CN1220256C - 基板缺陷检知装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种缺陷检知装置,适用于一基板,包括:一本体、一限制部以及一检知机构。其中,限制部设置在该本体上,通过限制部与基板抵接,使基板位于一基板检测位置。又,检知机构设置于本体内,当基板到达前述基板检测位置时,检知机构位于基板的角落处,此时通过检知机构可检知该基板角落的缺陷。

Description

基板缺陷检知装置
技术领域
本发明涉及一种缺陷检知装置,特别是涉及一种适用于一基板,且当基板到达一基板检测位置时,可通过位于上述基板角落处的检知机构,检知基板角落缺陷的缺陷检知装置。
背景技术
在现有半导体或者薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film TransistorLiquid Crystal Display,TFT-LCD)的制作工艺中,为了避免基板的污染同时确保制作工艺中的洁净度,进而提高最终产品的合格率,玻璃基板清洗程序便成为一极为重要的步骤。
其中,针对一种湿式基板清洗的程序,首先通过清洗溶液洗去玻璃基板表面的杂质,然后经过一机械手臂把基板置入一高速旋转机台中,由此将该基板上的残留溶液旋干,接着再取出干净的基板送入后段制作工艺。
在上述执行旋干的过程中,一般旋转机台需与玻璃基板的四个角落相接触,如此以避免基板在高速旋转时脱落;然而,倘若在清洗的过程中,基板在角落处出现缺陷(如缺角、破损),则在进行高速旋转(约1200rpm/min)时,很有可能导致基板在旋转机台上脱落,进一步地基板将因高速旋转而被甩裂并产生飞散的玻璃碎屑。
然而,由于玻璃碎屑的清理不易且也形成污染,因此当上述情形发生时,往往需耗费大量的清理作业时间,又飞散的玻璃碎屑更经常会造成旋转机台的严重损坏;因此如何避免因基板缺陷造成制作工艺中的损坏,以及实时地检测出基板的缺陷实为生产制作工艺中的一重要课题。
针对上述现有的缺点,尤其当发生基板被甩裂的状况时,往往很难通过已无法识别的碎片,判断出是基板的哪一个角落的缺陷所造成,因而也无法迅速地找出基板碎裂的原因;有鉴于此,若能在将基板送入该高速旋转机台前,甚至在执行每一道制作工艺前能先行检测出基板是否具有缺陷,则可大大地减少因基板缺陷所造成的损坏。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种适用于一基板的缺陷检知装置,可检测基板于四个角落处的缺陷。
本发明的目的是这样实现的,即提供一种缺陷检知装置,适用于一基板,包括:一本体;一限制部,设置于该本体上,使该基板静止于一基板检测位置;至少一检知机构,设置于该本体内,该检知机构包括一光传感器、一连杆以及一枢轴,当该基板位于该基板检测位置时,该检知机构位于该基板的角落处并使该连杆绕该枢轴旋转,此时该检知机构可通过该光传感器检知该基板角落的缺陷。
其中,上述缺陷检知装置还设有多个滚轮,该基板可通过该各滚轮滚动而移动至该基板检测位置。
又,该检知机构还包括一连杆以及一枢轴,该连杆可沿该枢轴旋转;其中,该连杆的一端设有一滚轮,当该基板移动至该基板检测位置时,该基板与该滚轮接触。
此外,上述光传感器可发出一光线,当该基板非位于基板检测位置时,该连杆遮断该光线;当该基板位于该基板检测位置时,该连杆不会遮断该光线;由此可判断该基板角落处是否具有缺陷。
当基板到达上述基板检测位置时,通过设置于基板角落处的检知机构,本发明可以实时地检测出玻璃基板的角落处是否有缺陷或破裂,若检测有缺陷则发出警报并停止将该基板送入旋转机台中;如此,可防止玻璃基板在旋转时因角落的缺陷而造成基板脱落甚至甩裂,进一步地可避免高速旋转机台的损坏、提高生产效率并确保制作工艺中的安全。
附图说明
图1为本发明的缺陷检知装置的示意图;图2为本发明的缺陷检知装置的上视图;图3为本发明在基板未到达基板检测位置时的侧视图;图4为本发明在基板位于基板检测位置时的侧视图。
具体实施方式
首先请参阅图1,该图表示本发明的缺陷检知装置1的示意图。如前所述,在将基板2送入前述的高速旋转基台前,可通过本发明的缺陷检知装置1,预先对基板2实施一检测的动作。
如图1所示,本发明的缺陷检知装置1包括一本体10,其中在该本体10穿设有多个滚动轴11,又该各滚动轴11上设有多个滚轮12。
此外,该各滚动轴11另连接一马达(未图示),通过马达可驱动滚动轴11以及滚轮12转动,由此可将置于该滚轮12上的基板2,运送至该缺陷检知装置1的上方(请参阅图1箭头所示)。
其中,在本体10的边缘设置有限制部13,当基板2经滚轮12驱使而移动至缺陷检知装置1上方时,通过限制部13与基板2的前缘抵接,可使得基板2停止运动,并静止于一基板检测位置2’。
再请参阅图2,该图表示本发明的缺陷检知装置1的上视图。如图所示,在本体10内设置有四个检知机构14,当基板2移动至基板检测位置2’时,上述检知机构14分别位于基板2的四个角落处;如此,当基板2移动至上述基板检测位置2’时,位于基板2角落处的四个检知机构14可直接对基板2实施检测,同时以判断该基板2的四个角落处是否具有缺陷或破裂的情形。
接着请同时参阅图3以及图4,如图所示,前述的检知机构14包括一中空的本体140,又本体140内设有一枢轴143;其中,一连杆142通过枢轴143枢接于本体140内,以及连杆142的一端设有一可自由转动的滚轮141。
此外,该检知机构14内部尚设有一光传感器144,内含有一可发射光线(垂直纸面方向)的光发射组件以及光接收组件(未图标),通过上述的光传感器144所发出的光线,可判断该基板角落是否具有缺陷。
如图3所示,在执行基板缺陷的检测前,首先基板2可通过一马达驱动的滚轮12带动,而向该图中的右方移动(如箭头所示),然而在未到达上述的基板检测位置2’时,该滚轮141并未与该基板2接触,又此时该连杆142呈一垂直姿态;其中,当该连杆142呈一垂直姿态时,该连杆142的下端将遮断上述光线。
接着请参阅图4,当该基板2如箭头方向移动至上述的基板检测位置2’时,即开始执行检测的动作;假设该基板2为一良好且无缺陷的基板,则该基板2的前缘将与该连杆142上端的滚轮141相接触,并随着该基板2前进使得该连杆142呈一倾斜姿态;由于该连杆142呈上述的倾斜姿态,因此该连杆142的下端并未遮蔽上述光传感器144所发出的光线(请参阅图4所示);此时,该光传感器144因感知该基板2的角落,随即发出一电压信号,表示该基板2的角落处并未产生缺陷。
然而,当基板2位于上述的基板检测位置2’,且该基板2的角落具有缺陷或破裂时,则该检测动作虽启动,但该基板2因为其角落处的缺陷,将使得该连杆142上方的滚轮141无法与该基板2相接触;此时,该连杆142仍然保持一垂直姿态,且该光传感器144将因上述感测光线被遮断而产生一电压信号,如此可检知该基板2角落处具有缺陷,并提醒操作人员前来处理。
在本发明中,倘若于检测时,位于基板2角落处的四个检知机构14中,有任何一个未检测到该基板2的角落,即判断该基板2为一具有缺陷的基板;此时,与本发明的缺陷检知装置1连接的一警报系统(未图标),将发出一警报信号,提醒操作者或工程师检测到具有缺陷的基板,并可及时地作适当处理。
通过上述的检知机构14,本发明的缺陷检知装置1可在基板2做完湿式清洗后、以及在进行高速旋干程序之前,预先检知基板2的角落是否具有缺陷,如此可避免基板在进行高速旋转时,基板2因角落具有缺陷产生脱落甚至甩出,进而造成基板与设备的损坏。
再者,本发明的缺陷检知装置1针对基板2的四个角落处实施检测,当有任何一处检测为具有缺陷时,则会发出一警报信号,由此可提醒操作人员实时地取出该具有缺陷的基板,可提高制作工艺上的效率与安全性。
又,本发明也可应用于前述半导体或者是薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)的各制作工艺中以及运送的输送装置上,由此可实时地进行对于基板或制作工艺中半成品的缺陷检测,并可防止因上述角落缺陷而造成后段制作工艺中的损失。
综上所述,本发明的特征在于针对一基板2的四个角落设置检知机构14,如此可以在制作工艺中检知基板2是否在角落处具有缺陷,并及早发觉先前制作工艺的问题点以及造成基板缺陷的原因;另一方面,通过本发明可避免具有缺陷的基板流入后段制作工艺(如前述的高速旋转机台中),进一步地可防止的设备损坏、提高生产效率并确保制作工艺中的安全。
虽然结合以上较佳实施例揭露了本发明,然而其并非用以限定本发明的范围,任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内,可做一些更动与润饰,因此本发明的保护范围应以权利要求所界定的为准。

Claims (7)

1.一种缺陷检知装置,适用于一基板,包括:一本体;一限制部,设置于该本体上,使该基板静止于一基板检测位置;至少一检知机构,设置于该本体内,该检知机构包括一光传感器、一连杆以及一枢轴,当该基板位于该基板检测位置时,该检知机构位于该基板的角落处并使该连杆绕该枢轴旋转,此时该检知机构可通过该光传感器检知该基板角落的缺陷。
2.如权利要求1所示的缺陷检知装置,其中该限制部与该基板抵接,使该基板静止于该基板检测位置。
3.如权利要求1所示的缺陷检知装置,还包括多个滚轮,该基板置于该滚轮上,并通过该各滚轮滚动而移至该基板检测位置。
4.如权利要求1所示的缺陷检知装置,其中该限制部设置于该本体的边缘。
5.如权利要求1所示的缺陷检知装置,其中该缺陷检知装置包括四个检知机构,分别位于该基板检测位置的四个角落。
6.如权利要求1所示的缺陷检知装置,其中该连杆的一端设有一滚轮,当该基板移动至该基板检测位置时,该滚轮与该基板接触。
7.如权利要求1所示的缺陷检知装置,其中该光传感器可发出一光线,当该连杆呈一垂直状态时遮断该光线,当该连杆呈一倾斜状态时不会遮断该光线。
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