KR20100093497A - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

장치의 설치바닥으로부터 낮은 위치에서 기판을 반송하는 것과 함께, 장치전체를 간단한 구조로 하는 것이 가능한 기판반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기판반송장치(1)에 있어서, 핸드부재(30)와, 상하슬라이드기구(40)와, 횡슬라이드기구(50)를 구비하며, 상하슬라이드기구(40)는 선회베이스부재(20)에 취부된 상하슬라이드용 고정레일(41)과, 상하슬라이드용 고정레일(41)에 취부된 횡슬라이드용 가동레일(42)을 구비하며, 횡슬라이드기구(50)는 선회베이스부재(20)에 취부된 횡슬라이드용 고정레일(51)과 횡슬라이드용 고정레일(51)에 취부된 상하슬라이드용 가동레일(52)을 구비하며, 상하슬라이드기구(40)는 핸드부재(30)에 대하여 한쪽 측부에 배치되고, 횡슬라이드기구(50)는 핸드부재(30)에 대해 다른 쪽 측부에 배설되어 있다.

Description

기판반송장치 {Substrate conveying apparatus}

본 발명은 기판을 반송하기 위한 기판반송장치에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서 사용되는 실리콘 웨이퍼나 액정 패널 제조공정에서 사용되는 글라스 기판 등의 평판 상의 원형기판을 소정의 위치에 반송하기 위한 기판반송장치로서는 베이스부재와 베이스부재에 지지되는 지축부재와 지지부재를 상하이동 및 횡(橫)회전시키는 구동장치와, 지지부재의 상단부에 취부된 로봇 암을 구비하며, 로봇 암의 선단부에 핸드부재가 설치되어 있는 것이 있다 (예를 들면, 특허문헌 1 참조).

이와 같은 기판반송장치에서는 베이스부재에 대해 지축부재를 상하이동이나 횡회전시키는 것에 의해 로봇 암의 높이나 방향을 조정하고, 다시 로봇 암의 각 암을 신축시켜 핸드부재를 횡방향으로 이동시키는 것에 의해 핸드부재에 흡착유지된 원형기판을 소정의 위치로 반송하는 것이 가능하다.

특허문헌1 ; 일본국 특개 2004-207507호 공보 (단락 0023-0024, 도 1, 도 4)

전술한 종래의 기판반송장치에서는 로봇 암이 지축부재의 상단부에 취부되어있기 때문에, 기판반송장치의 설치바닥면으로부터 낮은 위치에서 원형기판을 반송하는 것이 곤란하다. 따라서, 원형기판의 분류장치의 수납용기나 검사장치의 검사부를 바닥면으로부터 높은 위치에 설치할 필요가 있기 때문에 원형기판의 반송시스템이 복잡하고 대형으로 되며, 제조코스트가 높게 된다는 문제가 있다.

또한, 종래의 기판반송장치에서는 로봇 암 전체를 지지하는 지축부재를 상하 이동 및 횡회전시키고 있어, 구동장치에로의 부하가 크기 때문에 큰 구동력을 발생시킬 수 있는 감속기가 필요하고, 이와 함께, 구동장치의 부품강도를 높일 필요가 있으므로 제조코스트가 높게 된다는 문제가 있다.

그래서, 본 발명에서는 전술한 문제를 해결하고 장치의 설치바닥면으로부터 낮은 위치에서 기판을 반송하는 것과 함께 장치 전체를 간단한 구조로 하는 것이 가능한 기판반송장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

전술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판반송장치에 있어서, 고정베이스부재와, 상기 고정베이스부재에 대해 횡회전을 할 수 있게 취부된 선회베이스부재와, 상기 선회베이스부재의 상측에 배설되고, 기판을 유지하는 핸드부재와, 상기 핸드부재를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하슬라이드기구, 및 상기 핸드부재를 횡방향으로 이동시키기 위한 횡슬라이드기구를 포함하며, 상기 상하슬라이드기구는, 상기 선회베이스부재에 취부되고, 상하방향으로 연장된 상하슬라이드용 고정레일과, 상기 상하슬라이드용 고정레일에 대해 상하방향으로 슬라이드를 할 수 있게 취부되며 횡방향으로 연장된 횡슬라이드용 가동레일과, 상기 선회베이스부재에 취부되며, 상기 횡슬라이드용 가동레일을 상기 상하슬라이드용 고정레일을 따라 상하방향으로 이동시키는 상하슬라이드용 구동장치를 포함하며, 상기 횡슬라이드기구는, 상기 선회베이스부재에 취부되며, 횡방향으로 연장된 횡슬라이드용 고정레일과, 상기 횡슬라이드용 고정레일에 대해 횡방향으로 슬라이드할 수 있게 취부되며, 상하방향으로 연장된 상하슬라이드용 가동레일과, 상기 선회베이스부재에 취부되며, 상기 상하슬라이드용 가동레일을 상기 횡슬라이드용 고정레일을 따라 횡방향으로 이동시키는 횡슬라이드용 구동장치를 포함하며, 상기 상하슬라이드기구는 상기 핸드부재에 대하여 한쪽의 측부에 배설되고, 상기 횡슬라이드기구는 상기 핸드부재에 대해 다른 쪽의 측부에 배설되어 있고, 상기 핸드부재는, 상기 상하슬라이드기구의 상기 횡슬라이드용 가동레일에 대하여 횡방향으로 슬라이드를 할 수 있도록 취부되며, 이와 함께. 상기 횡슬라이드기구의 상기 상하슬라이드용 가동레일에 대하여 상하방향으로 슬라이드를 할 수 있게 취부되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

이 구성에서는 핸드부재를 상하방향 및 횡방향으로 이동시키기 위해 상하슬라이드기구 및 횡슬라이드기구는 핸드부재의 양측에 각각 배설되고, 핸드부재의 아래 공간은 비어있기 때문에 핸드부재를 선회베이스부재의 상면 근방까지 하강시키는 것이 가능하다. 따라서, 기판반송장치의 설치바닥면으로부터 낮은 위치에서 핸드부재를 이동시켜 기판을 반송하는 것이 가능하다.

이에 의해, 기판반송장치를 탁상에 설치하고, 그 탁상에 분류장치의 수납용기나 검사장치의 검사부를 배설하는 것에 의해, 기판의 반송시스템을 간단하게 구축하는 것이 가능하고, 기판의 반송시스템의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

또한, 핸드부재 및 각 레일에 의해 소형이고 경량인 암이 구성되어 있어, 상하슬라이드기구 및 횡슬라이드기구에로의 부하가 작게 된다. 따라서, 상하슬라이드기구 및 횡슬라이드기구에는 저출력이며 값이 싼 구동모터를 사용하는 것이 가능하고 이와 함께, 판금가공부품 등의 저강도의 부품을 많이 사용하는 것이 가능하기 때문에 기판반송장치의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

전술한 기판반송장치에 있어서, 상기 선회베이스부재는 상판에 배기용 구멍이 형성된 상자형체이고, 상기 선회베이스부재 내부의 공기를 배기장치에 의해 상기 선회베이스부재의 아래로 배기하는 것이고, 상기 선회베이스부재의 상측 공간에서 상기 배기용 구멍을 통해 상기 선회베이스부재 내부로 공기를 흡입하는 것도 가능하다.

이 구성에서는, 선회베이스부재의 상측 공간에서 배기용 구멍을 통해 선회베이스부재 내로 공기를 흡입하는 것이고, 핸드부재에 유지된 기판의 하면 측에서 아래로 향하는 기류를 생성시키는 것이 가능하다. 이에 의해, 상하슬라이드기구 및 횡슬라이드기구의 습동부위에서 발생한 분진을 배기용 구멍을 통해 선회베이스부재 내로 흡입하고, 선회베이스부재 내로부터 배기장치를 통해 집진장치 등으로 배출하는 것이 가능하기 때문에 클린한 환경으로 기판을 반송하는 것이 가능하다.

본 발명의 기판반송장치에 의하면, 장치의 설치바닥면으로부터 낮은 위치에서 핸드부재를 이동시켜 기판을 반송하는 것이 가능하기 때문에, 기판의 반송 시스템을 간단하게 구축하는 것이 가능하고, 기판의 반송 시스템의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

또한, 상하슬라이드기구 및 횡슬라이드기구에는 저출력이며 가격이 싼 구동모터를 사용하는 것이 가능하고, 이와 함께 판금가공부품 등의 저강도의 부품을 많이 이용하는 것이 가능하기 때문에 기판반송장치의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

도 1은 본 실시형태의 기판반송장치의 전체구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 실시형태의 기판반송장치의 전체구성을 나타내는 정면단면도이다.
도 3은 본 실시형태의 기판반송장치의 전체구성을 나타내는 측단면도이다.
도 4는 본 실시형태의 기판반송장치에 있는 선회기구를 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 실시형태의 기판반송장치를 나타낸 도면에서, 핸드부재를 전방으로 이동시킨 상태의 평면도이다.
도 6은 본 실시형태의 기판반송장치를 나타낸 도면에서, 핸드부재를 상측으로 이동시킨 상태의 정면단면도이다.
도 7은 본 실시형태의 기판반송장치를 나타낸 도면에서, 핸드부재를 전방 및 상측으로 이동시킨 상태의 측단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 적절한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 실시형태에서는 반도체 제조공정에서 사용되는 실리콘 웨이퍼인 원형기판을 소정의 위치에 반송하기 위한 기판반송장치를 예로서 설명한다. 이하의 설명에서 전후좌우방향은 각 도면에 표시된 전후좌우방향에 대응한다.

기판반송장치(1)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 탁상에 설치된 고정베이스부재(10)와 고정베이스부재(10)에 대하여 횡회전을 할 수 있도록 취부된 선회베이스부재(20)와 선회베이스부재(20)의 상측에 배설되어 원형기판(W)을 흡착유지하는 핸드부재(30)와 핸드부재(30)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하슬라이드기구(40)와 핸드부재(30)를 횡방향(橫方向)으로 이동시키기 위한 횡슬라이드기구(50)를 구비하고 있다.

고정베이스부재(10)는 원판상의 부재이고, 중앙부에 원형의 흡기용 구멍(11)이 형성되어 있다. 고정베이스부재(10)의 상면의 중앙부에는 선회용 고정풀리(12)가 취부되어 있고, 선회용 고정풀리(12)의 중심구멍이 흡기용 구멍(11)에 연통하고 있다.

또한, 고정베이스부재(10)의 하면에는 흡기용 구멍(11)을 막도록 배기장치(13)가 취부되어 있다. 이 배기장치(13) 내의 팬(미도시)을 회전시키는 것에 의해 고정베이스부재(10)의 상면측의 공간으로부터 흡기용 구멍(11)을 통해 배기장치(13)에 공기가 흡입되고, 배기장치(13)를 통해 고정베이스부재(10)의 아래로 배기된다.

선회베이스부재(20)는 상판(21), 하판(22) 및 주벽부(23)를 갖는 원통 형상의 중공 부재이고(도 1 참조), 주벽부(23)의 하단 가장자리부는 하판(22)보다 아래로 돌출되어 있다.

선회베이스부재(20)의 하판(22)의 중앙부에는 원형의 연통공(22a)이 형성되어 있다. 하판(22)의 하면에서 연통공(22a)의 둘레 가장자리부는 아래를 향하여 연장되어 원통형의 선회축(22b)이 형성되어 있다. 선회축(22b)은 고정베이스부재(10)의 상면에 취부된 선회용고정풀리(12)의 중앙구멍에 내삽되어 있다.

선회베이스부재(20)의 선회축(22b)의 외주면과 고정베이스부재(10)의 선회용고정풀리(12)의 내주면의 사이에는 환상의 베어링(24)이 장착되어 있다. 이것에 의해 선회베이스부재(20)는 고정베이스부재(10)에 대해 횡회전을 할 수 있도록 취부되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면의 우단부에는 선회용 구동모터(25)가 취부되어 있다. 이 선회용 구동모터(25)는 공지의 전동모터이며, 도 2에 도시된 바와 같이, 아래를 향해 구동축(25a)이 돌출되어 있다. 구동축(25a)은 하판(22)에 형성된 모터용 관통공(22c)에 삽통되어 하판(22)의 하면측에 돌출되며, 하단부에는 상하방향의 축 둘레에 외주면이 형성된 선회용 구동풀리(25b)가 취부되어 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 선회용 구동풀리(25b)와 선회용 고정풀리(12)에는 환상의 선회용 벨트(26)가 감겨 있다. 그래서, 선홰용 구동모터(25)를 구동시켜 선회용 구동풀리(25b)를 회전시켰을 때는 선회용 구동풀리(25b)는 선회용 벨트(26)의 내주면을 전동하면서 선회용 고정풀리(12)의 축 둘레를 공전한다. 이것에 의해 선회용 구동모터(25)가 취부된 선회베이스부재(20)(도 1 참조)가 선회용 고정풀리(12)의 축 둘레에서 횡회전하여, 선회베이스부재(20)가 고정베이스부재(10)에 대해 횡회전한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 상판(21)에는 복수의 배기용 구멍(27 …)이 형성되어 있다. 각 배기용 구멍(27 …)은 상판(21)에서 상하슬라이드기구(40)나 횡슬라이드기구(50)가 배설되지 않은 위치에 형성되어 있다.

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 연통공(22a)은 고정베이스부재(10)의 흡기용 구멍(11)에 연통되어 있다. 따라서, 배기장치(13)는 하판(22)의 연통공(22a)을 통해 선회베이스부재(20) 내의 공기를 흡기하는 것이 되어, 선회베이스부재(20) 내의 공기가 배기된다. 그래서, 선회베이스부재(20) 내의 공기가 배기되어 선회베이스부재(20) 내부가 부압(負壓) 상태로 되면, 상판(21)의 각 배기용 구멍(27 …)(도 1 참조)을 통하여 선회베이스부재(20) 상방의 공간으로부터 선회베이스부재(20) 내로 공기가 흡기된다.

한편, 도 1에 도시한 배기용 구멍(27)의 개수, 크기, 및 배치는 한정되는 것이 아니라, 선회베이스부재(20)의 상측의 공간으로부터 효율 좋게 공기를 흡기할 수 있도록 개수, 크기 및 배치는 적절하게 설정될 수 있다.

상하슬라이드기구(40)는, 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼, 선회베이스부재(20)의 좌측의 영역에 설치되어 있으며, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에 취부되어 있는 상하슬라이드용 고정레일(41)과 상하슬라이드용 고정레일(41)에 대해 상하방향으로 슬라이드할 수 있도록 취부된 횡슬라이드용 가동레일(42)과, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에 취부된 상하슬라이드용 구동장치(43)를 구비하고 있다.

상하슬라이드용 고정레일(41)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상하방향으로 연장되어 있는 구형(矩形) 단면의 가이드 레일이고, 고정프레임(41a)을 통해 하판(22)의 상면에 취부되어 있다.

고정프레임(41a)은 하판(22)의 상면에서 좌측의 영역에 세워진 상자형상의 직방체이고, 긴 쪽이 상하방향으로 배치되어 있으며, 선회베이스부재(20)의 상판(21)에 형성된 개구부를 통해 상판(21)의 상측으로 돌출되어 있다.

상하슬라이드용 고정레일(41)은 고정프레임(41a)의 우측벽부의 내측면에 취부되어 있다. 또한, 고정프레임(41a)의 우측벽부에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상하슬라이드용 고정레일(41)의 전후 양측이 되는 위치에 상하방향으로 연장된 슬릿 형상의 슬라이드용 개구홈(41b,41b)이 각각 형성되어 있다.

상하슬라이드용 고정레일(41)의 좌측부에는 제1상하슬라이더(41c)가 조립되어 있다. 상하슬라이드용 고정레일(41) 및 제1상하슬라이더(41c)는 제1상하슬라이더(41c)가 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상하방향으로 슬라이드 이동하는 공지의 리니어 가이드이다.

횡슬라이드용 가동레일(42)은, 전후방향으로 연장되어 있는 구형(矩形) 단면의 가이드 레일이고, 상하슬라이드 프레임(42a) 및 제1상하슬라이더(41c)를 통해 상하슬라이드용 고정레일(41)에 취부되어 있다.

상하슬라이드 프레임(42a)은 상자 형상의 직방체이고, 긴 쪽이 전후방향으로 배치되어 있다. 상하슬라이드 프레임(42a)의 좌측면에는 연결틀부(42d)가 돌설되어 있다. 연결틀부(42d)는 평면상으로 보면 구형(矩形)으로 형성된 틀체이고, 연결틀부(42d)의 전후측벽부는 고정프레임(41a)의 우측벽부에 형성된 각 슬라이드용 개구홈(41b,41b)에 각각 삽통되고, 연결특부(42d)의 좌측벽부는 고정프레임(41a) 내부에 배치되어 있다.

연결틀부(42d)의 좌측벽부의 내측면에는 제1상하슬라이더(41c)의 좌외측면이 취부되어 있고, 제1상하슬라이더(41c)가 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상하방향으로 이동될 때에는 제1상하슬라이더(41c)에 연동하여 상하슬라이드 프레임(42a)도 상하방향으로 이동한다.

횡슬라이드용 가동레일(42)은 상하슬라이드 프레임(42a)의 좌측벽부의 내측면에 취부되어 있다.

또, 상하슬라이드 프레임(42a)의 우측벽부의 상단부에는 전후방향으로 연장된 슬릿 형상의 횡슬라이드용 개구홈(42b)이 형성되어 있다(도 2 참조).

횡슬라이드용 가동레일(42)의 우측부에는 제1횡슬라이더(42c)가 조립되어 있다. 횡슬라이드용 가동레일(42) 및 제1횡슬라이더(42c)는 제1횡슬라이더(42c)가 횡슬라이드용 가동레일(42)을 따라 전후방향으로 슬라이드 이동하는 공지의 리니어 가이드이다.

상하슬라이드용 구동장치(43)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 고정프레임(41a) 내에서 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에 취부된 상하슬라이드용 구동모터(43a)와 고정프레임(41a) 내의 상단부에 설치된 상하슬라이드용 종동풀리(43b)를 구비하고 있다.

상하슬라이드용 구동모터(43a)는 공지의 전동모터이고, 후방을 향하여 돌출된 구동축의 선단부에는 전후방향의 축 둘레에 외주면이 형성된 상하 슬라이드용 구동풀리(43c)가 취부되어 있다. 또한, 상하슬라이드용 종동풀리(43b)는 전후방향의 축 둘레에 외주면이 형성되어 있다.

상하슬라이드용 구동풀리(43c)와 상하슬라이드용 종동풀리(43b)에는 환상의 상하슬라이드용 벨트(43d)가 걸려 있다. 이 상하슬라이드용 벨트(43d)의 우측면에는 상하슬라이드 프레임(42a)의 연결틀부(42d)의 좌측면이 취부되어 있다.

그리고, 상하슬라이드용 구동모터(43a)를 구동시켜 상하슬라이드용 벨트(43d)를 좌회전시켰을 때에는 상하슬라이드용 벨트(43d)의 회전에 연동하여 상하슬라이드 프레임(42a)은 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상측으로 이동한다(도 6 참조).

또, 상하슬라이드용 구동모터(43a)를 구동시켜 상하슬라이드용 벨트(43d)를 우회전시켰을 때에는 상하슬라이드용 벨트(43d)의 회전에 연동하여 상하슬라이드 프레임(42a)은 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 아래로 이동한다.

이와 같이 상하슬라이드용 구동장치(43)에서는 상하슬라이드용 구동모터(43a)의 구동력에 의해 상하슬라이드 프레임(42a) 내의 횡슬라이드용 가동레일(42)을 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상하방향으로 이동시키고 있다.

횡슬라이드기구(50)은, 제1 및 제2에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 우측 영역에 설치되어 있으며, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에 취부된 횡슬라이드용 고정레일(51)과 횡슬라이드용 고정레일(51)에 대해 횡방향으로 슬라이드할 수 있도록 취부된 상하슬라이드용 가동레일(52)과, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에 취부된 횡슬라이드용 구동장치(53)을 구비하고 있다.

횡슬라이드용 고정레일(51)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 전후방향으로 연장된 구형(求刑) 단면의 가이드 레일이고, 하판(22)의 상면에서 우측의 영역에 취부되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 횡슬라이드용 고정레일(51)의 상부에는 제2횡슬라이더(51a)가 조립되어 있다. 횡슬라이드용 고정레일(51) 및 제2횡슬라이더(51a)는 제2횡슬라이더(51a)가 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전후방향으로 슬라이드 이동하는 공지의 리니어 가이드이다.

상하슬라이드용 가동레일(52)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상하방향으로 연장되어 있는 구형(求刑) 단면의 가이드레일이고, 횡슬라이드 프레임(52a) 및 제2횡슬라이더(51a)를 통해 횡슬라이드용 고정레일(51)에 취부되어 있다.

횡슬라이드 프레임(52a)은 상자형상의 직방체이며, 긴 쪽이 상하방향으로 배치되어 있다. 횡슬라이드 프레임(52a)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 상판(21)에 형성된 횡슬라이드용 개구홈(21a)에 삽통되어, 상판(21)의 상측으로 돌출되어 있다. 횡슬라이드용 개구홈(21a)은 전후방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부이고, 횡슬라이드 프레임(52a)은 횡슬라이드용 개구홈(21a) 내를 전후방향으로 이동 가능하도록 되어 있다.

또한, 횡슬라이드 프레임(52a)의 하면에는 제2횡슬라이더(51a)의 상면이 취부되어 있고, 제2횡슬라이더(51a)를 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전후방향으로 슬라이드 이동시켰을 때에는 제2횡슬라이더(51a)에 연동하여 횡슬라이드 프레임(52a)도 전후방향으로 이동한다(도 7 참조).

도 2에 도시된 바와 같이, 상하 슬라이드용 가동레일(52)은 횡슬라이드 프레임(52a)의 좌측벽부의 내측면에 취부되어 있다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 횡슬라이드 프레임(52a)의 전측벽부에는 상하방향으로 연장된 슬릿형상의 상하슬라이드용 개구홈(52b)이 형성되어 있다.

도 2에 도시된 것처럼, 상하슬라이드용 가동레일(52)의 우측부에는 제2상하슬라이더(52c)가 조립되어 있다. 상하슬라이드용 가동레일(52) 및 제2상하슬라이더(52c)는 제2상하슬라이더(52c)가 상하슬라이드용 가동레일(52)을 따라 상하방향으로 슬라이드 이동하는 공지의 리니어 가이드이다.

횡슬라이드용 구동장치(53)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에서 우측의 영역의 전부에 취부된 횡슬라이드용 구동모터(53a)와 선회베이스부재(20)의 하판(22)의 상면에서 우측의 영역의 후부에 취부된 횡슬라이드용 종동풀리(53b)를 구비하고 있다.

횡슬라이드용 구동모터(53a)는 공지의 전동모터이고, 좌측을 향하여 돌출된 구동축의 선단부에는 좌우방향의 축 둘레에 외주면이 형성된 횡슬라이드용 구동풀리(53c)가 취부되어 있다. 또, 횡슬라이드용 종동풀리(53b)는 좌우방향의 축 둘레에 외주면이 형성되어 있다.

횡슬라이드용 구동풀리(53c)와 횡슬라이드용 종동풀리(53b)에는 환상의 횡슬라이드용 벨트(53d)가 걸려 있다. 이 횡슬라이드용 벨트(53d)의 하면에는, 도 2에 도시된 것처럼, 횡슬라이드 프레임(52a)의 하단부에서 돌출한 돌출부(53e)의 상면이 취부되어 있다.

그리고, 횡슬라이드용 구동모터(53a)를 구동시켜 횡슬라이드용 벨트(53d)를 도 3에서 반시계방향으로 회전시켰을 때에는 횡슬라이드용 벨트(53d)의 회전에 연동하여 횡슬라이드 프레임(52a)은 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전방으로 이동한다(도 7 참조).

또한, 횡슬라이드용 구동모터(53a)를 구동시켜 횡슬라이드용 벨트(53d)를 도 7에서 시계방향으로 회전시켰을 때에는 횡슬라이드용 벨트(53d)의 회전에 연동하여 횡슬라이드 프레임(52a)은 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 후방으로 이동한다.

이와 같이 횡슬라이드용 구동장치(53)에서는 횡슬라이드용 구동모터(53a)의 구동력에 의해 횡슬라이드 프레임(52a) 내의 상하슬라이드용 가동레일(52)을 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전후방향으로 이동시키고 있다.

핸드부재(30)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)에 지지되어 있는 지지부(31)와 원형기판을 흡착유지하는 유지부(32)를 구비하고 있다.

지지부(31)는 상자형상의 직방체이고, 길이가 긴 쪽이 전후방향으로 배치되어 있다. 또한, 지지부(31)는 선회베이스부재(20)의 중앙부의 상방에 배치되어 있다.

지지부(31)의 좌측부에는 상하슬라이드기구(40)가 배설되고, 우측부에는 횡슬라이드기구(50)가 배설되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 지지부(31)의 좌측면의 하단부에는 좌측으로 돌출한 판상의 연결부(31a)가 형성되어 있다. 연결부(31a)의 선단부는 상하슬라이드 프레임(42a)의 슬라이드용 개구홈(42b)에 삽통되고, 상하슬라이드 프레임(42a) 내에서 하방으로 절곡되어 있다. 그리고, 연결부(31a)의 선단부는 상하슬라이드기구(40)의 제1횡슬라이더(42c)의 우측면에 취부되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 지지부(31)의 후면의 우단부에는 판상의 연결금구(31b)의 기단부가 취부되어 있다. 이 연결금구(31b)의 선단부는 후방으로 절곡되어 있고, 횡슬라이드기구(50)의 횡슬라이드 프레임(52a)의 상하슬라이드용 개구홈(52b)에 삽통되어 제2상하슬라이더(52c)의 우측면에 취부되어 있다.

이와 같이 핸드부재(30)의 지지부(31)는 좌측부가 상하슬라이드기구(40)의 제1횡슬라이더(42c)를 통해 횡슬라이드용 가동레일(42)에 지지되고, 우측부가 횡슬라이드기구(40)의 제2상하슬라이더(52c)를 통해 상하슬라이드용 가동레일(52)에 지지되어 있다.

유지부(32)는 지지부(31)의 상단부로부터 전방으로 돌출한 수평한 평판상의 부위이고 평면상으로 보면 장방형으로 형성되어 있다.

유지부(32)의 내부에는 진공인입용 배관(미도시)이 설치되어 있고, 유지부(32)의 상면의 선단영역에 형성된 다수의 미세 흡인공으로부터 진공흡인하는 것에 의해 유지부(32)의 선단부에 원형기판(W)을 흡착유지하는 것이 가능하다.

이상과 같이 구성된 기판반송장치(1)에서는 다음과 같이 동작하여 본 발명의 작용효과를 나타낸다.

여기서는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 핸드부재(30)가 선회베이스부재(20)의 중앙부에서 낮은 위치에서 배치된 상태로부터, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 핸드부재(30)를 전방 및 상측으로 이동시키는 경우에 대해 설명한다.

우선, 도 3에 도시한 핸드부재(30)를 선회베이스부재(20)의 중앙부로부터 전방으로 이동시키는 경우에는, 횡슬라이드기구(50)의 횡슬라이드용 구동모터(53a)를 구동시켜, 도 7에 도시한 바와 같이, 횡슬라이드 프레임(52a)을 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전방으로 이동시킨다. 이것에 의해 횡슬라이드 프레임(52a)의 내부의 상하슬라이드용 가동레일(52)에 지지된 핸드부재(30)는 횡슬라이드용 고정레일(51)을 따라 전방으로 이동한다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 핸즈부재(30)의 좌측부를 지지하는 제1횡슬라이더(42c)는 횡슬라이드용 가동레일(42)을 따라 전방으로 이동한다.

또한, 핸드부재(30)를 상측으로 이동시키는 경우에는, 상하슬라이드기구(40)의 상하슬라이드용 구동모터(43a)를 구동시켜, 도 6에 도시된 것처럼, 상하슬라이드 프레임(42a)을 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상측으로 이동시킨다. 이것에 의해 상하슬라이드 프레임(42a) 내의 횡슬라이드용 가동레일(42)에 지지된 핸드부재(30)는 상하슬라이드용 고정레일(41)을 따라 상측으로 이동한다. 또한 도 7에 도시된 바와 같이, 핸드부재(30)의 우측부를 지지하는 제2상하슬라이더(52c)는 상하슬라이드용 가동레일(52)을 따라 상측으로 이동한다.

한편, 도 2에 도시한 선회용 구동모터(25)를 구동시켜, 선회베이스부재(20)를 고정베이스부재(10)에 대해 횡회전시키는 것에 의해 선회베이스부재(20)의 상방에 설치된 핸드부재(30)를 횡방향으로 선회시키는 것이 가능하다.

본 실시형태의 기판반송장치(1)에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 핸드부재(30)를 상하방향 및 횡방향으로 이동시키기 위한 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)는 핸드부재(30)의 좌우 양측으로 각각 배설되며, 핸드부재(30)의 아래 공간은 비어 있기 때문에 핸드부재(30)를 선회베이스부재(20)의 상면 근방까지 하강시키는 것이 가능하다. 따라서, 기판반송장치(1)의 설치바닥면으로부터 낮은 위치에서 핸드부재(30)를 이동시켜 원형기판(W)을 반송하는 것이 가능하다.

이것에 의해, 기판반송장치(1)를 탁상에 설치하고, 그 탁상에서 분리장치의 수납용기나 검사장치의 검사부를 배설하는 것으로 원형기판(W)의 반송시스템을 간단하게 구축하는 것이 가능하고, 원형기판의 반송시스템의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

또한, 핸드부재(30) 및 각 레일(41,42,51,52)에 의해 소형이고 경량인 암이 구성되어 있어, 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)로의 부하가 작게 된다. 따라서, 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)에는 저출력이고 가격이 싼 구동모터를 사용하는 것이 가능한 것과 함께 판금가공부품 등의 저강도의 부품을 많이 사용하는 것이 가능하기 때문에 기판반송장치(1)의 제조코스트를 저감하는 것이 가능하다.

또한, 선회베이스부재(20)의 상측 공간으로부터 선회베이스부재(20)의 상판(21)에 형성된 복수의 배기용 구멍(27 …)(도 1 참조)을 통하여 선회베이스부재(20) 내로 공기를 흡입하는 것에 의해 핸드부재(30)에 유지된 원형기판(W)의 하면측에 아래로 향하는 기류를 생성하는 것이 가능하다. 이것에 의해 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)의 습동부위에서 발생한 분진을 각 배기용 구멍(27 …)을 통해 선회베이스부재(20) 내로 흡입하고 선회베이스부재(20)의 내부로부터 배기장치(13)를 통해 집진장치 등으로 배출하는 것이 가능하기 때문에 클린한 환경에서 원형기판(W)을 반송하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시형태의 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)에서는 각 구동모터(43a,53a)의 구동력을 핸드부재(30)에 전달하는 수단으로서 벨트기구를 사용하고 있고, 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)의 습동부위가 작기 때문에 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)로부터의 분진의 발생을 저감하는 것이 가능하고, 클린한 환경을 유지하는 것이 가능하다.

이상, 본 발명의 실시형태에 관하여 설명하였으나, 본 발명은 상기의 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 그 취지를 벗어나지 않는 범위에서 적절하게 변경하는 것이 가능하다.

예를 들면, 본 실시형태에서는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)에 의해 1개의 핸드부재(30)를 이동시키고 있으나, 선회베이스부재(20)에 횡슬라이드기구(50)를 추가하여 설치하고 2개의 횡슬라이드기구(50,50)에 의해 2개의 핸드부재(30,30)를 횡방향으로 이동시키는 것으로 간단하게 더블 핸드의 기판반송장치를 구성하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시형태의 상하슬라이드기구(40) 및 횡슬라이드기구(50)에서는 각 구동모터(43a,53a)의 구동력을 핸드부재(30)로 전달하는 수단으로서 벨트기구를 사용하고 있으나, 볼스크류나 평치차를 사용한 치차기구를 사용하여도 좋으며, 그 전달수단은 한정되는 것은 아니다.

1; 기판반송장치
10; 고정베이스부재
12; 선회용 고정풀리
13; 배기장치
20; 선회베이스부재
25; 선회용 구동모터
25b; 선회용 구동풀리
26; 선회용 벨트
27; 배기용 구멍
30; 핸드부재
31; 지지부
32; 유지부
40; 상하슬라이드기구
41; 상하슬라이드용 고정레일
41a; 고정프레임
41c; 제1상하슬라이더
42; 횡슬라이드용 가동레일
42a; 상하슬라이드 프레임
42c; 제1횡슬라이더
43; 상하슬라이드용 구동장치
43a; 상하슬라이드용 구동모터
43b; 상하슬라이드용 종동풀리
43c; 상하슬라이드용 구동풀리
43d; 상하슬라이드용 벨트
50; 횡슬라이드기구
51; 횡슬라이드용 고정레일
51a; 제2횡슬라이더
52; 상하슬라이드용 가동레일
52a; 횡슬라이드 프레임
52c; 제2상하슬라이더
53; 횡슬라이드용 구동장치
53a; 횡슬라이드용 구동모터
53b; 횡슬라이드용 종동풀리
53c; 횡슬라이드용 구동풀리
53d; 횡슬라이드용 벨트

Claims (2)

1. 고정베이스부재;
   상기 고정베이스부재에 대해 횡회전을 할 수 있게 취부된 선회베이스부재;
   상기 선회베이스부재의 상측에 배설되고, 기판을 유지하는 핸드부재;
   상기 핸드부재를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하슬라이드기구; 및
   상기 핸드부재를 횡방향으로 이동시키기 위한 횡슬라이드기구;를 포함하며,
   상기 상하슬라이드기구는,
   상기 선회베이스부재에 취부되고, 상하방향으로 연장된 상하슬라이드용 고정레일과,
   상기 상하슬라이드용 고정레일에 대해 상하방향으로 슬라이드를 할 수 있게 취부되며 횡방향으로 연장된 횡슬라이드용 가동레일과,
   상기 선회베이스부재에 취부되며, 상기 횡슬라이드용 가동레일을 상기 상하슬라이드용 고정레일을 따라 상하방향으로 이동시키는 상하슬라이드용 구동장치를 포함하며,
   상기 횡슬라이드기구는,
   상기 선회베이스부재에 취부되며, 횡방향으로 연장된 횡슬라이드용 고정레일과,
   상기 횡슬라이드용 고정레일에 대해 횡방향으로 슬라이드할 수 있게 취부되며, 상하방향으로 연장된 상하슬라이드용 가동레일과,
   전기 선회베이스부재에 취부되며, 상기 상하슬라이드용 가동레일을 상기 횡슬라이드용 고정레일을 따라 횡방향으로 이동시키는 횡슬라이드용 구동장치를 포함하며,
   상기 상하슬라이드기구는 상기 핸드부재에 대하여 한쪽의 측부에 배설되고, 상기 횡슬라이드기구는 상기 핸드부재에 대해 다른 쪽의 측부에 배설되어 있고,
   상기 핸드부재는,
   상기 상하슬라이드기구의 상기 횡슬라이드용 가동레일에 대하여 횡방향으로 슬라이드를 할 수 있도록 취부되며, 이와 함께.
   상기 횡슬라이드기구의 상기 상방슬라이드용 가동레일에 대하여 상하방향으로 슬라이드를 할 수 있게 취부되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 선회베이스부재는 상판에 배기용 구멍이 형성된 상자형체이고,
   상기 선회베이스부재 내부의 공기를 배기장치에 의해 상기 선회베이스부재의 아래로 배기하고, 상기 선회베이스부재의 상측 공간에서 상기 배기용 구멍을 통해 상기 선회베이스부재 내부로 공기를 흡입하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
   

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