CN210763112U - 晶片翻转转移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶片翻转转移装置，涉及晶片加工领域。目前，人工将夹具盘内的晶片转移至物料盘内时，若操作不当会导致晶片散落，使晶片污染或受损。本实用新型的支架上滑动设有吸片机构和夹片机构，夹片机构上还设有伺服旋转机构，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构的作用下实现翻转，完成对晶片的翻转转移，采用机械设备代替人工避免晶片的污染或损坏。

Description

晶片翻转转移装置

技术领域

涉及晶片加工领域，具体涉及一种晶片翻转转移装置。

背景技术

石英晶体谐振器是用压电石英(即水晶)制成的压电器件，它不仅具有高度稳定的物理化学性能，而且弹性振动损耗极小。与其它电子元器件相比，压电石英晶体还有着很高的频率稳定度和高Q值，使其成为稳定频率和选择频率的重要元器件。镀膜工序是保证晶片谐振频率能够满足使用要求的重要工序。为满足频率要求要确保镀膜后晶片表面无异物，无划痕。

目前采用人工将镀膜后的晶片从镀膜夹具盘中翻转到点胶物料盘内，操作过程中先将镀膜夹具盘放置在操作台上，气泵向下吸气，将镀膜夹具盘吸附在操作台表面，再将镀膜夹具盘上的上掩膜板取下，把点胶物料盘反置在镀膜夹具表面，整体翻转180°，将晶片翻到点胶物料盘内，在此过程中容易出现人工操作不当，例如在取上掩膜板时造成晶片散乱、掉落或是在翻转过程中掉落等问题，不但可能污染或损坏晶片，并且使用镊子重新夹取晶片的过程中，会造成污染或损坏晶片，亟需解决。

发明内容

本实用新型的目的是开发一种以机械代替人工，避免晶片在翻转转移过程中掉落，结构简单的晶片翻转转移装置。

本实用新型通过如下的技术方案实现：

晶片翻转转移装置，包括作为支撑件的支架，所述支架上滑动设有吸片机构和夹片机构，所述夹片机构上还设有伺服旋转机构，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构的作用下实现翻转，完成对晶片的翻转转移，采用机械设备代替人工避免晶片的污染或损坏。

进一步的，所述吸片机构下部设有操作台，所述操作台上部滑动设有第一支架，所述吸片机构设于第一支架上。

进一步的，所述操作台上设有若干通孔，所述操作台下部设有气泵。

进一步的，所述吸片机构包括滑动设于第一支架上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸下部设有吸盘。

进一步的，所述操作台两侧分别设有一个升降机构，所述升降机构上分别设有一个放置夹具盘或物料盘的提篮。

进一步的，所述提篮包括两个竖向布置的侧板，所述侧板在竖向上等间距设有多个支撑台，夹具盘或物料盘两端分别位于两侧板的支撑台上。

进一步的，所述升降机构上部分别滑动设有第二支架，所述第二支架上设有夹片机构。

进一步的，所述夹片机构包括滑动设于第二支架上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸活塞杆上设有伺服旋转机构，所述伺服旋转机构上设有夹持机械手。

进一步的，所述夹持机械手包括两个与伺服旋转机构转动连接的夹持板，两个所述夹持板之间设有微型气缸，所述夹持板上转动设有传动杆，所述传动杆的另一端与微型气缸的活塞杆转动连接。

进一步的，所述支架上设有同步带以及驱动同步带运动的伺服系统，所述吸片机构和夹持机构皆设于同步带上。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过吸片机构、夹持机构以及伺服旋转机构的配合，实现机械代替人工自动将夹具盘上的上掩膜板吸取并转移，并且将夹具盘和物料盘翻转，使晶片落入物料盘内，避免发生晶片掉落而导致晶片污染或损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构图；

图2为图1的俯视图；

图3为提篮结构图；

图4为机械手结构图；

附图标记：1、操作台；2、第一支架；3、第一结构板；4、第一气缸；5、吸盘；6、气泵；7、第二支架；8、第二结构板；9、第二气缸；10、连接杆；11、伺服旋转机构；12、夹持板；13、传动杆；14、微型气缸；15、升降板；16、提篮；160、侧板；161、横板、162、支撑台。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明创造的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本发明创造中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

如图1～3所示，本实施例公开了一种晶片翻转转移装置，包括支架，所述支架作为支撑件用以承载其他部件，支架上滑动设有吸片机构和夹片机构，夹片机构设有伺服旋转机构11，夹片机构用以夹持夹具盘和物料盘，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取并转移，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持并使其两者贴合，在伺服旋转机构11的驱动下，实现对夹具盘和物料盘的反转，使夹具盘内的晶片移至物料盘内。

具体地，吸片机构下部设有操作台1，所述操作台1用以放置夹具盘或物料盘，为晶片翻转作业提供工作面，操作台1上部滑动设有第一支架2，所述第一支架2为“门”形支架，第一支架2可在操作台1上部滑动以调节位置，所述吸片机构设于第一支架2上，夹具盘置于操作台1上，吸片机构在第一支架2上滑动至相应位置，并对夹具盘上的上掩膜板吸取。

操作台1上设有若干通孔，所述操作台1下部设有气泵6，夹具盘或物料盘置于操作台1上时，气泵6运转，将夹具盘或物料盘吸在操作台1上，实现对夹具盘或物料盘的固定。

吸片机构包括滑动设于第一支架2上的第一结构板3，所述第一结构板3上设有第一气缸4，所述第一气缸4竖直设置，第一气缸4的活塞杆端部设有水平布置的连接板，所述连接板底部设有多个吸盘5。

操作台1两侧分别设有一个升降机构，所述升降机构包括升降板15，所述升降板15底部设有驱动机构使升降板15提升或下降，升降板15上分别设有一个放置夹具盘或物料盘的提篮16。

提篮16包括两个竖向布置的侧板160和横板161，所述横板161设于两侧板160底部，横板161两端分别与两侧板160底端连接，所述侧板160在竖向上等间距设有多个支撑台162，使提篮16类似抽屉结构，夹具盘或物料盘可在提篮16内抽出或抽入，夹具盘或物料盘两端分别位于两侧板160的支撑台162上。

升降机构上部分别滑动设有一个第二支架7，所述第二支架7上滑动设有夹片机构，第二支架7滑动以调节其位置。

夹片机构包括滑动设于第二支架7上的第二结构板8，所述第二结构板8上设有第二气缸9，所述第二气缸9竖直布置，第二气缸9活塞杆的端部上设有“L”形的连接杆10，所述连接杆10的端部设有伺服旋转机构11，所述伺服旋转机构11另一端设有夹持机械手，第二结构板8在第二支架7上滑动，实现夹片机构的水平方向移动，第二气缸9驱动夹片机构竖向移动，伺服旋转机构11可使夹持机械手旋转。

夹持机械手包括两个与伺服旋转机构11转动连接的夹持板12，所述夹持板12为曲形，两个所述夹持板12之间设有微型气缸14，所述微型气缸14设于伺服旋转机构11上，所述夹持板12上转动设有传动杆13，所述传动杆13的另一端与微型气缸14的活塞杆转动连接，微型气缸14通过传动杆13驱动两个夹持板12运动。

第一支架2和第二支架7上皆设有同步带以及驱动同步带运动的伺服系统，第一结构板3和第二结构板8分别设于第一支架2和第二支架7的同步带上，同步带用以驱动吸片机构或夹片机构在水平方向上的运动。

将装有夹具盘和物料盘的提篮16分别放入两个升降装置内，夹片装置将夹具盘夹持并送至操作台1上，使夹具盘上的上掩膜板朝上，气泵6运转，将夹具盘吸在操作台1上，吸盘5下降，将上掩膜板吸取，并将上掩膜板转移，夹具盘上设有多个凸起，物料盘上对应位置设有多个与凸起配合的槽孔，夹片装置将物料盘夹持并送至夹具盘上部，使物料盘盖在夹具盘上，夹具盘上的凸起置于物料盘上的槽孔内，夹持架构将夹具盘和物料盘夹持并提升一定高度，在伺服旋转机构11的作用下使夹具盘和物料盘翻转，翻转后夹具盘在上，物料盘在下，夹具盘内的晶片落入物料盘内，将夹具盘和物料盘放置于操作台1上，气泵6运转，辅助固定夹具盘和物料盘的位置，吸片机构将夹具盘吸取并转移，夹持机构将装有晶片的物料盘夹持并转移，完成对晶片的翻转转移，两个提升装置分别将两个提篮16提升，进行下一次晶片翻转转移。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (10)

1.晶片翻转转移装置，其特征在于，包括：

支架，其为支撑件；

吸片机构，其滑动设于支架上；

夹片机构，其滑动设于支架上；

伺服旋转机构（11），其设于夹片机构上；

其中，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构（11）的作用下实现翻转。

2.根据权利要求1所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述吸片机构下部设有操作台（1），所述操作台（1）上部滑动设有第一支架（2），所述吸片机构设于第一支架（2）上。

3.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述操作台（1）上设有若干通孔，所述操作台（1）下部设有气泵（6）。

4.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述吸片机构包括滑动设于第一支架（2）上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸下部设有吸盘（5）。

5.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述操作台（1）两侧分别设有一个升降机构，所述升降机构上分别设有一个放置夹具盘或物料盘的提篮（16）。

6.根据权利要求5所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述提篮（16）包括两个竖向布置的侧板（160），所述侧板（160）在竖向上等间距设有多个支撑台（162），夹具盘或物料盘两端分别位于两侧板（160）的支撑台（162）上。

7.根据权利要求5所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述升降机构上部分别滑动设有第二支架（7），所述第二支架（7）上设有夹片机构。

8.根据权利要求7所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述夹片机构包括滑动设于第二支架（7）上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸的活塞杆上设有伺服旋转机构（11），所述伺服旋转机构（11）上设有夹持机械手。

9.根据权利要求8所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述夹持机械手包括两个与伺服旋转机构（11）转动连接的夹持板（12），两个所述夹持板（12）之间设有微型气缸（14），所述夹持板（12）上转动设有传动杆（13），所述传动杆（13）的另一端与微型气缸（14）的活塞杆转动连接。

10.根据权利要求1~9任意一项所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述支架上设有同步带以及驱动同步带运动的伺服系统，所述吸片机构和夹持机构皆设于同步带上。

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