JPH04152078A - 多関節アーム移動装置 - Google Patents
多関節アーム移動装置Info
- Publication number
- JPH04152078A JPH04152078A JP3810389A JP3810389A JPH04152078A JP H04152078 A JPH04152078 A JP H04152078A JP 3810389 A JP3810389 A JP 3810389A JP 3810389 A JP3810389 A JP 3810389A JP H04152078 A JPH04152078 A JP H04152078A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- articulated arm
- articulated
- moving
- articulated arms
- gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 16
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
本発明の装置は一般に物体移動装置に関し、特に、複数
の作業台へ又はそこからシリコンウェハを移動させるた
めの装置に関する。
の作業台へ又はそこからシリコンウェハを移動させるた
めの装置に関する。
半導体装置の製造に於て、複数の作業台又は作業位置の
間で壊れ易いシリコンウェハを移動させることには固有
の取扱い上の問題がある。シリコンウェハは非常に壊れ
易く、又高研磨面を有している。したがってウェハをい
きなり動かすとそれらは滑り易い。ウェハは滑りによっ
て摩耗したり。
間で壊れ易いシリコンウェハを移動させることには固有
の取扱い上の問題がある。シリコンウェハは非常に壊れ
易く、又高研磨面を有している。したがってウェハをい
きなり動かすとそれらは滑り易い。ウェハは滑りによっ
て摩耗したり。
又衝突によってエツジに損傷を受ける。
シリコンウェハを移動させるための従来装置は数多くあ
り1例えば未開特許第3,823,836号は、シリコ
ンウェハを保持する複数の棚を有する供給台と真空チャ
ックを有する引き出し装置とを含む装置を開示している
。真空チャックには、それを昇降させるエレベータが取
り付けられている。供給台から所望の作業台へとシリコ
ンウェハを移動させるために、真空チャックに結合した
水平の移動アームが用いられている。
り1例えば未開特許第3,823,836号は、シリコ
ンウェハを保持する複数の棚を有する供給台と真空チャ
ックを有する引き出し装置とを含む装置を開示している
。真空チャックには、それを昇降させるエレベータが取
り付けられている。供給台から所望の作業台へとシリコ
ンウェハを移動させるために、真空チャックに結合した
水平の移動アームが用いられている。
米国特許第3,730,595号は、作業台へ又はそこ
からウェハを移動させるための、特定の作業を指示でき
るキャリアを有するウェハ移動取扱い装置を開示してい
る。キャリアに対するウェハの出し入れは、特定の方向
の空気シェツトを有するウェハ放出・受容アームを用い
て空気スライド上で行われる。ウェハ放出・受容アーム
は、ウェハを作業台へ又はそこから移動させる空気スラ
イドとキャリアとの間のウェハの移動を制御する。
からウェハを移動させるための、特定の作業を指示でき
るキャリアを有するウェハ移動取扱い装置を開示してい
る。キャリアに対するウェハの出し入れは、特定の方向
の空気シェツトを有するウェハ放出・受容アームを用い
て空気スライド上で行われる。ウェハ放出・受容アーム
は、ウェハを作業台へ又はそこから移動させる空気スラ
イドとキャリアとの間のウェハの移動を制御する。
米国特許第4,062,463号、第3,874.52
5号、及び第4,208,159号もウェハ移動装置を
開示しており、これらはウェハを取り扱うための空気圧
部品かグリップ装置を含んでいる。
5号、及び第4,208,159号もウェハ移動装置を
開示しており、これらはウェハを取り扱うための空気圧
部品かグリップ装置を含んでいる。
上記の従来装置は、比較的複雑で高価な空気圧部品を用
いているか、或いは壊れ易いウェハに損傷を与えかねな
いグリップ装置を用いている。更に、上記の装置の使用
は、変更が難しい固定された位置の間のシリコンウェハ
の移動に限られる傾向かある。
いているか、或いは壊れ易いウェハに損傷を与えかねな
いグリップ装置を用いている。更に、上記の装置の使用
は、変更が難しい固定された位置の間のシリコンウェハ
の移動に限られる傾向かある。
したがって、檀々の軸方向及び径方向の面内の複数の位
置の間で物体を移動させることができかつ物体を損傷し
ない簡単で信頼性の高い移動装置が必要とされている。
置の間で物体を移動させることができかつ物体を損傷し
ない簡単で信頼性の高い移動装置が必要とされている。
発明の要約
本発明の装置は、棟々の軸方向及び径方向の面内の複数
の位置の間で、シリコンウェハ、カメラレンズ、水晶振
動子又は同様の物体を移動させるための簡単で信頼性の
高い装置を与える。この装置は、支持台と、第1及び第
2の多関節アームと、多関節アームに結合した移動台又
は他の適当なホルダーと、多関節アームの1つを駆動す
るモータとを有している。この2つの多関節アームは、
その1つがモータによって駆動されると“かえる”又は
“かえるのキック″のような伸縮運動をなすように、そ
の作動において結合されている。物体を載せた移動台は
、多関節アームが伸縮すると調和運動をなし、したがっ
て物体が滑るのを最小限に食い止めている。多関節アー
ム装置は回転モータを介して基台に結合されており、し
たがって多関節アーム装置全体は径方向面内で回転する
ことができる。又、多関節アーム装置は力に応答する複
数のたわみ部又はレバーを介して基台に結合されており
、したがって移動台装置は軸方向に変位することができ
る。
の位置の間で、シリコンウェハ、カメラレンズ、水晶振
動子又は同様の物体を移動させるための簡単で信頼性の
高い装置を与える。この装置は、支持台と、第1及び第
2の多関節アームと、多関節アームに結合した移動台又
は他の適当なホルダーと、多関節アームの1つを駆動す
るモータとを有している。この2つの多関節アームは、
その1つがモータによって駆動されると“かえる”又は
“かえるのキック″のような伸縮運動をなすように、そ
の作動において結合されている。物体を載せた移動台は
、多関節アームが伸縮すると調和運動をなし、したがっ
て物体が滑るのを最小限に食い止めている。多関節アー
ム装置は回転モータを介して基台に結合されており、し
たがって多関節アーム装置全体は径方向面内で回転する
ことができる。又、多関節アーム装置は力に応答する複
数のたわみ部又はレバーを介して基台に結合されており
、したがって移動台装置は軸方向に変位することができ
る。
スtM@(1)tll賢
第1図について述べると、本発明による装置の多関節ア
ーム装置1110が与えられている。多関節アーム装置
10は、第1の多関節アーム11と。
ーム装置1110が与えられている。多関節アーム装置
10は、第1の多関節アーム11と。
第2の多関節アーム14とを含んでいる。第1の多関節
アーム11は2つの部分、即ち駆動部12と被駆動部1
3とからなり、これらはピン接続部17によって接続さ
れている。同様に第2の多関節アーム14は2つの部分
、即ち駆動部15と被駆動部16とからなり、これらは
ビン接続部18によって接続されている。1つの実施例
においては、t&i!動部12.15の方が被駆動部1
3.16より短くなっている。
アーム11は2つの部分、即ち駆動部12と被駆動部1
3とからなり、これらはピン接続部17によって接続さ
れている。同様に第2の多関節アーム14は2つの部分
、即ち駆動部15と被駆動部16とからなり、これらは
ビン接続部18によって接続されている。1つの実施例
においては、t&i!動部12.15の方が被駆動部1
3.16より短くなっている。
一般に1ijA劾部12.15はそれぞれ円形状のギア
20.21を有している。ギア20.21は駆動部12
.15の一部として一体に形成することもできるし、又
、別々に形成して適当な取付手段によってWjA#部に
固定してもよい。ギア20はビニオン(+!!動用の小
歯車)22と連動するように結合されている。ギア20
はビニオン22によって駆動され、次にギア20がギア
21を駆動する。
20.21を有している。ギア20.21は駆動部12
.15の一部として一体に形成することもできるし、又
、別々に形成して適当な取付手段によってWjA#部に
固定してもよい。ギア20はビニオン(+!!動用の小
歯車)22と連動するように結合されている。ギア20
はビニオン22によって駆動され、次にギア20がギア
21を駆動する。
被1!!動部13.16はそれぞれ半円状の回転拘束ギ
ア23.24を有している。物体を運ぶための移動台2
5又は他の適当なホルダーがベアリング26.27によ
って回転拘束ギア23.24に結合されている。回転拘
束ギアの代りにl!擦面即ちケーブルと滑車の組み合わ
せを用いることもでき。
ア23.24を有している。物体を運ぶための移動台2
5又は他の適当なホルダーがベアリング26.27によ
って回転拘束ギア23.24に結合されている。回転拘
束ギアの代りにl!擦面即ちケーブルと滑車の組み合わ
せを用いることもでき。
この場合でも被駆動部13.16の端部の回転を妨げる
ことができる。
ことができる。
ビニオン22が時計方向に回転すると、ギア20と駆動
部12とは反時計方向に回転し、ギア21と駆動部15
とは時計方向に回転することが理解できる。その結果、
多関節アーム11.14は“かえる″の運動のように縮
み、移動台25は調和運動をなしてギア20.21の方
へ移動する。
部12とは反時計方向に回転し、ギア21と駆動部15
とは時計方向に回転することが理解できる。その結果、
多関節アーム11.14は“かえる″の運動のように縮
み、移動台25は調和運動をなしてギア20.21の方
へ移動する。
回転拘束ギア23.24は移動台25の回転を妨げてお
り、したがって運ばれる物体は直線運動をなす。
り、したがって運ばれる物体は直線運動をなす。
移動台25の調和運動は本発明の夏姿な特徴である。多
関節アームが伸び切っている時には両者は1よぼ平行で
ある。伸び切った位置から移動台25が引き込まれるに
つれて、移動台は速度0から比較的ゆっくりと加速され
、伸び切った多関節アームの中央の点に達してそこで速
度が最大となる。
関節アームが伸び切っている時には両者は1よぼ平行で
ある。伸び切った位置から移動台25が引き込まれるに
つれて、移動台は速度0から比較的ゆっくりと加速され
、伸び切った多関節アームの中央の点に達してそこで速
度が最大となる。
移動台25は、中央の点に達した後で減速され始め、ギ
ア20.21の上方の停止位置に達する。
ア20.21の上方の停止位置に達する。
移動台25上に置かれたシリコンウェハのような物体が
高研磨面を有しかつ摩擦たけで移動台上に保持されるこ
とがある。したがって、移動台をいきなり加速するとウ
ェハが滑ったりする。しかし上述のような調和運動のゆ
るやかな加速度のおかけで物体の滑る傾向が最小限に食
い止められ、したがって物体の摩耗が防止され、又他の
物体との衝突も防止される。更に万全を期するために吸
引やクランプを利用できる時にはそれらを用いることも
できる。
高研磨面を有しかつ摩擦たけで移動台上に保持されるこ
とがある。したがって、移動台をいきなり加速するとウ
ェハが滑ったりする。しかし上述のような調和運動のゆ
るやかな加速度のおかけで物体の滑る傾向が最小限に食
い止められ、したがって物体の摩耗が防止され、又他の
物体との衝突も防止される。更に万全を期するために吸
引やクランプを利用できる時にはそれらを用いることも
できる。
もし移動台25がギア20.21の上方に停止しており
、かつもしピニオン22が反時計方向に回転するならば
、多関節アーム11.14と移動台25とは“かえる″
の運動のように伸びることが理解できる。移動台25は
多関節アーム11゜14が伸び切るまで調和運動をなし
て移動する。
、かつもしピニオン22が反時計方向に回転するならば
、多関節アーム11.14と移動台25とは“かえる″
の運動のように伸びることが理解できる。移動台25は
多関節アーム11゜14が伸び切るまで調和運動をなし
て移動する。
第2図について述べると1本発明による1つの実施例の
等角分解図が与えられている。多関節装置flE I
Oの移動台25はピン29を含むこともでき。
等角分解図が与えられている。多関節装置flE I
Oの移動台25はピン29を含むこともでき。
これはノツチと共同して以下で説明する移動止め機構を
形成する。多関節アーム装置110はC形状の支持台3
0上に配置されている。電動のモータ31が支持台30
に取り付けられピニオン22と結合している。ピニオン
はギア21を駆動するギア20と噛み合い、これによっ
て多関節アーム11.14が上述の伸縮運動をなす6支
持台30はシャフト32と結合し、シャフト32は第2
のC形状の支持台33に軸支されている。シャフト32
は電動のモータ35と結合した回転ギア34を有し、こ
のモータによって多関節装置10の全体が回転する。移
動台25の中心がシャフト32の上方にある時は、移動
すべきシリコンウェハには何の遠心力も作用しない。
形成する。多関節アーム装置110はC形状の支持台3
0上に配置されている。電動のモータ31が支持台30
に取り付けられピニオン22と結合している。ピニオン
はギア21を駆動するギア20と噛み合い、これによっ
て多関節アーム11.14が上述の伸縮運動をなす6支
持台30はシャフト32と結合し、シャフト32は第2
のC形状の支持台33に軸支されている。シャフト32
は電動のモータ35と結合した回転ギア34を有し、こ
のモータによって多関節装置10の全体が回転する。移
動台25の中心がシャフト32の上方にある時は、移動
すべきシリコンウェハには何の遠心力も作用しない。
支持台33は、C形状の支持台37.38及びたわみ部
41〜44を介して基台36に結合されている。基台3
6上には引き上げ用のソレノイド40が配され、レバー
45と結合している。レバー45はシャフト32の下方
に配置されている。
41〜44を介して基台36に結合されている。基台3
6上には引き上げ用のソレノイド40が配され、レバー
45と結合している。レバー45はシャフト32の下方
に配置されている。
基台36上には第1の支点(fulcrun)46があ
り、第2の支点(図略)がシャフト32の底部にある。
り、第2の支点(図略)がシャフト32の底部にある。
ソレノイド40が励磁されるとシャフト32が上方に軸
方向に移動し、したがってたわみ部41〜44がたわむ
、シャフト32が軸方向に移動すると多関節アーム装w
110の全体も軸方向に移動することが理解できる。
方向に移動し、したがってたわみ部41〜44がたわむ
、シャフト32が軸方向に移動すると多関節アーム装w
110の全体も軸方向に移動することが理解できる。
第3A、3B及び30図について述べると、本実施例の
作動を示す図が与えられている。多関節アーム装置10
は、第1のエレベータ51、オーブン52及び第2のエ
レベータ53の間に配置されている。エレベータ51の
ラック54の水平な溝の中に複数のシリコンウェハが積
み重ねられている。
作動を示す図が与えられている。多関節アーム装置10
は、第1のエレベータ51、オーブン52及び第2のエ
レベータ53の間に配置されている。エレベータ51の
ラック54の水平な溝の中に複数のシリコンウェハが積
み重ねられている。
第3A図では、多関節アーム装[’lOが伸び切って移
動台25がラック54の水平な溝の中に配置されている
場合が示されている。エレベータ51はノツチ(図略)
を含んでおり、このノツチは移動台25の鉛直なピン2
9と共同して・移動台25を所定の位置に確実に保持す
るための移動止め機構を形成している。移動台は、ラッ
ク54の水平な溝に対して一端アラインされると、上述
したようにソレノイド40によって持ち上げられる。
動台25がラック54の水平な溝の中に配置されている
場合が示されている。エレベータ51はノツチ(図略)
を含んでおり、このノツチは移動台25の鉛直なピン2
9と共同して・移動台25を所定の位置に確実に保持す
るための移動止め機構を形成している。移動台は、ラッ
ク54の水平な溝に対して一端アラインされると、上述
したようにソレノイド40によって持ち上げられる。
移動台25は、その上にシリコンウェハを載せるため典
型的には50〜100ミリインチ持ち上げられる。
型的には50〜100ミリインチ持ち上げられる。
第3B図には、駆動部12.15が互いに反対方向に回
転し、これによって多関節アーム装置10が“かえる”
の運動のように縮む場合が示されている。多関節アーム
装置11110が縮むにつれて、移動台25はシリコン
ウェハ9を載せたままでエレベータ51の近傍から引き
出される。
転し、これによって多関節アーム装置10が“かえる”
の運動のように縮む場合が示されている。多関節アーム
装置11110が縮むにつれて、移動台25はシリコン
ウェハ9を載せたままでエレベータ51の近傍から引き
出される。
第3C図では、多関節アーム装置110が縮んで移動台
25がシャフト32の回転中心の上方にある場合が破線
で示されている。多関節アーム装置10の全体は次に9
0°回転され、移動台25はオーブン52に対してアラ
インされる。多関節アーム装置10は、移動台を所望の
作業台にアラインさせるために所望の角度たけ回転させ
ることができることに注意すべきである。次にギア20
゜21が反対方向に回転し、多関節アーム装置は“かえ
る”の運動のように伸び、移動台25とシリコンウェハ
9がオーブン52内に置かれる。上述した仕方と同様に
移動台25とシリコンウェハ9はオーブン52から引き
出され、シリコンウェハ9はエレベータ53に置かれる
。オーブン52もノツチ5Sを含むことができ、このノ
ツチは移動台25のピン9と共同して移動止め機構とし
て作用する。
25がシャフト32の回転中心の上方にある場合が破線
で示されている。多関節アーム装置10の全体は次に9
0°回転され、移動台25はオーブン52に対してアラ
インされる。多関節アーム装置10は、移動台を所望の
作業台にアラインさせるために所望の角度たけ回転させ
ることができることに注意すべきである。次にギア20
゜21が反対方向に回転し、多関節アーム装置は“かえ
る”の運動のように伸び、移動台25とシリコンウェハ
9がオーブン52内に置かれる。上述した仕方と同様に
移動台25とシリコンウェハ9はオーブン52から引き
出され、シリコンウェハ9はエレベータ53に置かれる
。オーブン52もノツチ5Sを含むことができ、このノ
ツチは移動台25のピン9と共同して移動止め機構とし
て作用する。
多関節アーム装!!10を正確に制御するため、モータ
31,35とソレノイド40を電子的な論理回路によっ
て制御することができる。この制御が十分に正確であれ
ば、ピン9とノツチ55からなる移動止め機構は必ずし
も必要ではない。
31,35とソレノイド40を電子的な論理回路によっ
て制御することができる。この制御が十分に正確であれ
ば、ピン9とノツチ55からなる移動止め機構は必ずし
も必要ではない。
再び第1図に戻ると、もし駆動部12.15が被駆動部
13.16と同じ長さであれば、多関節アーム11.1
4の動作が著しく影響を受けることに注意すべきである
。もし駆動部12.15と被駆動部13.16との長さ
が等しけれは、移動台25は、上述のようにギア20.
21の上方で停止せずにギアを越えて伸びて行くであろ
う。
13.16と同じ長さであれば、多関節アーム11.1
4の動作が著しく影響を受けることに注意すべきである
。もし駆動部12.15と被駆動部13.16との長さ
が等しけれは、移動台25は、上述のようにギア20.
21の上方で停止せずにギアを越えて伸びて行くであろ
う。
例えば第3図において駆動部12.15と被駆動部13
.16との長さが等しいと、多関節アーム装置!10を
回転させなくても移動台25をエレベータ51から引き
出してエレベータ53へと伸ばすことができる。もし駆
動部12.15の長さが被駆動部13.16の長さより
短いと、移動台25はエレベータから引き出され、上述
のようにギア20.21の上方で停止する。したがって
移動台25をエレベータ53に対してアラインさせるた
めには、多関節アーム装置10を伸ばす前にそれを18
0@回転させなければならない。
.16との長さが等しいと、多関節アーム装置!10を
回転させなくても移動台25をエレベータ51から引き
出してエレベータ53へと伸ばすことができる。もし駆
動部12.15の長さが被駆動部13.16の長さより
短いと、移動台25はエレベータから引き出され、上述
のようにギア20.21の上方で停止する。したがって
移動台25をエレベータ53に対してアラインさせるた
めには、多関節アーム装置10を伸ばす前にそれを18
0@回転させなければならない。
本発明を実施例によって説明してきたが、使用された用
語は制限よりも説明のためのものであり、本発明の範囲
と精神から逸脱することなく添付された特許請求の範囲
内で変更をなすことは可能である。
語は制限よりも説明のためのものであり、本発明の範囲
と精神から逸脱することなく添付された特許請求の範囲
内で変更をなすことは可能である。
第1図は多関節アーム装置の平面図であり、第2図は本
発明による装置の等角分解図であり、第3A、3B及び
3C図は本発明による装置の作動を示す図である。 〔主要部分の符号の説明〕 支持台・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・30駆動部・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・12,15被駆動部・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・13,16第1の多関節アーム
・・・・・・11 第2の多関節アーム・・・・・・14
発明による装置の等角分解図であり、第3A、3B及び
3C図は本発明による装置の作動を示す図である。 〔主要部分の符号の説明〕 支持台・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・30駆動部・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・12,15被駆動部・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・13,16第1の多関節アーム
・・・・・・11 第2の多関節アーム・・・・・・14
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 支持台と、 該支持台に装着された第1と第2の多関節アームと、 該第1と第2の多関節アームに支持され移動対象物を載
置するための移動台とを有し; 前記第1の多関節アームが、 回転可能に設けられた駆動部と、 該駆動部を回転駆動するための回転手段と、該駆動部の
先端側に一端側が回転可能に装着され、他端側が前記移
動台に回転可能に装着された被駆動部とを有し: 前記第2の多関節アームが、 前記第1の多関節アームの動きに応答して回転する駆動
部と、 該駆動部の先端側に一端側が回転可能に装着され、他端
側が前記移動台に回転可能に装着された被駆動部とを有
し: 前記駆動部が前記被駆動部と等しいか或は短いことを特
徴とする多関節アーム移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3810389A JPH04152078A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 多関節アーム移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3810389A JPH04152078A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 多関節アーム移動装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59225646A Division JPS60183736A (ja) | 1983-02-14 | 1984-10-26 | 多関節ア−ム移動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04152078A true JPH04152078A (ja) | 1992-05-26 |
Family
ID=12516137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3810389A Pending JPH04152078A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 多関節アーム移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04152078A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6247889B1 (en) | 1998-07-31 | 2001-06-19 | Bks Lab. Ltd. | Multiple-shaft power transmission apparatus and wafer transport arm link |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5832533A (ja) * | 1981-08-22 | 1983-02-25 | Orii Jidoki Seisakusho:Kk | 被加工物の自動送り装置 |
-
1989
- 1989-02-17 JP JP3810389A patent/JPH04152078A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5832533A (ja) * | 1981-08-22 | 1983-02-25 | Orii Jidoki Seisakusho:Kk | 被加工物の自動送り装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6247889B1 (en) | 1998-07-31 | 2001-06-19 | Bks Lab. Ltd. | Multiple-shaft power transmission apparatus and wafer transport arm link |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4730976A (en) | Articulated arm transfer device | |
US4909701A (en) | Articulated arm transfer device | |
US5765983A (en) | Robot handling apparatus | |
EP0631535B1 (en) | Articulated arm transfer device | |
JP6850725B2 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板処理システム | |
KR100570357B1 (ko) | 공작물 처리 장치 | |
US5893795A (en) | Apparatus for moving a cassette | |
JPH02311288A (ja) | 要素搬送アライメント装置及び方法 | |
JP2002184834A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
US5743704A (en) | Wide wrist articulated arm transfer device | |
WO1999052143A1 (fr) | Mecanisme d'alignement et dispositif de traitement de semi-conducteurs utilisant ce mecanisme | |
JPH0555342A (ja) | ウエーハチヤツクおよびウエーハ搬送装置 | |
JPH037574B2 (ja) | ||
JP4034353B2 (ja) | 全方向に傾斜可能なz軸駆動アーム | |
JPH04152078A (ja) | 多関節アーム移動装置 | |
JP2002164402A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
JP2022157992A (ja) | ワーク搬送システム及びその制御方法 | |
JP4938560B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JPH0919862A (ja) | ポリッシング装置のロード・アンロードユニット | |
JP5479948B2 (ja) | 搬送機構 | |
JP7237635B2 (ja) | 保持装置および保持方法 | |
KR102576383B1 (ko) | 반송대차 | |
KR0160676B1 (ko) | 로보트 | |
JPH10291177A (ja) | 多関節ロボット | |
JP2003229467A (ja) | 真空処理装置 |