JP3967759B2 - 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、所定の大きさに分断された透明ガラス基板等の透明基板の端面部における欠陥の有無等を検査する装置および方法に関する。なお、透明基板には、一対のガラス基板等を貼り合わせたフラットディスプレイパネル用の貼り合わせ基板も含まれる。

液晶表示装置に使用される液晶表示パネル基板は、一対のガラス基板の間に液晶が封入されて構成されている。一方のガラス基板には、配線、ＴＦＴ等が設けられており、通常ＴＦＴ基板と称されている。他方の基板には、カラーフィルタ（ＣＦ）が設けられており、通常ＣＦ基板と称せられている。このような表示パネル基板は、例えば、一対のマザーガラス基板同士を貼り合わせた後に、表示パネル基板の大きさになるように分断されることによって形成される。ＴＦＴ基板となるマザーガラス基板には、表示パネル基板毎に所定のＴＦＴ、配線等が予め設けられている。
図１３は、分断された表示パネル基板の概略斜視図である。表示パネル基板１０を構成するＴＦＴ基板１１（図１３において下側に配置されている）には、ＴＦＴ、配線等が設けられており、一方の側部上には、各配線にそれぞれ接続された複数の端子１１ｂが設けられた端子部１１ａが形成されている。他方のＣＦ基板１２は、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部１１ａが露出するように、ＴＦＴ基板１１と貼り合わせられている。
このような構成の表示パネル基板１０を製造する場合には、図１４（ａ）に示すように、貼り合わせガラス基板１０ＡのＴＦＴ基板１１Ａに設けられた端子部１１ａの各端子１１ｂ同士が、ＴＦＴ基板１１Ａにおける端子部１１ａの側縁に設けられたショートリンク１１ｃによって、相互に電気的に接続されている。ショートリンク１１ｃは、各端子１１ｂおよび各配線に電荷が蓄積することを防止し、各配線等が静電破壊することを防いでいる。そして、マザーＣＦ基板とマザーＴＦＴ基板を貼り合わせた貼り合わせマザーガラス基板から複数の貼り合わせガラス基板１０Ａがそれぞれ分断された後に、図１４（ｂ）に示す分断ライン１１ｄに沿ってＴＦＴ基板１１Ａを分断することによって、ショートリンク１１ｃによる各端子部１１ｂ同士の連結が解除される（図１３参照）。ＴＦＴ基板１１Ａが分断ライン１１ｄに沿って分断されると、分断ライン１１ｄに沿った端面１１ｅが研磨されるとともに、その端面１１ｅにおける両側のエッジ部がそれぞれ面取りされる。なお、この場合、ＴＦＴ基板１１における端子部１１ａに沿った端面１１ｅのみならず、表示パネル基板１０の端子部が形成されていない端面において、ＣＦ基板１２の上部エッジとＴＦＴ基板１１の下部エッジが面取りされる。
貼り合わせガラス基板１０Ａは、相互に貼り合わせられた一対のマザーガラス基板をそれぞれ分断することによって形成される。図１５は貼り合わせマザー基板から分断された貼り合わせガラス基板１０Ａの断面図である。この場合、ＴＦＴ基板１１Ａに設けられた端子部１１ａが露出するように、ＣＦ基板１２Ａが分断されるために、ＣＦ基板１２Ａの分断位置が、ＴＦＴ基板１１Ａの分断位置とは異なり、図１５に示すように、ＣＦ基板１２Ａの分断位置は、ＴＦＴ基板１１ＡとＣＦ基板１２Ａとが相互に貼り合わせるために設けられたシール材１３の近傍になる。このために、ＣＦ基板１２Ａを分断する際には、シール材１３による引っ張り力が、分断されるＣＦ基板１２Ａの端面１２ｅに加わり、分断される端面１２ｅが、図１５に破線で示されるように、シール材１３に接近するにつれて順次シール材１３に接近する方向に傾斜した状態（えぐれ）になるおそれがある。
また、相互に貼り合わされた一対のマザーガラス基板から貼り合わせガラス基板１０Ａを分断する際および貼り合わせガラス基板１０Ａからショートリンク１１ｃを切除するためにＴＦＴ基板１１Ａの端子部１１ａを分断する際には、分断された表示パネル基板１０のＴＦＴ基板１１の端面あるいはＣＦ基板１２の端面に欠けが生じるおそれがある。ＴＦＴ基板１１の端子部１１ａに隣接する端面１１ｅに、比較的大きな貝殻状の欠けが生じると、その欠けがＴＦＴ基板１１の内部に経時的に伸展することによって、端子部１１ａに設けられた端子１１ｂが断線するおそれがある。
このように、相互に貼り合わされた一対のマザーガラス基板から分断されたＴＦＴ基板１１の端面部またはＣＦ基板１２の端面部に欠け等の欠陥が生じた表示パネル基板１０が、次工程に搬送されて液晶表示装置とされると、製造された液晶表示装置が正常に動作せず、不良製品が発生するおそれがある。
液晶表示装置の最終製造段階で不良品が発見されると、液晶表示装置の製造に際しての歩留まりが著しく低下するという問題がある。特に、前述したように、ＣＦ基板１２の端面１２ｅが、傾斜した状態となっている場合には、その後の洗浄工程において、傾斜した端面１２ｅとＴＦＴ基板１１との間に水分が浸入し、ＴＦＴ基板１１における端子部１１ａの端子１１ｂを腐食させるおそれがあり、製品不良となる可能性が高い。
このような問題を解決するためには、マザー貼り合わせ基板から分断された表示パネル基板１０のＴＦＴ基板１１の端面部またはＣＦ基板１２の端面部を、次工程に搬送する前に検査して、端面傾斜、端面部の欠け等の欠陥を検出することが好ましい。しかしながら、表示パネル基板１０における端面傾斜、欠け等の欠陥部分を、効率よく正確に検出することは容易でないという問題がある。
さらには、表示パネル基板１０のＴＦＴ基板１１の端面部およびＣＦ基板１２の端面部は、通常、ＴＦＴ基板１１およびＣＦ基板１２の間に液晶が注入された後に、各端面部のエッジ部が、それぞれ、砥石による湿式研削加工によって面取りされるが、所定量だけ確実に面取りされていることを確認することが容易でないという問題もある。
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、透明基板の端面部における欠け等の欠陥の検出を効率よく、正確におこなうことができ、端面における面取り部分の状態の検査等を容易に行うことができる透明基板端面部の検査装置およびその検査方法を提供することにある。

本発明の透明基板端面部の検査装置は、透明基板を支持するテーブルと、該テーブルに載置された透明基板の端面部に対向して配置されており、該端面部に向かって光を間欠的に照射する第１の照明手段と、前記端面部およびその近傍部分を撮像領域とし、前記透明基板の表面に対して少なくとも１つの方向に配置された撮像手段と、該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて前記端面部における欠陥を検出する画像処理手段とを具備することを特徴とし、これにより、上記目的が達成される。
前記透明基板に沿って照射される光を、前記端面部に向かって反射させる第１の反射手段をさらに具備し、前記撮像手段は、該第１の反射手段によって反射された光が照射される前記端面部およびその近傍部分を撮像領域とするように配置されれもよい。
前記撮像手段は、前記反射手段とは前記透明基板に対して反対側に配置されてもよい。
前記テーブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記第１の反射手段が、前記透明基板の下方に設けられてもよい。
前記テーブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記透明基板の上方に第２の反射手段が設けられてもよい。
前記テーブルは、水平方向に移動可能でよい。
前記テーブルは、テーブルの表面に対して垂直な軸周りに回転可能でよい。
前記第１の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テーブルに対して移動可能でよい。
前記第１の反射手段は、前記第１の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられてもよい。
前記第１の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能でよい。
前記第２の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テーブルに対して移動可能でよい。
前記第２の反射手段は、前記第１の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられてもよい。
前記第２の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能でよい。
前記第１の照明手段の消灯時間中に前記透明基板の端面部へ光を間欠的に照射させる第２の照明手段をさらに具備してもよい。
前記第１の照明手段が、前記透明基板の端面部に平行に長く延びる線状光源でよい。
前記線状光源がＬＥＤアレイでよい。
前記撮像手段がＣＣＤカメラでよい。
前記第１の照明手段と前記第１の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられてもよい。
前記第１の照明手段と前記第２の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられてもよい。
前記画像処理手段は、前記撮像手段において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画素の画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定してもよい。
前記画像処理手段は、特定された前記透明基板の端面部と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出してもよい。
前記端面部のエッジ部が面取り加工されてもよい。
前記画像処理手段は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出してもよい。
前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板でよい。
前記画像処理手段は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能でよい。
本発明の透明基板端面部の検査方法は、透明基板の端面部に第１の照明手段により間欠的に光を照射する工程と、前記端面部およびその近傍部分を撮像手段によって撮像する工程と、該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて前記端面部における欠陥を検出する工程とを包含することを特徴とし、これにより、上記目的が達成される。
前記光の照射工程および前記撮像工程おいて、前記透明基板に沿って間欠的に照射される光が、反射手段によって前記端面部に向かって反射されてもよい。
前記端面部に間欠的に光を照射させる第１の照明手段の消灯時間中に、第２の照明手段によって前記端面部へ間欠的に光が照射されてもよい。
前記欠陥を検出する工程は、前記撮像手段において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定し、特定された前記透明基板の端面と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出してもよい。
前記端面のエッジ部が面取り加工されてもよい。
前記欠陥を検出する工程は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出してもよい。
前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板でよい。
前記欠陥を検出する工程は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能でよい。

図１は、本発明の透明基板端面部の検査装置の実施形態における概略構成図である。
図２は、本発明の透明基板端面部の検査装置における制御系のブロック図である。
図３は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作手順を示すフローチャートである。
図４は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作手順を示すフローチャートである。
図５は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作説明のための画像の一例である。
図６（ａ）は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。
図６（ｂ）は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。
図７（ａ）は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。
図７（ｂ）は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。
図８は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理を説明するための画像の一例である。
図９は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の手順を示すフローチャートである。
図１０は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。
図１１は、端面照射部の照明と落射照明が点灯、消灯される様子を説明する図である。
図１２は、面取り量を検査する透明基板端面部の検査装置の光学系の概略構成図である。
図１３は、表示パネル基板の概略構成を示す斜視図である。
図１４（ａ）は、その表示パネル基板の製造手順を示す概略斜視図である。
図１４（ｂ）は、その表示パネル基板の製造手順を示す概略斜視図である。
図１５は、表示パネル基板の要部の断面図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の透明基板端面部の検査装置の一例を示す概略構成図である。この透明基板端面部の検査装置１は、例えば、図１３に示された表示パネル基板１０のＴＦＴ基板１１およびＣＦ基板１２の各端面部をそれぞれ検査するために使用される。
この透明基板端面部の検査装置１は、基台２４上に所定のＹ軸方向にスライド可能に設けられたスライドテーブル２３と、このスライドテーブル２３上に設けられたＤＤモータ（ダイレクトドライブモータ）２２と、ＤＤモータ２２によって回転されるように設けられた回転テーブル２１とを有し、この回転テーブル２１上に、表示パネル基板１０が水平状態で載置されるようになっている。
回転テーブル２１は、載置される表示パネル基板１０を真空吸着によって水平状態で固定するようになっている。スライドテーブル２３上に設けられたＤＤモータ２２は、回転軸が垂直方向になっており、このＤＤモータ２２によって、回転テーブル２１は、垂直軸周りに回転させられる。回転テーブル２１は、載置される表示パネル基板１０の周縁部が、回転テーブル２１の外方の周囲に突出した状態で表示パネル基板１０を支持するように構成されている。
ＤＤモータ２２が設けられたスライドテーブル２３は、基台２４上に相互に平行に設けられた一対のＹ軸用ガイドレール２５に沿ってスライド可能になっている。一対のＹ軸用ガイドレール２５の間には、各Ｙ軸用ガイドレール２５と平行にＹ軸用ボールネジ２６が回転可能に設けられており、このＹ軸用ボールネジ２６には、スライドテーブル２３の下面に取り付けられたＹ軸用ボールナット２７が螺合している。Ｙ軸用ボールネジ２６の一方の端部には、Ｙ軸用サーボモータ２８が連結されており、Ｙ軸用サーボモータ２８によって、Ｙ軸用ボールネジ２６は正転および逆転される。そして、Ｙ軸用ボールネジ２６の正転および逆転によって、スライドテーブル２３は、一対のＹ軸用ガイドレール２５に沿ってＹ軸の両方向（図１の紙面に垂直な前後方向）にスライドされる。
基台２４には、回転テーブル２１の上方に、Ｙ軸用ボールネジ２６および各Ｙ軸用ガイドレール２５とは直交するＸ軸方向に沿って水平状態になるように架設された支持台３１が設けられている。この支持台３１には、基台２４上に設けられたＹ軸用ボールネジ２６および各Ｙ軸用ガイドレール２５とは直交する方向に沿った一対のＸ軸用ガイドレール３２が、一直線に並ぶように設けられている。そして、各Ｘ軸用ガイドレール３２に、スライドブロック３４が、それぞれスライド可能に係合している。
また、支持台３１上には、各Ｘ軸用ガイドレール３２とはそれぞれ平行にＸ軸用ボールネジ３３が、水平状態で架設されており、各Ｘ軸用ボールネジ３３には、各スライドブロック３４に取り付けられたＸ軸用ボールナット（図示せず）が、それぞれ螺合している。各Ｘ軸用ボールネジ３３それぞれにおける相互に離れて位置する各端部には、光学系移動用サーボモータ３５が、それぞれ連結されており、各光学系移動用サーボモータ３５によって、各Ｘ軸用ボールネジ３３がそれぞれ正転および逆転される。従って、各Ｘ軸用ボールネジ３３がそれぞれ正転および逆転されることによって、スライドブロック３４が、Ｘ軸方向に沿ってＸ軸の両方方向（図１の左右方向）に往復移動する。
各スライドブロック３４は、支持台３１の下方にまで延出しており、それぞれの下端部が、回転テーブル２１上に載置された表示パネル基板１０に近接した状態になっている。各スライドブロック３４には、回転テーブル２１上に載置された表示パネル基板１０を構成するＴＦＴ基板１１およびＣＦ基板１２の両側に位置する各端面部をそれぞれ撮像するＣＣＤカメラ３６が、光軸を垂直状態としてそれぞれ設けられている。
各ＣＣＤカメラ３６の撮像領域は、表示パネル基板１０における端子部１１ａのＴＦＴ基板１１の端面１１ｅおよびＣＦ基板１２の端面１２ｅをそれぞれ撮像することができるように、光軸に対して１５ｍｍ程度の範囲になっている。各ＣＣＤカメラ３６によって撮像された画像データは、画像処理装置５１（図２参照）に与えられて、所定の画像処理が実施される。
また、各ＣＣＤカメラ３６の下側には、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像される領域に対して、表示パネル基板１０の両側の側縁部をそれぞれ位置合わせする際に使用される落射照明３７が、その光軸を各ＣＣＤカメラ３６の光軸と一致させた垂直状態で配置されている。
また、各スライドブロック３４には、他方のスライドブロック３４の遠方側において上下方向に沿って延びる連結ブロック３８がそれぞれ取り付けられており、各連結ブロック３８の下端部には、回転テーブル２１上に載置された表示パネル基板１０の両側に位置する各端面部に対して光をそれぞれ照射する端面照明部３９が、各端面に対向するように、それぞれ設けられている。
各端面照明部３９は、例えば、水平方向に沿って延びる線状光源によってそれぞれ構成されており、本実施の形態では、複数のＬＥＤを水平方向に並べて配置したＬＥＤアレイによってそれぞれ構成されている。
回転テーブル２１上に載置された表示パネル基板１０の両側の各側縁部の上方域には、各端面照明部３９によって照射される光を、その下方に位置する端面に向かって反射させる上部反射鏡４１がそれぞれ設けられている。各上部反射鏡４１は、例えば、ＣＣＤカメラ３６の垂直状態となった光軸に対して、１０〜６０ｍｍ程度の距離をあけて、それぞれ配置されている。
また、各端面の下方域にも、各端面照明部３９から照射される光を、その上方に位置する端面に向かって反射させる下部反射鏡４２がそれぞれ設けられている。各下部反射鏡４２は、例えば、ＣＣＤカメラ３６の垂直状態となった光軸に対して、５〜３０ｍｍ程度の距離をあけて、また、表示パネル基板１０の上面に対して、５〜２５ｍｍ程度の間隔をあけて、それぞれ配置されている。
各上部反射鏡４１は、各端面照明部３９から照射される光を反射させて、その下方に位置する表示パネル基板１０の端面部に照射させる。各下部反射鏡４２も同様に、各端面照明部３９から照射される光を反射させて、その上方に位置する表示パネル基板１０の端面部に照射させる。各上部反射鏡４１は、図１に示す傾斜状態における傾斜方向に沿った長さが、それぞれ３０ｍｍになっており、また、各下部反射鏡４２は、図１に示す傾斜状態における傾斜方向に沿った長さが、それぞれ１０ｍｍになっている。
各上部反射鏡４１の一方の端部には、表示パネル基板１０の端面に沿った水平な軸回りに沿って各上部反射鏡４１を回動させる上部反射鏡回動モータ４３がそれぞれ連結されており、各上部反射鏡回動モータ４３によって、各上部反射鏡４１が、垂直方向に対して１０°〜４０°の角度で回動され、これにより、各上部反射鏡４１による光の反射方向がそれぞれ微調整される。
各下部反射鏡４２の一方の端部にも、同様に、表示パネル基板１０の端面に沿った水平な軸回りに沿って各下部反射鏡４２を回動させる下部反射鏡回動モータ４４がそれぞれ連結されており、各下部反射鏡回動モータ４４によって、各下部反射鏡４２が、垂直方向に対して１０°〜４０°の角度で回動され、これにより、各下部反射鏡４２による光の反射方向が微調整されるようになっている。
各上部反射鏡回動モータ４３は、それぞれ、上部反射鏡スライド用シリンダ４５によって、Ｘ軸方向に沿って水平にスライドさせられ、位置調整ができるようになっている。さらに、各上部反射鏡スライド用シリンダ４５は、上部反射鏡昇降用シリンダ４６によって、上下方向に昇降させられ、位置調整ができるようにそれぞれ構成されている。そして、各上部反射鏡昇降用シリンダ４６は、対応する上部反射鏡４１の上方に位置するスライドブロック３４に、それぞれ取り付けられている。従って、各上部反射鏡昇降用シリンダ４６によって、対応する上部反射鏡４１が、上部反射鏡スライド用シリンダ４５とともに昇降する。
各下部反射鏡回動モータ４４は、それぞれ、下部反射鏡スライド用シリンダ４７によって、Ｘ軸方向に沿って水平にスライドさせられ、位置調整ができるようになっている。さらに、各下部反射鏡スライド用シリンダ４７は、下部反射鏡昇降用シリンダ４８によって、上下方向に昇降させられ、位置調整ができるようにそれぞれ構成されている。そして、各下部反射鏡昇降用シリンダ４８は、対応する表示パネル基板１０の端面部に光をそれぞれ照射する端面照明部３９がそれぞれ取り付けられた連結ブロック３８にそれぞれ取り付けられている。従って、各下部反射鏡昇降用シリンダ４８によって、対応する下部反射鏡４２が、下部反射鏡スライド用シリンダ４７とともに昇降する。
図２は、本発明の透明基板端面部の検査装置１の制御系のブロック図である。各ＣＣＤカメラ３６によって撮像される画像データは、画像処理部５１に入力されるようになっており、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像された画像データが画像処理部５１で画像処理される。そして、画像処理部５１の出力が、制御部５２に出力され、制御部５２によって、ＤＤモータ２２、Ｙ軸用サーボモータ２８、各光学系移動用モータ３５、各落射照明３７、各上部反射鏡回動モータ４３、各下部反射鏡回動モータ４４、各上部反射鏡スライド用シリンダ４５、各上部反射鏡昇降用シリンダ４６、各下部反射鏡スライド用シリンダ４７、各下部反射鏡昇降用シリンダ４８が、それぞれ制御される。
このような構成の透明基板端面部の検査装置１では、表示パネル基板１０の両側に位置するそれぞれの端面部を同時に検査することができる。本発明の透明基板端面部の検査装置１では、まず、検査対象である表示パネル基板１０が、回転テーブル２１上に載置される。回転テーブル２１上に載置表示パネル基板１０は、その外周縁部が、回転テーブル２１の周縁から突出した水平状態で、真空吸着によって回転テーブル２１上に固定される。
表示パネル基板１０が回転テーブル２１上に固定されると、制御部５２は、Ｙ軸用サーボモータ２８およびＤＤモータ２２を制御して、回転テーブル２１の位置を調整する。回転テーブル２１は、固定された表示パネル基板１０における一対のコーナー部が、上方に配置された各ＣＣＤカメラ３６のそれぞれの撮像領域内に位置するように調整される。
このような状態になると、制御部５２は、各落射照明３７をそれぞれ点灯して、各落射照明３７によって、対応する各ＣＣＤカメラ３６の下方の撮像領域付近に光をそれぞれ照射する。そして、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像された各コーナー部の画像データが画像処理部５１に与えられて、その画像データが処理される。画像処理部５１による画像処理結果に基づいて、制御部５２は、支持台３１上に設けられた各光学系移動用サーボモータ３５、Ｙ軸用サーボモータ２８およびＤＤモータ２２を駆動し、各ＣＣＤカメラ３６の撮像領域における中心位置に、回転テーブル２１上に固定された表示パネル基板１０の一対のコーナー部がそれぞれ一致するように、回転テーブル２１の位置を調整する。
ＣＣＤカメラ３６の撮像領域における中心位置に表示パネル基板１０の一対のコーナー部がそれぞれ一致した状態になると、各スライドブロック３４に連結ブロック３８を介してそれぞれ一体的に取り付けられた各端面照明部３９が、回転テーブル２１上に固定された表示パネル基板１０の各端面部にそれぞれ対向した状態になる。
このような状態になると、制御部５２は、Ｙ軸用サーボモータ２８を駆動して、表示パネル基板１０を支持する回転テーブル２１を、Ｙ軸方向に沿って移動させるとともに、その移動の間に、各端面照明部３９が、所定の時間間隔でそれぞれ間欠的に点灯される。そして、各端面照明部３９が点灯される間に、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像される画像に基づいて、表示パネル基板１０の両側の各端面部の状態がそれぞれ検査される。
本発明の透明基板端面部の検査装置１では、図１３に示すように、表示パネル基板１０におけるＴＦＴ基板１１の端子部１１ａに隣接した端面１１ｅと、ＣＦ基板１２における端子部１１ａに隣接する端面１２ｅとの両方と、端子部１１ａが設けられた表示パネル基板１０の側縁部とは反対側の側縁部におけるＴＦＴ基板１１の端面およびＣＦ基板１２の端面とを同時に検査することができる。
この場合、制御部５２は、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像された画像データに基づいて、各スライドブロック３４にそれぞれ取り付けられた上部反射鏡昇降用シリンダ４６と、各上部反射鏡昇降用シリンダ４６にそれぞれ取り付けられた各上部反射鏡スライド用シリンダ４５を制御して、各上部反射鏡４１の上下方向位置およびＹ軸方向位置をそれぞれ調整するとともに、各上部反射鏡回動モータ４３をそれぞれＹ軸方向に沿った水平な軸に沿って回動させて、反射させる光の方向を調整する。これにより、各端面照明部３９によって照射されて、各上部反射鏡４１によって反射された光が、表示パネル基板１０の両側の各端面部およびその近傍を含むＣＣＤカメラ３６の撮像領域にそれぞれ照射される。
さらに、制御部５２は、各ＣＣＤカメラ３６によって撮像された画像データに基づいて、各スライドブロック３４に連結ブロック３８を介してそれぞれ取り付けられた各下部反射鏡昇降用シリンダ４８および各下部反射鏡スライド用シリンダ４７を駆動させて、各下部反射鏡４２の上下方向位置およびＹ軸方向位置をそれぞれ調整するとともに、各下部反射鏡回動モータ４４をそれぞれＹ軸方向に沿った水平な軸に沿って回動させて、反射させる光の方向を調節する。これにより、各端面照明部３９によって照射されて、各下部反射鏡４１によって反射された光が、表示パネル基板１０の両側の各端面部およびその近傍を含む各ＣＣＤカメラ３６の撮像領域にそれぞれ照射される。
各端面照明部３９がそれぞれ点灯されると、各端面照明部３９から照射されて、対応する各下部反射鏡４２によって反射された光は、表示パネル基板１０の各端面部にそれぞれ照射されて、各端面部で反射した光が、対応する各ＣＣＤカメラ３６に取り込まれる。また、各上部反射鏡４１によってそれぞれ反射される光は、表示パネル基板１０の各端面部に照射されて、各端面部で反射した光が対応する各ＣＣＤカメラ３６に撮像される。
各上部反射鏡４１および各下部反射鏡４２によって反射されて、表示パネル基板１０の各端面部で反射した光は、各端面部に欠け等の欠陥が生じていない場合には、各ＣＣＤカメラにて受光される光の強度は一定であるが、各端面部に欠け等の欠陥が生じている場合には、その欠陥部分で光が乱反射することになり、各ＣＣＤカメラ３６にて受光される光の強度が高くなる。
表示パネル基板１０の端子部を検査する際、各ＣＣＤカメラ３６の撮像領域は、表示パネル基板１０におけるＴＦＴ基板１１の端子部１１ａに近接した端面１１ｅと、ＣＦ基板１２における端子部１１ａに隣接する端面１２ｅとの両方を含むようになっており、これらの端面１１ｅおよび１２ｅの両方を検出する場合と、これらの端面１１ｅおよび１２ｅのいずれか一方のみをそれぞれ検出する場合とによって、画像処理部５１による画像処理が切り換えられるようになっている。
図３および図４は、画像処理部５１による画像処理の手順を示すフローチャートである。なお、各ＣＣＤカメラ３６による撮像画像の画像処理は、それぞれ同様になっているので、以下に、一方のＣＣＤカメラ３６による画像処理について説明する。図３および図４に示すフローチャートでは、表示パネル基板１０におけるＴＦＴ基板１１の端子部１１ａに近接した端面と、ＣＦ基板１２における端子部１１ａに隣接する端面との両方を検査することが予め設定されており、この場合には、１つのＣＣＤカメラ３６によって撮像される画像領域に、各端面に対応する２つの画像処理領域Ａが設定される（ステップ１）。
図５は、この場合のＣＤＤカメラ３６によって撮像される画像の一例である。表示パネル基板１０におけるＴＦＴ基板１１の端子部１１ａに近接した端面１１ｅおよび１２ｅに、端面照明部３９の点灯によって、上部反射鏡４１および下部反射鏡４２による反射光がそれぞれ照射されると、各端面１１ｅおよび１２ｅに欠け等の欠陥が存在しない場合には、各端面１１ｅおよび１２ｅによるそれぞれの反射光が、一定の強度で、ＣＣＤカメラ３６によって撮像される。そして、各端面１１ｅおよび１２ｅを中心とした一定幅の領域が各端面１１ｅおよび１２ｅに沿って、画像処理領域Ａ１およびＡ２としてそれぞれ設定される。
なお、表示パネル基板１０における端子部１１ａの両側に位置する各端面１１ｅおよび１２ｅの両方を検査対象とせずに、いずれか一方のみを検査対象とする場合には、画像処理領域Ａ１およびＡ２の対応するいずれか一方が設定されることになる。以下、設定された画像処理領域をＡとする。
画像処理領域Ａが設定されると、図６（ａ）に示すように、この設定された画像処理領域Ａ内において、所定の光強度以上の光を受光した画素をそれぞれ抽出して、抽出された画素の総数を計数する（ステップＳ２）。すなわち、ＣＣＤカメラ３６の画像データなる画素の画像の濃度を求めて、所定の濃度以上画素を抽出して抽出された画素の総数を計数する。なお、図６（ａ）では、所定の光強度以上の光を受光した画素を黒く塗りつぶして示している。この所定の光強度以上の光を受光した画素の抽出は、端面照明部３９が間欠的に点灯する度に繰り返されることになる。
画像処理領域Ａ内の所定の光強度以上の光を受光した画素の総数が計数されると、所定の濃度以上になっている画素のＸＹ座標が特定される（ステップＳ３）。所定の濃度以上の画素のＸＹ座標が特定されると、特定された所定の濃度以上の画素のＸＹ座標から、画像処理領域Ａ内における所定の濃度以上のＹ軸方向に沿った画素数を、Ｘ座標毎に集計する（ステップＳ４）。そして、その集計結果に基づいて、図６（ｂ）に示すようにヒストグラムを作成する。
このようにしてヒストグラムが作成されると、図７（ａ）に示すように、所定の濃度以上のＹ軸方向に沿った画素数が最大となるＸ座標を求めて、そのＸ座標における所定の濃度以上の画素数（最大画素数ｎ）に対して、予め設定された割合（例えば６０％）を乗じて、閾値画素数（０．６ｎ）とする（ステップＳ５）。そして、図７（ｂ）に示すように、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多いＸ座標を抽出する（ステップＳ６）。図７（ｂ）では、Ｘ座標が１００、１０１、１１０の３箇所において、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多くなっている。
このようにして、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多くなっているＸ座標位置が抽出されると、抽出された各Ｘ座標位置における所定の濃度以上の画素数ｎ１と、隣接するＸ座標位置（Ｘ−１）における画素数ｎ２との差（ｎ１−ｎ２）の絶対値を演算し（図４のステップＳ７参照）、演算された画素数の差が大きい２つのＸ座標位置を抽出する。図７（ｂ）では、Ｘ座標位置として、１００および１１０が抽出される（ステップＳ８）。抽出された各Ｘ座標が、検査対象の端面が位置する座標の候補とされる。そして、端面位置の候補とされた２つのＸ座標の距離が演算される。
このような処理が、所定の時間間隔で端面照明部３９が点灯される毎に、順次、実施される。そして、端面照明部３９の点灯毎に、検査対象の端面の候補とされるＸ座標位置と、候補とされた２つのＸ座標の距離とが、順次演算されると、その演算結果を、順次得られるそれぞれの平均値（移動平均値）とそれぞれ比較される（ステップＳ９）。
検査対象の端面の候補とされるＸ座標と、候補とされた２つのＸ座標の距離とが、それぞれ移動平均値に対して、予め設定された範囲内になっていて、検査対象の端面の候補とされる演算されたＸ座標が、その直前に演算された端面の候補とされるＸ座標と比較して、両者の差が、予め設定された所定の範囲内となっている場合には、得られたＸ座標を検査対象の端面の位置と判定する（ステップ１０）。
検査対象の端面の候補とされるＸ座標位置と、候補とされた２つのＸ座標の距離とが、移動平均値に対して、予め設定された範囲内になっていない場合には、その端面に欠け等の欠陥が発生して、画像がその影響を受けているものとして、得られたＸ座標を端面位置として採用せずに、すでに得られているＸ座標の平均値もしくは前回の検査で求めた端面位置を採用して、欠陥の検査が実施される。
このようにして、Ｘ座標が特定されて、その特定されたＸ座標が検査対象の端面の位置とされると、欠陥検査が実施される。この場合、まず、例えば、図８に示すように、設定された端面に対して、欠陥検査領域が設定される。図８では、欠陥検査領域は、表示パネル基板１０におけるＴＦＴ基板１１の端子部に隣接する端面１１ｅと、その端子部に隣接するＣＦ基板１２の端面１２ｅとの両方を検査対象とする場合を示しており、この場合には、欠陥検査領域Ｄ１〜Ｄ４は、設定された各端面の両側にそれぞれ沿って設定される。
ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅの外側に設定される欠陥検査領域Ｄ１は、ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅから突出する凸状の欠陥部分を検出するために設定され、ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅの内側に設定される欠陥検査領域Ｄ２は、ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅに対して凹状になった欠陥部分を検出するために設定される。同様に、ＣＦ基板１２の端面１２ｅの外側に設定される欠陥検査領域Ｄ３は、ＣＦ基板１２の端面１２ｅから突出する凸状の欠陥部分を検出するために設定され、ＣＦ基板１２の端面１２ｅの内側に設定される欠陥検査領域Ｄ４は、ＣＦ基板１２の端面１２ｅに対して凹状になった欠陥部分を検出するために設定される。
なお、欠陥検出領域は、このように、各端面の両側にそれぞれ設定する構成に限らず、例えば、ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅに対して面取りが実施される場合のように、凹状の欠陥部分を検査する必要がなければ、ＴＦＴ基板１１の端面１１ｅの内側に欠陥検出領域Ｄ２を設定する必要はない。さらには、各端面の両側に欠陥検査領域をそれぞれ設ける構成に限らず、各端面に対して端面が欠陥検査領域の中央に位置するように１つの欠陥検査領域を設定するようにしてもよい。
このようにして、欠陥検査領域が設定されると、各端面における欠陥の検出処理が実施される。図９は、欠陥検出の処理手順を示すフローチャートである。この欠陥検出処理では、まず、所定の時間間隔で各端面照明部３９が点灯される毎に、設定された欠陥検査領域において、濃度が高い島状部分（ランド部）が存在するかを検査する。そして、各欠陥検査領域毎に、ランド部の総数、各ランド部の面積、各ランド部におけるＸ座標の最大値と最小値およびＹ座標の最大値と最小値について演算する（図９のステップＳ３１参照、以下同様）。
この場合、各欠陥検査領域におけるランド部の面積が、予め設定された所定の閾値面積よりも小さい場合には、そのランド部は、ランド部として認定せず、従って、以後の処理の対象とはしない（ステップＳ３２）。
そして、各欠陥検査領域に、所定の大きさ以上のランド部が存在する場合には（ステップＳ３３）、欠陥検査領域においてランド部の存在が検出されると、端面に対するランド部の距離が演算される（ステップＳ３４）。図１０（ａ）〜（ｃ）は、ＴＦＴ基板１１における端面１１ｅと、その端面１１ｅの両側に設けられた欠陥検査領域Ｄ１およびＤ２において検出されるランド部Ｌとの位置関係を示している。端面１１ｅとランド部Ｌとの関係は、図１０に示すように、ランド部におけるＸ座標の最大値および最小値と、端面１１ｅのＸ座標とに基づいて演算される。
図１０（ａ）および（ｃ）は、それぞれ、端面１１ｅのＸ座標が、ランド部ＬにおけるＸ座標の最大値および最小値の間にある場合であり、図１０（ｂ）は、ランド部ＬにおけるＸ座標の最大値および最小値の両方が、端面１１ｅのＸ座標よりも大きい場合であり、それぞれの場合に、ランド部ＬにおけるＸ座標の最大値と端面１１ｅとの距離ＬＡと、ランド部ＬにおけるＸ座標の最小値と端面１１ｅとの距離ＬＢとが演算されて、演算された各距離ＬＡおよびＬＢと、端面１１ｅのＸ座標とランド部ＬにおけるＸ座標の最大値および最小値との関係から端面１１ｅに対するランド部Ｌの位置が特定される。
このようにして、各ランド部と端面との位置関係が特定されると、各ランド部が検出される欠陥検査領域に基づいて、各ランド部毎に、欠陥の種類、すなわち、凹状または凸状の欠陥のいずれであるかがそれぞれ特定される。さらには、各ランド部の面積に基づいて欠陥の大きさが特定されるとともに、各ランド部と端面との距離に基づいて、凹状欠陥の深さまたは凸状欠陥の突出量が、それぞれ特定される（ステップＳ３５）。
その後、存在する欠陥の種類と、欠陥の大きさと、深さまたは突出量とに基づいて、その欠陥が許容できる範囲内であるか、すなわち、欠陥の種類に対して予め設定されている欠陥の大きさと、深さまたは突出量とが比較されて、検出された欠陥が許容できるか判定される（ステップＳ３６）。そして、存在する欠陥が許容できる範囲でなければ、検査対象である表示パネル基板１０が不良品と判定され（ステップＳ３７）、存在する欠陥が許容できる範囲であれば、検査対象である表示パネル基板１０が良品と判定される（ステップＳ３８）。
このようにして、表示パネル基板１０の２辺に相当する一対の各端面部の検査が終了すると、表示パネル基板１０が載置され固定されている回転テーブル２１が再び検査開始位置へ復帰するために移動させられるとともに、ＤＤモータ２１によって垂直軸回りに９０°回転させられ、各スライドブロック３４が表示パネル基板１０のサイズ等のデータに基づき移動し、上述した検査方法と同様の検査方法により表示パネル基板１０の残りの２辺に相当する一対の各端面部の検査が実施される。
なお、表示パネル基板１０の４辺に相当する端面の検査には、上述のように本発明の透明基板端面部の検査装置を一台用いる構成に限らず、検査処理時間の短縮のために２台の検査装置を用いる構成とすることも可能である。
また、図１１に示すように端面部の検査中に所定の時間間隔で点灯される端面照明部３９の照明の消灯時間に間欠的に落射照明３７を点灯させた光を、表示パネル基板１０の端面部に照射させ、反射した光の光強度を各ＣＣＤカメラ３６で検出し、上述した画像処理方法と同様の方法により透明基板の端面部の検査を実施することで表示パネル基板の端面部に対して照射される光の方向が増えるため、表示パネル基板の端面部に発生した欠け、エグレなど欠陥を検出する精度が向上する。
なお、表示パネル基板１０の端面部の検査を行う場合には、落射照明３７で検出しやすい欠陥と端面照明部３９の照明で検出しやすい欠陥が異なり、また、ガラス基板の材質などにより発生する欠陥が異なるため、落射照明３７と端面照明部３９の両方の照明を使用した検査と落射照明３７または端面照明部３９の照明のいずれかを使用した検査が選択できるようになっている。
また端面照明部３９の照明を表示パネル基板１０の端面部へ照射して得られる画像と落射照明３７を表示パネル基板１０の端面部へ照射して得られる画像とは、画像の濃淡が逆転したものとなり、両者の画像処理は若干異なるものとなる。
さらには、ＴＦＴ基板１１の端面部およびＣＦ基板１２の端面部は、通常、ＴＦＴ基板１１およびＣＦ基板１２の間に液晶が注入された後に、各端面部のそれぞれのエッジ部が、例えば、砥石による湿式研削加工やレーザビームを各端面部のエッジ部に照射させることによって面取りされ、特に、前述のショートリンクを取り除くとともに端子部１１ａのエッジ部を面取りする場合には、ショートリンクが完全に取り除かれるとともにエッジ部の強度を高めるために、所定量だけ確実に面取りされていることの確認が必要となる。
図１２は表示パネル基板１０の端面部のエッジ部が面取り加工された後に面取り量を検査する透明基板端面部の検査装置の光学系の概略構成図である。図１から各落斜照明、各上部反射鏡及び各下部反射鏡と各上部反射鏡及び各下部反射鏡の位置や角度を調整する駆動装置が省かれ下部ＣＣＤカメラ３６Ｂが追加された構成となっている。
この装置を使用した面取り量の検査では、各端面照明部３９Ａからの光が貼り合わせ基板１０Ａの端面部に照射され、その端面部を上部ＣＣＤカメラ３６Ａと下部ＣＣＤカメラ３６Ｂで撮影し、上述の画像処理方法と同様の方法が用いられて検査が実施され面取り量が適切かどうかを確認することができる。
このように、本発明の透明基板端面部の検査装置では、回転テーブル２１上に載置された検査対象である表示パネル基板１０の両側の各側縁部が、それぞれ、回転テーブル２１の側方に延出した状態になっており、各端面照明部３９から照射される光を、表示パネル基板１０の下方に設けられた下部反射鏡４２によって反射させて、表示パネル基板１０における各端面部にそれぞれ照射するようになっているために、表示パネル基板１０の各端面部に対して光が確実に照射される。
そして、表示パネル基板１０の各端面部に照射された光が照射される各端面部およびその近傍部分を、表示パネル基板１０の上方にそれぞれ設けられたＣＣＤカメラ３６によって撮像して、ＣＣＤカメラ３６によって受光される光の強度に基づいて、端面の欠陥を検出しているために、欠陥の検出を高精度で、確実に検出することができる。さらには、欠陥の種類、欠陥位置および欠陥の大きさ等も検出することができる。
例えば、端面部に光を照射して、端面部の画像パターンに基づいて欠陥を検出する方法の場合には、光が照射される表示パネル基板１０の各端面部の近傍に端子部１１ａが存在することによって、画像パターンを正確に認識することができずに、欠陥を正確に検出することができないおそれがあるが、本発明の透明基板端面部の検査装置では、このようなおそれがない。
表示パネル基板１０の各端面部にそれぞれ光を照射する端面照明部３９は、間欠的に点灯されるために、各端面部に照射される光の輝度のバラツキを抑制することができ、しかも、長期にわたって安定的に使用することができる。
また、本発明の透明基板端面部の検査装置及びその検査方法は例えば、フラットパネルディスプレイの一種である液晶表示パネル、有機ＥＬパネル、無機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル等の端面部の検査に適用され、石英基板を貼り合わせた透過型プロジェクター基板等の端面部の検査にも有効に適用することができる。
さらには、本発明の透明基板端面部の検査装置は、検査対象が、表示パネル基板１０のような貼り合わせガラス基板に限らず、１枚のガラス基板およびプラスチック基板等の透明基板の端面部の検査にも適用することができる。

本発明の透明基板端面部の検査装置およびその検査方法は、このように、簡易で安価な光学系と画像処理装置を用いて透明基板の端面部における欠陥を、確実に、しかも、高精度で検出することができ、また透明基板の端面部のエッジ部の面取り後の面取り量を正確に検出することができる。

Claims (30)

1. 透明基板の端面部を検査する検査装置であって、
   光を照射する第１の照明手段と、
   前記透明基板の第１面側において、前記照射された光を前記透明基板の端面部に反射する第１の反射手段と、
   前記透明基板の前記第１面とは反対側の第２面側において、前記照射された光を前記透明基板の端面部に反射する第２の反射手段と、
   前記透明基板の前記第１面側および前記第２面側のうち少なくとも一方の側において、前記透明基板の端面部で反射した光を受け取る撮像手段と、
   前記受け取った光の強度に基づいて、前記透明基板の前記端面部に生じた欠陥を検出する検出手段と
   を備えた検査装置。
2. 前記検査装置は、前記透明基板を水平に支持するテーブルをさらに備え、
   前記第１の反射手段と、前記撮像手段と、前記第２の反射手段とは、前記透明基板の前記第１面側および前記第２面側のうちの一方の面側に設けられている、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記検査装置は、前記透明基板を水平に支持するテーブルをさらに備え、
   前記テーブルは、水平方向に移動可能になっていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
4. 前記テーブルは、前記テーブルの表面に対して垂直な軸周りに回転可能になっていることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
5. 前記第１の反射手段と、前記第２の反射手段と、前記撮像手段とは、一体となって、前記テーブルに対して移動可能になっていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
6. 前記第１の反射手段と前記第２の反射手段とは、前記第１の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
7. 前記第１の反射手段および前記第２の反射手段のそれぞれは、前記照射された光の反射方向を調整可能であることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
8. 前記第１の照明手段は、光を間欠的に照射し、
   前記第１の照明手段の消灯時間中に前記透明基板の端面部へ光を間欠的に照射する第２の照明手段をさらに具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
9. 前記第１の照明手段が、前記透明基板の端面部に平行に長く延びる線状光源であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
10. 前記線状光源がＬＥＤアレイであることを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
11. 前記撮像手段がＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
12. 前記第１の照明手段と前記第１の反射手段と前記第２の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
13. 前記検出手段は、前記撮像手段において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画素の画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
14. 前記検出手段は、特定された前記透明基板の端面部と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出することを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
15. 前記端面部のエッジ部が面取り加工されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
16. 前記検出手段は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出する請求項１に記載の検査装置。
17. 前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板である請求項１に記載の検査装置。
18. 前記検出手段は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするよう切り換え可能に構成された請求項１から請求項１７のいずれか１つに記載の検査装置。
19. 透明基板の端面部を検査する検査方法であって、
    光を照射する第１の照明工程と、
    前記透明基板の第１面側において、前記照射された光を前記透明基板の端面部に反射する第１の反射工程と、
    前記透明基板の前記第１面とは反対側の第２面側において、前記照射された光を前記透明基板の端面部に反射する第２の反射工程と、
    前記透明基板の前記第１面側および前記第２面側のうち少なくとも一方の側において、前記透明基板の端面部で反射した光を受け取る撮像工程と、
    前記受け取った光の強度に基づいて、前記端面部に生じた欠陥を検出する検出工程と、
    を包含する検査方法。
20. 前記第１の照明工程は、前記光を間欠的に照射する工程を包含する請求項１９に記載の検査方法。
21. 前記検査方法は、前記第１の照明工程において照射される光が消灯している時間中に、光を間欠的に照射する第２の照明工程をさらに包含することを特徴とする請求項１９または請求項２０に記載の検査方法。
22. 前記検出工程は、前記撮像工程において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定し、該特定された該透明基板の該端面と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出することを特徴とする請求項１９から請求項２１のいずれかに記載の検査方法。
23. 前記端面部のエッジ部が面取り加工されていることを特徴とする請求項１９に記載の検査方法。
24. 前記検出工程は、前記透明基板の前記端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出する請求項１９に記載の検査方法。
25. 前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板である請求項１９に記載の検査方法。
26. 前記検出工程は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能である請求項１９から請求項２５のいずれか１つに記載の検査方法。
27. 前記第１の照明手段は、前記光を間欠的に照射する、請求項１に記載の検査装置。
28. 前記検出手段は、前記受け取った光の強度に対応する画像の濃度に基づいて、前記透明基板の前記端面部に生じた欠陥を検出する、請求項１に記載の検査装置。
29. 前記第１の照明工程は、前記光を間欠的に照射する工程を含む、請求項１９に記載の検査方法。
30. 前記検出工程は、前記受け取った光の強度に対応する画像の濃度に基づいて、前記透明基板の前記端面部に生じた欠陥を検出する工程を含む、請求項１９に記載の検査方法。

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