JP5185853B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
これにより、基板搬送装置を卓上に設置し、その卓上に仕分け装置の収納容器や検査装置の検査部を配設することで、基板の搬送システムを簡単に構築することができ、基板の搬送システムの製造コストを低減することができる。
また、上下スライド機構及び横スライド機構では、低出力で安価な駆動モータを用いることができるとともに、板金加工部品などの低強度の部品を多く用いることができるため、基板搬送装置の製造コストを低減することができる。
本実施形態では、半導体製造工程で使用されるシリコンウェハである円形基板を所定の位置に搬送するための基板搬送装置を例として説明する。なお、以下の説明において、前後左右方向とは、各図に示した前後左右方向に対応している。
旋回ベース部材20の旋回軸22bの外周面と、固定ベース部材10の旋回用固定プーリー12の内周面との間には、環状のベアリング24が装着されている。これにより、旋回ベース部材20は、固定ベース部材10に対して横回転自在に取り付けられている。
ここで、図2に示すように、旋回ベース部材20の下板22の連通孔22aは、固定ベース部材10の吸気用孔11に連通している。したがって、排気装置13は、下板22の連通孔22aを通じて、旋回ベース部材20内の空気を吸気することになり、旋回ベース部材20内の空気が排気される。そして、旋回ベース部材20内の空気が排気されて、旋回ベース部材20内が負圧状態になると、上板21の各排気用孔27・・・(図1参照)を通じて、旋回ベース部材20の上方の空間から旋回ベース部材20内に空気が吸気される。
なお、図1に示す排気用孔27の個数、大きさ及び配置は限定されるものではなく、旋回ベース部材20の上方の空間から効率良く空気を吸気するように、個数、大きさ及び配置は適宜に設定される。
固定フレーム41aは、下板22の上面において左側の領域に立設された箱状の直方体であり、長手方向が上下方向に配置されており、旋回ベース部材20の上板21に形成された開口部を通じて、上板21の上方に突出している。
上下スライド用固定レール41は、固定フレーム41aの右側壁部の内側面に取り付けられている。また、固定フレーム41aの右側壁部には、図1に示すように、上下スライド用固定レール41の前後両側となる位置に、上下方向に延ばされたスリット状のスライド用開口溝41b,41bがそれぞれ形成されている。
上下スライドフレーム42aは、箱状の直方体であり、長手方向が前後方向に配置されている。上下スライドフレーム42aの左側面には、連結枠部42dが突設されている。連結枠部42dは平面視で矩形に形成された枠体であり、連結枠部42dの前後側壁部は、固定フレーム41aの右側壁部に形成された各スライド用開口溝41b,41bにそれぞれ挿通され、連結枠部42dの左側壁部は固定フレーム41a内に配置されている。
連結枠部42dの左側壁部の内側面には、第一上下スライダ41cの左外側面が取り付けられており、第一上下スライダ41cを上下スライド用固定レール41に沿って上下方向に移動させたときには、第一上下スライダ41cに連動して上下スライドフレーム42aも上下方向に移動する。
また、上下スライドフレーム42aの右側壁部の上端部には、前後方向に延ばされたスリット状の横スライド用開口溝42bが形成されている(図2参照)。
上下スライド用駆動モータ43aは、公知の電動モータであり、後方に向けて突出した駆動軸の先端部には、前後方向の軸回りに周面が形成された上下スライド用駆動プーリー43cが取り付けられている。また、上下スライド用従動プーリー43bは、前後方向の軸回りに周面が形成されている。
そして、上下スライド用駆動モータ43aを駆動させて、上下スライド用ベルト43dを左回転させたときには、上下スライド用ベルト43dの回転に連動して上下スライドフレーム42aは上下スライド用固定レール41に沿って上方に移動する(図6参照)。
また、上下スライド用駆動モータ43aを駆動させて、上下スライド用ベルト43dを右回転させたときには、上下スライド用ベルト43dの回転に連動して、上下スライドフレーム42aは上下スライド用固定レール41に沿って下方に移動する。
このように、上下スライド用駆動装置43では、上下スライド用駆動モータ43aの駆動力によって、上下スライドフレーム42a内の横スライド用可動レール42を、上下スライド用固定レール41に沿って上下方向に移動させている。
横スライドフレーム52aは、箱状の直方体であり、長手方向が上下方向に配置されている。横スライドフレーム52aは、図3に示すように、旋回ベース部材20の上板21に形成された横スライド用開口溝21aに挿通されて、上板21の上方に突出している。横スライド用開口溝21aは、前後方向に延ばされたスリット状の開口部であり、横スライドフレーム52aは横スライド用開口溝21a内を前後方向に移動可能となっている。
また、横スライドフレーム52aの下面には、第二横スライダ51aの上面が取り付けられており、第二横スライダ51aを横スライド用固定レール51に沿って前後方向にスライド移動させたときには、第二横スライダ51aに連動して、横スライドフレーム52aも前後方向に移動する(図7参照)。
また、図1に示すように、横スライドフレーム52aの前側壁部には、上下方向に延ばされたスリット状の上下スライド用開口溝52bが形成されている。
横スライド用駆動モータ53aは、公知の電動モータであり、左方に向けて突出した駆動軸の先端部には、左右方向の軸回りに周面が形成された横スライド用駆動プーリー53cが取り付けられている。また、横スライド用従動プーリー53bは、左右方向の軸回りに周面が形成されている。
そして、横スライド用駆動モータ53aを駆動させて、横スライド用ベルト53dを図3において反時計回りに回転させたときには、横スライド用ベルト53dの回転に連動して横スライドフレーム52aは横スライド用固定レール51に沿って前方に移動する(図7参照)。
また、横スライド用駆動モータ53aを駆動させて、横スライド用ベルト53dを図7において時計回りに回転させたときには、横スライド用ベルト53dの回転に連動して、横スライドフレーム52aは上下スライド用固定レール41に沿って後方に移動する。
このように、横スライド用駆動装置53では、横スライド用駆動モータ53aの駆動力によって、横スライドフレーム52a内の上下スライド用可動レール52を、横スライド用固定レール51に沿って前後方向に移動させている。
支持部31は、箱状の直方体であり、長手方向が前後方向に配置されている。また、支持部31は、旋回ベース部材20の中央部の上方に配置されている。
支持部31の左側部には上下スライド機構40が配設され、右側部には横スライド機構50が配設されている。
図1に示すように、支持部31の後面の右端部には、板状の連結金具31bの基端部が取り付けられている。この連結金具31bの先端部は後方に折り曲げられており、横スライド機構50の横スライドフレーム52aの上下スライド用開口溝52bに挿通され、第二上下スライダ52cの右側面に取り付けられている。
このように、ハンド部材30の支持部31は、左側部が上下スライド機構40の第一横スライダ42cを介して横スライド用可動レール42に支持され、右側部が横スライド機構50の第二上下スライダ52cを介して上下スライド用可動レール52に支持されている。
保持部32の内部には、真空引き用の配管(図示せず)が設けられており、保持部32の上面の先端領域に形成された多数の微細吸引孔から真空引きすることで、保持部32の先端部に円形基板Wを吸着保持することができる。
ここでは、図1から図3に示すように、ハンド部材30が旋回ベース部材20の中央部で低い位置に配置された状態から、図5から図7に示すように、ハンド部材30を前方及び上方に移動させる場合について説明する。
これにより、基板搬送装置1を卓上に設置し、その卓上に仕分け装置の収納容器や検査装置の検査部を配設することで、円形基板Wの搬送システムを簡単に構築することができ、円形基板の搬送システムの製造コストを低減することができる。
例えば、本実施形態では、図1及び図2に示すように、上下スライド機構40及び横スライド機構50によって一体のハンド部材30を移動させているが、旋回ベース部材20に横スライド機構50を追加して設置し、二体の横スライド機構50,50によって、二体のハンド部材30,30を横方向に移動させることで、簡単にダブルハンドの基板搬送装置を構成することができる。
10 固定ベース部材
12 旋回用固定プーリー
13 排気装置
20 旋回ベース部材
25 旋回用駆動モータ
25b 旋回用駆動プーリー
26 旋回用ベルト
27 排気用孔
30 ハンド部材
31 支持部
32 保持部
40 上下スライド機構
41 上下スライド用固定レール
41a 固定フレーム
41c 第一上下スライダ
42 横スライド用可動レール
42a 上下スライドフレーム
42c 第一横スライダ
43 上下スライド用駆動装置
43a 上下スライド用駆動モータ
43b 上下スライド用従動プーリー
43c 上下スライド用駆動プーリー
43d 上下スライド用ベルト
50 横スライド機構
51 横スライド用固定レール
51a 第二横スライダ
52 上下スライド用可動レール
52a 横スライドフレーム
52c 第二上下スライダ
53 横スライド用駆動装置
53a 横スライド用駆動モータ
53b 横スライド用従動プーリー
53c 横スライド用駆動プーリー
53d 横スライド用ベルト
Claims (2)
- 固定ベース部材と、
前記固定ベース部材に対して、横回転自在に取り付けられた旋回ベース部材と、
前記旋回ベース部材の上方に配設され、基板を保持するハンド部材と、
前記ハンド部材を上下方向に移動させるための上下スライド機構と、
前記ハンド部材を横方向に移動させるための横スライド機構と、を備え、
前記上下スライド機構は、
前記旋回ベース部材に取り付けられ、上下方向に延びている上下スライド用固定レールと、
前記上下スライド用固定レールに対して、上下方向にスライド自在に取り付けられ、横方向に延びている横スライド用可動レールと、
前記旋回ベース部材に取り付けられ、前記横スライド用可動レールを、前記上下スライド用固定レールに沿って、上下方向に移動させる上下スライド用駆動装置と、を備え、
前記横スライド機構は、
前記旋回ベース部材に取り付けられ、横方向に延びている横スライド用固定レールと、
前記横スライド用固定レールに対して、横方向にスライド自在に取り付けられ、上下方向に延びている上下スライド用可動レールと、
前記旋回ベース部材に取り付けられ、前記上下スライド用可動レールを、前記横スライド用固定レールに沿って、横方向に移動させる横スライド用駆動装置と、を備え、
前記上下スライド機構は、前記ハンド部材に対して、一方の側部に配設され、前記横スライド機構は、前記ハンド部材に対して、他方の側部に配設されており、
前記ハンド部材は、
前記上下スライド機構の前記横スライド用可動レールに対して、横方向にスライド自在に取り付けられるとともに、
前記横スライド機構の前記上下スライド用可動レールに対して、上下方向にスライド自在に取り付けられていることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記旋回ベース部材は、上板に排気用孔が形成された箱体であり、
前記旋回ベース部材内の空気を、排気装置によって前記旋回ベース部材の下方に排気することで、前記旋回ベース部材の上方空間から前記排気用孔を通じて、前記旋回ベース部材内に空気を吸気することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
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