CN1220256C - 基板缺陷检知装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种缺陷检知装置，适用于一基板，包括：一本体、一限制部以及一检知机构。其中，限制部设置在该本体上，通过限制部与基板抵接，使基板位于一基板检测位置。又，检知机构设置于本体内，当基板到达前述基板检测位置时，检知机构位于基板的角落处，此时通过检知机构可检知该基板角落的缺陷。

Description

基板缺陷检知装置

技术领域

本发明涉及一种缺陷检知装置，特别是涉及一种适用于一基板，且当基板到达一基板检测位置时，可通过位于上述基板角落处的检知机构，检知基板角落缺陷的缺陷检知装置。

背景技术

在现有半导体或者薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film TransistorLiquid Crystal Display，TFT-LCD)的制作工艺中，为了避免基板的污染同时确保制作工艺中的洁净度，进而提高最终产品的合格率，玻璃基板清洗程序便成为一极为重要的步骤。

其中，针对一种湿式基板清洗的程序，首先通过清洗溶液洗去玻璃基板表面的杂质，然后经过一机械手臂把基板置入一高速旋转机台中，由此将该基板上的残留溶液旋干，接着再取出干净的基板送入后段制作工艺。

在上述执行旋干的过程中，一般旋转机台需与玻璃基板的四个角落相接触，如此以避免基板在高速旋转时脱落；然而，倘若在清洗的过程中，基板在角落处出现缺陷(如缺角、破损)，则在进行高速旋转(约1200rpm/min)时，很有可能导致基板在旋转机台上脱落，进一步地基板将因高速旋转而被甩裂并产生飞散的玻璃碎屑。

然而，由于玻璃碎屑的清理不易且也形成污染，因此当上述情形发生时，往往需耗费大量的清理作业时间，又飞散的玻璃碎屑更经常会造成旋转机台的严重损坏；因此如何避免因基板缺陷造成制作工艺中的损坏，以及实时地检测出基板的缺陷实为生产制作工艺中的一重要课题。

针对上述现有的缺点，尤其当发生基板被甩裂的状况时，往往很难通过已无法识别的碎片，判断出是基板的哪一个角落的缺陷所造成，因而也无法迅速地找出基板碎裂的原因；有鉴于此，若能在将基板送入该高速旋转机台前，甚至在执行每一道制作工艺前能先行检测出基板是否具有缺陷，则可大大地减少因基板缺陷所造成的损坏。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种适用于一基板的缺陷检知装置，可检测基板于四个角落处的缺陷。

本发明的目的是这样实现的，即提供一种缺陷检知装置，适用于一基板，包括：一本体；一限制部，设置于该本体上，使该基板静止于一基板检测位置；至少一检知机构，设置于该本体内，该检知机构包括一光传感器、一连杆以及一枢轴，当该基板位于该基板检测位置时，该检知机构位于该基板的角落处并使该连杆绕该枢轴旋转，此时该检知机构可通过该光传感器检知该基板角落的缺陷。

其中，上述缺陷检知装置还设有多个滚轮，该基板可通过该各滚轮滚动而移动至该基板检测位置。

又，该检知机构还包括一连杆以及一枢轴，该连杆可沿该枢轴旋转；其中，该连杆的一端设有一滚轮，当该基板移动至该基板检测位置时，该基板与该滚轮接触。

此外，上述光传感器可发出一光线，当该基板非位于基板检测位置时，该连杆遮断该光线；当该基板位于该基板检测位置时，该连杆不会遮断该光线；由此可判断该基板角落处是否具有缺陷。

当基板到达上述基板检测位置时，通过设置于基板角落处的检知机构，本发明可以实时地检测出玻璃基板的角落处是否有缺陷或破裂，若检测有缺陷则发出警报并停止将该基板送入旋转机台中；如此，可防止玻璃基板在旋转时因角落的缺陷而造成基板脱落甚至甩裂，进一步地可避免高速旋转机台的损坏、提高生产效率并确保制作工艺中的安全。

附图说明

图1为本发明的缺陷检知装置的示意图；

图2为本发明的缺陷检知装置的上视图；

图3为本发明在基板未到达基板检测位置时的侧视图；

图4为本发明在基板位于基板检测位置时的侧视图。

具体实施方式

首先请参阅图1，该图表示本发明的缺陷检知装置1的示意图。如前所述，在将基板2送入前述的高速旋转基台前，可通过本发明的缺陷检知装置1，预先对基板2实施一检测的动作。

如图1所示，本发明的缺陷检知装置1包括一本体10，其中在该本体10穿设有多个滚动轴11，又该各滚动轴11上设有多个滚轮12。

此外，该各滚动轴11另连接一马达(未图示)，通过马达可驱动滚动轴11以及滚轮12转动，由此可将置于该滚轮12上的基板2，运送至该缺陷检知装置1的上方(请参阅图1箭头所示)。

其中，在本体10的边缘设置有限制部13，当基板2经滚轮12驱使而移动至缺陷检知装置1上方时，通过限制部13与基板2的前缘抵接，可使得基板2停止运动，并静止于一基板检测位置2’。

再请参阅图2，该图表示本发明的缺陷检知装置1的上视图。如图所示，在本体10内设置有四个检知机构14，当基板2移动至基板检测位置2’时，上述检知机构14分别位于基板2的四个角落处；如此，当基板2移动至上述基板检测位置2’时，位于基板2角落处的四个检知机构14可直接对基板2实施检测，同时以判断该基板2的四个角落处是否具有缺陷或破裂的情形。

接着请同时参阅图3以及图4，如图所示，前述的检知机构14包括一中空的本体140，又本体140内设有一枢轴143；其中，一连杆142通过枢轴143枢接于本体140内，以及连杆142的一端设有一可自由转动的滚轮141。

此外，该检知机构14内部尚设有一光传感器144，内含有一可发射光线(垂直纸面方向)的光发射组件以及光接收组件(未图标)，通过上述的光传感器144所发出的光线，可判断该基板角落是否具有缺陷。

如图3所示，在执行基板缺陷的检测前，首先基板2可通过一马达驱动的滚轮12带动，而向该图中的右方移动(如箭头所示)，然而在未到达上述的基板检测位置2’时，该滚轮141并未与该基板2接触，又此时该连杆142呈一垂直姿态；其中，当该连杆142呈一垂直姿态时，该连杆142的下端将遮断上述光线。

接着请参阅图4，当该基板2如箭头方向移动至上述的基板检测位置2’时，即开始执行检测的动作；假设该基板2为一良好且无缺陷的基板，则该基板2的前缘将与该连杆142上端的滚轮141相接触，并随着该基板2前进使得该连杆142呈一倾斜姿态；由于该连杆142呈上述的倾斜姿态，因此该连杆142的下端并未遮蔽上述光传感器144所发出的光线(请参阅图4所示)；此时，该光传感器144因感知该基板2的角落，随即发出一电压信号，表示该基板2的角落处并未产生缺陷。

然而，当基板2位于上述的基板检测位置2’，且该基板2的角落具有缺陷或破裂时，则该检测动作虽启动，但该基板2因为其角落处的缺陷，将使得该连杆142上方的滚轮141无法与该基板2相接触；此时，该连杆142仍然保持一垂直姿态，且该光传感器144将因上述感测光线被遮断而产生一电压信号，如此可检知该基板2角落处具有缺陷，并提醒操作人员前来处理。

在本发明中，倘若于检测时，位于基板2角落处的四个检知机构14中，有任何一个未检测到该基板2的角落，即判断该基板2为一具有缺陷的基板；此时，与本发明的缺陷检知装置1连接的一警报系统(未图标)，将发出一警报信号，提醒操作者或工程师检测到具有缺陷的基板，并可及时地作适当处理。

通过上述的检知机构14，本发明的缺陷检知装置1可在基板2做完湿式清洗后、以及在进行高速旋干程序之前，预先检知基板2的角落是否具有缺陷，如此可避免基板在进行高速旋转时，基板2因角落具有缺陷产生脱落甚至甩出，进而造成基板与设备的损坏。

再者，本发明的缺陷检知装置1针对基板2的四个角落处实施检测，当有任何一处检测为具有缺陷时，则会发出一警报信号，由此可提醒操作人员实时地取出该具有缺陷的基板，可提高制作工艺上的效率与安全性。

又，本发明也可应用于前述半导体或者是薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的各制作工艺中以及运送的输送装置上，由此可实时地进行对于基板或制作工艺中半成品的缺陷检测，并可防止因上述角落缺陷而造成后段制作工艺中的损失。

综上所述，本发明的特征在于针对一基板2的四个角落设置检知机构14，如此可以在制作工艺中检知基板2是否在角落处具有缺陷，并及早发觉先前制作工艺的问题点以及造成基板缺陷的原因；另一方面，通过本发明可避免具有缺陷的基板流入后段制作工艺(如前述的高速旋转机台中)，进一步地可防止的设备损坏、提高生产效率并确保制作工艺中的安全。

虽然结合以上较佳实施例揭露了本发明，然而其并非用以限定本发明的范围，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，可做一些更动与润饰，因此本发明的保护范围应以权利要求所界定的为准。

Claims (7)

1.一种缺陷检知装置，适用于一基板，包括：

一本体；

一限制部，设置于该本体上，使该基板静止于一基板检测位置；

至少一检知机构，设置于该本体内，该检知机构包括一光传感器、一连杆以及一枢轴，当该基板位于该基板检测位置时，该检知机构位于该基板的角落处并使该连杆绕该枢轴旋转，此时该检知机构可通过该光传感器检知该基板角落的缺陷。

2.如权利要求1所示的缺陷检知装置，其中该限制部与该基板抵接，使该基板静止于该基板检测位置。

3.如权利要求1所示的缺陷检知装置，还包括多个滚轮，该基板置于该滚轮上，并通过该各滚轮滚动而移至该基板检测位置。

4.如权利要求1所示的缺陷检知装置，其中该限制部设置于该本体的边缘。

5.如权利要求1所示的缺陷检知装置，其中该缺陷检知装置包括四个检知机构，分别位于该基板检测位置的四个角落。

6.如权利要求1所示的缺陷检知装置，其中该连杆的一端设有一滚轮，当该基板移动至该基板检测位置时，该滚轮与该基板接触。

7.如权利要求1所示的缺陷检知装置，其中该光传感器可发出一光线，当该连杆呈一垂直状态时遮断该光线，当该连杆呈一倾斜状态时不会遮断该光线。

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