WO2021171903A1

WO2021171903A1 - ガラスフィルムの製造方法

Info

Publication number: WO2021171903A1
Application number: PCT/JP2021/003286
Authority: WO
Inventors: 陸山城; 森　弘樹; 洋平桐畑
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2020-02-25
Filing date: 2021-01-29
Publication date: 2021-09-02
Also published as: JP2021134099A; TW202134194A; CN114901603A; KR20220146415A; JP7450851B2

Abstract

ガラスフィルムの製造方法は、ガラスフィルムＧ１の搬送方向を方向転換装置３によって縦方向ＧＹから横方向ＧＸに転換する方向転換工程を含む。方向転換工程は、裏面Ｇ１Ｓｂが凸状となるようにガラスフィルムＧ１を変形させる変形工程を含む。

Description

ガラスフィルムの製造方法

　本発明は、ガラスフィルムを製造する方法に関する。

　周知のように、液晶ディスプレイ及び有機ＥＬディスプレイ等のパネルディスプレイに用いられる板ガラスにおいては、軽量化への要請の高まりに伴って薄板化が推進されており、その厚みが３００μｍ以下、あるいは２００μｍ以下にまで薄板化されたガラスフィルムが開発、製造されるに至っている。

　このようなガラスフィルムは、例えばオーバーフローダウンドロー法に代表されるように、帯状のガラスフィルムを成形する成形工程と、成形したガラスフィルムを縦方向に搬送しながらアニール処理を施すアニール工程と、ガラスフィルムの搬送方向を縦方向から横方向に転換する方向転換工程と、方向転換したガラスフィルムを横方向に搬送する横搬送工程とを備える製造方法によって製造することができる。

　しかしながら、上述のような製造方法を採用した場合、ガラスフィルムは、その薄さ故に、種々の外的要因により、縦方向の搬送中に、表面と裏面の何れか一方の側が凸、他方の側が凹となる湾曲変形を生じ、さらにはその湾曲変形の向き（凹凸の向き）が短い周期で入れ替わることがある。

　このように縦方向搬送中のガラスフィルムの姿勢が不安定であると、方向転換工程に導入される際のガラスフィルムの姿勢も一定でなく、この際の姿勢に起因して、ガラスフィルムに応力集中が生じ、当該ガラスフィルムの破損を招き得る。この種の破損は製造ラインの長期停止を招き、また製造ラインの稼働再開までに多くの時間が必要となるため、ガラスフィルムの生産性を悪化させる要因となる。

　そこで、本出願人は、上記問題の解決策として、特許文献１に記載の製造方法を提案している。この製造方法では、横搬送工程において、横搬送部によりガラスフィルムの幅方向両端部に横方向の搬送を推進する第一推進力を付与し、幅方向中央部に第二推進力を付与する。第一推進力を第二推進力よりも大きくすることで、縦方向に搬送されているガラスフィルムの一部において、裏面側が凸状となり、表面側が凹状となる好ましい変形を生じさせることができる。

特開２０１９－１０４６４２号公報

　しかしながら、上記の製造方法では、方向転換工程後の横搬送工程においてガラスフィルムに所定の各推進力を付与している。すなわち、ガラスフィルムが変形する部位から離れた位置で当該ガラスフィルムに力を加えていることから、ガラスフィルムの成形条件や搬送条件によっては、必ずしもその効果が十分であるとは言えない場合があった。

　ガラスフィルムの変形を好適に制御するには、当該変形が生じる部位に近い位置でガラスフィルムに力を付与することが望ましい。

　そこで、本発明は、製造過程における好ましくない向きのガラスフィルムの湾曲変形を方向転換工程において防止することを技術的課題とする。

　本発明は上記の課題を解決するためのものであり、成形装置によって帯状のガラスフィルムを成形する成形工程と、前記ガラスフィルムを搬送する搬送工程と、を備えるガラスフィルムの製造方法において、前記搬送工程は、前記ガラスフィルムを縦搬送装置によって縦方向に搬送する縦搬送工程と、前記ガラスフィルムの搬送方向を方向転換装置によって前記縦方向から横方向に転換する方向転換工程と、前記ガラスフィルムを横搬送装置によって前記横方向に搬送する横搬送工程と、を含み、前記ガラスフィルムは、前記横搬送工程において上面となる表面と、前記表面の反対側に位置する裏面とを含み、前記方向転換工程は、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる変形工程を含むことを特徴とする。

　かかる構成によれば、裏面が凸状となるようにガラスフィルムを変形させる変形工程を方向転換工程に備えることで、当該ガラスフィルムの変形を確実に制御できる。これにより、方向転換工程におけるガラスフィルムの好ましくない湾曲変形を防止することが可能になる。

　本方法において、前記方向転換装置は、気流を利用することにより前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる変形装置を備えてもよい。

　本方法において、前記変形装置は、気体を噴射する吹付部を備え、前記吹付部から噴射された前記気体によって生じる前記気流を前記ガラスフィルムの前記表面に当てることにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させてもよい。

　また、前記方向転換装置は、前記縦搬送装置の下方に配置されるとともに前記ガラスフィルムの前記表面に接触する規制ローラと、前記ローラの下方位置に配置されるとともに前記裏面を支持するローラコンベアとを備え、前記吹付部は、前記規制ローラと前記ローラコンベアとの間に配置されてもよい。

　かかる構成によれば、規制ローラによってガラスフィルムの位置を規制した状態で、吹付部の気流によってガラスフィルムを変形させることで、当該ガラスフィルムの変形を確実に、かつ精度良く制御することができる。

　前記変形装置は、前記気流を調整する気流調整部を備えてもよい。気流調整部によって気流発生部からの気流を調整することで、ガラスフィルムの寸法や搬送条件に応じて、当該ガラスフィルムを適切に変形させることができる。

　前記吹付部は、前記ガラスフィルムの前記表面における幅方向中央部に前記気流を当ててもよい。

　前記変形装置は、気体を噴射する吹付部を備え、前記吹付部から噴射された前記気体によって生じる前記気流を前記ガラスフィルムの前記裏面に当てることにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させてもよい。

　この場合において、前記吹付部は、前記ガラスフィルムの前記裏面における幅方向端部に前記気流を当ててもよい。

　本方法において、前記変形装置は、気体を吸引する吸引部を備え、前記吸引部は、前記ガラスフィルムの前記裏面側の空気を吸引することにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させてもよい。

　この場合において、前記吸引部は、前記ガラスフィルムの前記裏面における幅方向中央部側の空気を吸引してもよい。

　本方法において、前記横搬送工程は、前記横搬送装置によって、前記ガラスフィルムの幅方向両端部に前記横方向の搬送を推進する第一推進力を付与するとともに、前記ガラスフィルムの幅方向中央部に前記横方向の搬送を推進する第二推進力を付与する工程を含み、前記第一推進力は、前記第二推進力よりも大きくされてもよい。

　本発明によれば、製造過程における好ましくない向きのガラスフィルムの湾曲変形を方向転換工程において防止することができる。

第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。図１のＩＩ－ＩＩ矢視線における断面図である。方向転換装置の背面図である。図３のＩＶ－ＩＶ矢視線における断面図である。横搬送装置に係る第一搬送装置の斜視図である。第二実施形態に係る方向転換装置の背面図である。第三実施形態に係る方向転換装置の背面図である。図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ矢視線における側面図である。第四実施形態に係る方向転換装置の背面図である。図９のＸ－Ｘ矢視線における断面図である。

　以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図５は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第一実施形態を示す。

　図１及び図２は、本方法に使用されるガラスフィルム（ガラスロール）の製造装置の全体構成を示す。製造装置１は、溶融ガラスから帯状の母材ガラスフィルム（ガラスリボン）Ｇ１を成形する成形装置２と、母材ガラスフィルムＧ１の進行方向を転換する方向転換装置３と、母材ガラスフィルムＧ１を横方向ＧＸに沿って搬送する横搬送装置４と、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向端部Ｇａ，Ｇｂの不要部分を除去し、幅方向中央部Ｇｃを製品ガラスフィルムＧ２として巻き取ってガラスロールＧＲを形成する巻取装置５と、を備える。

　本明細書において、「横方向」とは、水平方向と、水平方向に対して一定の角度をなす方向とを含む概念である。「縦方向」とは、鉛直方向と、鉛直方向に対して一定の角度をなす方向とを含む概念である。母材ガラスフィルムＧ１の「幅方向端部」（Ｇａ，Ｇｂ）とは、当該母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端位置から当該母材ガラスフィルムＧ１の全幅方向寸法の５％以上でかつ１０％以下までの領域をいうものとする。母材ガラスフィルムＧ１の「幅方向中央部」（Ｇｃ）とは、当該母材ガラスフィルムＧ１の幅方向端部を除いた領域をいうものとする。

　製品ガラスフィルムＧ２の厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１００μｍ以下とされる。製品ガラスフィルムＧ２は、横搬送装置４での搬送中に、上面となる第一主面Ｇ２Ｓａと、第一主面Ｇ２Ｓａの反対側に位置する第二主面Ｇ２Ｓｂとを有する。以下、母材ガラスフィルムＧ１において、製品ガラスフィルムＧ２の第一主面Ｇ２Ｓａに対応する面（横搬送装置４での搬送中に上面となり得る面）を表面Ｇ１Ｓａといい、製品ガラスフィルムＧ２の第二主面Ｇ２Ｓｂに対応する面（表面Ｇ１Ｓａの反対側に位置し、横搬送装置４での搬送中に下面となり得る面）を裏面Ｇ１Ｓｂという。第一主面Ｇ２Ｓａに高品質な成膜等が施される場合、第一主面Ｇ２Ｓａは品質保証面となる。なお、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端には、他の部分よりも厚み寸法の大きい耳部Ｇｄが形成されている。

　図１に示すように、成形装置２は、上端部にオーバーフロー溝６ａが形成された断面視略楔形の成形体６と、成形体６の直下に配置されて、成形体６から溢出した溶融ガラスを表裏両側から挟むエッジローラ７と、エッジローラ７の直下に配備されるアニーラ８と、を備える。

　成形装置２は、成形体６のオーバーフロー溝６ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスを成形する。エッジローラ７は、溶融ガラスの幅方向収縮を規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧ１とする。

　アニーラ８は、母材ガラスフィルムＧ１に対してアニール処理（除歪処理）を施すためのものである。このアニーラ８は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ８ａを有する。各アニーラローラ８ａは、母材ガラスフィルムＧ１を表裏両側から挟持するローラ対により構成される。アニーラローラ８ａは、成形装置２によって成形された母材ガラスフィルムＧ１をアニーラ８内において縦方向ＧＹに沿って搬送する縦搬送装置として機能する。

　アニーラ８の下方には、母材ガラスフィルムＧ１を表裏両側から挟持する支持ローラ９が配設されている。支持ローラ９とエッジローラ７との間、または支持ローラ９と何れか一箇所のアニーラローラ８ａとの間には、母材ガラスフィルムＧ１を薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。

　方向転換装置３は、母材ガラスフィルムＧ１の進行方向を縦方向ＧＹから横方向ＧＸへと転換する。方向転換装置３は、アニーラ８及び支持ローラ９の下方位置に設けられている。

　図３及び図４に示すように、方向転換装置３は、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに当接する規制ローラ１０ａ，１０ｂと、母材ガラスフィルムＧ１を変形させる変形装置１１と、規制ローラ１０ａ，１０ｂ及び変形装置１１の下方に設けられるローラコンベア１２と、を備える。

　規制ローラ１０ａ，１０ｂは、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａ側から当該母材ガラスフィルムＧ１の端部Ｇａ，Ｇｂに接触する。規制ローラ１０ａ，１０ｂは、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向の一端部Ｇａに接触する第一規制ローラ１０ａと、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向の他端部Ｇｂに接触する第二規制ローラ１０ｂとを含む。

　変形装置１１は、縦方向ＧＹにおいて、規制ローラ１０ａ，１０ｂとローラコンベア１２との間に配置される。変形装置１１は、母材ガラスフィルムＧ１に対して気流Ａを発生させる気流発生部１３と、気流発生部１３からの気流Ａを調整する気流調整部１４とを備える。

　気流発生部１３は、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに対向するように配置されている。気流発生部１３は、気体を母材ガラスフィルムＧ１に噴射する吹付部１５を備える。吹付部１５は、管状に構成されており、内部に気体を流通させることができる。吹付部１５は、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに向かって気体を噴射する複数の噴射口１６を有する。

　図３に示すように、噴射口１６は、吹付部１５の中途部に形成される円形の孔として構成されるが、噴射口１６の形状は本実施形態に限定されるものではない。図４に示すように、噴射口１６は、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに対して気流Ａ（実線で示す）が直角に当たるように気体を噴射する。これに限らず、噴射口１６は、図４において二点鎖線で示すように、気流Ａが斜め下方を向くように、気体を噴射してもよい。

　気流調整部１４は、複数（例えば二枚）の遮蔽部材１７ａ，１７ｂと、遮蔽部材１７ａ，１７ｂを移動させる移動機構（図示省略）と、を備える。遮蔽部材１７ａ，１７ｂは、長尺状の板部材により構成されるが、この形状に限定されるものではない。遮蔽部材１７ａ，１７ｂは、気流発生部１３と母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａとの間に配置される。

　二枚の遮蔽部材１７ａ，１７ｂは、気流発生部１３に係る吹付部１５の長手方向に沿うように配置されている。移動機構は、各遮蔽部材１７ａ，１７ｂを吹付部１５の長手方向（母材ガラスフィルムＧ１の幅方向）に沿って移動させるように構成されている。

　図３に示すように、気流調整部１４の遮蔽部材１７ａ，１７ｂは、気流発生部１３の一部の噴射口１６を遮蔽し、残りの噴射口１６を母材ガラスフィルムＧ１に対して遮蔽することなく露出させている。遮蔽部材１７ａ，１７ｂは、移動機構によってその位置を変更することで、遮蔽する噴射口１６の数を変更する。これにより、気流調整部１４は、気流発生部１３から母材ガラスフィルムＧ１に向かう気流Ａの強さ及び範囲を調整する。

　ローラコンベア１２は、母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂを支持する複数のガイドローラ１２ａを有する。各ガイドローラ１２ａは、母材ガラスフィルムＧ１が略円弧状の軌跡を描いて搬送されるように、所定の位置に配置されている。

　横搬送装置４は、母材ガラスフィルムＧ１の進行方向において、方向転換装置３の下流側に配置されている。横搬送装置４は、第一搬送装置１８と、第二搬送装置１９と、第三搬送装置２０とを有する。第一搬送装置１８は、方向転換装置３の下流側に配置されている。第二搬送装置１９は、第一搬送装置１８の下流側に配置されている。第三搬送装置２０は、第二搬送装置１９の下流側に配置されている。

　第一搬送装置１８は、例えば浮上式のベルトコンベアにより構成される。図５に示すように、第一搬送装置１８は、無端状のコンベアベルト２１と、コンベアベルト２１を駆動させる駆動ローラ２２とを有する。

　コンベアベルト２１には、多数の孔部２３が形成されている。コンベアベルト２１は、その内周に配設された気体供給装置（図示は省略）からの気体Ｖを孔部２３から噴射させる。孔部２３から噴射させた気体Ｖによって、母材ガラスフィルムＧ１の一部を浮上させることができる。

　コンベアベルト２１の外表面の幅方向両側には、テープ２４が無端状に貼り付けられている。これにより、第一搬送装置１８上に導入された母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂは、これらテープ２４と接することとなる。コンベアベルト２１に設けられた複数の孔部２３のうち、コンベアベルト２１の幅方向両側に設けられた孔部２３は、テープ２４により塞がれている。したがって、テープ２４と接する母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂには気体Ｖの噴射供給による浮力は作用しない。

　第二搬送装置１９は、例えばベルトコンベアにより構成される。第二搬送装置１９は、無端状のコンベアベルト２５と、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向端部Ｇａ，Ｇｂを非製品部Ｇｅとして切断する切断装置２６とを備える。

　コンベアベルト２５は、母材ガラスフィルムＧ１を当該コンベアベルト２５の中途部へと搬送し、この中途部において、母材ガラスフィルムＧ１を切断することにより形成される製品ガラスフィルムＧ２及び非製品部Ｇｅを下流側へと搬送する。

　切断装置２６は、例えばレーザ割断により母材ガラスフィルムＧ１を切断するが、この切断態様に限定されない。切断装置２６は、一対のレーザ照射装置２６ａと、当該レーザ照射装置２６ａの下流側に配置される一対の冷却装置２６ｂとを含む。切断装置２６は、搬送される母材ガラスフィルムＧ１の所定部位に各レーザ照射装置２６ａからレーザ光を照射して加熱した後、冷却装置２６ｂから冷媒を放出して当該加熱部位を冷却する。

　第三搬送装置２０は、例えば吸着コンベアにより構成される。第三搬送装置２０は、製品ガラスフィルムＧ２を固定保持した状態で、下流側に搬送する。

　第三搬送装置２０は、製品ガラスフィルムＧ２を吸着可能なコンベアベルト２７を有する。コンベアベルト２７には、当該コンベアベルト２７を厚み方向に貫通した多数の吸着用孔（図示省略）が形成されている。また、コンベアベルト２７の内周側には、真空ポンプ等と接続された負圧発生装置（図示省略）が配置されている。負圧発生装置は、吸着用孔を介して製品ガラスフィルムＧ２を吸着するための負圧を発生させる。

　これにより、コンベアベルト２７の表面は、製品ガラスフィルムＧ２の第二主面Ｇ２Ｓｂを吸着により固定保持する。コンベアベルト２７に吸着された状態の製品ガラスフィルムＧ２は、当該コンベアベルト２７の送り速度と同一の搬送速度の下で、搬送経路の下流側に搬送される。

　製品ガラスフィルムＧ２は、第三搬送装置２０の固定保持によって、第二搬送装置１９と第三搬送装置２０との間の領域では弛んだ状態で搬送され、第三搬送装置２０と巻取装置５との間ではその長手方向に張力が付与された状態で搬送される。

　巻取装置５は、第三搬送装置２０の下流側に設置されている。巻取装置５は、巻取ローラ２８と、この巻取ローラ２８を回転駆動するモータ（図示省略）と、巻取ローラ２８に保護シートＰＳを供給する保護シート供給部２９とを有する。巻取装置５は、保護シート供給部２９から保護シートＰＳを製品ガラスフィルムＧ２に重ね合わせつつ、モータにより巻取ローラ２８を回転させることで、製品ガラスフィルムＧ２をロール状に巻き取る。巻き取られた製品ガラスフィルムＧ２は、ガラスロールＧＲとして構成される。

　以下、上記構成の製造装置１を使用してガラスフィルムＧ１，Ｇ２（ガラスロールＧＲ）を製造する方法について説明する。本方法は、母材ガラスフィルムＧ１を成形する成形工程と、各ガラスフィルムＧ１，Ｇ２を搬送する搬送工程と、製品ガラスフィルムＧ２をロール状に巻き取る巻取工程と、を備える。

　成形工程では、成形装置２における成形体６のオーバーフロー溝６ａの上方から溢流した溶融ガラスを両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させて当該溶融ガラスをフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスの幅方向収縮をエッジローラ７により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧ１とする。その後、母材ガラスフィルムＧ１に対してアニーラ８によりアニール処理を施す（アニール工程）。母材ガラスフィルムＧ１は、支持ローラ９によって付与される張力の作用により、所定の厚みに形成される。

　搬送工程は、母材ガラスフィルムＧ１を縦方向ＧＹに沿って搬送する縦搬送工程と、母材ガラスフィルムＧ１の搬送方向を縦方向ＧＹから横方向ＧＸに転換する方向転換工程と、母材ガラスフィルムＧ１を横方向ＧＸに沿って搬送する横搬送工程と、を含む。

　縦搬送工程では、母材ガラスフィルムＧ１にアニール処理を施しながら、縦搬送装置としてのアニーラローラ８ａによって当該母材ガラスフィルムＧ１を縦方向ＧＹ（下方）に沿って搬送する。

　方向転換工程では、アニーラ８から搬送された母材ガラスフィルムＧ１の搬送方向を方向転換装置３によって縦方向ＧＹから横方向ＧＸに転換する。方向転換工程は、方向転換直前に母材ガラスフィルムＧ１の一部を変形させる変形工程を備える。

　変形工程において、各規制ローラ１０ａ，１０ｂは、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａにおける幅方向端部Ｇａ，Ｇｂに接触する。これにより、母材ガラスフィルムＧ１の位置が規制される。また、変形工程では、変形装置１１の気流発生部１３（吹付部１５）から気体が噴射されることで、当該変形装置１１から母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに向かう気流Ａが発生する。この気流Ａは、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａにおける幅方向中央部Ｇｃに当たる。母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃがこの気流Ａに押されることで、図４において二点鎖線で示すように、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃにおいて、その表面Ｇ１Ｓａが凹状に変形する。この変形に伴い、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃにおける裏面Ｇ１Ｓｂは凸状に変形する。

　その後、母材ガラスフィルムＧ１は、変形装置１１を通過し、ローラコンベア１２に到達する。母材ガラスフィルムＧ１は、ローラコンベア１２の各ガイドローラ１２ａによって裏面Ｇ１Ｓｂが支持された状態で案内されることで、縦方向ＧＹから横方向ＧＸへと進行方向を変える。

　横搬送工程では、方向転換装置３を通過した母材ガラスフィルムＧ１を第一搬送装置１８及び第二搬送装置１９によって搬送し、製品ガラスフィルムＧ２を第二搬送装置１９及び第三搬送装置２０によって搬送する。

　図５に示すように、第一搬送装置１８は、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂに対し、横方向ＧＸの搬送を推進する第一推進力Ｆ１を付与する。また、第一搬送装置１８は、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃに対して第二推進力Ｆ２を付与する。

　第一搬送装置１８上に母材ガラスフィルムＧ１が導入されると、気体Ｖが孔部２３を介してコンベアベルト２１上の母材ガラスフィルムＧ１に噴射供給される。これにより、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃは、コンベアベルト２１から浮上した状態となる。この場合において、耳部Ｇｄを含む母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂは浮上することなく、第一搬送装置１８のテープ２４に接触した状態で支持される。第一搬送装置１８のコンベアベルト２１が駆動されることで、母材ガラスフィルムＧ１は第二搬送装置１９に向かって搬送される。

　横搬送工程では、母材ガラスフィルムＧ１を全体としては湾曲のない平坦な姿勢で横方向に搬送しつつ、第一搬送装置１８により母材ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂに相応な大きさを有する横向きの搬送推進力（第一推進力Ｆ１）を付与しながら、母材ガラスフィルムＧ１を横方向ＧＸに沿って搬送できる。また、第一搬送装置１８により母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃに付与される第二推進力Ｆ２は実質的に零となるので、この第二推進力Ｆ２よりも第一推進力Ｆ１を確実に大きくすることができる。

　このように、第二推進力Ｆ２と第一推進力Ｆ１との差を広げることで、縦方向ＧＹに搬送されている上流側の母材ガラスフィルムＧ１の部分に対して、表面Ｇ１Ｓａが凹状となり、裏面Ｇ１Ｓｂが凸となる湾曲変形を積極的に発生させることができる。すなわち、第一搬送装置１８は、変形装置１１による母材ガラスフィルムＧ１の好適な変形を助長するように、補助的に機能する。

　横搬送工程は、母材ガラスフィルムＧ１を製品ガラスフィルムＧ２と非製品部Ｇｅとに分断する切断工程と、非製品部Ｇｅを廃棄する廃棄工程とを備える。

　切断工程では、第一搬送装置１８から搬送された母材ガラスフィルムＧ１を第二搬送装置１９のコンベアベルト２５によって下流側に搬送する。この搬送の途中において、切断装置２６は、レーザ照射装置２６ａからレーザ光を母材ガラスフィルムＧ１の一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置２６ｂによって冷媒を吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧ１には、予め初期クラックが形成されており、切断装置２６は、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧ１から製品ガラスフィルムＧ２と、非製品部Ｇｅとが形成される。

　廃棄工程において、非製品部Ｇｅは、第二搬送装置１９によって下流側に搬送される。その後、非製品部Ｇｅは、製品ガラスフィルムＧ２の搬送経路から下方に離脱し、廃棄に適した長さに切断される。

　巻取工程では、保護シート供給部２９から保護シートＰＳを製品ガラスフィルムＧ２に供給しつつ、第三搬送装置２０によって搬送された製品ガラスフィルムＧ２を巻取装置５の巻取ローラ２８にてロール状に巻き取る。所定長さの製品ガラスフィルムＧ２を巻取ローラ２８により巻き取ることで、ガラスロールＧＲが完成する。

　以上説明した本実施形態に係るガラスフィルムの製造方法によれば、方向転換工程において、変形装置１１の気流Ａを母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに当てることで、裏面Ｇ１Ｓｂ側が凸状となるように当該母材ガラスフィルムＧ１を変形させることができる。これにより、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａが凸状となる好ましくない変形の発生を防止できる。

　図６は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第二実施形態を示す。本実施形態に係る変形装置１１の気流発生部１３は、二つの吹付部（第一吹付部１５ａ及び第二吹付部１５ｂ）を備える。

　各吹付部１５ａ，１５ｂは、第一実施形態における気流調整部１４を介することなく、母材ガラスフィルムＧ１の表面Ｇ１Ｓａに対して気体を吹き付けることができる。本実施形態では、気流Ａを調整することなく、母材ガラスフィルムＧ１を変形させるために適切な位置（幅方向中央部Ｇｃ）に直接気流Ａを当てることで、母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂを凸状に変形させることができる。各吹付部１５ａ，１５ｂは、移動機構により、その位置を変更するように構成されてもよい。

　図７及び図８は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第三実施形態を示す。本実施形態に係る変形装置１１の気流発生部１３は、母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂに対向するように配置される。

　気流発生部１３は、二つの吹付部（第一吹付部１５ａ及び第二吹付部１５ｂ）を備える。第一吹付部１５ａは、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向の一端部Ｇａに対向するように配置されている。第二吹付部１５ｂは、母材ガラスフィルムＧ１の幅方向の他端部Ｇｂに対向するように配置されている。

　本実施形態では、方向転換工程において、第一吹付部１５ａによる気流Ａを母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂ側から当該母材ガラスフィルムＧ１の一端部Ｇａに当てる。さらに、第二吹付部１５ｂによる気流Ａを母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂ側から当該母材ガラスフィルムＧ１の他端部Ｇｂに当てる。

　母材ガラスフィルムＧ１の各端部Ｇａ，Ｇｂは、気流Ａに押されることで、図８において二点鎖線で示すように、変形装置１１から離れるように変形する。母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃは、気流Ａに押されていないため、殆ど変形しない。このような母材ガラスフィルムＧ１の端部Ｇａ，Ｇｂの変形により、母材ガラスフィルムＧ１は、裏面Ｇ１Ｓｂが凸状となり、表面Ｇ１Ｓａが凹状となるように変形する。

　図９及び図１０は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第四実施形態を示す。本実施形態に係る変形装置１１の気流発生部１３は、母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂに対向するように配置される。気流発生部１３は、気体を吸引する吸引部３０を備える。吸引部３０は、周囲の空気を吸い込む吸込口３１を備える。

　図１０に示すように、方向転換工程において、気流発生部１３は、吸引部３０によって母材ガラスフィルムＧ１の裏面Ｇ１Ｓｂ側であって当該母材ガラスフィルムＧ１における幅方向中央部Ｇｃ側の周囲の空気を吸引する。これにより、母材ガラスフィルムＧ１から吸引部３０に向かう気流Ａが発生する。

　母材ガラスフィルムＧ１の幅方向中央部Ｇｃは、この気流Ａによって吸引部３０側に引き寄せられる。これにより、母材ガラスフィルムＧ１は、図１０において二点鎖線で示すように、裏面Ｇ１Ｓｂが凸状となり、表面Ｇ１Ｓａが凹状となるように変形する。

　なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記の実施形態では、第一搬送装置１８によって母材ガラスフィルムＧ１を変形させることが可能な推進力Ｆ１，Ｆ２を付与する工程を例示したが、本発明はこの構成に限定されない。第一搬送装置１８は、浮上式のコンベア以外の搬送装置によって構成されてもよい。第一搬送装置１８として、単一の推進力を付与するような通常のベルトコンベアを使用しても良い。

　上記の実施形態では、巻取ローラ２８で製品ガラスフィルムＧ２を巻き取ることで、ガラスロールＧＲを作製する形態で説明を行ったが、この形態には限定されない。例えば、巻取ローラ２８の代わりに、図示しない幅方向切断装置を設けることで、枚葉式ガラスフィルムを製造する形態でもよい。

　上記の実施形態を適宜組み合わせても良い。例えば、第一実施形態と第三実施形態とを組み合わせても良い。第二実施形態と第三実施形態とを組み合わせても良い。第三実施形態と第四実施形態とを組み合わせても良い。第一実施形態と第三実施形態と第四実施形態とを組み合わせても良い。第二実施形態と第三実施形態と第四実施形態とを組み合わせても良い。

　２　　　　　　成形装置
　３　　　　　　方向転換装置
　４　　　　　　横搬送装置
　８ａ　　　　　アニーラローラ（縦搬送装置）
１０ａ　　　　　第一規制ローラ
１０ｂ　　　　　第二規制ローラ
１１　　　　　　変形装置
１２　　　　　　ローラコンベア
１４　　　　　　気流調整部
１５　　　　　　吹付部
３０　　　　　　吸引部
　Ａ　　　　　　気流
　Ｆ１　　　　　第一推進力
　Ｆ２　　　　　第二推進力
　Ｇ１　　　　　母材ガラスフィルム
　Ｇ１Ｓａ　　　母材ガラスフィルムの表面
　Ｇ１Ｓｂ　　　母材ガラスフィルムの裏面
　Ｇａ　　　　　母材ガラスフィルムの幅方向端部
　Ｇｂ　　　　　母材ガラスフィルムの幅方向端部
　Ｇｃ　　　　　母材ガラスフィルムの幅方向中央部
　ＧＸ　　　　　横方向
　ＧＹ　　　　　縦方向

Claims

　成形装置によって帯状のガラスフィルムを成形する成形工程と、前記ガラスフィルムを搬送する搬送工程と、を備えるガラスフィルムの製造方法において、
　前記搬送工程は、前記ガラスフィルムを縦搬送装置によって縦方向に搬送する縦搬送工程と、前記ガラスフィルムの搬送方向を方向転換装置によって前記縦方向から横方向に転換する方向転換工程と、前記ガラスフィルムを横搬送装置によって前記横方向に搬送する横搬送工程と、を含み、
　前記ガラスフィルムは、前記横搬送工程において上面となる表面と、前記表面の反対側に位置する裏面とを含み、
　前記方向転換工程は、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる変形工程を含むことを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
　前記方向転換装置は、気流を利用することにより前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる変形装置を備える請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記変形装置は、気体を噴射する吹付部を備え、
　前記吹付部から噴射された前記気体によって生じる前記気流を前記ガラスフィルムの前記表面に当てることにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記方向転換装置は、前記縦搬送装置の下方に配置されるとともに前記ガラスフィルムの前記表面に接触する規制ローラと、前記規制ローラの下方位置に配置されるとともに前記裏面を支持するローラコンベアとを備え、
　前記吹付部は、前記規制ローラと前記ローラコンベアとの間に配置される請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記変形装置は、前記気流を調整する気流調整部を備える請求項３又は４に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記吹付部は、前記ガラスフィルムの前記表面における幅方向中央部に前記気流を当てる請求項３から５のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記変形装置は、気体を噴射する吹付部を備え、
　前記吹付部から噴射された前記気体によって生じる前記気流を前記ガラスフィルムの前記裏面に当てることにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記吹付部は、前記ガラスフィルムの前記裏面における幅方向端部に前記気流を当てる請求項７に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記変形装置は、気体を吸引する吸引部を備え、
　前記吸引部は、前記ガラスフィルムの前記裏面側の空気を吸引することにより、前記裏面が凸状となるように前記ガラスフィルムを変形させる請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記吸引部は、前記ガラスフィルムの前記裏面における幅方向中央部側の空気を吸引する請求項９に記載のガラスフィルムの製造方法。
　前記横搬送工程は、前記横搬送装置によって、前記ガラスフィルムの幅方向両端部に前記横方向の搬送を推進する第一推進力を付与するとともに、前記ガラスフィルムの幅方向中央部に前記横方向の搬送を推進する第二推進力を付与する工程を含み、
　前記第一推進力は、前記第二推進力よりも大きい請求項１から１０のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。