TWI469245B

TWI469245B - Substrate transfer device

Info

Publication number: TWI469245B
Application number: TW99104313A
Authority: TW
Inventors: Toshihiko Mitsuyoshi
Original assignee: Corp Atel
Priority date: 2009-02-16
Filing date: 2010-02-11
Publication date: 2015-01-11
Also published as: TW201032283A; KR101184668B1; KR20100093497A; JP2010192505A; JP5185853B2

Description

基板搬送裝置

本發明係有關於一種用以搬送基板的基板搬送裝置。

作為將在半導體製程中被使用的矽晶圓、或在液晶面板製程中被使用的玻璃基板等的平板狀的圓形基板搬送至所定位置用的基板搬送裝置，具備基底構件、在基底構件被支持的支持構件、將支持構件上下移動及橫迴轉的驅動裝置、以及被安裝於支持構件的上端部的機器手臂(robot arm)，其中柄(hand)構件被設置於機器手臂的前端部(例如，參考專利文獻1)。

在此類的基板搬送裝置中，藉由對於基底構件、將支軸構件上下移動或橫迴轉，將機器手臂的高度或方向調整，又，藉由將機器手臂的各手臂伸縮、將柄構件被移動在橫方向，可將被吸著保持在柄構件的圓形基板搬送至所定位置。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-207507號公報(段落0023~0024、圖1、圖4)

在上述的習知基板搬送裝置中，由於機器手臂被安裝於支軸構件的上端部，在自基板搬送裝置的設置地面低的位置搬送圓形基板係困難的。因此，由於圓形基板的區分裝置的收納容器或檢查裝置的檢查部必須設置於自地面高的位置，有圓形基板的搬送系統複雜且大型化、製造成本變高的問題。

又，在習知的基板搬送裝置中，由於將支持機器手臂全體的支軸構件上下移動及橫迴轉、朝驅動裝置的負荷大，產生大驅動力的減速機構為必要，且有提高驅動裝置的零件強度的必要、以及製造成本變高的問題。

因此，在本發明中，將上述問題解決，提供在自裝置的設置地面低的位置搬送基板、且可將裝置全體作為簡單的構造的基板搬送裝置作為課題。

為了解決上述課題，本發明係，作為基板搬送裝置，具備：固定基底構件；旋轉基底構件，對於上述固定基底構件、可自由橫迴轉地被安裝；柄構件，被配設於上述旋轉基底構件的上方，保持基板；將上述柄構件被移動於上下方向用的上下滑動機構；以及將上述柄構件被移動於橫方向用的橫滑動機構；其中上下滑動機構係，具備被安裝於上述旋轉基底構件、在上下方向延伸的上下滑動用固定軌，對於上述上下滑動用固定軌、可自由滑動地被安裝於上下方向、在橫方向延伸的橫滑動用可動軌，以及被安裝於上述旋轉基底構件、將上述橫滑動用可動軌沿著上述上下滑動用固定軌被移動於上下方向的上下滑動用驅動裝置；上述橫滑動機構係，具備被安裝於上述旋轉基底構件、延伸於橫方向的橫滑動用固定軌，對於上述橫滑動用固定軌、可自由滑動地被安裝於橫方向、在上下方向延伸的上下滑動用可動軌，以及被安裝於上述旋轉基底構件、將上述上下滑動用可動軌沿著上述橫滑動用固定軌被移動於橫方向的橫滑動用驅動裝置；上述上下滑動機構係對於上述柄構件而被配設於一方的側部，上述橫滑動機構係對於上述柄構件而被配設於另一方的側部；上述柄構件係，對於上述上下滑動機構的上述橫滑動用可動軌，在橫方向可自由滑動地被安裝，且對於上述橫滑動機構的上述上下滑動用可動軌，在上下方向可自由滑動地被安裝。

在此構成中，用以使柄構件被移動在上下方向及橫方向的上下滑動機構及橫滑動機構係，在柄構件的兩側分別被配設，由於柄構件的下方的空間係為空的，可將柄構件被下降至旋轉基底構件的上面附近為止。因此，在自基板搬送裝置的設置地面低的位置，可將柄構件移動而搬送基板。

藉此，將基板搬送裝置設置於桌上，藉由在此桌上配設區分裝置的收納容器或檢查裝置的檢查部，可將基板的搬送系統簡單地構築，可減低基板的搬送系統的製造成本。

又，藉由柄構件及各軌、小型且輕量的手臂被構成，朝上下滑動機構及橫滑動機構的負荷變小。因此，在上下滑動機構及橫滑動機構方面，可利用低輸出且便宜的驅動馬達，且由於可大量利用板金加工零件等的低強度的零件，可減低基板搬送裝置的製造成本。

在上述的基板搬送裝置中，上述旋轉基底構件係，為排氣用孔被形成在上板的箱體，將上述旋轉基底構件內的空氣藉由排氣裝置排氣至上述旋轉基底構件的下方，所以可將空氣從上述旋轉基底構件的上方空間通過上述排氣用孔，而吸氣至上述旋轉基底構件內。

在此構成中，藉由從旋轉基底構件的上方空間通過排氣用孔，可將空氣吸氣至旋轉基底構件內，所以在被保持在柄構件的基板的下面側，可產生朝向下方的氣流。藉此，將在上下滑動機構及橫滑動機構的滑動部位發生的塵埃、通過排氣用孔而進入旋轉基底構件內，從旋轉基底構件內通過排氣裝置，由於可排出至集塵裝置等，可在清淨的環境搬送基板。

根據本發明的基板搬送裝置的話，由於在自裝置的設置地面低的位置、將柄構件移動而可搬送基板，所以可將基板的搬送系統簡單地構築，可將基板的搬送系統的製造成本減低。

又，在上下滑動機構及橫滑動機構中，由於可利用低輸出且便宜的驅動馬達，且可大量利用板金加工零件等的低強度的零件，所以可減低基板搬送裝置的製造成本。

其次，有關本發明的實施例，一邊參考適當圖式而詳細說明。

在本實施例中，以將在半導體製程中被使用的矽晶圓的圓形基板搬送至所定位置用的基板搬送裝置作為例子說明。又，在以下說明中，前後左右方向係，對應於在各圖所示的前後左右方向。

基板搬送裝置1係，如第2圖所示般，具備在桌上被設置的固定基底構件10、對於固定基底構件10可自由橫迴轉地被安裝的旋轉基底構件20、被配設於旋轉基底構件20的上方而將圓形基板W吸著保持的柄構件30、將柄構件30移動於上下方向用的上下滑動機構40、以及將柄構件30移動於橫方向用的橫滑動機構50。

固定基底構件10係，為圓板狀的構件，圓形的吸氣用孔11被形成於中央部。在固定基底構件10的上面的中央部方面，旋轉用固定滑輪12被安裝，旋轉用固定滑輪12的中心孔連通至吸氣用孔11。

又，在固定基底構件10的下面，閉塞吸氣用孔11般、排氣裝置13被安裝。藉由迴轉此排氣裝置13內的風扇(未圖示)，從固定基底構件10的上面側的空間通過吸氣用孔11，空氣被吸氣至排氣裝置13，通過排氣裝置13而被排氣至固定基底構件10的下方。

旋轉基底構件20係為具有上板21、下板22及周壁部23的圓筒部的中空的構件(參考第1圖)，周壁部23的下端緣部係，也比下板22突出至下方。

在旋轉基底構件20的下板22的中央部，圓形的連通孔22a被形成。在下板22的下面，連通孔22a的周緣部係朝向下方而被直立，圓筒狀的旋轉軸22b被形成。旋轉軸22b係，被內插在被安裝於固定基底構件10的上面的旋轉用固定滑輪12的中央孔。

在旋轉基底構件20的旋轉軸22b的外周面、以及固定基底構件10的旋轉用固定滑輪12的內周面之間，環狀的軸承24被裝著。藉此，旋轉基底構件20係，對於固定基底構件10可自由橫迴轉地被安裝。

如第1圖所示般，在旋轉基底構件20的下板22的上面的右端部，旋轉用驅動馬達25被安裝。此旋轉用驅動馬達25係，為習知的電動馬達，如第2圖所示般，驅動軸25a朝向下方突出。驅動軸25a係被插通在被形成於下板22的馬達用貫通孔22c、突出至下板22的下面側，在下端部方面、周面被形成於上下方向的軸周圍的旋轉用驅動滑輪25b被安裝。

如第4圖所示般，在旋轉用驅動滑輪25b和旋轉用固定滑輪12方面，環狀的旋轉用皮帶26被掛上傳送。又，驅動旋轉用驅動馬達25、迴轉旋轉用驅動滑輪25b時，旋轉用驅動滑輪25b係一邊轉動旋轉用皮帶26的內周面，在旋轉用固定滑輪12的軸周圍公轉。藉此，旋轉用驅動馬達25被安裝的旋轉基底構件20(參考第1圖)在旋轉用固定滑輪12的軸周圍橫迴轉，旋轉基底構件20對於固定基底構件10橫迴轉。

如第1圖所示般，在旋轉基底構件20的上板21方面，複數個排氣用孔27…被形成。各排氣用孔27…係，在上板21、上下滑動機構40或橫滑動機構50不被配設的位置被形成。

在此，如第2圖所示般，旋轉基底構件20的下板22的連通孔22a係，連通至固定基底構件10的吸氣用孔11。因此，排氣裝置13係，通過下板22的連通孔22a，將旋轉基底構件20內的空氣吸氣，旋轉基底構件20內的空氣被排氣。又，旋轉基底構件20內的空氣被排氣，旋轉基底構件20內成為負壓狀態的話，通過上板21的各排氣用孔27…(參考第1圖)，空氣從旋轉基底構件20的上方的空間被吸氣至旋轉基底構件20內。

又，在第1圖所示的排氣用孔27的個數、大小及配置係不被限定，以從旋轉基底構件20的上方的空間效率佳地將空氣吸氣的方式，個數、大小及配置係適宜地被設定。

上下滑動機構40係，如第1圖及第2圖所示般，被設置於旋轉基底構件20的左側的領域，具備被安裝於旋轉基底構件20的下板22的上面的上下滑動用固定軌41、對於上下滑動用固定軌41可自由滑動於上下方向地被安裝的橫滑動用可動軌42、以及被安裝於旋轉基底構件20的下板22的上面的上下滑動用驅動裝置43。

上下滑動用固定軌41係，如第2圖所示般，為延伸於上下方向的矩形剖面的導軌，經由固定框架41a而被安裝於下板22的上面。

固定框架41a係，為在下板22的上面、被立設於左側的領域的箱狀的四方體，縱長方向被配置於上下方向，通過被形成於旋轉基底構件20的上板21的開口部，突出至上板21的上方。

上下滑動用固定軌41係，被安裝於固定框架41a的右側壁部的內側面。又，在固定框架41a的右側壁部，如第1圖所示般，在成為上下滑動用固定軌41的前後兩側的位置，被延伸至上下方向的狹縫狀的滑動用開口溝41b、41b分別被形成。

在上下滑動用固定軌41的左側部，第一上下滑件41c被安裝。上下滑動用固定軌41及第一上下滑件41c係，第一上下滑件41c沿著上下滑動用固定軌41而滑動移動於上下方向的習知的線性導件。

橫滑動用可動軌42係，為延伸於前後方向的矩形剖面的導軌，經由上下滑動框架42a及第一上下滑件41c而被安裝於上下滑動用固定軌41。

上下滑動框架42a係，為箱狀的四方體，縱長方向被配置於前後方向。在上下滑動框架42a的左側面，連結框部42d被突設。連結框部42d係在平面看為以矩形被形成的框體，連結框部42d的前後側壁部係，分別被插通於在固定框架41a的右側壁部被形成的各滑動用開口溝41b、41b，連結框部42d的左側壁部被配置於固定框架41a內。

在連結框部42d的左側壁部的內側面，第一上下滑件41c的左外側面被安裝，在將第一上下滑件41c沿著上下滑動用固定軌41被移動於上下方向時，與第一上下滑件41c連動、上下滑動框架42a也移動於上下方向。

橫滑動用可動軌42係，被安裝於上下滑動框架42a的左側壁部的內側面。

又，在上下滑動框架42a的右側壁部的上端部方面，被延伸於前後方向的狹縫狀的橫滑動用開口溝42b被形成(參考第2圖)。

在橫滑動用可動軌42的右側部，第一橫滑件42c被安裝。橫滑動用可動軌42及第一橫滑件42c係，第一橫滑件42c沿著橫滑動用可動軌42而滑動移動於前後方向的習知的線性導件。

上下滑動用驅動裝置43係，如第2圖所示般，具備在固定框架41a內被安裝於旋轉基底構件20的下板22的上面的上下滑動用驅動馬達43a、以及被設置於固定框架41a內的上端部的上下滑動用從動滑輪43b。

上下滑動用驅動馬達43a係，為習知的電動馬達，在朝向後方突出的驅動軸的頂端部，周面被形成於前後方向的軸周圍的上下滑動用驅動滑輪43c被安裝。又，上下滑動用從動滑輪43b係，周面被形成於前後方向的軸周圍。

在上下滑動用驅動滑輪43c和上下滑動用從動滑輪43b，環狀的上下滑動用皮帶43d被掛上傳送。在此上下滑動用皮帶43d的右側面，上下滑動框架42a的連結框部42d的左側面被安裝。

又，將上下滑動用驅動馬達43a驅動，將上下滑動用皮帶43d左迴轉時，與上下滑動用皮帶43d的迴轉連動、上下滑動框架42a沿著上下滑動用固定軌41移動至上方(參考第6圖)。

又，將上下滑動用驅動馬達43a驅動，將上下滑動用皮帶43d右迴轉時，與上下滑動用皮帶43d的迴轉連動，上下滑動框架42a沿著上下滑動用固定軌41移動至下方。

如上述般，在上下滑動用驅動裝置43，藉由上下滑動用驅動馬達43a的驅動力，將上下滑動框架42a內的橫滑動用可動軌42沿著上下滑動用固定軌41而被移動於上下方向。

橫滑動機構50係，如第1圖及第2圖所示般，被設置於旋轉基底構件20的右側的領域，具備被設置於旋轉基底構件20的下板22的上面的橫滑動用固定軌51、對於橫滑動用固定軌51可自由滑動於橫方向地被安裝的上下滑動用可動軌52、以及被安裝於旋轉基底構件20的下板22的上面的橫滑動用驅動裝置53。

橫滑動用固定軌51係，如第1圖所示般，為延伸於前後方向的矩形剖面的導軌，在下板22的上面，被安裝於右側的領域。

如第3圖所示般，在橫滑動用固定軌51的上部，第二橫滑件51a被組裝。橫滑動用固定軌51及第二橫滑件51a係，第二橫滑件51a沿著橫滑動用固定軌51而滑動移動於前後方向的習知的線性導件。

上下滑動用可動軌52係，如第2圖所示般，為延伸於上下方向的矩形剖面的導軌，經由橫滑動框架52a及第二橫滑件51a，被安裝於橫滑動用固定軌51。

橫滑動框架52a係，為箱狀的四方體，縱長方向被配置於上下方向。橫滑動框架52a係，如第3圖所示般，被插通在被形成於旋轉基底構件20的上板21的橫滑動用開口溝21a，突出至上板21的上方。橫滑動用開口溝21a係，為被延伸於前後方向的狹縫狀的開口部，橫滑動框架52a係可在橫滑動用開口溝21a內移動於前後方向。

又，在橫滑動框架52a的下面，第二橫滑件51a的上面被安裝，在將第二橫滑件51a沿著橫滑動用固定軌51滑動移動於前後方向時，與第二橫滑件51a連動，橫滑動框架52a也移動於前後方向(參考第7圖)。

如第2圖所示般，上下滑動用可動軌52係，被安裝於橫滑動框架52a的左側壁部的內側面。

又，如第1圖所示般，在橫滑動框架52a的前側壁部，被延伸於上下方向的狹縫狀的上下滑動用開口溝52b被形成。

如第2圖所示般，在上下滑動用可動軌52的右側部，第二上下滑件52c被組裝。上下滑動用可動軌52及第二上下滑件52c係，第二上下滑件52c沿著上下滑動用可動軌52而滑動移動於上下方向的習知的線性導件。

橫滑動用驅動裝置53係，如第1圖所示般，具備在旋轉基底構件20的下板22的上面、被安裝於右側的領域的前部的橫滑動用驅動馬達53a、以及在旋轉基底構件20的下板22的上面、被安裝於右側的領域的後部的橫滑動用從動滑輪53b。

橫滑動用驅動馬達53a係，為習知的電動馬達，在朝向左方突出的驅動軸的頂端部，周面被形成於左右方向的軸周圍的橫滑動用驅動滑輪53c被安裝。又，橫滑動用從動滑輪53b係，周面被形成於左右方向的軸周圍。

在橫滑動驅動滑輪53c和橫滑動用從動滑輪53b，環狀的橫滑動用皮帶53d被掛上傳送。在此橫滑動用皮帶53d的下面，如第2圖所示般，從橫滑動框架52a的下端部突出的突出部53e的上面被安裝。

又，將橫滑動用驅動馬達53a驅動，將橫滑動用皮帶53d在第3圖中的逆時針轉被迴轉時，連動至橫滑動用皮帶53d的迴轉、橫滑動框架52a係沿著橫滑動用固定軌51而移動至前方(參考第7圖)。

又，將橫滑動用驅動馬達53a驅動，將橫滑動用皮帶53d在第7圖中的順時針轉被迴轉時，連動至橫滑動用皮帶53d的迴轉、橫滑動框架52a係沿著橫滑動用固定軌51而移動至後方。

如上述，在橫滑動用驅動裝置53，藉由橫滑動用驅動馬達53a的驅動力，將橫滑動框架52a內的上下滑動用可動軌52沿著橫滑動用固定軌51而被移動至前後方向。

柄構件30係，如第1圖所示般，具備被支持於上下滑動機構40及橫滑動機構50的支持部31、以及吸著保持圓形基板的保持部32。

支持部31係，為箱狀的四方體，縱長方向被配置於前後方向。又，支持部31係，被配置於旋轉基底構件20的中央部的上方。

上下滑動機構40被配設於支持部31的左側部，橫滑動機構50被配設於右側部。

如第2圖所示般，在支持部31的左側面的下端部，突出至左方的板狀的連結部31a被形成。連結部31a的頂端部係，被插通於上下滑動框架42a的滑動用開口溝42b，在上下滑動框架42a內被彎折至下方。又，連結部31a的頂端部係被安裝於上下滑動機構40的第一橫滑件42c的右側面。

如第1圖所示般，在支持部31的後面的右端部，板狀的連結件31b的基端部被安裝。此連結件31b的頂端部係被彎折至後方，被插通在橫滑動機構50的橫滑動框架52a的上下滑動用開口溝52b，被安裝在第二上下滑件52c的右側面。

如上述般，柄構件30的支持部31係，左側部經由上下滑動機構40的第一橫滑件42c而被支持在橫滑動用可動軌42，右側部經由橫滑動機構50的第二上下滑件52c而被支持在上下滑動用可動軌52。

保持部32係，為從支持部31的上端部突出至前方的水平的平板狀的部位，在平面看的形狀為長方形。

在保持部32的內部，抽真空用的配管(未圖示)被設置，藉由從被形成於保持部32的上面的頂端領域的多數的微細吸引孔抽真空，可將圓形基板W吸著保持於保持部32的頂端部。

在如上述般被構成的基板搬送裝置1中，如下述般動作而達到本發明的作用效果。

在此，說明有關如第1圖至第3圖所示般、柄構件30在旋轉基底構件20的中央部被配置於低的位置的狀態，以及如第5圖至第7圖所示般、將柄構件30移動至前方及上方的情形。

首先，在將第3圖所示的柄構件30從旋轉基底構件20的中央部被移動至前方的情形，將橫滑動機構50的橫滑動用驅動馬達53a驅動，如第7圖所示般，將橫滑動框架52a沿著橫滑動用固定軌51被移動至前方。藉此，被支持在橫滑動框架52a內的上下滑動用可動軌52的柄構件30係，沿著橫滑動用固定軌51移動至前方。又，如第5圖所示般，支持柄構件30的左側部的第一橫滑件42c係，沿著橫滑動用可動軌42移動至前方。

又，在將柄構件30移動至上方的情形，將上下滑動機構40的上下滑動用驅動馬達43a驅動，如第6圖所示般，將上下滑動框架42a沿著上下滑動用固定軌41被移動至上方。藉此，被支持在上下滑動框架42a內的橫滑動用可動軌42的柄構件30係，沿著上下滑動用固定軌41移動至上方。又，如第7圖所示般，支持柄構件30的右側部的第二上下滑件52c係，沿著上下滑動用可動軌52移動至上方。

又，驅動第2圖所示的旋轉用驅動馬達25，藉由將旋轉基底構件20對於固定基底構件10被橫迴轉，可將被設置於旋轉基底構件20的上方的柄構件30在橫方向被旋轉。

在本實施例的基板搬送裝置1中，如第2圖所示般，將柄構件30移動於上下方向及橫方向用的上下滑動機構40及橫滑動機構50係，分別被配設於柄構件30的左右兩側，由於柄構件30的下方的空間是空的，可將柄構件30下降至旋轉基底構件20的上面附近為止。因此，在自基板搬送裝置1的設置地面低的位置，將柄構件30移動而可搬送圓形基板W。

藉此，將基板搬送裝置1設置於桌上，藉由在此桌上配設區分裝置的收納容器或檢查裝置的檢查部，可將圓形基板W的搬送系統簡單地構築，可減低圓形基板的搬送系統的製造成本。

又，藉由柄構件30及各軌41、42、51、52，小型且輕量的手臂被構成，朝上下滑動機構40及橫滑動機構50的負荷變小。因此，在上下滑動機構40及橫滑動機構50方面，可利用低輸出且便宜的驅動馬達，且由於可大量利用板金加工零件等的低強度的零件，所以可減低基板搬送裝置1的製造成本。

又，藉由從旋轉基底構件20的上方空間通過被形成於旋轉基底構件20的上板21的複數個排氣用孔27…(參考第1圖)，將空氣吸氣至旋轉基底構件20內，在被保持在柄構件30的圓形基板W的下面側，可產生朝向下方的氣流。藉此，將在上下滑動機構40及橫滑動機構50的滑動部位發生的塵埃、通過各排氣用孔27…而進入旋轉基底構件20內，由於從旋轉基底構件20內通過排氣裝置13，可排出至集塵裝置等，所以可在無塵的環境下搬送圓形基板W。

又，在本實施例的上下滑動機構40及橫滑動機構50中，作為將各驅動馬達43a、53a的驅動力傳達至柄構件30的手段，利用皮帶機構，由於上下滑動機構40及橫滑動機構50的滑動部位少，可減低來自上下滑動機構40及橫滑動機構50的塵埃的發生，可保持無塵的環境。

以上，雖然已說明本發明的實施例，但本發明並不被限定於上述實施例，在不脫離其主旨的範圍下可適當地變更。

例如，在本實施例中，如第1圖及第2圖所示般，雖然藉由上下移動機構40及橫滑動機構50將一體的柄構件30移動，但將橫滑動機構50追加設置於旋轉基底構件20，藉由以兩個個體的橫滑動機構50、50、將兩個個體的柄構件30、30移動於橫方向，可簡單地構成雙柄的基板搬送裝置。

又，雖然在本實施例的上下滑動機構40及橫滑動機構50中，作為將各驅動馬達43a、53a的驅動力傳達至柄構件30的手段，利用皮帶機構，但利用使用球螺絲或平齒輪的齒輪機構也可，其傳動手段係不被限定。

1．．．基板搬送裝置

10．．．固定基底構件

12．．．旋轉用固定滑輪

13．．．排氣裝置

20．．．旋轉基底構件

25．．．旋轉用驅動馬達

25b．．．旋轉用驅動滑輪

26．．．旋轉用皮帶

27．．．排氣用孔

30．．．柄構件

31．．．支持部

32．．．保持部

40．．．上下滑動機構

41．．．上下滑動用固定軌

41a．．．固定框架

41c．．．第一上下滑件

42．．．橫滑動用可動軌

42a．．．上下滑動框架

42c．．．第一橫滑件

43．．．上下滑動用驅動裝置

43a．．．上下滑動用驅動馬達

43b．．．上下滑動用從動滑輪

43c．．．上下滑動用驅動滑輪

43d．．．上下滑動用皮帶

50．．．橫滑動機構

51．．．橫滑動用固定軌

51a．．．第二橫滑件

52．．．上下滑動用可動軌

52a．．．橫滑動框架

52c．．．第二上下滑件

53．．．橫滑動用驅動裝置

53a．．．橫滑動用驅動馬達

53b．．．橫滑動用從動滑輪

53c．．．橫滑動用驅動滑輪

53d．．．橫滑動用皮帶

第1圖係為表示本實施例的基板搬送裝置的全體構成的平面圖；

第2圖係為表示本實施例的基板搬送裝置的全體構成的正面剖面圖；

第3圖係為表示本實施例的基板搬送裝置的全體構成的側剖面圖；

第4圖係為表示在本實施例的基板搬送裝置中的旋轉機構的平面圖；

第5圖係為在表示本實施例的基板搬送裝置的圖式中，將柄構件移動至前方的狀態的平面圖；

第6圖係為在表示本實施例的基板搬送裝置的圖式中，將柄構件移動至上方的狀態的正面剖面圖；以及

第7圖係為在表示本實施例的基板搬送裝置的圖式中，將柄構件移動至前方及上方的狀態的側剖面圖。

1．．．基板搬送裝置

10．．．固定基底構件

11．．．吸氣用孔

12．．．旋轉用固定滑輪

13．．．排氣裝置

20．．．旋轉基底構件

21．．．上板

21a．．．橫滑動用開口溝

22．．．下板

22a．．．連通孔

22b．．．旋轉軸

22c．．．馬達用貫通孔

23．．．周壁部

24．．．軸承