JPS6357190A - 物体移動用関節ア−ム装置 - Google Patents
物体移動用関節ア−ム装置Info
- Publication number
- JPS6357190A JPS6357190A JP61201815A JP20181586A JPS6357190A JP S6357190 A JPS6357190 A JP S6357190A JP 61201815 A JP61201815 A JP 61201815A JP 20181586 A JP20181586 A JP 20181586A JP S6357190 A JPS6357190 A JP S6357190A
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- JP
- Japan
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- wafer
- arm
- centering
- moving
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- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 26
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体製造装置におけるウェハのベル
トレスハンドリング機構等に用いる物体移動用関節アー
ム装置に関する。
トレスハンドリング機構等に用いる物体移動用関節アー
ム装置に関する。
半導体装置の製造に際してウェハを複数の処理ユニット
間で移動させるハンドリング８！溝として特開昭６０−
１８３７３６号公報には開脚運動する関節アームにより
ウェハ移動台を平行往復動させるものが示されている。
間で移動させるハンドリング８！溝として特開昭６０−
１８３７３６号公報には開脚運動する関節アームにより
ウェハ移動台を平行往復動させるものが示されている。
このものは、壊れ易（滑り易いシリコンウェハを適度な
加減速度パターンで移動させ得ろという特徴を備えてい
るが、成る作業ユニットから別のユニットヘウエハを向
きを変えて移動する場合、ウェハが必ずしも適正なセン
ター位置に来るとは限らず、従って従来のこの種のハン
ドリング機構では、ウェハのセンタリングを必要とする
作業ユニットの各々にセンタリングメカニズムを組込み
、ハンドリング機構によってウェハが移された後にメカ
ニカルにウェハのセンタリングを行っていたので、個々
の作業ユニットの構成が複雑になることと、ウェハ搬送
時間が長くかかってスループットが向上できないという
欠点があった。
加減速度パターンで移動させ得ろという特徴を備えてい
るが、成る作業ユニットから別のユニットヘウエハを向
きを変えて移動する場合、ウェハが必ずしも適正なセン
ター位置に来るとは限らず、従って従来のこの種のハン
ドリング機構では、ウェハのセンタリングを必要とする
作業ユニットの各々にセンタリングメカニズムを組込み
、ハンドリング機構によってウェハが移された後にメカ
ニカルにウェハのセンタリングを行っていたので、個々
の作業ユニットの構成が複雑になることと、ウェハ搬送
時間が長くかかってスループットが向上できないという
欠点があった。
本発明の課題は、前述の従来技術の欠点を除去して、個
々の作業ユニットにセンタリング機構を設けろ必要がな
く、シかも移動対象物をよりｒ′＆速で移動させること
の可能な物体移動用関節アーム装置を提供することであ
る。
々の作業ユニットにセンタリング機構を設けろ必要がな
く、シかも移動対象物をよりｒ′＆速で移動させること
の可能な物体移動用関節アーム装置を提供することであ
る。
本発明の物体移動用関節アーム装置は、前述の課題を達
成するために、互いの一端側を各々反対方向に回転駆動
することにより中間の関節部で開腹運動をして互いの他
端側にピボット結合された物体保持手段を平行移動させ
ろ一対の関節アーム手段と、移動すべき物体を前記物体
保持手段上で予め定められたセンタリング位置に定位さ
せ且つ移動中の物体を物体保持手段上の前記定位位置に
拘束するセンタリング手段とを備えている。
成するために、互いの一端側を各々反対方向に回転駆動
することにより中間の関節部で開腹運動をして互いの他
端側にピボット結合された物体保持手段を平行移動させ
ろ一対の関節アーム手段と、移動すべき物体を前記物体
保持手段上で予め定められたセンタリング位置に定位さ
せ且つ移動中の物体を物体保持手段上の前記定位位置に
拘束するセンタリング手段とを備えている。
本発明の関節アーム装置では、物体保持手段上で移動対
象物体がセンタリング手段によって特定のセンター位置
に定位拘束され、従って回動運動を高速で行っても物体
が保持手段上でずれたり脱落したりすることがなく、同
時に特定のセンター位置に定位されているので物体の受
は度し位置が各作業ユニットで個々に一定位置となり、
各作業ユニットで改めてセンタリングをする必要もなく
なることになる。
象物体がセンタリング手段によって特定のセンター位置
に定位拘束され、従って回動運動を高速で行っても物体
が保持手段上でずれたり脱落したりすることがなく、同
時に特定のセンター位置に定位されているので物体の受
は度し位置が各作業ユニットで個々に一定位置となり、
各作業ユニットで改めてセンタリングをする必要もなく
なることになる。
本発明の好ましい実施例を図面と共に説明すれば以下の
通りである。
通りである。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示しており、
１はウェハＷを保持する移動台である。
１はウェハＷを保持する移動台である。
移動台１は一対の関節アーム１０の一端側にピボット結
合され、両関節アーム１０は図示の状態では中間部の関
節１１で屈曲しており、アーム他端でモータ８により互
いに反対方向に回転駆動されるようになっている。７は
支持台であり、関節アーム１０は前記他端でこの支持台
７に回転可能に支持されている。また支持台７はモータ
９によって水平回動できるようになっている。支持台７
には更に支柱６が固定され、この支柱６にセンタリング
位置決め部材５がアーム１０の引き込み端位置で固定支
持されている。この位置決め部材５は、図示の例ではウ
ェハＷの輪郭形状の一部に合致する前端面形状を有して
お９、これにウェハＷの外周が押し付けられることによ
り、ウェハＷが支持台７に対する基準位置にセンタリン
グされろようになっている。支持台７にはまたシリンダ
装置４が取り付けられており、このシリンダ装置４によ
って押し付はアーム２が移動台１の移動方向に移動可能
に支持され、さらにこの押し付はアーム２は別のシリン
ダ装置３によって起伏可能になっている。
合され、両関節アーム１０は図示の状態では中間部の関
節１１で屈曲しており、アーム他端でモータ８により互
いに反対方向に回転駆動されるようになっている。７は
支持台であり、関節アーム１０は前記他端でこの支持台
７に回転可能に支持されている。また支持台７はモータ
９によって水平回動できるようになっている。支持台７
には更に支柱６が固定され、この支柱６にセンタリング
位置決め部材５がアーム１０の引き込み端位置で固定支
持されている。この位置決め部材５は、図示の例ではウ
ェハＷの輪郭形状の一部に合致する前端面形状を有して
お９、これにウェハＷの外周が押し付けられることによ
り、ウェハＷが支持台７に対する基準位置にセンタリン
グされろようになっている。支持台７にはまたシリンダ
装置４が取り付けられており、このシリンダ装置４によ
って押し付はアーム２が移動台１の移動方向に移動可能
に支持され、さらにこの押し付はアーム２は別のシリン
ダ装置３によって起伏可能になっている。
さて、押し付はアーム２は、その伏した状態ではアーム
１０の開脚運動による移動台１の移動を許容し、移動台
１がウェハＷを載せてその引き込み位置に戻ったときに
シリンダ装置３によって起きあがり、さらにシリンダ装
Ｍ４によって図中矢印方向に引き込まれてその先端の突
起１２によりウェハＷを位置決め部材の前端面に押し付
け、ウェハを前記基準位置に定位させてその状態に拘束
する。この状態で支持台７がモータ９により回動され、
所望の作業ユニットの向きに向けられる。
１０の開脚運動による移動台１の移動を許容し、移動台
１がウェハＷを載せてその引き込み位置に戻ったときに
シリンダ装置３によって起きあがり、さらにシリンダ装
Ｍ４によって図中矢印方向に引き込まれてその先端の突
起１２によりウェハＷを位置決め部材の前端面に押し付
け、ウェハを前記基準位置に定位させてその状態に拘束
する。この状態で支持台７がモータ９により回動され、
所望の作業ユニットの向きに向けられる。
この回動の間はウェハＷは拘束状態にあるので、移動台
１の上でウェハがずれることはない。支持台７の回動に
よってアーム先端の移動台１が所定の向きに向くと、押
し付はアーム２がウェハＷカ）ら遠ざかり、さらに下方
に伏して待避する。その後、ウェハＷは移動台１上で後
方を位置決め部材５により保持された状態で関節アーム
１０により市道し、次の作業ユニットへの受は渡し位置
に移動される。この場合、前記受は渡し位置はアーム１
０の移動量で定まる。
１の上でウェハがずれることはない。支持台７の回動に
よってアーム先端の移動台１が所定の向きに向くと、押
し付はアーム２がウェハＷカ）ら遠ざかり、さらに下方
に伏して待避する。その後、ウェハＷは移動台１上で後
方を位置決め部材５により保持された状態で関節アーム
１０により市道し、次の作業ユニットへの受は渡し位置
に移動される。この場合、前記受は渡し位置はアーム１
０の移動量で定まる。
第３図および第４図は本発明の別の実施例を示しており
、第１および２図と同一符号は相当部分を示す。この実
施例では、センタリング位置決め部材１５は関節アーム
１０の引き込み位置にてその両側方に一対配置されてお
り、支持台上に昇降シリンダ装置１４で支持された一対
の開閉用シリンダ装置１３に取り付けられている。
、第１および２図と同一符号は相当部分を示す。この実
施例では、センタリング位置決め部材１５は関節アーム
１０の引き込み位置にてその両側方に一対配置されてお
り、支持台上に昇降シリンダ装置１４で支持された一対
の開閉用シリンダ装置１３に取り付けられている。
移！！！！１台１上のウェハＷは、アーム１０の引き込
み端位置で、ウェハ外周形状に一致する内側形状の位置
決め部材１５によ、って両側から挟まれることにより、
支持台に対する基準位置に位置決めされ、その状態に拘
束されろ。従ってこの場合にも支持台の回動によるウェ
ハの移動台上での位置ずれは生じない。
み端位置で、ウェハ外周形状に一致する内側形状の位置
決め部材１５によ、って両側から挟まれることにより、
支持台に対する基準位置に位置決めされ、その状態に拘
束されろ。従ってこの場合にも支持台の回動によるウェ
ハの移動台上での位置ずれは生じない。
尚、関節アーム１０に開脚運動による移動台１の前進・
後進は、アームが（Ｆｔｌび切っているときには両アー
ムがほぼ平行であってそこから移動台１が引き込まれる
につれて移動台１は比較的ゆっくりと加速され、移動台
が関節１１の位置に達してそこで最高速度になり、その
後移動台は減速されはじめて、引き込み端位置へゆっく
りと停止するように行われ、これで移動台１上のウェハ
のずれ発生が防がれている。
後進は、アームが（Ｆｔｌび切っているときには両アー
ムがほぼ平行であってそこから移動台１が引き込まれる
につれて移動台１は比較的ゆっくりと加速され、移動台
が関節１１の位置に達してそこで最高速度になり、その
後移動台は減速されはじめて、引き込み端位置へゆっく
りと停止するように行われ、これで移動台１上のウェハ
のずれ発生が防がれている。
以上に述べたように、本発明の関口アーム装置によれば
、物体保持手段上で移動対象物体がセンタリング手段に
よって特定のセンター位置に定位拘束されるから、その
状態で回動等の移動を高速で行っても、移動対象物体が
保持手段上でずれたり脱落したりすることがなく、同時
に特定のセンター位置に定位されているので物体の受は
渡し位置が各作業ユニットで個々に一定位置となり、各
作業ユニットで改めてセシクリングをする必要もなく、
各ユニッ１−にセンタリング機構を個々に設置する必要
もない。
、物体保持手段上で移動対象物体がセンタリング手段に
よって特定のセンター位置に定位拘束されるから、その
状態で回動等の移動を高速で行っても、移動対象物体が
保持手段上でずれたり脱落したりすることがなく、同時
に特定のセンター位置に定位されているので物体の受は
渡し位置が各作業ユニットで個々に一定位置となり、各
作業ユニットで改めてセシクリングをする必要もなく、
各ユニッ１−にセンタリング機構を個々に設置する必要
もない。
第１図は本発明の一実施例を示す側ｆｆＪ７図、第２図
はその平面図、第３図は本発明の別の実施例を示す側面
図、第４図はその平面図である。 １：移動台、２：押し付はアーム、３．４ニジリンダ装
置、５，１５： センタリング位置決め部材、７：支持
台、８，９：モーフ、ＩＯ＝関節アームθ 特許出願人 キャノン株式会社 特許出願人 キャノン販売株式会社 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第３図 １５′ 第４図
はその平面図、第３図は本発明の別の実施例を示す側面
図、第４図はその平面図である。 １：移動台、２：押し付はアーム、３．４ニジリンダ装
置、５，１５： センタリング位置決め部材、７：支持
台、８，９：モーフ、ＩＯ＝関節アームθ 特許出願人 キャノン株式会社 特許出願人 キャノン販売株式会社 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第３図 １５′ 第４図
Claims (1)
- 互いの一端側を各々反対方向に回転駆動することにより
中間の関節部で開脚運動をして互いの他端側にピボット
結合された物体保持手段を平行移動させる一対の関節ア
ーム手段と、移動すべき物体を前記物体保持手段上で予
め定められたセンタリング位置に定位させ且つ移動中の
物体を物体保持手段上の前記定位位置に拘束するセンタ
リング手段とを備えたことを特徴とする物体移動用関節
アーム装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61201815A JPS6357190A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 物体移動用関節ア−ム装置 |
| GB8715456A GB2194500B (en) | 1986-07-04 | 1987-07-01 | A wafer handling apparatus |
| DE19873722080 DE3722080A1 (de) | 1986-07-04 | 1987-07-03 | Einrichtung zum bearbeiten von halbleiterplaettchen |
| US07/453,188 US5015177A (en) | 1986-07-04 | 1989-12-15 | Wafer handling apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61201815A JPS6357190A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 物体移動用関節ア−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6357190A true JPS6357190A (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=16447363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61201815A Pending JPS6357190A (ja) | 1986-07-04 | 1986-08-29 | 物体移動用関節ア−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6357190A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012004320A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
| JP2014503121A (ja) * | 2011-01-05 | 2014-02-06 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 基板操作装置及び方法 |
| JP2014116536A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エンドエフェクタ装置及び該エンドエフェクタ装置を用いた板状部材の位置決め方法 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61201815A patent/JPS6357190A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012004320A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
| JP2014503121A (ja) * | 2011-01-05 | 2014-02-06 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 基板操作装置及び方法 |
| JP2014116536A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エンドエフェクタ装置及び該エンドエフェクタ装置を用いた板状部材の位置決め方法 |
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