CN117373979A - 加工设备的补偿校准方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。本发明旨在解决现有倒角机的取料装置转移的晶圆可能会出现较大偏差的问题。为此，本发明的加工设备包括取料装置、检测装置和定位装置，补偿校准方法包括：将晶圆放到定位装置上进行定位；使取料装置将晶圆转移至检测装置；使检测装置检测晶圆的中心点的坐标值；根据晶圆的中心点的坐标值对取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准。通过增设定位装置对晶圆进行定位，并且可以通过补偿校准方法定期对取料装置的伸出长度和旋转角度进行补偿校准，从而能够使取料装置准确地将晶圆转移至检测装置上，以保证对晶圆的加工质量。

Description

加工设备的补偿校准方法
技术领域
本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。
背景技术
航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。
半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机对晶圆进行倒角磨削之前，需要先通过取料装置将料盒中的晶圆转移至检测装置上进行检测。然而，当倒角机使用一段时候时间后会发现，由取料装置转移至检测装置上的晶圆的位置会出现较大偏差，从而影响对晶圆的加工质量。
相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
发明内容
为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有倒角机的取料装置转移的晶圆可能会出现较大偏差的技术问题。
在第一方面，本申请提供了一种加工设备的补偿校准方法，所述加工设备包括机座以及安装在所述机座上的取料装置、检测装置和定位装置，所述补偿校准方法包括：
将晶圆放到所述定位装置上进行定位；
使所述取料装置将所述晶圆转移至所述检测装置；
使所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)；
根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述取料装置包括旋转组件以及安装在所述旋转组件上的伸缩取料组件，所述旋转组件用于带着所述伸缩取料组件绕竖直轴线旋转，
“使所述取料装置将所述晶圆转移至所述检测装置”的步骤具体包括：
使所述旋转组件带着所述伸缩取料组件从零点位置旋转第一设定角度；
使所述伸缩取料组件从初始位置伸出第一设定长度；
使所述伸缩取料组件将所述晶圆取下；
使所述伸缩取料组件缩回到所述初始位置；
使所述旋转组件带着所述伸缩取料组件转回至所述零点位置后继续旋转第二设定角度；
使所述伸缩取料组件从所述初始位置伸出第二设定长度；
使所述伸缩取料组件将所述晶圆放到所述检测装置上；
“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定角度或第二设定角度进行补偿校准；和/或
根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定长度或第二设定长度进行补偿校准。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第一设定角度的补偿角度，记为第一补偿角度△θ1，
其中，△θ1＝-(△Xd×180°)/(L1×π)，其中，L1为所述定位装置上的所述晶圆的中心点与所述旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将第一设定角度的当前角度与所述第一补偿角度△θ1相加。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第一设定长度的补偿值，记为第一补偿值△d1，其中，△d1＝△Yd；
将第一设定长度的当前值与所述第一补偿值△d1相加。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第二设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第二设定角度的补偿角度，记为第二补偿角度△θ2，
其中，△θ2＝(△Xd×180°)/(L2×π)，其中，L2为所述检测装置的定位中心与所述旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将第二设定角度的当前角度与所述第二补偿角度△θ2相加。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第二设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第二设定长度的补偿值，记为第二补偿值△d2，其中，△d2＝-△Yd；
将第二设定长度的当前值与所述第二补偿值△d2相加。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述取料装置位于所述检测装置与所述定位装置之间，所述取料装置的旋转中心、所述检测装置的定位中心以及所述定位装置定位的所述晶圆的中心点位于同一竖直面上。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述定位装置包括定位固定构件以及安装在所述定位固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件驱动连接且能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，所述驱动机构与所述第一夹紧组件连接且能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述定位固定构件上，所述齿轮位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，所述驱动气缸与所述推动构件连接且能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述定位固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述定位固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔且所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者
所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述检测装置包括检测固定构件以及安装在所述检测固定构件上的承载组件、平移组件以及安装在所述平移组件上的寻边检测构件，所述承载组件用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，所述平移组件能够相对于所述检测固定构件沿水平方向移动。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述伸缩取料组件包括伸缩固定构件以及安装在所述伸缩固定构件上的伸缩驱动机构、移动构件、传动齿条、第一转轴、第二转轴、第一传动机构、第二传动机构以及取料构件，所述伸缩驱动机构能够驱动所述移动构件相对于所述伸缩固定构件水平移动，所述传动齿条水平设置且与所述移动构件的移动方向平行，所述第一转轴和所述第二转轴均可转动地安装在所述移动构件上，所述第一转轴的第一端设置有与所述传动齿条啮合的传动齿轮，所述第一转轴的第二端通过所述第一传动机构与所述第二转轴的第一端连接，所述第二转轴的第二端通过所述第二传动机构与所述取料构件连接，所述取料构件安装在所述移动构件上且能够在所述第二传动机构的带动下相对于所述移动构件水平移动，所述取料构件的移动方向与所述移动构件的移动方向一致。
在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述加工设备为倒角机。
在采用上述技术方案的情况下，本发明通过增设定位装置对晶圆进行定位，并结合检测装置对晶圆的中心点位置进行检测，可以通过补偿校准方法定期对取料装置的伸出长度和旋转角度进行补偿校准，从而能够使取料装置准确地将晶圆转移至检测装置上，以保证对晶圆的加工质量。
进一步地，本发明的定位装置通过采用两组相对设置且能够同步相向移动和同步反向移动的夹紧组件来对晶圆夹紧定位，能够适用多种不同尺寸的晶圆，极大地提升了定位装置的适用范围，且可以采用不同尺寸的晶圆对取料装置进行补偿校准，有利于提高补偿校准的准确性。
又进一步地，本发明的定位装置通过在第一夹紧组件和第二夹紧组件上分别设置第一定位槽和第二定位槽对晶圆进行夹紧定位，能够提高定位的准确性，进而提高对取料装置补偿校准的准确性。
又进一步地，本发明的定位装置通过采用弹性复位构件的弹性恢复力使第一夹紧组件和第二夹紧组件将晶圆夹紧，能够避免出现因为夹紧力过大而导致晶圆受损的情况出现。
又进一步地，本发明的定位装置通过将第一连接结构与第二连接结构沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，使得本发明的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。
附图说明
下面参照附图来描述本申请的技术方案。附图中：
图1为本申请的倒角机的部分结构示意图；
图2为本申请的取料装置的结构示意图；
图3为本申请的取料装置的旋转组件的结构示意图；
图4为本申请的取料装置的伸缩取料组件的结构示意图一；
图5为本申请的取料装置的伸缩取料组件的结构示意图二；
图6为本申请的取料装置的伸缩取料组件的结构示意图三；
图7为本申请的检测装置的结构示意图；
图8为本申请的定位装置的结构示意图；
图9为本申请的定位装置的部分结构示意图；
图10为本申请的倒角机的补偿校准方法的流程图。
附图标记列表
1、机座；11、底座；12、上料仓支座；
2、取料装置；
21、升降组件；211、固定座；212、连接板；213、升降电机；214、同步带组件；215、丝杠；216、升降滑块；
22、旋转组件；221、固定架；222、第一旋转轴；223、旋转构件；224、第一旋转电机；225、第一减速机；226、第一联轴器；
23、伸缩取料组件；231、伸缩固定构件；232、伸缩驱动机构；233、移动构件；234、传动齿条；235、第一转轴；236、第二转轴；237、第一传动机构；238、第二传动机构；239、水平导向机构；230、取料构件；2321、伸缩电机；2322、第三主动带轮；2323、第三从动带轮；2324、第三传动带；2325、平移滑块；2331、移动块；2332、移动架；2351、传动齿轮；2371、第一主动带轮；2372、第一从动带轮；2373、第一传动带；2381、第二主动带轮；2382、第二从动带轮；2383、第二传动带；2391、水平导轨；2392、导向块；2301、本体；2302、连接块；23011、吸气孔。
3、检测装置；
31、检测固定构件；32、承载组件；321、第二旋转驱动机构；322、第二旋转轴；3211、连接法兰；3212、第二旋转电机；3213、第二减速机；3214、第二联轴器；33、平移组件；331、平移座；332、安装板；34、寻边检测构件；341、信号发射器；342、信号接收器；
4、料盒；
5、定位装置；
54、定位固定构件；541、底板；542、承载板；543、支撑柱；5411、第一连接结构；5421、第一通孔；5422、第二通孔；55、第一夹紧组件；551、第一夹紧构件；552、第一连接构件；5511、第一定位槽；5521、第一连接板；56、第二夹紧组件；561、第二夹紧构件；562、第二连接构件；5611、第二定位槽；5621、第二连接板；57、驱动组件；571、驱动机构；572、第一齿条；573、第二齿条；574、齿轮；5711、驱动气缸；5712、弹性复位构件；5713、推动构件；5714、第二连接结构；57131、竖直推杆；57132、水平推杆；57141、连接杆；57142、调节螺母；581、第一导向构件；582、第三导向构件；
6、晶圆。
具体实施方式
下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然下面描述的实施方式是结合倒角机进行介绍的，但是，本发明的技术方案同样适用于其它类型的加工设备，例如减薄机等，这种对应用对象的调整和改变并不偏离本发明的原理和保护范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
具体地，本发明提供了一种倒角机，该倒角机能够对晶圆进行倒角磨削。
如图1所示，本发明的倒角机包括机座1以及安装在机座1上的取料装置2、检测装置3和料盒4，其中，料盒4用于存储晶圆6，取料装置2用于将料盒4中晶圆取出并转移至检测装置3，检测装置3用于对晶圆6的中心点的位置进行检测。
示例性地，如图1所示，本发明的倒角机的机座1包括底座11和上料仓支座12，取料装置2和检测装置3与底座11固定连接，料盒4固定安装在上料仓支座12的顶面。
优选地，如图1和图2所示，本发明的取料装置2包括升降组件21、安装在升降组件21上的旋转组件22以及安装在旋转组件22上的伸缩取料组件23，升降组件21用于带着旋转组件22和伸缩取料组件23沿竖直方向上下移动，旋转组件22用于带着伸缩取料组件23绕竖直轴线旋转，伸缩取料组件23用于取放晶圆。
当需要从料盒4上取晶圆时，旋转组件22能够带着伸缩取料组件23旋转，以使伸缩取料组件23与料盒4对正，升降组件21能够带着旋转组件22和伸缩取料组件23一同上下移动，以使伸缩取料组件23与待提取的晶圆对正，从而使伸缩取料组件23将该晶圆取下，然后再由旋转组件22带着伸缩取料组件23旋转至与检测装置3对正的位置，将晶圆放到检测装置3上进行检测。
优选地，如图2所示，本发明的升降组件21包括固定座211以及安装在固定座211上的升降驱动机构和连接板212，连接板212与旋转组件22固定连接，升降驱动机构与连接板212连接，且能够驱动连接板212沿竖直方向上下移动。
示例性地，如图2所示，固定座211沿竖直方向设置，升降驱动机构包括升降电机213、同步带组件214、丝杠215和升降滑块216，连接板212与升降滑块216固定连接或一体设置，丝杠215沿竖直方向设置，升降电机213的驱动轴通过同步带组件214与丝杠215的底端连接，以驱动丝杠215转动，丝杠215可转动地安装在固定座211上，升降滑块216安装在丝杠215上，且能够随着丝杠215的转动沿着丝杠215上下移动，以通过连接板212带动旋转组件22和伸缩取料组件23上下移动。
需要说明的是，本发明不对升降驱动机构的具体结构形式进行限定，例如，可以将同步带组件214替换成齿轮传动组件，或者直接使升降电机213通过减速机与丝杠215的底端固定连接，此外，可以将丝杠215和升降滑块216替换成齿轮齿条传动机构，等等，这种对升降驱动机构的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图2和图3所示，本发明的旋转组件22包括与升降组件21固定连接的旋转固定构件、固定安装在旋转固定构件上的第一旋转驱动机构、可转动地安装在旋转固定构件上的第一旋转轴222以及旋转构件223，伸缩取料组件23固定安装在旋转构件223上，第一旋转轴222竖直设置，且第一旋转轴222的底端和顶端分别与第一旋转驱动机构和旋转构件223固定连接，第一旋转驱动机构用于驱动第一旋转轴222旋转，从而带动旋转构件223和伸缩取料组件23旋转。
其中，旋转固定构件与升降组件21的连接板212固定连接，第一旋转驱动机构通过驱动第一旋转轴222带动旋转构件223以及安装在旋转构件223上的伸缩取料组件23旋转。
需要说明的是，本发明不对旋转构件223的旋转范围进行限制，本领域技术人员在实际应用中可以根据倒角机各装置的位置进行合理限定，例如，可以将旋转构件223的旋转范围限制为不超过90度，或者，也可以将旋转构件223的旋转范围限制为不超过180度，再或者，还可以使旋转构件223能够360度旋转，等等，这种灵活地调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
此外，还需要说明的是，本发明不对第一旋转驱动机构的具体结构形式进行限定，例如，可以将第一旋转驱动机构设置为电机和减速机的结构形式，或者设置为电机和同步带组件的结构形式，再或者设置为电机和齿轮组件的结构形式，等等，只要通过第一旋转驱动机构能够驱动第一旋转轴222进行旋转即可。
优选地，如图3所示，本发明的第一旋转驱动机构包括依次连接的第一旋转电机224、第一减速机225和第一联轴器226，第一联轴器226与第一旋转轴222的底端固定连接。
示例性地，如图3所示，第一减速机225与旋转固定构件固定连接，第一旋转电机224安装在第一减速机225的下方，第一联轴器226安装在第一减速机225的上方，第一旋转轴222的底端通过第一联轴器226与第一减速机225的输出轴固定连接。
优选地，如图3所示，本发明的旋转固定构件包括与升降组件21固定连接的固定架221以及位于固定架221顶端的固定筒(图中未示出)，第一旋转轴222的一部分位于固定筒内且与固定筒转动连接，第一旋转驱动机构与固定架221固定连接。
示例性地，如图2和图3所示，旋转固定构件的固定架221的侧部与升降组件21的连接板212固定连接，固定架221的底部设有固定孔，第一减速机225安装在该固定孔内，且第一减速机225的顶端穿过固定孔伸入到固定架221内，第一旋转轴222的顶端从固定筒的顶部伸出，并与旋转构件223固定连接，第一旋转轴222的底端从固定筒的底部伸出，并穿过固定架221的顶部与固定架221内的第一联轴器226固定连接，固定筒内安装有轴承，第一旋转轴222通过该轴承与固定筒转动连接。
优选地，如图2至图6所示，本发明的伸缩取料组件23包括与旋转组件22固定连接的伸缩固定构件231以及安装在伸缩固定构件231上的伸缩驱动机构232、移动构件233、传动齿条234、第一转轴235、第二转轴236、第一传动机构237、第二传动机构238、水平导向机构239以及取料构件230。
其中，伸缩驱动机构232与移动构件233驱动连接，且能够驱动移动构件233相对于伸缩固定构件231水平移动，传动齿条234水平设置且与移动构件233的移动方向平行，第一转轴235和第二转轴236均可转动地安装在移动构件233上，第一转轴235和第二转轴236均水平设置且均与传动齿条234垂直，第一转轴235的第一端设置有与传动齿条234啮合的传动齿轮2351，第一转轴235的第二端通过第一传动机构237与第二转轴236的第一端连接，第二转轴236的第二端通过第二传动机构238与取料构件230连接，取料构件230安装在移动构件233上，且能够在第二传动机构238的带动下相对于移动构件233水平移动，取料构件230的移动方向与移动构件233的移动方向一致，水平导向机构239安装在移动构件233与取料构件230之间，水平导向机构239用于在取料构件230相对于移动构件233移动时对取料构件230进行导向。
在需要取放晶圆时，伸缩驱动机构232驱动移动构件233水平移动，移动构件233带动第一转轴235上的传动齿轮2351沿着传动齿条234转动，传动齿轮2351带着第一转轴235转动，第一转轴235通过第一传动机构237带着第二转轴236转动，第二转轴236通过第二传动机构238带着取料构件230水平移动，通过两级传动，使得取料构件230具有双倍行程的伸缩量。
优选地，如图5和图6所示，第一传动机构237包括第一主动带轮2371、第一从动带轮2372以及将第一主动带轮2371和第一从动带轮2372连接的第一传动带2373，第一主动带轮2371固定在第一转轴235的第二端，第一从动带轮2372固定在第二转轴236的第一端。
在伸缩驱动机构232驱动移动构件233移动的过程中，第一主动带轮2371随着第一转轴235转动，并通过第一传动带2373带着第一从动带轮2372和第二转轴236转动。
需要说明的是，第一传动机构237并不限于上述的带轮传动组，例如，还可以将第一传动机构237设置为齿轮传动组或者链轮传动组等，这种对第一传动机构237的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
当然，本申请优选将第一传动机构237设置为上述介绍的带轮传动组，既便于布置，又能够降低成本。
优选地，如图4至图6所示，第二传动机构238包括第二主动带轮2381、第二从动带轮2382以及将第二主动带轮2381和第二从动带轮2382连接的第二传动带2383，第二主动带轮2381固定在第二转轴236的第二端，第二从动带轮2382可转动地安装在移动构件233上，第二从动带轮2382与第二主动带轮2381沿与传动齿条234平行的水平方向间隔分布，第二传动带2383与取料构件230固定连接。
在伸缩驱动机构232驱动移动构件233移动的过程中，第二主动带轮2381随着第二转轴236转动，并通过第二传动带2383带着取料构件230水平移动。
需要说明的是，第二传动机构238并不限于上述的带轮传动组，例如，还可以将第二传动机构238设置为链轮传动组等，这种对第二传动机构238的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
当然，本申请优选将第二传动机构238设置为上述介绍的带轮传动组，既能够降低伸缩取料组件23的重量，又能够降低噪声。
优选地，如图4至图6所示，移动构件233包括移动块2331和移动架2332，移动块2331的底部与伸缩驱动机构232固定连接，第一转轴235和第二转轴236均安装在移动块2331上，移动架2332的一端与移动块2331固定连接或一体设置，且沿取料构件230的移动方向水平延伸，第二从动带轮2382可转动地安装在移动架2332的另一端。
示例性地，如图4至图6所示，移动架2332沿其移动方向水平设置，移动架2332的后端与移动块2331固定连接，移动架2332的前端延伸至取料构件230的前端，第二转轴236位于第一转轴235的斜上方，第二从动带轮2382可转动地安装在移动架2332的前端。
优选地，如图4至图6所示，水平导向机构239包括与传动齿条234平行设置的水平导轨2391以及与水平导轨2391滑动配合的导向块2392，水平导轨2391与移动构件233固定连接，导向块2392与取料构件230固定连接。
示例性地，如图4至图6所示，水平导轨2391固定在移动架2332的顶面，导向块2392固定在取料构件230的后端，导向块2392扣合在水平导轨2391上，当第二传动带2383带着取料构件230水平移动时，导向块2392沿着水平导轨2391滑动，以保证取料构件230能够沿直线移动。
需要说明的是，在实际应用中，也可以调换水平导轨2391和导向块2392的安装位置，例如，将水平导轨2391与取料构件230固定连接，将导向块2392与移动构件233固定连接。
此外，还需要说明的是，水平导向机构239并不限于上述介绍的水平导轨2391和导向块2392的结构形式，例如，还可以将水平导向机构239设置为滑块与滑槽的结构形式等等，这种对水平导向机构239的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图4至图6所示，取料构件230包括本体2301和连接块2302，本体2301为板状结构，本体2301的前端设置有吸气孔23011，本体2301的内部设有与吸气孔23011连通的通气槽(图中未示出)，通气槽与倒角机的真空发生器连通，连接块2302将本体2301的后端与第二传动机构238固定连接。
示例性地，本体2301沿其移动方向水平设置，本体2301的前端设有多个吸气孔23011，本体2301的后端与连接块2302固定连接，连接块2302与第二传动机构238的第二传动带2383固定连接，水平导向机构239的导向块2392与连接块2302固定连接，本体2301内部的通气槽通过气管与真空发生器连通，启动真空发生器后，能够将晶圆吸附在本体2301的前端。
优选地，如图4至图6所示，本申请的伸缩驱动机构232包括伸缩电机2321、第三主动带轮2322、第三从动带轮2323、第三传动带2324、水平丝杠(图中未示出)以及安装在水平丝杠上的平移滑块2325，平移滑块2325与移动构件233固定连接，第三主动带轮2322固定在伸缩电机2321的驱动轴上，第三从动带轮2323固定在水平丝杠的一端，第三传动带2324将第三主动带轮2322与第三从动带轮2323连接，水平丝杠可转动地安装在伸缩固定构件231上且与传动齿条234平行设置，平移滑块2325能够随着水平丝杠的转动沿着水平丝杠移动。
示例性地，伸缩电机2321固定在伸缩固定构件231的前端，与水平丝杠并排设置，平移滑块2325的顶面与移动构件233的移动块2331的底面固定连接，伸缩电机2321驱动第三主动带轮2322转动，第三主动带轮2322通过第三传动带2324带着第三从动带轮2323和水平丝杠转动，平移滑块2325随着水平丝杠的转动，沿着水平丝杠带着移动构件233前后移动。
需要说明的是，本申请的伸缩驱动机构232并不限于上述介绍的具体结构形式，例如，可以将上述的“第三主动带轮2322+第三从动带轮2323+第三传动带2324”替换成齿轮传动组或者链轮转动组，此外，也可以将上述的“水平丝杠+平移滑块2325”替换成齿轮齿条传动机构，等等，这种对伸缩驱动机构232的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
当然，本申请优选将伸缩驱动机构232设置为上述介绍的结构形式，便于布置且有利于降低成本。
需要说明的是，本发明不对检测装置3的具体结构形式进行限定，例如，可以将检测装置3设置为公开号CN212331471U中介绍的视觉检测装置，通过视觉检测装置采集晶圆的影像，并通过运算获取晶圆的中心点的坐标；或者，也可以将检测装置3设置为具有寻边检测功能的装置，等等，这种对检测装置3的具体类型的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图7所示，本发明的检测装置3包括检测固定构件31以及安装在检测固定构件31上的承载组件32、平移组件33以及安装在平移组件33上的寻边检测构件34。
其中，承载组件32用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，平移组件33能够相对于检测固定构件31沿水平方向移动。
通过在检测固定构件31上设置平移组件33，并将寻边检测构件34安装在平移组件33上，这样一来，能够通过平移组件33来调节寻边检测构件34与承载组件32之间的水平距离，使得本发明的检测装置3能够对不同尺寸的晶圆进行寻边检测，提高了检测装置3的适用范围。
示例性地，如图7所示，寻边检测构件34包括沿竖直方向相对设置的信号发射器341和信号接收器342，信号发射器341位于信号接收器342的上方，晶圆位于信号发射器341与信号接收器342之间，在进行寻边检测前，根据晶圆的具体尺寸来调整寻边检测构件34与承载组件32的之间的水平距离，在对晶圆进行寻边检测的过程中，信号发射器341发送激光信号，承载组件32带着晶圆旋转，由寻边检测构件34来检测晶圆边缘数据，根据晶圆边缘数据拟合出圆周，计算出晶圆的中心点的坐标。
优选地，如图7所示，本发明的平移组件33包括安装在检测固定构件31上的平移座331以及安装在平移座331上的安装板332，寻边检测构件34安装在安装板332上，平移座331能够相对于检测固定构件31沿水平方向移动。
优选地，如图7所示，本发明的承载组件32包括安装在检测固定构件31上的第二旋转驱动机构321、竖直设置的第二旋转轴322以及安装在第二旋转轴322顶端的承载构件(图中未示出)，第二旋转驱动机构321与第二旋转轴322驱动连接且能够驱动第二旋转轴322带着承载构件旋转。
示例性地，如图7所示，本发明的承载构件为真空吸盘，第二旋转驱动机构321包括连接法兰3211、第二旋转电机3212、第二减速机3213和第二联轴器3214，连接法兰3211的侧部与检测固定构件31固定连接，连接法兰3211的底部设有安装孔，第二减速机3213安装在该安装孔内，第二减速机3213的顶端穿过安装孔伸入到连接法兰3211内，第二旋转电机3212安装在第二减速机3213的下方，第二联轴器3214安装在第二减速机3213的上方，第二旋转轴322的底端穿过连接法兰3211的顶部并通过第二联轴器3214与第二减速机3213的输出轴固定连接，也就是说，第二旋转电机3212的驱动轴通过第二减速机3213和第二联轴器3214与第二旋转轴322的底端固定连接，以便驱动第二旋转轴322带着真空吸盘旋转。
需要说明的是，本发明的第二旋转驱动机构321并不限于上述介绍的结构形式，例如，可以将第二减速机3213和第二联轴器3214替换成同步带传动组件，将第二旋转电机3212设于第二旋转轴322的侧面，第二旋转电机3212的驱动轴通过同步带传动组件与第二旋转轴322的底端驱动连接，或者，也可以将第二减速机3213和第二联轴器3214替换成链条传动组件，将第二旋转电机3212设于第二旋转轴322的侧面，第二旋转电机3212的驱动轴通过链条传动组件与第二旋转轴322的底端驱动连接，再或者，还可以将通过DD直驱电机驱动第二旋转轴322旋转，等等，这种对第二旋转驱动机构321的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图1和图8所示，本发明的倒角机还包括定位装置5，定位装置5用于对晶圆的中心点进行定位。
示例性地，定位装置5安装在倒角机的上料仓支座12上，取料装置2、检测装置3和定位装置5沿第二水平方向(图1中所示的Y方向)分布，取料装置2位于检测装置3和定位装置5之间，取料装置2的旋转中心、检测装置3的定位中心以及定位装置5定位的晶圆的中心点位于同一竖直面上，其中，取料装置2的旋转中心即为第一旋转轴222，检测装置3的定位中心即为第二旋转轴322。
检测装置3的定位中心用于对晶圆进行定位，在对晶圆进行倒角磨削之前，先通过检测装置3来检测晶圆的中心点的位置，判断晶圆的中心点是否与检测装置3的定位中心重合，如果晶圆的中心点与检测装置3的定位中心重合，则可以进行后续的倒角磨削工序，如果晶圆的中心点与检测装置3的定位中心不重合，需要调整晶圆的位置以使晶圆的中心点与检测装置3的定位中心重合。
优选地，如图8和9所示，本发明的定位装置5包括定位固定构件54以及安装在定位固定构件54上的第一夹紧组件55、第二夹紧组件56和驱动组件57。
其中，定位固定构件54与上料仓支座12固定连接，第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿第一水平方向(如图8中所示的X方向)相对设置，驱动组件57与第一夹紧组件55和第二夹紧组件56驱动连接，并且，驱动组件57能够驱动第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧定位，驱动组件57还能够驱动第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿第一水平方向反向移动。
在需要采用定位装置5对晶圆进行定位时，将晶圆放在第一夹紧组件55与第二夹紧组件56之间，然后由驱动组件57驱动第一夹紧组件55沿X方向向左移动，第二夹紧组件56同时沿X方向向右移动，即第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步相向移动，第一夹紧组件55和第二夹紧组件56分别与晶圆的右边缘和左边缘抵靠时，将晶圆夹紧，从而实现对晶圆的定位，当需要取走晶圆时，由驱动组件57驱动第一夹紧组件55沿X方向向右移动，第二夹紧组件56同时沿X方向向左移动，即第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步反向移动。
需要说明的是，本发明优选使取料装置2、检测装置3和定位装置5沿第二水平方向，在这种情形下，图8中的X方向和Y方向与图1中的X方向和Y方向是一致的。
此外，还需要说明的是，本发明的定位装置并不限于上述介绍的夹紧式的结构，例如，还可以将定位装置设置为承片台，在承片台的上表面设置定位凹槽，通过定位凹槽对晶圆进行定位，等等，这种对定位装置的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
当然，本发明优选将定位装置设置为上述介绍的夹紧式的定位结构，能够对多种不同尺寸的晶圆进行定位，适用范围大。
优选地，如图8和图9所示，第一夹紧组件55朝向第二夹紧组件56的一侧设有第一定位槽5511，第二夹紧组件56朝向第一夹紧组件55的一侧设有第二定位槽5611，第一定位槽5511和第二定位槽5611分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。
其中，第一定位槽5511朝向第二定位槽5611的一侧呈开口设置，第二定位槽5611朝向第一定位槽5511的一侧也呈开口设置，通过第一定位槽5511和第二定位槽5611将晶圆夹紧定位，能够提高定位的准确性。其中，第一定位槽5511和第二定位槽5611均优选设置为V型。
优选地，如图8和图9所示，本发明的驱动组件57包括驱动机构571、沿第一水平方向延伸的第一齿条572、沿第一水平方向延伸的第二齿条573和齿轮574。
其中，驱动机构571与第一夹紧组件55连接且能够驱动第一夹紧组件55沿第一水平方向移动，第一齿条572和第二齿条573分别与第一夹紧组件55和第二夹紧组件56连接，第一齿条572和第二齿条573沿第二水平方向(如图8中所示的Y方向)间隔分布，第二水平方向与第一水平方向垂直，齿轮574可转动的安装在定位固定构件54上且位于第一齿条572和第二齿条573之间且与第一齿条572和第二齿条573啮合。
示例性地，当驱动机构571驱动第一夹紧组件55沿X方向向左移动时，第一齿条572随着第一夹紧组件55沿X方向向左移动，第一齿条572带动齿轮574顺时针旋转，齿轮574带动第二齿条573沿X方向向右移动，第二齿条573带着第二夹紧组件56沿X方向向右移动，从而实现第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿X方向相向移动，反之，当驱动机构571驱动第一夹紧组件55沿X方向向右移动时，第一齿条572随着第一夹紧组件55沿X方向向右移动，第一齿条572带动齿轮574逆时针旋转，齿轮574带动第二齿条573沿X方向向左移动，第二齿条573带着第二夹紧组件56沿X方向向左移动，从而实现第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿X方向反向移动。
需要说明的是，在实际应用中，本领域技术人员可以将驱动机构571设置为电机驱动机构，或者设置为液压驱动机构，再或者设置气缸驱动机构等等，这种对驱动机构571的具体结构类型的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图8和图9所示，本发明的驱动机构571包括驱动气缸5711、沿第一水平方向延伸的弹性复位构件5712以及与第一夹紧组件55连接的推动构件5713。
其中，驱动气缸5711与推动构件5713连接且能够驱动推动构件5713带着第一夹紧组件55沿第一水平方向远离第二夹紧组件56移动，弹性复位构件5712的两端分别与定位固定构件54和推动构件5713连接，弹性复位构件5712在驱动气缸5711解除驱动后能够使推动构件5713带着第一夹紧组件55沿第一水平方向靠近第二夹紧组件56移动。
也就是说，当需要使第一夹紧组件55和第二夹紧组件56分开时，由驱动机构571驱动着推动构件5713带着第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿X方向反向移动，然后将晶圆放在第一夹紧组件55和第二夹紧组件56之间，在推动构件5713移动的过程中，弹性复位构件5712被拉伸，驱动气缸5711解除驱动后，在弹性复位构件5712的弹性力的作用下，推动构件5713带着第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿X方向相向移动，从而将晶圆夹紧，这样一来，能够避免因为夹紧力太大而造成晶圆出现损伤。
需要说明的是，本发明不对弹性复位构件5712的具体结构形式进行限定，例如，本领域技术人员可以将弹性复位构件5712设置为弹簧或者弹性绳等等。
优选地，如图8和图9所示，定位固定构件54上设有第一连接结构5411，推动构件5713上设有第二连接结构5714，弹性复位构件5712的两端分别与第一连接结构5411和第二连接结构5714连接，第一连接结构5411与第二连接结构5714沿第一水平方向之间的初始距离可调节。
通过将第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，便于适用不同尺寸的晶圆，例如，如果晶圆的尺寸较大，可以增大第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，反之，如果晶圆的尺寸较小，可以缩短第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离。
其中，第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离指的是第一夹紧组件55和第二夹紧组件56位于初始位置时第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的距离。
在第一种优选的情形中，如图9所示，第二连接结构5714为沿第一水平方向设置的连接杆57141，推动构件5713上设有安装孔(图中未示出)，安装孔沿第一水平方向贯穿推动构件5713，连接杆57141的第一端(从图9上看为连接杆57141的左端)与弹性复位构件5712连接，连接杆57141在靠近其第二端(从图9上看为连接杆57141的右端)的位置设有螺纹段(图中未示出)，螺纹段穿过推动构件5713上的安装孔，且螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母57142，调节螺母57142靠近连接杆57141的第一端的一侧(从图9上看为调节螺母57142的左侧)抵靠于推动构件5713。
示例性地，如图9所示，第一连接结构5411为固定安装在定位固定构件54上的固定柱，弹性复位构件5712的左端与固定柱固定连接，弹性复位构件5712的右端与连接杆57141的左端固定连接，连接杆57141的在靠近其右端的位置具有螺纹段，螺纹段上安装有调节螺母57142，通过调节螺母57142能够调节连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，例如，如果晶圆的尺寸偏小，可以通过逆时针旋转调节螺母57142，使连接杆57141更靠近固定柱，缩短连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，反之，如果晶圆的尺寸偏大，可以通过顺时针旋转调节螺母57142，使连接杆57141远离固定柱，增大连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离。
在第二种优选的情形中，可以将上述的第一种优选情形做一些调整，具体而言，第二连接结构5714还是设置为沿第一水平方向设置的连接杆57141，连接杆57141的第一端与弹性复位构件5712连接，连接杆57141在靠近其第二端的位置设有螺纹段，推动构件5713上还是设有安装孔，不同的是，安装孔的内壁上设有与螺纹段相适配的螺纹，螺纹段通过螺纹与安装孔螺接固定，这样一来，可以取消设置调节螺母57142，直接通过转动连接杆57141来调整连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，安装孔可以贯穿推动构件5713，也可以不贯穿推动构件5713，本领域技术人员可以根据具体情况进行灵活地设定。
在上述的两种优选情形中，均是通过改变第二连接结构5714的位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，在实际应用中，也可以将第二连接结构5714设置为固定的，而将第一连接结构5411设置为位置可改变的，通过改变第一连接结构5411的位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，例如，还是以将第一连接结构5411设置为固定柱为例，可以在定位固定构件54上设置多个固定孔，多个固定孔沿X方向间隔分布，固定柱的底端插入固定孔中，这样一来就可以通过改变固定柱的安装位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，或者，还可以将第一连接结构5411和第二连接结构5714均设置为位置可改变的，这种灵活地调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
此外，还需要说明的是，本发明的第一连接结构5411并不限于上述介绍的固定柱，例如，还可以将第一连接结构5411设置为固定块或固定板等等。
优选地，如图8和图9所示，本发明的定位固定构件54包括水平设置的底板541、水平设置的承载板542以及竖直设置的支撑柱543。
其中，底板541和承载板542沿竖直方向间隔分布，并且底板541位于承载板542的下方，支撑柱543的底端和顶端分别与底板541和承载板542固定连接或一体设置，承载板542用于承载晶圆，第一定位槽5511和第二定位槽5611位于承载板542的上方，驱动机构571安装在底板541上，第一齿条572、第二齿条573和齿轮574均位于底板541与承载板542之间。
示例性地，如图8和图9所示，承载板542由两个沿X方向间隔分布的板体组成，支撑柱543的数量为四个，四个支撑柱543围成一个矩形结构，承载板542的两个板体分别通过两个支撑柱543与底板541固定连接，驱动气缸5711固定安装在底板541的底面，推动构件5713包括竖直推杆57131和水平推杆57132，竖直推杆57131的底端与驱动气缸5711的活塞杆固定连接，竖直推杆57131的顶端与水平推杆57132的一端固定连接或一体设置，水平推杆57132位于底板541与承载板542之间，水平推杆57132与第一夹紧组件55固定连接，第一连接结构5411设置在底板541的顶面，第二连接结构5714设置在水平推杆57132上，第一齿条572、第二齿条573和齿轮574位于底板541与承载板542之间，齿轮574可转动地安装在底板541上，第一夹紧组件55的一部分位于承载板542的上面，第一夹紧组件55的另一部分位于底板541与承载板542之间。
通过沿竖直方向间隔分布的底板541和承载板542划分为三层安装空间，便于各结构的安装布置。
需要说明的是，本发明的承载板542并不限于由两个沿X方向间隔分布的板体组成，例如，可以将承载板542设置为一个整体的板体结构，此外，支撑柱543的数量也并不限于上述的四个，例如，还可以将支撑柱543的数量设置为三个或者六个等等，这种对支撑柱543的具体数量的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图8和图9所示，本发明的第一夹紧组件55包括第一夹紧构件551和第一连接构件552，第一夹紧构件551位于承载板542的上方，第一定位槽5511设于第一夹紧构件551，第一连接构件552用于将第一夹紧构件551与第一齿条572固定连接，驱动机构571与第一连接构件552连接；第二夹紧组件56包括第二夹紧构件561和第二连接构件562，第二夹紧构件561位于承载板542的上方，第二定位槽5611设于第二夹紧构件561，第二连接构件562用于将第二夹紧构件561与第二齿条573固定连接。
示例性地，第一夹紧构件551为第一夹紧板，第一夹紧板的左侧设有第一定位槽5511，第二夹紧构件561为第二夹紧板，第二夹紧板的右侧设有第二定位槽5611，第一夹紧板通过第一连接构件552与第一齿条572固定连接，第一连接构件552还与驱动机构571的推动构件5713固定连接，第二夹紧板通过第二连接构件562与第二齿条573固定连接。
需要说明的是，本发明的第一夹紧构件551和/或第二夹紧构件561并不限于上述介绍的夹紧板，例如，还可以将第一夹紧构件551和/或第二夹紧构件561均设置为夹紧块等等，这种对第一夹紧构件551和第二夹紧构件561的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一连接构件552和/或第二连接构件562设置为连接板或者连接杆等等，这种对第一连接构件552和第二连接构件562的具体结构形式的调整和改变也并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图8和图9所示，本发明的第一连接构件552包括水平设置的第一连接板5521和竖直设置的第一连接柱(图中未示出)，第一连接板5521位于底板541与承载板542之间且与第一齿条572固定连接，承载板542在与第一连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第一通孔5421，第一连接柱的底端与第一连接板5521固定连接或一体设置，第一连接柱的顶端穿过第一通孔5421与第一夹紧构件551固定连接或一体设置，驱动机构571与第一连接板5521连接；第二连接构件562包括水平设置的第二连接板5621和竖直设置的第二连接柱(图中未示出)，第二连接板5621位于底板541与承载板542之间且与第二齿条573固定连接，承载板542在与第二连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第二通孔5422，第二连接柱的底端与第二连接板5621固定连接或一体设置，第二连接柱的顶端穿过第二通孔5422与第二夹紧构件561固定连接或一体设置。
示例性地，第一连接板5521为L型结构，第一连接板5521沿X向设置的部分与第一齿条572固定连接，第一连接板5521沿Y向设置的部分通过第一连接柱与第一夹紧构件551固定连接，第一连接板5521沿Y向设置的部分还与驱动机构571的推动构件5713固定连接，第一连接柱能够在第一通孔5421内沿X方向自由移动，第二连接板5621也为L型结构，第二连接板5621沿X向设置的部分与第二齿条573固定连接，第二连接板5621沿Y向设置的部分通过第二连接柱与第二夹紧构件561固定连接，第二连接柱能够在第二通孔5422内沿X方向自由移动。
需要说明的是，本发明不对第一连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第一连接柱，或者，也可以设置多个第一连接柱，多个第一连接柱沿Y方向间隔分布，类似地，本发明不对第二连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第二连接柱，或者，也可以设置多个第二连接柱，多个第二连接柱沿Y方向间隔分布。
优选地，如图8和图9所示，本发明的定位装置还包括设于定位固定构件54与第一夹紧组件55之间的第一导向机构以及设于定位固定构件54与第二夹紧组件56之间的第二导向机构，第一导向机构和第二导向机构分别在第一夹紧组件55和第二夹紧组件56移动时对第一夹紧组件55和第二夹紧组件56进行导向。
优选地，如图8和图9所示，第一导向机构包括相配合第一导向构件581和第二导向构件(图中未示出)，第一导向构件581和第二导向构件中的一个与定位固定构件54连接，第一导向构件581和第二导向构件中的另一个与第一夹紧组件55连接；第二导向机构包括相配合第三导向构件582和第四导向构件(图中未示出)，第三导向构件582和第四导向构件中的一个与定位固定构件54连接，第三导向构件582和第四导向构件中的另一个与第二夹紧组件56连接。
需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第一导向构件581和第二导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第三导向构件582和第四导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。
优选地，如图8和图9所示，第一导向构件581和第三导向构件582均为沿第一水平方向延伸的导轨，第二导向构件和第四导向构件均为与导轨相适配的导向块。
示例性地，两个导轨均固定安装在底板541的顶面，且沿Y方向间隔分布，两个导向块分别固定安装在第一连接板5521和第二连接板5621的底面。
基于上述介绍的倒角机，本发明还提供了一种倒角机的补偿校准方法，如图10所示，本发明的补偿校准方法包括以下步骤：
S100：将晶圆放到定位装置上进行定位。
示例性地，如图8和图9所示，先通过驱动气缸5711驱动第一夹紧构件551和第二夹紧构件561打开，然后将晶圆放到定位装置5的承载板542上，然后使驱动气缸5711解除驱动，第一夹紧构件551和第二夹紧构件561在弹性复位构件5712的作用下将晶圆夹紧定位。其中，一般采用标准晶圆，标准晶圆的直径和厚度均为校准数值。
晶圆被夹紧定位后，晶圆的中心点与旋转组件22的旋转中心之间的水平距离为L1，旋转组件22的旋转中心为第一旋转轴222所在的位置，L1的具体值是提前设定好的。
S200：使取料装置将晶圆转移至检测装置。
示例性地，如图7所示，取料装置2将定位好的晶圆转移至检测装置3的承载组件32的载构件上，承载组件32的第二旋转轴322所在的位置为检测装置3的定位中心，该定位中心的坐标值为(0,0)，该定位中心与旋转组件22的旋转中心之间的水平距离为L2，L2的具体值也是提前设定好的。
S300：使检测装置检测晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)。
示例性地，如图7所示，将晶圆放到承载组件32上后，由承载组件32带着晶圆旋转，由寻边检测构件34来检测晶圆的中心点的坐标值，其中，晶圆的中心点的坐标值实际为与检测装置3的中心的偏差值。
S400：根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准。
也就是说，可以仅对取料装置2的伸出长度进行补偿校准，或者也可以仅对取料装置2的旋转角度进行补偿校准，再或者还可以对取料装置2的伸出长度和旋转角度都进行补偿校准。当然，优选对取料装置2的伸出长度和旋转角度都进行补偿校准。
通过本发明的补偿校准方法可以定期对取料装置2进行补偿校准，这样一来，能够使取料装置2准确地将料盒4中的晶圆转移至检测装置3，保证对晶圆的加工质量。
优选地，步骤S200，“使取料装置将晶圆转移至检测装置”的步骤具体包括：
S210：使旋转组件带着伸缩取料组件从零点位置旋转第一设定角度。
示例性地，如图1所示，取料装置2、检测装置3和定位装置5沿第二水平方向(图1中所示的Y方向)分布，取料装置2位于检测装置3和定位装置5之间，第一设定角度为90度，使旋转组件22带着伸缩取料组件23从零点位置逆时针旋转90度后，伸缩取料组件23正对定位装置5。
S220：使伸缩取料组件从初始位置伸出第一设定长度。
示例性地，在使伸缩取料组件23伸出取料之前，通过升降组件21带着旋转组件22和伸缩取料组件23沿竖直方向移动，以使伸缩取料组件23的取料构件230正对位于定位装置5上的晶圆，然后由伸缩电机2321驱动取料构件230伸出第一设定长度。
S230：使伸缩取料组件将晶圆取下。
示例性地，启动与取料构件230连通的真空发生器，以将晶圆吸附在取料构件230上。
S240：使伸缩取料组件缩回到初始位置。
示例性地，由伸缩电机2321驱动取料构件230带着晶圆缩回到初始位置。
S250：使旋转组件带着伸缩取料组件转回至零点位置后继续旋转第二设定角度。
示例性地，第二设定角度为90度，旋转组件22带着伸缩取料组件23顺时针转回到零点位置后，继续顺时针旋转90度，伸缩取料组件23正对检测装置3的承载组件32。
S260：使伸缩取料组件从初始位置伸出第二设定长度。
示例性地，在使伸缩取料组件23伸出放料之前，通过升降组件21带着旋转组件22和伸缩取料组件23沿竖直方向移动，以使伸缩取料组件23的取料构件230正对位于承载组件32的承载构件，然后由伸缩电机2321驱动取料构件230伸出第二设定长度，使晶圆移动到承载构件的上方。
S270：使伸缩取料组件将晶圆放到检测装置上；
示例性地，将与取料构件230连通的真空发生器关闭，以将晶圆放到上承载组件32的承载构件上。
步骤S400，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定角度或第二设定角度进行补偿校准；和/或
根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定长度或第二设定长度进行补偿校准。
也就是说，本发明的补偿校准方法共有以下几种情形，情形1，仅针对第一设定角度和第一设定长度进行补偿校准；情形2，仅针对第二设定角度和第二设定长度进行补偿校准；情形3，仅针对第一设定角度和第二设定长度进行补偿校准；情形4，仅针对第二设定角度和第一设定长度进行补偿校准；情形5，仅针对第一设定角度、第二设定角度、第一设定长度和第二设定长度中的一个参数进行校准；本发明的补偿校准方法优选采用上述的情形1和情形2。
优选地，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算第一设定角度的补偿角度，记为第一补偿角度△θ1，
其中，△θ1＝-(△Xd×180°)/(L1×π)，其中，L1为定位装置上的晶圆的中心点与旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将第一设定角度的当前角度与第一补偿角度△θ1相加。
优选地，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第一设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算第一设定长度的补偿值，记为第一补偿值△d1，其中，△d1＝△Yd；
将第一设定长度的当前值与第一补偿值△d1相加。
优选地，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第二设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算第二设定角度的补偿角度，记为第二补偿角度△θ2，
其中，△θ2＝(△Xd×180°)/(L2×π)，其中，L2为检测装置的定位中心与旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将第二设定角度的当前角度与第二补偿角度△θ2相加。
需要说明的是，在本发明的优选实施例中，检测装置3的定位中心为承载组件32的旋转中心，即第二旋转轴322所在的位置。
优选地，“根据晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对第二设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算第二设定长度的补偿值，记为第二补偿值△d2，其中，△d2＝-△Yd；
将第二设定长度的当前值与第二补偿值△d2相加。
此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述加工设备包括机座以及安装在所述机座上的取料装置、检测装置和定位装置，所述补偿校准方法包括：
将晶圆放到所述定位装置上进行定位；
使所述取料装置将所述晶圆转移至所述检测装置；
使所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)；
根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准。
2.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述取料装置包括旋转组件以及安装在所述旋转组件上的伸缩取料组件，所述旋转组件用于带着所述伸缩取料组件绕竖直轴线旋转，
“使所述取料装置将所述晶圆转移至所述检测装置”的步骤具体包括：
使所述旋转组件带着所述伸缩取料组件从零点位置旋转第一设定角度；
使所述伸缩取料组件从初始位置伸出第一设定长度；
使所述伸缩取料组件将所述晶圆取下；
使所述伸缩取料组件缩回到所述初始位置；
使所述旋转组件带着所述伸缩取料组件转回至所述零点位置后继续旋转第二设定角度；
使所述伸缩取料组件从所述初始位置伸出第二设定长度；
使所述伸缩取料组件将所述晶圆放到所述检测装置上；
“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第一设定角度或所述第二设定角度进行补偿校准；和/或
根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第一设定长度或所述第二设定长度进行补偿校准。
3.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第一设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第一设定角度的补偿角度，记为第一补偿角度△θ1，
其中，△θ1＝-(△Xd×180°)/(L1×π)，其中，L1为所述定位装置上的所述晶圆的中心点与所述旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将所述第一设定角度的当前角度与所述第一补偿角度△θ1相加。
4.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第一设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第一设定长度的补偿值，记为第一补偿值△d1，其中，△d1＝△Yd；
将所述第一设定长度的当前值与所述第一补偿值△d1相加。
5.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第二设定角度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第二设定角度的补偿角度，记为第二补偿角度△θ2，
其中，△θ2＝(△Xd×180°)/(L2×π)，其中，L2为所述检测装置的定位中心与所述旋转组件的旋转中心之间的水平距离；
将所述第二设定角度的当前角度与所述第二补偿角度△θ2相加。
6.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，“根据所述晶圆的中心点的坐标值(△Xd，△Yd)对所述第二设定长度进行补偿校准”的步骤具体包括：
计算所述第二设定长度的补偿值，记为第二补偿值△d2，其中，△d2＝-△Yd；
将所述第二设定长度的当前值与所述第二补偿值△d2相加。
7.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述取料装置位于所述检测装置与所述定位装置之间，所述取料装置的旋转中心、所述检测装置的定位中心以及所述定位装置定位的所述晶圆的中心点位于同一竖直面上。
8.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述定位装置包括定位固定构件以及安装在所述定位固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，
所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。
9.根据权利要求8所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。
10.根据权利要求9所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，
所述驱动机构能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述定位固定构件上，所述齿轮位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。
11.根据权利要求10所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，
所述驱动气缸能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述定位固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。
12.根据权利要求11所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述定位固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。
13.根据权利要求12所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔，所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者
所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述检测装置包括检测固定构件以及安装在所述检测固定构件上的承载组件、平移组件以及安装在所述平移组件上的寻边检测构件，所述承载组件用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，所述平移组件能够相对于所述检测固定构件沿水平方向移动。
15.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述伸缩取料组件包括伸缩固定构件以及安装在所述伸缩固定构件上的伸缩驱动机构、移动构件、传动齿条、第一转轴、第二转轴、第一传动机构、第二传动机构以及取料构件，
所述伸缩驱动机构能够驱动所述移动构件相对于所述伸缩固定构件水平移动，所述传动齿条水平设置且与所述移动构件的移动方向平行，
所述第一转轴和所述第二转轴均可转动地安装在所述移动构件上，所述第一转轴的第一端设置有与所述传动齿条啮合的传动齿轮，所述第一转轴的第二端通过所述第一传动机构与所述第二转轴的第一端连接，所述第二转轴的第二端通过所述第二传动机构与所述取料构件连接，
所述取料构件安装在所述移动构件上且能够在所述第二传动机构的带动下相对于所述移动构件水平移动，所述取料构件的移动方向与所述移动构件的移动方向一致。
16.根据权利要求1至13中任一项所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述加工设备为倒角机。
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