JP3138523U

JP3138523U - 基板検査装置

Info

Publication number: JP3138523U
Application number: JP2007008166U
Authority: JP
Inventors: 博明石
Original assignee: 有限会社ソーラーリサーチ研究所
Priority date: 2007-10-24
Filing date: 2007-10-24
Publication date: 2008-01-10
Anticipated expiration: 2017-10-24

Abstract

【課題】基板を傷、汚れ損傷させることなく非接触状態にて検査部へ搬送し、連続して高速にて検査する。
【解決手段】立てた基板を非接触にて定間隙を設けて保持する非接触保持具を備えた基板保持部設け、その下方に立てた状態の基板を搭載し搬送する搬送部を設け、搬送部に搭載された立った基板を非接触の状態にて検査部に搬送し、カメラと基板が常に定間隙を保持した状態にて検査を行う。カメラの撮像域の側部に基板とカメラとの距離を定間隔に保持する非接触保持具を装着した距離調節器を設けることにより鮮明な撮像が得られる。
【選択図】図１

Description

本考案は、液晶基板などの薄板を検査する基板検査装置に関する。

液晶ディスプレイのフラットパネルディスプレイの製造工程においては、ガラス基板
を検査して欠陥等の有無を調べる基板検査装置が用いられている。
従来の基板検査装置は、ガラス基板を傷付けないように、ガラス基板を水平にして空気で浮上させた状態で搬送する浮上ステージを有するものがある。

この浮上ステージに搬送された基板は基板の前端部を把持具により把持し、角度調整を行った後把持具を移動させて基板をカメラと光源を設けた検査ステ−ションへ搬送する。

検査ステーションには走行する基板の下方に浮上高さを調整するエアベアリングを光源の前後に距離をおいて設けている。
特開２００２−１８１７１４号公報

解決しようとする問題点は、基板の前端部を把持具により把持して搬送するため把持している部分の検査ができない。

把持しているため基板に傷、汚れの損傷を与える。

基板の角度調整および位置合わせをする必要がある。

把持具の移動機構が必要である。

処理速度が遅い。

基板の垂れ下がりによりエアベアリングの端部に基板先端が接触する場合がある。

本願に於いて開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以下の通りである。

連続して基板を検査部に搬送させて検査する基板検査装置において、立てた基板を非接触にて保持する非接触保持具を備えた基板保持部と、前記基板保持部の下方に立てた基板を搭載し搬送するコンベアにて形成される搬送部と、前記基板の側方に設けられた検査部とにより構成されている。前記検査部はカメラ、光源および非接触保持具を備えた基板とカメラとの距離を調整する調整器を基板に対して基板保持部と対称に設けて構成されている基板検査装置により解決可能である。

本考案はこのような構成を具える結果、基板を立てて基板保持部の下方に設けられたコンベア上に搬送され、基板保持部に設けられた非接触保持具は空気を噴出することにより基板保持部に非接触状態にて立てた状態にて基板保持部と間隙を設けて保持され、コンベアの移動により検査部に搬送される。

検査部に搬送された基板は、カメラの両側に、基板に対して基板保持部と対称の側に縦方向に基板に近接して配列された非接触保持具を装着した距離調整器により基板とカメラとの距離を定間隔に保ちながら搬送され、カメラにより撮像し検査する。

本考案の効果を次に記す。

１．基板を完全に非接触にて検査可能である。

２．基板の前端部を把持することなく搬送する。

３．把持することによる基板への傷、汚れ、損傷が無い。

４．基板を立てて搬送するため位置決め、角度調整が不要。

５．前端部を含め基板全面の検査が可能である。

６．カメラと基板との間隔が常に一定である。そのため撮像が鮮明である。

７．搬送機構が簡易である。

８．連続して検査が可能であり、処理速度が速い。

考案を実施するための最良の形態を下記に示す。

図１は本考案の基板検査装置Ａの正面図を、図２は平面図を、図３は図１のア−ア視図を示す。

図１および図２に示すように基板検査装置は台８上に基板４を立てて非接触にて保持する基板保持部１、基板保持部１に非接触にて保持されている基板４を搬送する搬送部２を構成するコンベア７および光源１３およびカメラ１２を設けた検査部３を配設して形成される。

基板保持部１には非接触保持具５がベース９に、基板５に対向するの保持面に段差が生じないように面一に配設されて形成されている。

また非接触吸着具５は、保持している基板４に曲がり、垂れ、反りが生じない間隔を設けてベース９上に配設されている。

非接触保持具５は、基板５に空気を噴出することにより基板５との間隙に応じて吸引力あるいは反発力を生じ、その均衡した一定間隙を保持する機能を持つベルヌーイチャックである。

搬送部２は、基板保持部１の下方にコンベア７を設けて形成され、基板保持部１に立てて非接触にて保持されている基板４を搭載し検査部３へ搬送する。

検査部３は、透過光による撮像を行うために基板４の後方に設けられた光源１３とカメラ１２が前方に設けられており、また反射光による撮像を行うため前方に光源２２およびカメラ２１が設けられている。

またカメラ１２，２１の基板撮像域で、基板４をカメラとの距離を定間隔に保つため、カメラ１２，２１の両側に基板４に対して基板保持部１と反対側に距離調整器２３を設けている。

距離調整器２３はベース１１に非接触保持具６を装着して形成され、台８上に倒立して設けられている。

前記非接触吸着具６はベルヌーイチャックである。

非接触保持具６は、基板保持部１の非接触保持具５に保持されている基板４の間隔が変わらない位置にて基板４を非接触保持する位置に配設されている。

前記基板撮像域は幅が狭いため、前後に配設した距離調整器２３，２３の間隔は狭く、
また非接触保持具６を基板に反り、曲がり、撓みが生じない間隔にて配設しているため、前後の距離調整器２３，２３で保持されている基板４には垂れ、曲がり、反りは生じない。

そのため、常にカメラとの距離が一定になるため鮮明な撮像が得られる。

また距離調整器２３が基板保持部１と対称に配設されているため、基板４の前端部の背面側への曲がり、垂れを矯正するため非接触吸着具６への衝突や接触がない。

上述の構成において、立ててコンベア７に基板４が搭載され、基板保持部１へ搬送されると非接触保持具５より空気が噴出し、基板４を立った状態にて非接触にて保持し、前方へ搬送する。

基板４が距離調整器２３まで進行すると非接触保持具６より空気が噴出し、基板４は前方の距離調整器２３に非接触にて吸引保持されて基板４とカメラ１２との距離を定間隔に保ちつつ透過光によるカメラ１３の撮像域に入り撮像され、さらに進行し後方の距離調整器２３に非接触保持され、基板４はカメラ２１と定間隔を保持しながら搬送される。さらに搬送され、別の反射光源２２とカメラ２１の撮像域に搬送され撮像され、検査は終了する。

図７は本考案の他の基板検査装置Ｄを示す正面図を、図８はその側面図をしめす。

基板検査装置Ｄの構成は、前記実施例１に記載の基板検査装置Ａに設けている距離調整機２３を除外して構成されている。

上述の構成において、立ててコンベア７に基板４が搭載され、基板保持部１へ搬送されると非接触保持具５より空気が噴出し、基板４を立った状態にて非接触にて保持され前進し検査部に進行する。

基板検査装置Ｄにて検査する基板４は剛性があり、撓み、曲がりが生じない性状であるろ。そのため、コンベア７にて搬送中に撓み、曲がりが生じることが無く、基板保持部１の非接触保持具５により基板４とカメラ１２との距離を常に定間隔に保持できるため、鮮明な撮像が可能であり、正確に検査される。

上記基板検査装置Ａ，Ｄの基板保持部１の設置角度は垂直でなくても良く、操作性、基板４の性状を考慮して自由に設定可能である。

また図６に示すように、矩形箱状体の上面に複数の空気吐出孔を設け、噴出する噴流により基板４を浮上させ、非接触にて保持する非接触保持具２０を装着して形成される基板保持部２４を傾斜して設けた基板検査装置Ｂも好例である。

図４および図５には、水平状態にて搬送されてきた基板４を非接触状態保持して立て、検査部３に搬送し検査する基板倒立装置２５を装着した本考案の別の基板検査装置Ｃを示す。

図４は本考案の別の実施例の基板検査装置Ｃの正面図を、図５はその側面図を示す。

立てた基板４を非接触にて保持する基板保持部１、その下方に設けられたコンベア７および検査部３を設ける。

コンベア７の前端側部直角方向に、水平状態にて基板４を搬送するコンベア１７の前部を近接して設る。

コンベア１７の先端部に基板倒立機２５を設けて基板検査装置Ｃを構成する。

基板倒立機２５は、ベース１５に非接触保持具１８を設けており、ベース１８は回転機１６により倒立動作を行う。
非接触保持具１８はベルヌーイチャックである。

上記の構成にて、水平状態にてコンベア１７により搬送されてきた基板４は、コンベア１７の前端部に到達するとベース１８に装着した非接触保持具１８が基板４に近接する位ま置まで傾倒し、非接触保持具１９より空気を噴出して基板４を非接触保持し、その状態にて回転機１６により、基板保持部１の非接触保持具７の基板保持面と非接触保持具１９の基板保持面が面一になるまで立てられ、基板４はコンベア７上に搭載され検査部３に搬送され検査が行われる。

本考案の実施例の基板検査装置Ａの正面図である。本考案の実施例の基板検査装置Ａの平面図である。本考案の実施例の基板検査装置Ａの側面図である。本考案の別の実施例の基板検査装置Ｃの側面図である。本考案の別の実施例の基板検査装置Ｃの正面図である。好例を示す基板検査装置Ｂの側図である。本考案の他の実施例の基板検査装置Ｄの側面図である。本考案の他の実施例の基板検査装置Ｄの正面図である。

符号の説明

１基板保持部
２、搬送部
３検査部
４基板
５、６，１９非接触保持具
７、１７コンベア
８、台
９ベース
１２，２１カメラ
１３光源
２０非接触保持具
２３距離調整機
２５基板倒立装置
Ａ，Ｂ，Ｃ．Ｄ基板検査装置

Claims

連続して基板を検査部に搬送させて検査する基板検査装置において、
立てた基板を非接触にて保持する非接触保持具を備えた基板保持部と、前記基板保持部の下方に立てて基板を搭載し搬送する搬送部と、前記基板の側方に設けられた検査部とにより構成されている基板検査装置。
前記検査部がカメラ、光源および非接触保持具を備えた基板距離を調整する距離調整器を基板に対して基板保持部と対称に設けて構成されている請求項１記載の基板検査装置。
前記検査部がカメラおよび光源により構成されている請求項１記載の基板検査装置。
前記搬送部がコンベアおよび基板倒立装置により構成されている請求項１記載の基板検査装置。