JP5274966B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
2 レーザ加工装置
5 デバイス
7 ターゲットパターン
9 メタル層
12 X軸送り手段
16 支持ボックス
22 Y軸送り手段
23 加工送り手段
26 モータ
28 チャックテーブル
34 レーザビーム発振手段
36 集光器(レーザー照射ヘッド)
38 第2撮像手段
62 環状支持部材
74 保持パッド
82 第1撮像手段
84 カメラユニット
110 切削装置
118 切削ブレード
Claims (6)
- ベースを有する加工装置であって、
被加工物を吸引保持する透明体から形成された保持パッドを有する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、
前記保持テーブルと前記加工手段とを該保持テーブルの表面に平行なX軸方向及び該X軸方向に垂直なY軸方向に相対的に送る加工送り手段と、
前記保持テーブルに保持された被加工物を、前記透明保持パッドを通して撮像する該保持パッドより下方位置となるように前記ベースに取り付けられた撮像手段と、
前記保持テーブルを回転可能に支持する前記加工送り手段上に搭載された支持ボックスと、を具備し、
前記保持テーブルは、前記保持パッドと、該保持パッドを支持する環状支持部材を含み、
前記支持ボックスは、前記保持テーブルの前記環状支持部材が回転可能に嵌合される開口を有する上板と、前記加工送り手段上に載置される下板と、該支持ボックス外周の少なくとも一部に撮像手段進入開口部を画成するように前記上板と前記下板とを連結する連結板とを含み、
前記保持パッドは、複数の吸引路を有する吸引路形成領域と、吸引路の形成されていない吸引路非形成領域とを有し、
被加工物を撮像する際には、前記保持テーブルが前記加工送り手段によって移動されることで、前記撮像手段が該撮像手段進入開口部を通して前記支持ボックス中に進入して前記保持テーブルの直下に位置付けられ、該吸引路非形成領域を通して前記撮像手段で被加工物の撮像を行うことを特徴とする加工装置。 - 前記撮像手段を、前記保持パッドに対して垂直な方向に移動させる撮像送り手段を更に具備した請求項1記載の加工装置。
- 前記保持パッドの前記吸引路非形成領域は十字形状である請求項1又は2記載の加工装置。
- 前記保持テーブルに保持された被加工物を、前記保持パッドの上方から撮像する第2撮像手段を更に具備した請求項1〜3の何れかに記載の加工装置。
- 前記保持パッドは、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムから成る群から選択される物質から構成される請求項1〜4の何れかに記載の加工装置。
- 前記加工手段はレーザ照射ヘッド又は切削ブレードの何れかを含む請求項1〜5の何れかに記載の加工装置。
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