JP2010150027A - 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置 - Google Patents

吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010150027A
JP2010150027A JP2008332185A JP2008332185A JP2010150027A JP 2010150027 A JP2010150027 A JP 2010150027A JP 2008332185 A JP2008332185 A JP 2008332185A JP 2008332185 A JP2008332185 A JP 2008332185A JP 2010150027 A JP2010150027 A JP 2010150027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
wafer
hand
suction hand
hand according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008332185A
Other languages
English (en)
Inventor
Kei Shibayama
慧 芝山
Kazuo Honma
一男 本間
Jun Terakado
純 寺門
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Control Systems Corp
Original Assignee
Hitachi High Tech Control Systems Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Control Systems Corp filed Critical Hitachi High Tech Control Systems Corp
Priority to JP2008332185A priority Critical patent/JP2010150027A/ja
Publication of JP2010150027A publication Critical patent/JP2010150027A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

【課題】大型のウェーハの裏面を真空吸着して保持する吸着ハンドにおいて、ウェーハの自重による変形および真空吸着力による局所的な変形を抑制する。
【解決手段】ウェーハを吸着するための吸着部を有し、この吸着部と前記ウェーハの裏面との間に減圧部を生じさせることにより前記ウェーハを吸着して保持する吸着ハンドであって、前記吸着部を3か所以上設け、これらの吸着部の中心を頂点とする多角形の内側に前記ウェーハの中心が位置し、且つ前記吸着部が前記ウェーハの外周の内側に位置するように前記ウェーハを保持する。
【選択図】図2A

Description

本発明は、吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置に関する。
半導体ウェーハは、シリコンをはじめ、ガラスなどの脆性材料が用いられている。半導体ウェーハの局所的な変形は、材料の内部にあるクラックの進展を促進し、微細化が進む半導体製造工程において歩留まり等に影響してしまう。また、吸着による変形は、ウェーハと接する部分に微少な摩耗を発生させ、ウェーハ裏面の付着塵埃の原因にもなっている。
従来、ウェーハ搬送においては、ウェーハを裏面で保持するための吸着ハンドが使用されている。
特許文献1には、ウェーハを真空吸着して保持するハンドと、該ハンドのウェーハ保持状態を検出する第1の検出手段と、前記ハンド上のウェーハの有無を検出する第2の検出手段とを具備したウェーハ搬送装置が開示されている。
特許文献2には、ウェーハとの接触部の一部の表面を荒表面仕上げするウェーハ搬送プレートが開示されている。
現在、半導体製造において単位面積あたりの製造コストを低減するための手段として、ウェーハの大型化が進んでおり、φ450mmウェーハの登場が予想される。ウェーハ大型化により、ウェーハ質量の増加に対応した強い把持力が必要とされ、把持力の増大に伴い、真空吸着面積を増加させる必要が生じている。また、大型ウェーハの支持位置によっては、ウェーハ自重による変形量が増加する問題が起きることが予想される。
大型ウェーハの高速搬送及び搬送中の緊急停止においても、ウェーハのずれが生じない把持力が必要である。把持力を増大させるには、真空吸着面積を広くする必要があるが、真空吸着面積を増加させると、吸着時のウェーハのひずみ変形が大きくなってしまう。変形が大きいと、吸着稜部の接触面とウェーハで微少な摩耗が発生してしまう。
大型ウェーハの搬送装置においては、これらの問題を解決し、高い把持力と低ひずみと高いクリーン性能とを持ったウェーハハンドが求められている。
特開平05−036815号公報 特開平07−037961号公報
本発明の目的は、大型のウェーハの裏面を真空吸着して保持する吸着ハンドにおいて、ウェーハの自重による変形および真空吸着力による局所的な変形を抑制することにある。
本発明の吸着ハンドは、ウェーハを吸着するための吸着部を有し、この吸着部と前記ウェーハの裏面との間に減圧部を生じさせることにより前記ウェーハを吸着して保持する吸着ハンドであって、前記吸着部を3か所以上設け、これらの吸着部の中心を頂点とする多角形の内側に前記ウェーハの中心が位置し、且つ前記吸着部が前記ウェーハの外周の内側に位置するように前記ウェーハを保持することを特徴とする。
本発明によれば、ウェーハの自重による変形および真空吸着力による局所的な変形を抑制することができる。
また、本発明によれば、ウェーハを搬送している途中で、緊急停止による急制動が行われた場合においても、ウェーハの落下による破損を防止することができる。
さらに、本発明によれば、ウェーハの微少なズレによる摩耗を低減することができる。
以下、本発明について実施例を用いて説明する。
ウェーハを半導体製造装置に供給・排出する搬送装置においては、主な搬送はFOUP(Front Open Unified Pod)からウェーハを取出し、半導体製造装置に供給し、半導体製造装置から排出されたウェーハを取出し、FOUPに収納する。このようなウェーハ搬送装置をミニエンバイロメント試料搬送システムと称す。
図1は、本発明による実施例を示すミニエンバイロメント試料搬送システムの上面図である。ここで、ミニエンバイロメント試料搬送システムは、ミニエン試料搬送システムとも呼ぶ。
ミニエン試料搬送システム(Equipment Front End Module:以下、EFEMと称する。)は、ミニエン筐体101、FFU部102(FFUは、Fan Filter Unitの略である。)、ロードポート部103、104、105、半導体製造装置106(または、半導体検査装置)、搬送ロボット部107および制御コントローラ108を有する。
ミニエン筐体101は、システム外部を固定板(外装カバー)で覆い、外部と隔離した空間を提供する。また、ミニエン筐体101は、ロードポート部103、104、105、半導体装置接続部等の接合部の機能も有する。
FFU部102は、送風ファンとフィルターとを含む(図示せず)。ミニエン筐体101の上部に設置され、クリーンエア(清浄空気)をダウンフローする(下向きに流す)ことでミニエン筐体101内にクリーン環境を実現する。
ロードポート部103、104、105は、密閉容器固定台と容器開閉部とを備えている。そして、ロードポート部103、104、105は、ミニエン筐体101内に複数箇所に設置され、半導体製造装置106及びミニエン筐体101の試料搬送口の機能を有する。
搬送ロボット部107は、ミニエン筐体101の内部に設置され、水平動作、上下動作及び旋回動作を行う機構部121と、ウェーハ111を乗せて搬送するための吸着ハンド109(ウェーハハンド)とを有する。この搬送ロボット部107により、ロードポート部103、104、105と半導体製造装置106との間でウェーハ111の搬送を行うようになっている。
制御コントローラ108は、半導体製造装置106との通信、並びにFFU部102、ロードポート部103、104、105及び搬送ロボット部107の制御を行い、EFEM全体のコントロールを行う。
以下、EFEMを用いたウェーハ搬送シーケンスの実施例の概略を説明する。
ウェーハ111は、ロードポート部103、104、105に設置されたFOUP110から搬送ロボット107を介して取出し、半導体製造装置106の接続部(図示せず)を通じて搬送する。また、ウェーハ110は、搬送ロボット部107により、半導体装置接続部の開口部を介して回収し、ロードポート部103、104、105に設置されたFOUP110に開口部を通じて搬送し、収納する。
ロードポート部103、104、105からのウェーハ110の搬送においては、ロードポート部103、104、105に供給されたFOUP110のロードポート部103、104、105側の蓋が、ロードポート部103、104、105の開閉機構により外され、ウェーハ111と搬送ロボット107とがアクセス可能となる。FOUP110内のウェーハ111は、搬送ロボット107により取出され、半導体製造装置106に供給されるようになっている。
図2Aは、本発明による実施例を示す吸着ハンドの斜視図である。また、図2Bは、図2Aの部分Pの拡大斜視図である。
図2Aにおいて、吸着ハンド201は、3か所に吸着部211を有し、大型のウェーハ202を吸着して固定することができるようになっている。本実施例においては、吸着部211を3か所としているが、これに限定されるものではなく、更に多くの吸着部211を設けてもよい。すなわち、吸着部211を3か所以上設け、これらの吸着部211の中心を頂点とする多角形の内側にウェーハ202の中心が位置し、且つ、吸着部211の全体がウェーハ202の外周の内側に位置するようにウェーハ202を保持する。
ウェーハ202の直径が450mmの場合、1つの吸着部211の寸法は、20〜30mm程度とすることが望ましい。
また、吸着部211の外部には、支持部204を設けてある。これは、吸着ハンド201によりウェーハ202を吸着した場合に、ウェーハ202の自重による変形を抑制するためのものである。支持部204の設置個数や設置位置は、本図で示すものに限定されるものではなく、必要な位置に適宜設置することが望ましい。
図2Bにおいて、吸着部211は、周囲に吸着稜部203を有し、その中央部に吸引口221、吸引口221の周囲に凸部214を有している。これは、吸着部211の真空吸着力によりウェーハ202が局所的に変形する場合に、吸着部211の内部においてウェーハ202を支持して変形を抑制するためのものである。
吸着ハンド201にウェーハ202を乗せたとき、ウェーハ202と吸着部211との間に密閉空間が形成され、この密閉空間の空気を吸引口221から排気することにより、真空領域(減圧部とも呼ぶ。)が形成される。吸着ハンド201の位置決めに際しては、吸着ハンド201のすべての吸着部211がウェーハ202で覆われるように、吸着ハンド201を移動する。
凸部214は、減圧部の内部でウェーハ202を支持するためのものである。凸部214の設置個数や設置位置は、本図で示すものに限定されるものではなく、必要な位置に適宜設置することが望ましい。
図3は、本発明による実施例の吸着ハンドの裏側を示す斜視図である。
吸着ハンド201の外部には、真空ポンプ205が設置してあり、電磁弁208を備えた配管222、接続部207および真空経路206により、表側の吸引口221からの吸引が可能となっている。
搬送ロボット部107により吸着ハンド201を移動し、吸着ハンド201の表側にウェーハ202を乗せたとき、電磁弁208を開として吸引口221からの吸引を開始する。
図4は、本発明による実施例を示す減圧部の凸部の拡大縦断面図である。
本図において、吸着部211の吸着稜部203の高さに比べて、吸着部211の内部にある凸部214の高さは若干低くしてある。すなわち、吸着ハンド201の平面部232を基準面として、吸着稜部203の高さより凸部214の高さを低くしてある。
これにより、吸着稜部203と凸部214との加工誤差等により、凸部214の高さが吸着稜部203の高さを上回ることを防止し、ウェーハ202の浮き上がりによるエア漏れを最小限に抑えて減圧部の真空度維持することができる。
なお、本図には示していないが、凸部214の高さと同様の理由から、吸着部211の外部に設けた支持部204の高さも、吸着ハンド201の平面部232を基準面として、吸着稜部203の高さより低くしてある。
また、ウェーハ202を吸着している時、ウェーハ202が変形してウェーハ202に微少なズレを生じてしまう。この微少なズレは、ウェーハ202と吸着稜部203、凸部214または支持部204との摩耗を引き起こし、ウェーハ202の裏面に異物(塵埃)が付着する要因となっていた。
上記の摩耗を抑制し、ウェーハ202の裏面に異物(塵埃)が付着することを防止するため、ウェーハ202との接触する部位である吸着稜部203に面取り部231を設けることが望ましい。ここで、面取り部231の断面形状は曲率を有する曲線状とすることが一層望ましい。また、ウェーハ202を支持する凸部214または支持部204の形状を弧形状とし、ウェーハ202との接触面積を小さくすることが望ましい。
本発明による実施例を示すミニエンバイロメント試料搬送システムの上面図である。 本発明による実施例を示す吸着ハンドの斜視図である。 図2Aの部分Pの拡大斜視図である。 本発明による実施例を示す吸着ハンドの裏側の斜視図である。 本発明による実施例を示す減圧部の凸部の拡大縦断面図である。
符号の説明
101:ミニエン筐体、102:FFU部、103、104、105:ロードポート部、106:半導体製造装置、107:搬送ロボット部、108:制御コントローラ、109:吸着ハンド、110:FOUP、111:ウェーハ、201:吸着ハンド、202:ウェーハ、203:吸着稜部、204:支持部、205:真空ポンプ、206:真空経路、207:接続部、208:電磁弁、211:吸着部、214:凸部、231:面取り部、232:平面部。

Claims (9)

  1. ウェーハを吸着するための吸着部を有し、この吸着部と前記ウェーハの裏面との間に減圧部を生じさせることにより前記ウェーハを吸着して保持する吸着ハンドであって、前記吸着部を3か所以上設け、これらの吸着部の中心を頂点とする多角形の内側に前記ウェーハの中心が位置し、且つ前記吸着部が前記ウェーハの外周の内側に位置するように前記ウェーハを保持することを特徴とする吸着ハンド。
  2. 前記吸着部が吸着稜部を有することを特徴とする請求項1記載の吸着ハンド。
  3. 前記吸着部の前記減圧部に凸部を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の吸着ハンド。
  4. 前記吸着部の外部に前記ウェーハの変形を抑制するための支持部を設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の吸着ハンド。
  5. 吸着ハンドの平面部を基準面として、前記吸着稜部の高さより前記凸部の高さを低くしたことを特徴とする請求項3又は4に記載の吸着ハンド。
  6. 吸着ハンドの平面部を基準面として、前記吸着稜部の高さより前記支持部の高さを低くしたことを特徴とする請求項4又は5に記載の吸着ハンド。
  7. 前記吸着稜部に面取り部を設けたことを特徴とする請求項2〜6のいずれか一項に記載の吸着ハンド。
  8. 前記凸部の先端の断面形状が弧形状であることを特徴とする請求項3〜7のいずれか一項に記載の吸着ハンド。
  9. 請求項1〜8のいずれか一項に記載の吸着ハンドを用いたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
JP2008332185A 2008-12-26 2008-12-26 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置 Pending JP2010150027A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008332185A JP2010150027A (ja) 2008-12-26 2008-12-26 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008332185A JP2010150027A (ja) 2008-12-26 2008-12-26 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010150027A true JP2010150027A (ja) 2010-07-08

Family

ID=42569556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008332185A Pending JP2010150027A (ja) 2008-12-26 2008-12-26 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010150027A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021038466A (ja) * 2020-11-20 2021-03-11 株式会社荏原製作所 基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021038466A (ja) * 2020-11-20 2021-03-11 株式会社荏原製作所 基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9111972B2 (en) Substrate processing apparatus and manufacturing method for a semiconductor device
JP2008147591A (ja) 半導体製造装置及び半導体製造方法
US8585112B2 (en) Sample conveying mechanism
CN102047407A (zh) 加工腔
JP5190279B2 (ja) 基板処理装置
US20170154799A1 (en) Substrate transfer chamber and container connecting mechanism
JP2007149960A (ja) プラズマ処理装置
KR102165706B1 (ko) 기판 반송 장치 및 기판 처리 시스템
WO2012026148A1 (en) Separation system, separation method, program and computer storage medium
WO2021245956A1 (ja) ウエハ搬送装置、およびウエハ搬送方法
JP7454959B2 (ja) 基板搬送システムおよび大気搬送モジュール
JP2010150027A (ja) 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置
US7070490B2 (en) Vacuum suction membrane for holding silicon wafer
JP7081119B2 (ja) ロードポート装置
US6860711B2 (en) Semiconductor-manufacturing device having buffer mechanism and method for buffering semiconductor wafers
JP2015109355A (ja) 局所クリーン化搬送装置
JP5465979B2 (ja) 半導体製造装置
JP2004281475A (ja) 枚葉搬送装置および枚葉搬送方法
JP4673308B2 (ja) 真空処理装置
JP2012169534A (ja) 基板処理装置及び半導体装置の製造方法
JP2010161157A (ja) 基板収納方法及び記憶媒体
JP2005347667A (ja) 半導体製造装置
JP2018060823A (ja) キャリア搬送装置及びキャリア搬送方法
WO2018029915A1 (ja) ロードポート及びウェーハ搬送方法
JP2006019566A (ja) 半導体基板吸着ハンド及びその操作方法