KR100510720B1 - 유리기판 파손감지 수단을 구비한 기판 이송장치 - Google Patents

유리기판 파손감지 수단을 구비한 기판 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리기판이 이송되는 와중에도 기판의 파손여부를 즉시 확인하여 불량기판이 다음 공정으로 진행되지 않도록 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.
이를 위하여 본 발명은 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디; 상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암; 상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부; 상기 센서장착부의 중공을 사이에 두고 마주보도록 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서; 상기 유리기판 파손감지수단의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 2개의 롤러가 양방향으로 연속적으로 배치되고 상기 롤러사이에 유리기판의 가장자리가 맞물려 이송되는 기판이송 트랙; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 설치되어 유리기판의 진행이 완료되도록 정지시키는 기판 스토퍼; 상기 스토퍼에 의해 상기 기판이송 트랙의 후단부에 이송 완료된 유리기판의 4모서리를 감지하는 센서; 상기 센서에 의해 감지한 결과를 처리하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.

Description

유리기판 파손감지 수단을 구비한 기판 이송장치{Glass Transfer System have Sensor which sense breakage of glass}
본 발명은 액정표시장치의 유리기판 이송시 파손을 감지할 수 있는 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판이 공정진행 중 파손되었을 때 이를 감지하여 다음공정으로 진행되도록 하지 않고 추출해 내기 위한 구조에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
이러한 LCD는 특수하게 표면처리된 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정물질을 주입해 상하 유리판 위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동원리를 갖는데, 이 LCD는 문자가 표시되는 패널 스스로 빛을 내지 못하므로 표시내용을 시각적으로 인식할 수 있도록 하기 위하여 램프 등의 광원을 필요로 하게 된다.
통상적으로, 노트북 컴퓨터라 불리는 휴대형 컴퓨터의 액정표시장치를 구성하는 LCD 모듈은 첨부된 도면의 도 1 에 도시된 것과 같이 LCD 모듈은, 영상을 출력하는 액정패널(10)과; 이 액정패널(10) 후면에 설치되는 상,하부 확산시이트(29, 26) 및 상,하부 프리즘시이트(28, 27)와, 도광판(24)과, 반사시이트(25)와, 램프(미도시)와, 이 램프를 둘러싸는 금속 반사판 및, 이들 각 구성요소들을 지지하는 사각틀 형태의 합성수지 몰드프레임(21)으로 구성되어, 상기 액정패널(10)에 빛을 방출하는 백라이트 어셈블리(20) 및; 상기 액정패널(10)과 백라이트 어셈블리(20)의 각 모서리부를 고정되게 지지하여 주는 사각틀 형태의 금속 섀시(30)로 구성된다
이와 같이 구성되는 액정표시장치 모듈 중 가장 섬세하게 다루어져야 하는 부분이 바로 액정패널(10)이다. 상기 액정패널(10)은 2개의 유리기판(11)(12)이 면결합된 상태를 이루고 있으며, 상기 2개의 유리기판(11)(12)이 접하는 내부공간에는 액정물질이 삽입되어 있다.
2개의 유리기판(11)(12) 중 일측기판에는 형광물질이 도포되어 있으며, 타측 기판에는 박막 트랜지스터가 위치하고, 투명전극 등이 설치되어 전원이 인가됨에 따라 각 형광체의 조합으로써 화면을 구현하게 되는 것이다.
그렇기 때문에 상기 액정패널(10)을 구성하는 유리기판(11)(12)은 취급시 상당한 주의를 요한데, 얇은 박판형의 유리를 사용하므로 유리기판(11)(12)이나 액정패널(10)로 제조되는 공정에서 유리기판(11)(12)이 이송되는 과정에서 발생하는 파손, 스크래치 등으로 인해 불량발생확률이 가장 높다.
그런데, 현재 액정표시장치를 제조하는 공정에서는 유리기판이나 액정패널(10)의 존재유무를 확인하는 기판 감지장치는 많이 설치되어 있으나, 유리기판의 파손이나 스크래치를 감지하는 장치는 설치되어 있지 않아 공정과정에서 유리기판을 이송시 상기와 같은 문제가 발생하여도 다음공정으로 진행되어 불필요한 장비의 가동과 제조시간을 증가시키는 문제점이 발생하였다.
즉, 유리기판의 일부 파손된 상태로 이송이 진행되어도 기판 감지장치는 그대로 작동되기 때문에 유리기판이 존재하는 것으로 인식하고 이송이 완료된 후 다음공정까지 진행한다. 일례로 파손된 유리기판이 정지하지 않고 스핀 드라이 공정까지 진행하는 경우가 있는데 고속회전에 의해 유리기판이 완전파손되는 경우가 발생하고 상기 파편들로 인해 공정설비 자체를 셧다운시켜야 하므로 공정설비 자체에 심각한 영향을 초래한다.
또한, 비록 파손상태가 미비한 유리기판이라 하더라도 초기에 확인하면 재활용할 수 있는 잇점이 있으나 공정이 계속 진행되어 파손상태가 증가함에 따라 재활용이 불가능해지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로써, 유리기판이 이송되는 와중에도 기판의 파손여부를 즉시 확인하여 불량기판이 다음 공정으로 진행되지 않도록 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디; 상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암; 상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부; 상기 센서장착부의 중공을 사이에 두고 마주보도록 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서; 상기 유리기판 파손감지수단의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디; 상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암; 상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부; 상기 센서장착부의 중공을 사이에 두고 마주보도록 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서; 2개의 롤러가 양방향으로 연속적으로 배치되고 상기 롤러 사이에 상기 유리기판의 가장자리가 맞물려 이송되는 기판이송 트랙; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 설치되어 상기 유리기판의 진행이 완료되도록 정지시키는 기판 스토퍼; 상기 스토퍼에 의해 상기 기판이송 트랙의 후단부에 이송 완료된 상기 유리기판의 4모서리를 감지하는 모서리 감지센서; 상기 유리기판 파손 감지센서 및 상기 모서리 감지센서의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
상기 모서리 감지센서는 유리기판의 모서리 4곳 중 2곳만을 감지하도록 2개 설치하되, 유리기판의 전방측 모서리 2곳을 감지한 후 시간간격을 두고 후방측 모서리 2곳을 감지하도록 셋팅된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다.
도 2 는 본 발명에 의한 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치인 유리기판 이송로봇(4)과 유리기판 이송트랙(5)이 설치된 공정도이다.
액정표시장치를 제조할 때 일부 공정에서는 도 2에 도시된 바와 같은 트랙 반송시스템이 이용된다. 이와 같은 트랙 반송시스템은 작업자가 직접 유리기판(11)을 이송시키지 않고 이송로봇(4)이나 이송트랙(5)에 의해 자동으로 운반되므로 사람의 힘을 필요로 하지 않고도 정해진 공정임무를 완수할 수 있다.
도 2 를 참고하면, 다수개의 유리기판(11)을 동시에 적층수납한 카세트(100)들이 공정설비의 일측 정해진 위치에 놓이게 되면, 유리기판 이송로봇(4)이 작동한다. 상기 유리기판 이송로봇(4)은 정해진 라인만을 움직이면서 카세트(100)에 적재되어 있는 유리기판(11)을 낱개로 꺼내어 기판이 트랙(5)에 로딩되기 전 트랙이송을 준비하는 예비로딩부(51)에 안착시킨다. 예비로딩부(51)에 안착된 유리기판(11)은 90도 회전되어 트랙(5)으로 진행한다.
이하 상기 도 2에 개략적으로 도시된 유리기판 이송로봇을 보다 자세하게 도 3과 도 4에 도시하였다.
도 3 은 상기 유리기판 이송로봇(4)의 바람직한 일실시예를 도시한 사시도이고, 도 4 는 상기 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출해 내는 상태를 도시한 개략적인 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 유리기판 이송로봇(4)은 대략 레일을 따라 움직이거나 지면에서 바퀴로 이동가능하며 좌우 회전이 가능한 로봇 바디(42:body)와, 상기 로봇 바디(42) 위에 설치되어 수평이동과 일부 수직이동이 가능한 로봇 아암(44:arm)과, 로봇의 전단부에 설치된 파손감지센서(6)를 포함하여 이루어져 있다.
상기 로봇 바디(42)는 도시되지는 않았지만 저면에 형성된 레일 위를 움직이도록 되어 있으며, 기둥역할을 하는 수직부(422)와 로봇 아암(44)을 받치는 평평한 수평부(424)로 구성된다. 상기 로봇 바디(42)의 수직부(422)는 좌우로 회전이 가능하도록 모터(도시생략)가 설치되어 있어 로봇 아암(44)이 전후좌우 어느 위치의 유리기판(11)이라도 옮길수 있도록 회전시켜 준다.
상기 로봇 바디(42)의 수평부(424)는 로봇 아암(44)의 저면에 바닥을 이루도록 형성되어 있으며, 특히 수평부(424) 전단부에는 로봇 아암(44)이 관통되는 중공을 갖는 형태로 사각의 프레임(이하 센서장착부)이 설치되어 있고, 상기 센서장착부(426)의 상부와 하부에는 센서(6)가 부착되어 있다.
상기 센서(6)는 레이저 센서나 포토 센서와 같이 발광센서(62)와 수광센서(64)로 이루어져 센서장착부(426)의 상측에는 발광센서(62)가, 센서장착부(426)의 하측에는 수광센서(64)가 부착되어 발광센서(62)와 수광센서(64)의 조합에 의해 대상물의 파손이나 스크래치 여부를 확인할 수 있다.
도 4 는 상기와 같은 구성의 유리기판 이송로봇(4)이 실제 카세트(100)에서 낱개의 유리기판(11)을 인출하거나 적재시키는 상태를 도시한 상태도이다.
도면에서 보는 바와 같이 상기 로봇 아암(44)은 2개의 받침판(442)을 가지고 있으며 상기 받침판(442)은 아암(44)의 작동에 의해 전후로 이동된다. 상기 받침판(442)은 소정높이 상하운동이 가능하여 유리기판(11)을 들어올리거나 유리기판(11)을 내려놓는 작동이 가능하다.
도 4 의 상태가 카세트(100)에 수납된 유리기판(11)을 인출하는 상태라면, 로봇 아암(44)의 받침판(442)을 유리기판(11)의 배면에 삽입한 후 약간 들어 올려 상기 받침판(442)을 다시 원위치로 복귀시켜야 한다.
이때, 받침판(442) 위에 안착된 유리기판(11)은 받침판(442)과 함께 센서장착부(426)의 사각중공(427)을 관통해서 원위치로 복귀하게 된다. 센서장착부(426)의 상측과 하측에는 전술한 바와 같이 센서가 부착되어 있는데 일례로 상기 센서가 레이저 센서(6)일 때 상측에는 레이저 센서의 발광센서(62)가, 하측에는 레이저 센서의 수광센서(64)가 설치된다.
이와 같은 센서장착부(426)는 상기 유리기판(11)이 중공을 관통할 때 지속적으로 발광과 수광작동을 하며, 결국 유리기판(11)의 전면이 상기 중공(427)을 관통하게 될때는 상기 레이저 센서(6)에 의해 유리기판(11)이 전체적으로 스캐닝되는 효과가 이루어진다.
이하 도 5와 도 6에 상기 센서장착부(426)와 유리기판(11)간의 스캔 작용에 관하여 설명한다.
도 5 는 로봇 바디(42)의 수평부(424)로 유리기판(11)이 진행하기 시작하는 때를 도시한 사시도이고, 도 6 은 유리기판(11)이 로봇 바디(42)의 수평부(424)로 진입하여 유리기판(11)의 끝단부가 센서장착부(426)를 관통하는 상태를 도시한 사시도로써, 유리기판(11)과 센서장착부(426)만을 개략적으로 도시하였다. 센서장착부(426)의 상측에 설치된 발광센서(62)에서는 레이저를 방사하고, 센서장착부(426)의 하측에 설치된 수광센서(64)에서는 상기 방사된 레이저를 지속적으로 수광한다.
만일 단순하게 유리기판(11)이 완전한 불투명체이고, 레이저를 전혀 관통시킬 수 없다면 유리기판(11)이 센서장착부(426)의 중공(427)에 진입하기 시작할 때부터 센서장착부(426)를 완전히 관통할 때까지 수광센서(64)에서는 방사된 레이저를 감지하지 못하여야 한다.
그러나 만일 도 6에 도시된 유리기판(11)과 같이, 모서리의 일부가 파손되어 있다면, 파손된 부분으로 발광센서(62)에서 방사된 레이저가 관통하여 수광센서(64)에서 레이저를 인식하게 된다. 이와 같이 수광센서(64)에서 레이저가 인식되었다함은 유리기판이 파손되었음을 나타내므로 상기 수광센서(64)에서는 이를 제어부로 전송하여 이상신호를 발생시키고, 이송로봇(4)의 다음 공정을 중단한다.
작업자는 비상등, 비상벨 또는 디스플레이상에 나타나는 이상신호를 인지하게 되면, 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출하거나 카세트(100)로 적재하는 과정에서 발생되었음을 알게되고, 로봇 아암(44)상에 적치된 불량기판(11)을 즉시 회수할 수 있게된다.
다시 도 2 를 참조하면, 공정설비내에서 본 발명에 의한 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출할 때, 인출한 유리기판(11)을 이송트랙(5)의 예비로딩부(51)에 로딩할 때 및 이송트랙(5)상에서 반송되온 유리기판(11)을 이송로봇(4)이 인출할때, 상기 유리기판(11)을 다시 카세트(100)에 원위치 시킬때 등 이송로봇(4) 상에서 유리기판(11)의 파손을 감지할 수 있으므로 유용하게 적용시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 유리기판 이송로봇(4)은 유리기판(11)의 파손상태를 감지시 위치에 상관없이 스캔방식으로 전면을 검사할 수 있으므로 미세한 파손여부도 감지해낼 수 있다.
도 7 은 도 2의 A에서 예비로딩부(51)에 기판(11)을 로딩시키는 상태를 확대도시한 것으로써, 이송로봇(4)에 의해 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)의 4모서리를 감지하는 센서(7)를 유리기판의 상부에 설치하여 트랙(5)에 이송되기 전의 기판상태를 감지하는 구조를 도시한 것이다. 통상 유리기판(11)이 이송로봇(4)에 의해 로딩된 후 그 위치에서 90도 회전하여 트랙(5)으로 진행되므로 유리기판(11)이 로딩된 후 상태, 혹은 트랙(5)에 이송되기 위해 90도 회전된 상태 등을 정하여 선택적으로 센서(7)들을 설치할 수 있다.
상기와 같이 모서리를 센싱할 수 있는 센서(7)를 4곳에 설치하여 유리기판(11)의 파손여부를 감지함으로써 트랙(5)위로 반송되기 전에 모서리가 파손된 불량 유리기판을 제거할 수 있다. 상기 센서(7)는 레이저 센서 또는 포토센서 모두 가능하다.
도 8 은 도 2의 B를 확대도시한 도면으로써, 도 3에 도시된 유리기판 이송로봇(4)에 의해 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)이 트랙(5)으로 이송될때 상기 트랙(5)상에서 유리기판(11)이 파손되었을 경우 유리기판(11)의 파손여부를 감지하는 구조에 관한 것이다.
도 2 를 다시 참조하면, 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)은 롤러(52)에 의해 트랙상으로 이동하게 된다. 상기 롤러(52)는 2개의 롤러가 맞물린 형태를 취하고 있는 이중롤러(Double Roller)로써, 유리기판(11)의 측면가장자리가 상기 이중롤러(52)에 맞물린 형태로 전진하게 된다.
이와 같은 트랙(5)의 저면에는 상기 유리기판(11)이 제대로 이송되고 있는 가를 감지하는 장치는 이미 기존에도 설치되어 있다. 이러한 유리기판(11)의 존재유무 감지장치는 다수 있으나 통상 기판이 진행하면서 접속된 마그네트 핀(도시생략)을 탈락시켰다가 복귀시키는 방법을 채택하여 기판의 존재유무를 결정한다.
그러나 도 9에 도시된 바와 같이 이중롤러(52)에 기판(11)이 비스듬하게 맞물린 채 진행하게 되면 유리기판(11)의 모서리부(112)가 롤러(52)와 부딪힘에 의해 모서리부 파손이 발생하게 된다. 이와 같이 파손된 유리기판(11)은 비스듬하게 트랙(5)을 따라 진행하므로 기판 감지장치는 기판이 존재한다고 인식한다.
다시 도 8 을 참조하면, 도시된 부분은 유리기판(11)이 트랙반송이 완료되는 장소이다. 즉, 롤러(52)의 작동에 의해 트랙(5)을 따라 이동하던 유리기판(11)은 트랙(5) 위에서 세정공정 등을 마치면서 트랙(5)의 끝 부분까지 이송된다.
상술한 바와 같이 파손된 유리기판(11)이나 정상인 유리기판(11) 모두 1차적으로 트랙(5)의 단부에 형성된 기판 스토퍼(59)에 의해 진행이 차단된다. 본 발명에서는 기판 스토퍼(59)에 의해 정지된 유리기판(11)의 면적을 기준으로 할 때 상기 유리기판(11)의 모서리에 해당하는 위치의 수직 상측 또는 수직 하측부에 포토센서(7)가 설치된 것을 특징으로 한다. 상기 포토센서(7)는 유리기판(11)의 모서리 부분을 센싱할 수 있는 위치이면 특정장소를 막론하고 설치가능하다.
도 8 의 실시예에서는 상기 포토센서(7)를 각 모서리에 대응하는 상측부에 4개 설치하였다. 이와 같이 포토센서(7)를 각 모서리부에 설치한 이유는 트랙반송시 유리기판(11)의 파손 발생은 대부분이 모서리부에서 발생한다는 경험과 확률때문이다. 그러므로 만일 유리기판(11)의 파손여부를 보다 정확히 감지해내기 위해서는 각 모서리 뿐 아니라 유리기판(11)의 가장자리부에 대응하는 위치에 보다 많은 센서를 장착하여도 무방하다.
상기와 같이 포토센서(7)가 설치되면 유리기판(11)이 기판 스토퍼(59)에 의해 정지되었을 때 포토센서(7)가 감지하는 수치가 틀려지게 된다. 예를 들어 모서리부 수직 상측에 포토센서(7)가 설치되어 있는바, 유리기판(11)이 위치했을 때 모서리부를 센싱한 결과 값은 유리기판(11)이 정상일 경우 항상 일정한 값을 가져야 한다.
만일 도 10에 도시된 바와 같이 모서리(112)가 파손된 유리기판(11)이 포토센서(7)에 의해 센싱되면 방사된 광이 반사되지 않아 정해진 수치가 나오지 않게 되며, 이러한 이상신호를 감지한 제어부에서는 작업자에게 이상신호를 전달한다.
알람, 비상등, 비상벨 등에 의해 이상신호를 접한 작업자는 유리기판 이송트랙(5)의 끝부분에 도달한 유리기판(11)이 파손되었슴을 감지할 수 있고 이에 따라 상기 파손된 유리기판(11)을 꺼내어 다음공정인 스핀 드라이 공정으로 진행되지 않도록 한다.
도 11 에는 도 8과 같이 유리기판의 4개 모서리에 대응되도록 4개의 센서를 설치하지 않고 2개의 포토센서(7)를 설치한 상태를 도시하였다.
상기 도 11에서는 2개의 포토센서(7)만이 설치되어 있으며 상기 2개의 포토센서(7)만으로도 유리기판(11)의 모서리 4곳을 모두 센싱할 수 있게 된다. 이를 위해서는 포토센서(7)에서 각각 2번의 센싱이 이루어져야 하며 상기 센싱은 시간간격을 두고 이루어 져야 한다.
2개의 포토센서(7)만으로 유리기판(11)의 모서리 4곳을 센싱하는 과정은 다음과 같다. 도 11에 도시된 바와 같이 유리기판(11)이 트랙(5)의 막바지로 진입하는 때에 유리기판(11)의 진행전단쪽 2곳 모서리가 포토센서(7)의 위치에 도달한다. 이때 제어부에서는 포토센서(7)에서 센싱하도록 신호를 보내어 1차센싱이 이루어지게 된다. 또는 지속적으로 센싱이 이루어지고 있다면 상기 진행전단쪽 2곳 모서리가 포토센서위치를 지날 때 센싱이 이루어지도록 한다.
도 12는 유리기판(11)이 스토퍼(59)에 의해 정지된 상태를 도시한 것으로써, 1차 센싱이 이루어진후 계속 진행되는 유리기판(11)은 기판 스토퍼(59)에 의해 정지되고 정지된 유리기판(11)의 진행후단쪽 2곳 모서리의 수직 상측 또는 수직 하측에 위치한 포토센서(7)가 다시 2차 센싱을 하게 된다.
이와 같이 시간차를 두고 2번 센싱이 이루어짐으로써 2개의 포토센서만으로도 유리기판(11)의 모서리 4곳의 센싱이 가능해진다.
상기 포토센서(7)는 유리기판(11)의 각 모서리부에 정확히 광을 방사할 수 있는 위치이면 충분하므로 모서리부의 상측이든 하측이든 자유롭게 설치할 수 있다.
본 발명에서는 액정표시장치의 유리기판을 비롯하여 유리기판을 사용하는 공정에서 유리기판의 파손을 감지하는 구조에 관하여 2가지의 실시예를 제시하였다.
첫째는 카세트 또는 이송트랙 등 유리기판이 적재된 장소에서 유리기판을 옮기는 이송로봇에 파손감지장치를 설치하여 레이저 광을 이용한 스캔작용으로 유리기판의 파손여부를 확인할 수 있는 구조이며,
둘째는 유리기판 이송트랙의 완료부에 포토센서를 설치하여 반송 중 가장 파손되기 쉬운 부위인 모서리부를 센싱함으로써 유리기판의 파손여부를 확인할 수 있도록 한 구조이다.
상기와 같은 2가지 실시예를 적용하여 유리기판 또는 액정패널을 이송시키는 공정에서 보다 확실하게 불량한 유리기판을 찾아내어 다음 공정으로 진행시키지 않음으로써 공정설비의 셧다운을 방지하고 유리기판이 완전파손되는 것을 차단하여 재활용할 수 있게된다.
상술한 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 표현하기 위한 일례에 불과하며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범주내에서 구성요소의 위치, 재질 등을 다양하게 변경적용할 수 있슴은 자명하다.
유리기판을 이송시키는 장치의 일종인 이송로봇이나 이송트랙에 유리기판의 파손여부를 감지할 수 있는 센서를 장착하여 유리기판을 이송시키는 중간에 발생하거나 이미 파손된 상태를 즉각적으로 감지하여 다음 공정으로 진행시키지 않으므로 불필요한 작업을 생략할 수 있으며, 불량기판이 완파됨으로써 장비를 셧다운시키는 등의 공정중단을 방지할 수 있다.
도 1 은 종래 일반적인 액정표시장치 모듈을 도시한 개략적인 분리 사시도.
도 2 는 본 발명에 의한 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치인 유리기판 이송로봇과 유리기판 이송트랙이 설치된 공정도
도 3 은 유리기판 이송로봇의 바람직한 일실시예를 도시한 사시도
도 4 는 유리기판 이송로봇이 카세트에서 유리기판을 인출해 내는 상태를 도시한 개략적인 사시도
도 5 는 로봇 아암에 의해 로봇 바디의 수평부로 유리기판이 진행하기 시작하는 때를 도시한 사시도
도 6 은 유리기판이 로봇 바디의 수평부로 진입하여 유리기판의 끝단부가 센서장착부를 관통하는 상태를 도시한 사시도
도 7 은 도 2의 A에서 기판을 로딩하는 유리기판 이송로봇를 확대도시한 평면도.
도 8 은 도 2의 B를 확대도시한 평면도
도 9 는 유리기판이 트랙이송중 모서리가 파손된 상태를 도시한 평면도.
도 10 은 모서리가 파손된 유리기판을 이송트랙의 끝단부에서 센싱하는 상태를 도시한 평면도.
도 11 과 도 12 는 각각 유리기판이 진행할때 2개의 포토센서에 의해 유리기판을 센싱하는 상태를 도시한 평면도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
11,12: 유리기판 4: 유리기판 이송로봇
42: 로봇 바디 422: 수직부
424: 수평부 426: 센서장착부
427: 중공 44: 로봇 아암
442: 받침판 6: 레이저 센서
62: 발광센서 64: 수광센서
7: 포토센서

Claims (8)

  1. 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디;
    상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암;
    상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부;
    상기 센서장착부의 중공을 사이에 두고 마주보도록 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서;
    상기 유리기판 파손감지수단의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리기판 파손 감지센서는 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리기판은 액정표시장치의 액정패널, 상기 액정패널을 구성하는 유리기판, 또는 평판표시장치를 구성하는 유리재질의 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부에서는 비상등, 비상벨, 모니터상에 디스플레이하여 이상신호를 전파하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
  5. 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디;
    상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암;
    상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부;
    상기 센서장착부의 중공을 사이에 두고 마주보도록 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서;
    2개의 롤러가 양방향으로 연속적으로 배치되고 상기 롤러사이에 상기 유리기판의 가장자리가 맞물려 이송되는 기판이송 트랙;
    상기 기판이송 트랙의 후단부에 설치되어 상기 유리기판의 진행이 완료되도록 정지시키는 기판 스토퍼;
    상기 스토퍼에 의해 상기 기판이송 트랙의 후단부에 이송 완료된 상기 유리기판의 4모서리를 감지하는 모서리 감지센서;
    상기 유리기판 파손 감지센서 및 상기 모서리 감지센서의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 모서리 감지센서는 레이저 센서 또는 포토센서인 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
  7. 삭제
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 모서리 감지센서는 유리기판의 모서리 4곳 중 2곳만을 감지하도록 2개 설치하되, 유리기판의 전방측 모서리 2곳을 감지한 후 시간간격을 두고 후방측 모서리 2곳을 감지하도록 셋팅된 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.
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