１１からチツプを取り出すピツクアツプコレツ
ト、１８はピツクアツプコレツト１７の移動制御
を行うｚ−ｘ−ｙテーブル、１９はアームをそれ
ぞれ示す。なおエレベータ１５はモータ１６の動
力を例えばベルト２１により移動軸２２へ伝達す
ることによつて行う。
上述した構成の自動チツプ付装置において、予
めチツプを満載したチツプトレー１１をトレーマ
ガジン１２に収納しておき、次いでエレベータ１
５の昇降により例えば最上段にあるチツプトレー
１１の収納位置をトレー受け台２０の高さに合せ
（図では上から５段目に合せた場合を示す）、次い
で押し出しシリンダ１４によりチツプトレー１１
をトレー受け台２０上へ押し出す。押し出した後
はピツクアツプコレツト１７を図示せぬ駆動装置
により矢印ｈ、ｉ、ｊで示す各方向の移動に対し
て位置制御を行い、チツプトレー１１から１個ず
つチツプを取り出し、図示せぬ中間テーブルにチ
ツプを供給する。そしてチツプトレー１１のチツ
プをすべて取り去つた後は、空のチツプトレーを
収納シリンダ１３によりトレーマガジン１２内へ
押し戻し、次いでエレベータ１５を下降させて２
段目の新しいチツプトレーに対して同じ作業を行
う。なおエレベータの位置制御および収納シリン
ダ１３、押し出しシリンダ１４の作動タイミング
などは図示しない通常の制御手段によつて行いう
る。
めチツプを満載したチツプトレー１１をトレーマ
ガジン１２に収納しておき、次いでエレベータ１
５の昇降により例えば最上段にあるチツプトレー
１１の収納位置をトレー受け台２０の高さに合せ
（図では上から５段目に合せた場合を示す）、次い
で押し出しシリンダ１４によりチツプトレー１１
をトレー受け台２０上へ押し出す。押し出した後
はピツクアツプコレツト１７を図示せぬ駆動装置
により矢印ｈ、ｉ、ｊで示す各方向の移動に対し
て位置制御を行い、チツプトレー１１から１個ず
つチツプを取り出し、図示せぬ中間テーブルにチ
ツプを供給する。そしてチツプトレー１１のチツ
プをすべて取り去つた後は、空のチツプトレーを
収納シリンダ１３によりトレーマガジン１２内へ
押し戻し、次いでエレベータ１５を下降させて２
段目の新しいチツプトレーに対して同じ作業を行
う。なおエレベータの位置制御および収納シリン
ダ１３、押し出しシリンダ１４の作動タイミング
などは図示しない通常の制御手段によつて行いう
る。
かくして多数枚のチツプトレー１１をトレーマ
ガジン１２に収納しておくことによりトレー変換
回数を大幅に減らすことができるほか、交換はト
レーマガジン１２単位に行うため従来に比べ極め
て容易に行なえるだけでなく、チツプ自動付機の
動きを止める必要はない。
ガジン１２に収納しておくことによりトレー変換
回数を大幅に減らすことができるほか、交換はト
レーマガジン１２単位に行うため従来に比べ極め
て容易に行なえるだけでなく、チツプ自動付機の
動きを止める必要はない。
第４図は本発明の応用例を説明するための図
で、同図に示すようにトレーマガジン１２を２台
並べて配設し、１台目のトレーマガジン１２に収
納されているチツプトレー１１がすべて空になつ
た場合に２台目のトレーマガジン１２に対して上
述したチツプ供給作業を続行する。なおかかる作
業の制御は通常の技術で容易に行なえる。
で、同図に示すようにトレーマガジン１２を２台
並べて配設し、１台目のトレーマガジン１２に収
納されているチツプトレー１１がすべて空になつ
た場合に２台目のトレーマガジン１２に対して上
述したチツプ供給作業を続行する。なおかかる作
業の制御は通常の技術で容易に行なえる。
かくして１つのトレーマガジン１２が空になつ
ても続いてもう１つのトレーマガジン１２が用意
されているためチツプ供給作業を続行でき、しか
もその間先に空になつたトレーマガジンに収納さ
れているチツプトレーを交換しておけば２番目の
トレーマガジンが空になつた後、再び１番目にも
どつて作業を続けることができる。従つてチツプ
トレー交換に際しその都度自動チツプ付機を停止
する必要がなくなり作業性が向上する。
ても続いてもう１つのトレーマガジン１２が用意
されているためチツプ供給作業を続行でき、しか
もその間先に空になつたトレーマガジンに収納さ
れているチツプトレーを交換しておけば２番目の
トレーマガジンが空になつた後、再び１番目にも
どつて作業を続けることができる。従つてチツプ
トレー交換に際しその都度自動チツプ付機を停止
する必要がなくなり作業性が向上する。
なおトレーマガジン１２の配設は上記２台に限
られるものではなく、ピツクアツプコレツトの作
業範囲内において２台以上配設すれば更に作業性
が向上する。
られるものではなく、ピツクアツプコレツトの作
業範囲内において２台以上配設すれば更に作業性
が向上する。
また、第５図のようにトレー３１側をXYテー
ブル３２に乗せることにより、XYに動かないヘ
ツド（第１図に示すヘツド）に対しても、多数の
トレーを供給することが可能である。
ブル３２に乗せることにより、XYに動かないヘ
ツド（第１図に示すヘツド）に対しても、多数の
トレーを供給することが可能である。
(7) 発明の効果
以上詳細に説明した如く本発明の自動チツプ付
装置によれば、チツプトレーの供給をマガジン単
位とし、また当該マガジンには従来に比べ多くの
チツプトレーが収納できるため、チツプトレーの
交換頻度を減少できオペレータの作業工数を減ら
すことができるだけでなく、マガジンを複数並列
にして配置することによりチツプ自動付機の一時
停止をなくし稼動率を上げることができるため半
導体装置の生産性向上に効果大である。
装置によれば、チツプトレーの供給をマガジン単
位とし、また当該マガジンには従来に比べ多くの
チツプトレーが収納できるため、チツプトレーの
交換頻度を減少できオペレータの作業工数を減ら
すことができるだけでなく、マガジンを複数並列
にして配置することによりチツプ自動付機の一時
停止をなくし稼動率を上げることができるため半
導体装置の生産性向上に効果大である。
第１図は従来の自動チツプ付装置の構成を示す
図、第２図および第３図は本発明に係わる自動チ
ツプ付装置の斜視図および側面図、第４図は本発
明の応用例を説明するための自動チツプ付装置の
斜視図、第５図は本発明の他の実施例の断面図で
ある。 １，１１，３１……チツプトレー、２……レー
ル、３……コレツト、４……中間テーブル、５…
…チツプ、１２……トレーマガジン、１３……収
納シリンダ、１４……押し出しシリンダ、１５…
…エレベータ、１６……モータ、１７……ピツク
アツプコレツト、１８……ｚ−ｘ−ｙテーブル、
３２……XYテーブル。
図、第２図および第３図は本発明に係わる自動チ
ツプ付装置の斜視図および側面図、第４図は本発
明の応用例を説明するための自動チツプ付装置の
斜視図、第５図は本発明の他の実施例の断面図で
ある。 １，１１，３１……チツプトレー、２……レー
ル、３……コレツト、４……中間テーブル、５…
…チツプ、１２……トレーマガジン、１３……収
納シリンダ、１４……押し出しシリンダ、１５…
…エレベータ、１６……モータ、１７……ピツク
アツプコレツト、１８……ｚ−ｘ−ｙテーブル、
３２……XYテーブル。
Claims (1)
- １ 半導体チツプを収容する複数のチツプトレー
を収納するトレーマガジン、当該トレーマガジン
の昇降を行い、所望の位置に停止する手段、該停
止しているトレーマガジンからチツプトレーを押
し出す手段および押し出されたチツプトレーをト
レーマガジン内へ収納する手段を具備し、上記押
し出し手段によつて押し出されたチツプトレーか
ら半導体チツプをすべて供給した後、上記収納手
段によりチツプトレーを収納し、順次他のチツプ
トレーに対しても同様の操作を行うチツプ供給機
構を有することを特徴とする自動チツプ付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909083A JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909083A JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010747A JPS6010747A (ja) | 1985-01-19 |
| JPH0354467B2 true JPH0354467B2 (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=14752642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11909083A Granted JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010747A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6305500B1 (en) * | 1999-08-25 | 2001-10-23 | Maxtor Corporation | Material delivery system for clean room-like environments |
| KR100365543B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2002-12-26 | 동양반도체장비 주식회사 | 반도체패키지 제조 장비의 엘리베이터 장치 |
| JP2010208647A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Honda Motor Co Ltd | 物品収納トレー及び物品収納トレーの搬送方法 |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11909083A patent/JPS6010747A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6010747A (ja) | 1985-01-19 |
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