CN220839392U - 定位装置及包括该定位装置的倒角机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种定位装置及包括该定位装置的倒角机。本申请旨在解决现有倒角机的晶圆定位装置的适用范围小的问题。为此，本申请的定位装置包括固定构件、第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，第一夹紧组件和第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，驱动组件与第一夹紧组件和第二夹紧组件驱动连接且能够驱动第一夹紧组件和第二夹紧组件同步沿第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，驱动组件还能够驱动第一夹紧组件和第二夹紧组件同步沿第一水平方向反向移动。通过采用两组相对设置且能够同步移动的夹紧组件来对晶圆夹紧定位，能够适用多种不同尺寸的晶圆，极大地提升了定位装置的适用范围。

Description

定位装置及包括该定位装置的倒角机

技术领域

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种定位装置及包括该定位装置的倒角机。

背景技术

航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中，需要通过取料装置将料盒中的晶圆转移至检测装置上，通过检测装置来检测晶圆的中心点位置。为了保证对晶圆的加工质量，每隔一段时间需要对取料装置的料叉的伸出长度进行校准，以避免料叉的实际伸出长度与设定伸出长度具有较大误差，在进行校准时，需要将晶圆放置到晶圆定位装置上，通过晶圆定位装置对晶圆进行定位，然而，现有的晶圆定位装置仅能够对一种固定尺寸的晶圆进行定位，导致晶圆定位装置的适用范围较小，影响用户的使用体验。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有倒角机的晶圆定位装置的适用范围小的技术问题。

在第一方面，本申请提供了一种定位装置，所述定位装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，

所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件驱动连接且能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，

所述驱动机构与所述第一夹紧组件连接且能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述固定构件上且位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，

所述驱动气缸与所述推动构件连接且能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔且所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者

所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述固定构件包括水平设置的底板、水平设置的承载板以及竖直设置的支撑柱，

所述底板和所述承载板沿竖直方向间隔分布且所述底板位于所述承载板的下方，所述支撑柱的底端和顶端分别与所述底板和所述承载板固定连接或一体设置，所述承载板用于承载晶圆，所述第一定位槽和所述第二定位槽位于所述承载板的上方，所述驱动机构安装在所述底板上，所述第一齿条、所述第二齿条和所述齿轮位于所述底板与所述承载板之间。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧组件包括第一夹紧构件和第一连接构件，所述第一夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第一定位槽设于所述第一夹紧构件，所述第一连接构件用于将所述第一夹紧构件与所述第一齿条固定连接，所述驱动机构与所述第一连接构件连接；所述第二夹紧组件包括第二夹紧构件和第二连接构件，所述第二夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第二定位槽设于所述第二夹紧构件，所述第二连接构件用于将所述第二夹紧构件与所述第二齿条固定连接。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一连接构件包括水平设置的第一连接板和竖直设置的第一连接柱，所述第一连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第一齿条固定连接，所述承载板在与所述第一连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第一通孔，所述第一连接柱的底端与所述第一连接板固定连接或一体设置，所述第一连接柱的顶端穿过所述第一通孔与所述第一夹紧构件固定连接或一体设置，所述驱动机构与所述第一连接板连接；所述第二连接构件包括水平设置的第二连接板和竖直设置的第二连接柱，所述第二连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第二齿条固定连接，所述承载板在与所述第二连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第二通孔，所述第二连接柱的底端与所述第二连接板固定连接或一体设置，所述第二连接柱的顶端穿过所述第二通孔与所述第二夹紧构件固定连接或一体设置。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧构件上设有第一孔位，所述第一孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第一连接柱的顶端与所述第一孔位固定连接；所述第二夹紧构件上设有第二孔位，所述第二孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第二连接柱的顶端与所述第二孔位固定连接。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述定位装置还包括设于所述固定构件与所述第一夹紧组件之间的第一导向机构以及设于所述固定构件与所述第二夹紧组件之间的第二导向机构，所述第一导向机构和所述第二导向机构分别在所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件移动时对所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件进行导向。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一导向机构包括相配合第一导向构件和第二导向构件，所述第一导向构件与所述固定构件连接，所述第二导向构件与所述第一夹紧组件连接；所述第二导向机构包括相配合第三导向构件和第四导向构件，所述第三导向构件与所述固定构件连接，所述第四导向构件与所述第二夹紧组件连接。

在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一导向构件和所述第三导向构件均为沿所述第一水平方向延伸的导轨，所述第二导向构件和所述第四导向构件均为与所述导轨相适配的导向块。

在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的定位装置。

在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的定位装置通过采用两组相对设置且能够同步相向移动和同步反向移动的夹紧组件来对晶圆夹紧定位，能够适用多种不同尺寸的晶圆，极大地提升了定位装置的适用范围。

进一步地，本实用新型的定位装置通过在第一夹紧组件和第二夹紧组件上分别设置第一定位槽和第二定位槽对晶圆进行夹紧定位，能够提高定位的准确性。

又进一步地，本实用新型的定位装置通过采用弹性复位构件的弹性恢复力使第一夹紧组件和第二夹紧组件将晶圆夹紧，能够避免出现因为夹紧力过大而导致晶圆受损的情况出现。

又进一步地，本实用新型的定位装置通过将第一连接结构与第二连接结构沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，使得本实用新型的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。

又进一步地，本实用新型的定位装置通过设置沿竖直方向间隔分布的底板和承载板将竖向空间划分为三层安装空间，便于各结构的安装布置。

又进一步地，本实用新型的定位装置通过在第一夹紧构件和第二夹紧构件上分别设置至少两个间隔分布的第一孔位和第二孔位，使得本实用新型的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。

附图说明

下面参照附图来描述本申请的技术方案。附图中：

图1为本申请的倒角机的部分结构示意图；

图2为本申请的定位装置的结构示意图；

图3为本申请的定位装置的部分结构示意图；

图4为本申请的定位装置将晶圆定位夹紧的示意图。

附图标记列表

1、机座；11、底座；12、上料仓支座；10、料盒；

2、取料装置；

3、检测装置；

4、固定构件；41、底板；42、承载板；43、支撑柱；411、第一连接结构；421、第一通孔；422、第二通孔；

5、第一夹紧组件；51、第一夹紧构件；52、第一连接构件；511、第一定位槽；512、第一孔位；521、第一连接板；

6、第二夹紧组件；61、第二夹紧构件；62、第二连接构件；611、第二定位槽；612、第二孔位；621、第二连接板；

7、驱动组件；71、驱动机构；72、第一齿条；73、第二齿条；74、齿轮；711、驱动气缸；712、弹性复位构件；713、推动构件；714、第二连接结构；7131、竖直推杆；7132、水平推杆；7141、连接杆；7142、调节螺母；

81、第一导向构件；82、第三导向构件；

9、晶圆。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然下面描述的实施方式是结合倒角机进行介绍的，但是，本实用新型的技术方案同样适用于其它类型的加工设备，例如减薄机等，这种对应用对象的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和保护范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

具体地，本实用新型提供了一种倒角机，该倒角机能够对晶圆进行倒角磨削。

如图1所示，本实用新型的倒角机包括机座1以及安装在机座1上的料盒10、取料装置2和检测装置3，其中，料盒10用于存储晶圆，取料装置2用于将料盒10中晶圆取出并转移至检测装置3，检测装置3用于对晶圆的中心位置进行检测。

示例性地，如图1所示，倒角机的机座1包括底座11和上料仓支座12，料盒10固定安装在上料仓支座12的顶面。

取料装置2包括升降组件、安装在升降组件上的旋转组件以及安装在旋转组件上的伸缩取料组件，伸缩取料组件用于取放晶圆。当需要从料盒10上取晶圆时，旋转组件能够带着伸缩取料组件绕竖直轴线旋转，以使伸缩取料组件与料盒10对正，升降组件能够带着旋转组件和伸缩取料组件一同上下移动，以使伸缩取料组件与待提取的晶圆对正，从而使伸缩取料组件将该晶圆取下，然后再由旋转组件带着伸缩取料组件旋转至与检测装置3对正的位置，将晶圆放到检测装置3上进行检测。

伸缩取料组件主要包括料叉和伸缩驱动机构，伸缩驱动机构用于驱动料叉沿水平方向移动，每隔一段时间需要对料叉的伸出长度进行校准，以保证伸缩取料组件能够准确的取放晶圆。

现有技术中，在需要对料叉的伸出长度进行校准时，会将晶圆9放置在晶圆定位装置上进行定位，然后由取料装置2将晶圆定位装置上的晶圆9取下并转移至检测装置3上，通过检测装置3来检测晶圆9的中心点是否偏移，如果晶圆9的中心点发生偏移，则说明料叉伸出长度不准确，需要进行补偿校正。

由背景技术可知，现有的晶圆定位装置仅能够对一种固定尺寸的晶圆进行定位，适用范围有限。

本实用新型提供了一种定位装置，该定位装置可以用于本实用新型的倒角机上，通过该定位装置能够对多种不同尺寸的晶圆进行定位，极大提高了适用范围。其中，可以将定位装置安装在上料仓支座12上。

如图2至图4所示，本实用新型的定位装置包括固定构件4以及安装在固定构件4上的第一夹紧组件5、第二夹紧组件6和驱动组件7。

其中，第一夹紧组件5和第二夹紧组件6沿第一水平方向(如图2中所示的X方向)相对设置，驱动组件7与第一夹紧组件5和第二夹紧组件6驱动连接，并且，驱动组件7能够驱动第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步沿第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧定位，驱动组件7还能够驱动第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步沿第一水平方向反向移动。

在需要夹紧晶圆9时，将晶圆9放在第一夹紧组件5与第二夹紧组件6之间，然后由驱动组件7驱动第一夹紧组件5沿X方向向左移动，第二夹紧组件6同时沿X方向向右移动，即第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步相向移动，第一夹紧组件5和第二夹紧组件6分别与晶圆9的右边缘和左边缘抵靠时，将晶圆9夹紧，从而实现对晶圆9的定位，当需要取走晶圆9时，由驱动组件7驱动第一夹紧组件5沿X方向向右移动，第二夹紧组件6同时沿X方向向左移动，即第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步反向移动。

优选地，如图2和图4所示，第一夹紧组件5朝向第二夹紧组件6的一侧设有第一定位槽511，第二夹紧组件6朝向第一夹紧组件5的一侧设有第二定位槽611，第一定位槽511和第二定位槽611分别与晶圆9两侧的边缘抵接以将晶圆9夹紧。

其中，第一定位槽511朝向第二定位槽611的一侧呈开口设置，第二定位槽611朝向第一定位槽511的一侧也呈开口设置，通过第一定位槽511和第二定位槽611将晶圆9夹紧定位，能够提高定位的准确性。其中，第一定位槽511和第二定位槽611均优选设置为V型。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的驱动组件7包括驱动机构71、沿第一水平方向延伸的第一齿条72、沿第一水平方向延伸的第二齿条73和齿轮74。

其中，驱动机构71与第一夹紧组件5连接且能够驱动第一夹紧组件5沿第一水平方向移动，第一齿条72和第二齿条73分别与第一夹紧组件5和第二夹紧组件6连接，第一齿条72和第二齿条73沿第二水平方向(如图2中所示的Y方向)间隔分布，第二水平方向与第一水平方向垂直，齿轮74可转动的安装在固定构件4上且位于第一齿条72和第二齿条73之间且与第一齿条72和第二齿条73啮合。

示例性地，当驱动机构71驱动第一夹紧组件5沿X方向向左移动时，第一齿条72随着第一夹紧组件5沿X方向向左移动，第一齿条72带动齿轮74顺时针旋转，齿轮74带动第二齿条73沿X方向向右移动，第二齿条73带着第二夹紧组件6沿X方向向右移动，从而实现第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步沿X方向相向移动，反之，当驱动机构71驱动第一夹紧组件5沿X方向向右移动时，第一齿条72随着第一夹紧组件5沿X方向向右移动，第一齿条72带动齿轮74逆时针旋转，齿轮74带动第二齿条73沿X方向向左移动，第二齿条73带着第二夹紧组件6沿X方向向左移动，从而实现第一夹紧组件5和第二夹紧组件6同步沿X方向反向移动。

需要说明的是，在实际应用中，本领域技术人员可以将驱动机构71设置为电机驱动机构，或者设置为液压驱动机构，再或者设置气缸驱动机构等等，这种对驱动机构71的具体结构类型的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的驱动机构71包括驱动气缸711、沿第一水平方向延伸的弹性复位构件712以及与第一夹紧组件5连接的推动构件713。

其中，驱动气缸711与推动构件713连接且能够驱动推动构件713带着第一夹紧组件5沿第一水平方向远离第二夹紧组件6移动，弹性复位构件712的两端分别与固定构件4和推动构件713连接，弹性复位构件712在驱动气缸711解除驱动后能够使推动构件713带着第一夹紧组件5沿第一水平方向靠近第二夹紧组件6移动。

也就是说，当需要使第一夹紧组件5和第二夹紧组件6分开时，由驱动机构71驱动着推动构件713带着第一夹紧组件5和第二夹紧组件6沿X方向反向移动，然后将晶圆9放在第一夹紧组件5和第二夹紧组件6之间，在推动构件713移动的过程中，弹性复位构件712被拉伸，驱动气缸711解除驱动后，在弹性复位构件712的弹性力的作用下，推动构件713带着第一夹紧组件5和第二夹紧组件6沿X方向相向移动，从而将晶圆9夹紧，这样一来，能够避免因为夹紧力太大而造成晶圆9出现损伤。

需要说明的是，本实用新型不对弹性复位构件712的具体结构形式进行限定，例如，本领域技术人员可以将弹性复位构件712设置为弹簧或者弹性绳等等。

优选地，如图3所示，固定构件4上设有第一连接结构411，推动构件713上设有第二连接结构714，弹性复位构件712的两端分别与第一连接结构411和第二连接结构714连接，第一连接结构411与第二连接结构714沿第一水平方向之间的初始距离可调节。

通过将第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，便于适用不同尺寸的晶圆9，例如，如果晶圆9的尺寸较大，可以增大第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离，反之，如果晶圆9的尺寸较小，可以缩短第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离。

其中，第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离指的是第一夹紧组件5和第二夹紧组件6位于初始位置时第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的距离。

在第一种优选的情形中，如图3所示，第二连接结构714为沿第一水平方向设置的连接杆7141，推动构件713上设有安装孔(图中未示出)，安装孔沿第一水平方向贯穿推动构件713，连接杆7141的第一端(从图3上看为连接杆7141的左端)与弹性复位构件712连接，连接杆7141在靠近其第二端(从图3上看为连接杆7141的右端)的位置设有螺纹段(图中未示出)，螺纹段穿过推动构件713上的安装孔，且螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母7142，调节螺母7142靠近连接杆7141的第一端的一侧(从图3上看为调节螺母7142的左侧)抵靠于推动构件713。

示例性地，如图3所示，第一连接结构411为固定安装在固定构件4上的固定柱，弹性复位构件712的左端与固定柱固定连接，弹性复位构件712的右端与连接杆7141的左端固定连接，连接杆7141的在靠近其右端的位置具有螺纹段，螺纹段上安装有调节螺母7142，通过调节螺母7142能够调节连接杆7141的左端与固定柱之间的初始距离，例如，如果晶圆9的尺寸偏小，可以通过逆时针旋转调节螺母7142，使连接杆7141更靠近固定柱，缩短连接杆7141的左端与固定柱之间的初始距离，反之，如果晶圆9的尺寸偏大，可以通过顺时针旋转调节螺母7142，使连接杆7141远离固定柱，增大连接杆7141的左端与固定柱之间的初始距离。

在第二种优选的情形中，可以将上述的第一种优选情形做一些调整，具体而言，第二连接结构714还是设置为沿第一水平方向设置的连接杆7141，连接杆7141的第一端与弹性复位构件712连接，连接杆7141在靠近其第二端的位置设有螺纹段，推动构件713上还是设有安装孔，不同的是，安装孔的内壁上设有与螺纹段相适配的螺纹，螺纹段通过螺纹与安装孔螺接固定，这样一来，可以取消设置调节螺母7142，直接通过转动连接杆7141来调整连接杆7141的左端与固定柱之间的初始距离，安装孔可以贯穿推动构件713，也可以不贯穿推动构件713，本领域技术人员可以根据具体情况进行灵活地设定。

在上述的两种优选情形中，均是通过改变第二连接结构714的位置来调节第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离，在实际应用中，也可以将第二连接结构714设置为固定的，而将第一连接结构411设置为位置可改变的，通过改变第一连接结构411的位置来调节第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离，例如，还是以将第一连接结构411设置为固定柱为例，可以在固定构件4上设置多个固定孔，多个固定孔沿X方向间隔分布，固定柱的底端插入固定孔中，这样一来就可以通过改变固定柱的安装位置来调节第一连接结构411与第二连接结构714沿X方向之间的初始距离，或者，还可以将第一连接结构411和第二连接结构714均设置为位置可改变的，这种灵活地调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本实用新型的第一连接结构411并不限于上述介绍的固定柱，例如，还可以将第一连接结构411设置为固定块或固定板等等。

优选地，如图2至图4所示，本实用新型的固定构件4包括水平设置的底板41、水平设置的承载板42以及竖直设置的支撑柱43。

其中，底板41和承载板42沿竖直方向间隔分布，并且底板41位于承载板42的下方，支撑柱43的底端和顶端分别与底板41和承载板42固定连接或一体设置，承载板42用于承载晶圆9，第一定位槽511和第二定位槽611位于承载板42的上方，驱动机构71安装在底板41上，第一齿条72、第二齿条73和齿轮74均位于底板41与承载板42之间。

示例性地，如图2和图3所示，承载板42由两个沿X方向间隔分布的板体组成，支撑柱43的数量为四个，四个支撑柱43围成一个矩形结构，承载板42的两个板体分别通过两个支撑柱43与底板41固定连接，驱动气缸711固定安装在底板41的底面，推动构件713包括竖直推杆7131和水平推杆7132，竖直推杆7131的底端与驱动气缸711的活塞杆固定连接，竖直推杆7131的顶端与水平推杆7132的一端固定连接或一体设置，水平推杆7132位于底板41与承载板42之间，水平推杆7132与第一夹紧组件5固定连接，第一连接结构411设置在底板41的顶面，第二连接结构714设置在水平推杆7132上，第一齿条72、第二齿条73和齿轮74位于底板41与承载板42之间，齿轮74可转动地安装在底板41上，第一夹紧组件5的一部分位于承载板42的上面，第一夹紧组件5的另一部分位于底板41与承载板42之间。

通过沿竖直方向间隔分布的底板41和承载板42划分为三层安装空间，便于各结构的安装布置。

需要说明的是，本实用新型的承载板42并不限于由两个沿X方向间隔分布的板体组成，例如，可以将承载板42设置为一个整体的板体结构，此外，支撑柱43的数量也并不限于上述的四个，例如，还可以将支撑柱43的数量设置为三个或者六个等等，这种对支撑柱43的具体数量的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的第一夹紧组件5包括第一夹紧构件51和第一连接构件52，第一夹紧构件51位于承载板42的上方，第一定位槽511设于第一夹紧构件51，第一连接构件52用于将第一夹紧构件51与第一齿条72固定连接，驱动机构71与第一连接构件52连接；第二夹紧组件6包括第二夹紧构件61和第二连接构件62，第二夹紧构件61位于承载板42的上方，第二定位槽611设于第二夹紧构件61，第二连接构件62用于将第二夹紧构件61与第二齿条73固定连接。

示例性地，第一夹紧构件51为第一夹紧板，第一夹紧板的左侧设有第一定位槽511，第二夹紧构件61为第二夹紧板，第二夹紧板的右侧设有第二定位槽611，第一夹紧板通过第一连接构件52与第一齿条72固定连接，第一连接构件52还与驱动机构71的推动构件713固定连接，第二夹紧板通过第二连接构件62与第二齿条73固定连接。

需要说明的是，本实用新型的第一夹紧构件51和/或第二夹紧构件61并不限于上述介绍的夹紧板，例如，还可以将第一夹紧构件51和/或第二夹紧构件61均设置为夹紧块等等，这种对第一夹紧构件51和第二夹紧构件61的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一连接构件52和/或第二连接构件62设置为连接板或者连接杆等等，这种对第一连接构件52和第二连接构件62的具体结构形式的调整和改变也并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2至图4所示，本实用新型的第一连接构件52包括水平设置的第一连接板521和竖直设置的第一连接柱(图中未示出)，第一连接板521位于底板41与承载板42之间且与第一齿条72固定连接，承载板42在与第一连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第一通孔421，第一连接柱的底端与第一连接板521固定连接或一体设置，第一连接柱的顶端穿过第一通孔421与第一夹紧构件51固定连接或一体设置，驱动机构71与第一连接板521连接；第二连接构件62包括水平设置的第二连接板621和竖直设置的第二连接柱(图中未示出)，第二连接板621位于底板41与承载板42之间且与第二齿条73固定连接，承载板42在与第二连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第二通孔422，第二连接柱的底端与第二连接板621固定连接或一体设置，第二连接柱的顶端穿过第二通孔422与第二夹紧构件61固定连接或一体设置。

示例性地，第一连接板521为L型结构，第一连接板521沿X向设置的部分与第一齿条72固定连接，第一连接板521沿Y向设置的部分通过第一连接柱与第一夹紧构件51固定连接，第一连接板521沿Y向设置的部分还与驱动机构71的推动构件713固定连接，第一连接柱能够在第一通孔421内沿X方向自由移动，第二连接板621也为L型结构，第二连接板621沿X向设置的部分与第二齿条73固定连接，第二连接板621沿Y向设置的部分通过第二连接柱与第二夹紧构件61固定连接，第二连接柱能够在第二通孔422内沿X方向自由移动。

需要说明的是，本实用新型不对第一连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第一连接柱，或者，也可以设置多个第一连接柱，多个第一连接柱沿Y方向间隔分布，类似地，本实用新型不对第二连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第二连接柱，或者，也可以设置多个第二连接柱，多个第二连接柱沿Y方向间隔分布。

优选地，如图4所示，第一夹紧构件51上设有第一孔位512，第一孔位512的数量至少为两个且沿第一水平方向间隔分布，第一连接柱的顶端与第一孔位512固定连接；第二夹紧构件61上设有第二孔位612，第二孔位612的数量至少为两个且沿第一水平方向间隔分布，第二连接柱的顶端与第二孔位612固定连接。

示例性地，如图4所示，第一夹紧构件51沿X方向设有两个第一孔位512，第二夹紧构件61沿X方向也设有两个第二孔位612，当晶圆9的尺寸偏小时，可以将第一连接柱和第二连接柱分别与外侧的第一孔位512和第二孔位612固定连接，当晶圆9的尺寸较大时，可以将第一连接柱和第二连接柱分别与中间的第一孔位512和第二孔位612固定连接，使得本实用新型的定位装置能够适应更多尺寸的晶圆9。

需要说明的是，为了提高第一夹紧构件51与第一连接板521之间的连接稳固性，第一连接柱的数量优选设置为两个，两个第一连接柱沿Y方向间隔分布，相应地，第一夹紧构件51上沿Y方向也设置有两个第一孔位512，也就是说，第一夹紧构件51上共设置有四个第一孔位512，两个一组，同样地，为了提高第二夹紧构件61与第二连接板621之间的连接稳固性，第二连接柱的数量也优选设置为两个，两个第二连接柱沿Y方向间隔分布，相应地，第二夹紧构件61上沿Y方向也设置有两个第二孔位612，也就是说，第二夹紧构件61上共设置有四个第二孔位612，两个一组。

此外，还需要说明的是，沿X方向设置的第一孔位512和第二孔位612的数量并不限于上述的两个，例如，还可以设置为三个或者四个等等，这种灵活地调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的定位装置还包括设于固定构件4与第一夹紧组件5之间的第一导向机构以及设于固定构件4与第二夹紧组件6之间的第二导向机构，第一导向机构和第二导向机构分别在第一夹紧组件5和第二夹紧组件6移动时对第一夹紧组件5和第二夹紧组件6进行导向。

优选地，如图2和图3所示，第一导向机构包括相配合第一导向构件81和第二导向构件(图中未示出)，第一导向构件81与固定构件4连接，第二导向构件与第一夹紧组件5连接；第二导向机构包括相配合第三导向构件82和第四导向构件(图中未示出)，第三导向构件82与固定构件4连接，第四导向构件与第二夹紧组件6连接。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一导向构件81和第二导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第一导向构件81和第二导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第一导向构件81和第二导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第一导向构件81和第二导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第三导向构件82和第四导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第三导向构件82和第四导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第三导向构件82和第四导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第三导向构件82和第四导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，第一导向构件81和第三导向构件82均为沿第一水平方向延伸的导轨，第二导向构件和第四导向构件均为与导轨相适配的导向块。

示例性地，两个导轨均固定安装在底板41的顶面，且沿Y方向间隔分布，两个导向块分别固定安装在第一连接板521和第二连接板621的底面。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种定位装置，其特征在于，所述定位装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，

所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。

3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，

所述驱动机构能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述固定构件上，所述齿轮位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。

4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，

所述驱动气缸能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后，能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。

5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。

6.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔，所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者

所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。

7.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述固定构件包括水平设置的底板、水平设置的承载板以及竖直设置的支撑柱，

所述底板和所述承载板沿竖直方向间隔分布，所述底板位于所述承载板的下方，所述支撑柱的底端和顶端分别与所述底板和所述承载板固定连接或一体设置，所述承载板用于承载晶圆，所述第一定位槽和所述第二定位槽位于所述承载板的上方，所述驱动机构安装在所述底板上，所述第一齿条、所述第二齿条和所述齿轮位于所述底板与所述承载板之间。

8.根据权利要求7所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧组件包括第一夹紧构件和第一连接构件，所述第一夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第一定位槽设于所述第一夹紧构件，所述第一连接构件用于将所述第一夹紧构件与所述第一齿条固定连接，所述驱动机构与所述第一连接构件连接；

所述第二夹紧组件包括第二夹紧构件和第二连接构件，所述第二夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第二定位槽设于所述第二夹紧构件，所述第二连接构件用于将所述第二夹紧构件与所述第二齿条固定连接。

9.根据权利要求8所述的定位装置，其特征在于，所述第一连接构件包括水平设置的第一连接板和竖直设置的第一连接柱，所述第一连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第一齿条固定连接，所述承载板在与所述第一连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第一通孔，所述第一连接柱的底端与所述第一连接板固定连接或一体设置，所述第一连接柱的顶端穿过所述第一通孔与所述第一夹紧构件固定连接或一体设置，所述驱动机构与所述第一连接板连接；

所述第二连接构件包括水平设置的第二连接板和竖直设置的第二连接柱，所述第二连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第二齿条固定连接，所述承载板在与所述第二连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第二通孔，所述第二连接柱的底端与所述第二连接板固定连接或一体设置，所述第二连接柱的顶端穿过所述第二通孔与所述第二夹紧构件固定连接或一体设置。

10.根据权利要求9所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧构件上设有第一孔位，所述第一孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第一连接柱的顶端与所述第一孔位固定连接；

所述第二夹紧构件上设有第二孔位，所述第二孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第二连接柱的顶端与所述第二孔位固定连接。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括设于所述固定构件与所述第一夹紧组件之间的第一导向机构以及设于所述固定构件与所述第二夹紧组件之间的第二导向机构，所述第一导向机构和所述第二导向机构分别用于对所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件进行导向。

12.根据权利要求11所述的定位装置，其特征在于，所述第一导向机构包括相配合第一导向构件和第二导向构件，所述第一导向构件与所述固定构件连接，所述第二导向构件与所述第一夹紧组件连接；

所述第二导向机构包括相配合第三导向构件和第四导向构件，所述第三导向构件与所述固定构件连接，所述第四导向构件与所述第二夹紧组件连接。

13.根据权利要求12所述的定位装置，其特征在于，所述第一导向构件和所述第三导向构件均为沿所述第一水平方向延伸的导轨，所述第二导向构件和所述第四导向构件均为与所述导轨相适配的导向块。

14.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至13中任一项所述的定位装置。