CN114750319A - 一种划片机底座及划片机 - Google Patents

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张一暾
张文杰
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Abstract

本发明提供的一种划片机底座及划片机，属于划片技术领域，包括：第一安装板，第一驱动装置，第二安装板，第二驱动装置，第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。本发明通过电机转动带动钢带，牵引从动组件在正负90度范围内调节，正反转动可实现≤2″误差。这种传动承载能力大，加卸载迅速，无时间滞后，无打滑。较传统传动方式弹性形变小，弯曲性能好，易实现中心距、精密传动；无需润滑、耐油、耐低高温，结构简单，维修量大大降低，极大地提高了设备的传动可靠性。

Description

一种划片机底座及划片机
技术领域
本发明涉及划片技术领域，具体涉及一种划片机底座及划片机。
背景技术
主要针对砷化镓、磷化铟材质的光通讯芯片。晶圆在使用前需要进行切割。
在切割过程中，需要将晶圆放置在底座上，为了保证划切头的准确划切，需要对晶圆进行移动，以配合划切头的划切。
发明内容
因此，本发明提供一种划片机底座，包括:
第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；
第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装板进行滑动；
第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；
第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；
第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；
第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。
作为优选方案，所述传动结构包括：
主动轮，与所述第三驱动装置的驱动端连接；
从动轮，与所述工作台连接；所述主动轮和所述从动轮之间通过钢带连接。
作为优选方案，所述主动轮的直径小于所述从动轮的直径。
作为优选方案，所述从动轮通过轴承与所述第三安装板连接。
作为优选方案，所述钢带的材质为弹簧钢；所述钢带的弹性模量为180-220GPa。
作为优选方案，所述第三驱动装置为正反转电机。
作为优选方案，所述主动轮的材料为不锈钢；所述主动轮的表面喷涂有钨丝气体。
作为优选方案，所述电机与所述主动轮键连接。
作为优选方案，所述第一安装板的滑动方向与所述第二安装板的滑动方向垂直设置。
一种划片机，包括上述中任一项所述的划片机底座。
本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的晶圆划切中的缺陷，从而提供一种划片机底座。
本发明技术方案，具有如下优点：
1.本发明提供的一种划片机底座，包括第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装板进行滑动；第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。
当本装置需要进行X轴方向的移动时，第一驱动装置运转并带动第一安装板在X轴方向移动，使工作台沿X轴方向移动，当本装置需要Y轴方向移动时第二驱动装置运转，并带动第二安装板在Y轴方向移动，使工作台在Y轴方向移动，当需要将工作台进行旋转时，启动第三驱动装置，第三驱动装置能带动工作台进行旋转，所以能够满足工作台在水平面上的任意移动，以满足配合划切头的划切工作。
2.本发明提供的的一种划片机底座，所述主动轮和所述从动轮之间通过钢带连接；钢带的传动承载能力大，加卸载迅速，无时间滞后，无打滑；同时，相对于传统的同步轮或者皮带的方式，弹性形变小，弯曲性能好，易实现中心距、精密传动；无需润滑、耐油、耐低高温，结构简单，维修量大大降低，极大地提高了设备的传动可靠性。
3.本发明提供的的一种划片机底座，钢带由弹簧钢制造而成，弹性模量可达200GPa，并且具有弹性形变小、弯曲性能好的特点。并且还在主动轮表面喷涂钨丝气体，经过钨丝气体热喷涂增加使用的强度和耐磨性。
4.本发明提供的的一种划片机底座，通过在第三驱动装置的输出轴与主动轮之间通过键连接，当输出轴转动时，通过键的配合，能够保证主动轮同步转动，使用键连接能使本装置具有传动效率高的特点，并且保证了装置的精准性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明划片机底座的整体示意图。
图2为本发明划片机底座的第一安装板示意图。
图3为本发明划片机底座第二安装板示意图。
图4为本发明本发明划片机底座第三安装板示意图。
附图标记说明：
1、轴承；2、主动轮；3、第二滑块；4、钢带；5、第一驱动装置；6、第二安装板；7、第一安装板；8、第一联动块；9、第一滑块；10、第三驱动装置；11、第二驱动装置；12、第二联动块。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1所示，本发明提供的一种划片机底座，包括第一安装板7，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；第一驱动装置5，驱动端与所述第一安装板7连接，用于驱动所述第一安装板7进行滑动；第二安装板6，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板7上；第二驱动装置11，驱动端与所述第二安装板6连接，用于驱动所述第二安装板6进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板6的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置10，驱动端通过传动结构与工作台连接。当本装置需要进行X轴方向的移动时，第一驱动装置5运转并带动第一安装板7在X轴方向移动，使工作台沿X轴方向移动，当本装置需要Y轴方向移动时第二驱动装置11运转，并带动第二安装板6在Y轴方向移动，使工作台在Y轴方向移动，当需要将工作台进行旋转时，启动第三驱动装置10，第三驱动装置10能带动工作台进行旋转，所以能够满足工作台在水平面上的任意移动，以满足配合划切头的划切工作。
如图2所示，第一安装板7通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上，在第一移动滑台左侧固定安装有第一驱动装置5，所述第一驱动装置5为电机，电机输出轴与丝杠连接，并在丝杠上设有第一联动块8，第一联动块8与第一安装板7通过螺栓固定连接，在丝杠两端还设有两个固定块，用于保障丝杠的移动不会发生偏移，在丝杠两侧还平行设置有滑轨，在滑轨上分别设置有两个第一滑块9，第一滑块9上还设有安装孔，通过将第一安装板7与第一滑块9通过螺栓固定连接，能够满足第一安装板7沿丝杠移动方向移动，设置滑轨也能保障第一安装板7移动过程的平稳性，通过电机驱动丝杠，丝杠进一步运动带动联动块的运动，进一步带动整个第一安装板7进行平稳的运动，第一安装板7通过第一滑块9平稳的在导轨上运动。
如图3所示，在第一安装板7上安装有第二移动滑台，第二移动滑台与第二安装板6连接，第二安装板6还与第二驱动装置11连接，第二驱动装置11为电机，第二驱动装置11的输出轴上设有第二联动块12，在输出轴两端设有两个固定块，固定块用于保障输出轴的移动方向不会发生偏移，第二联动块12与输出轴固定安装，第二联动块12能与输出轴同步运动，将第二联动块12与第二安装板6固定连接，并在输出轴的两侧设有条形导轨，在条形导轨上配套设有第二滑块3，第二滑块3的形状与条形导轨相匹配，第二滑块3上开设有多个若干安装孔，将第二滑块3与第二安装板6通过安装孔固定连接，通过第二滑块3与条形导轨配合，能够保障第二安装板6运行的平稳性，通过驱动第二驱动装置11的输出轴可以实现第二滑块3与第二安装板6同步运动，第二安装板6在第二滑块3的作用下能够平稳的沿条形导轨方向移动，驱动第二驱动装置11可以实现第二安装板6的移动。
如图4所示，第二安装板6上端设置有第三安装板，所述第三安装板上开设有安装孔，在所述安装孔内转动安装有工作台，在工作台上适于放置待切割的晶圆，第三驱动装置10通过传动结构带动工作台转动，进而带动待切割的晶圆转动，实现晶圆角度的调节。
所述第三驱动装置10为电机，电机本体固定安装在第二安装板6上，电机驱动端上固定连接有主动轮2；所述第三驱动装置为正反转电机，通过正反转电机能够实现主动轮2在正负90度范围内调节，在驱动端上留有键槽，在主动轮2上也设有键槽，将主动轮2与驱动端通过键连接，当输出轴转动时，通过键的配合，能够保证主动轮2同步转动，使用键连接能使本装置具有传动效率高的特点，使用键连接能够保证装置的精密性。并且在主动轮2的表面喷涂钨丝气体，经过钨丝气体热喷涂增加使用的强度和耐磨性，能够保障主动轮2在使用过程中的精密性。
第三安装板内部安装有轴承1，第三安装板通过轴承1与从动轮安装配合，从动轮与轴承1通过上压环、与下压环固定，来实现从动轮的平稳转动，达到紧密配合的作用。在工作台上开设有若干安装孔，所述从动轮与工作台通过安装孔固定连接，从动轮与第三安装板通过轴承1连接，通过轴承1连接能够保证工作台正反转动可实现≤2″误差，保证本装置的精密性，并且主动轮2与从动轮之间通过钢带4连接，钢带4由弹簧钢制造而成，弹性模量180-220GPa，优选方案为200Gpa，并且具有弹性形变小、弯曲性能好的特点。较传统传动方式弹性形变小，弯曲性能好，易实现中心距、精密传动；无需润滑、耐油、耐低高温，结构简单，维修量大大降低，极大地提高了设备的传动可靠性。使用钢带4传动可以提高传动效率，实现精密传动，而且结构简单，加卸载迅速，无时间滞后。
工作方法及原理
第一步，首先将晶圆放置在工作台上，测算出所需调节的所有距离。
第二步，通过第一安装板7调节第一方向的位置，启动第一驱动装置5，第一驱动装置5内部设有电机，通过电机提供动力，然后通过第一联动块8与第一滑块9的配合实现了第一安装板7的移动，当第一安装板7移动到指定位置后，停止第一驱动装置5。
第三步，通过第二安装板6调节第二方向的位置，启动第二驱动装置11，第二驱动装置11内部也设有电机，通过电机提供动力，然后通过第二联动块12与第二滑块3的配合实现了第二安装板6的移动，当第二安装板6移动到指定位置后，停止第二驱动装置11。
第四步，通过第三安装板调节工作台进行旋转，启动第三驱动装置10，第三驱动装置10内部也设有电机，通过电机提供动力，电机输出轴通过键连接有主动轮2，主动轮2通过钢带4与从动轮连接，从动轮与第三安装板通过轴承1连接，第三安装板上设有工作台，通过第三安装板的转动带动工作台转动，实现工作台移动到指定位置。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种划片机底座，其特征在于，
第一安装板(7)，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；
第一驱动装置(5)，驱动端与所述第一安装板(7)连接，用于驱动所述第一安装板(7)进行滑动；
第二安装板(6)，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板(7)上；
第二驱动装置(11)，驱动端与所述第二安装板(6)连接，用于驱动所述第二安装板(6)进行滑动；
第三安装板，设置在第二安装板(6)的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；
第三驱动装置(10)，驱动端通过传动结构与工作台连接。
2.根据权利要求1所述的划片机底座，其特征在于，所述传动结构包括：
主动轮(2)，与所述第三驱动装置(10)的驱动端连接；
从动轮，与所述工作台连接；所述主动轮(2)和所述从动轮之间通过钢带(4)连接。
3.根据权利要求2所述的划片机底座，其特征在于，所述主动轮(2)的直径小于所述从动轮的直径。
4.根据权利要求2所述的划片机底座，其特征在于，所述从动轮通过轴承(1)与所述第三安装板连接。
5.根据权利要求2所述的划片机底座，其特征在于，所述钢带(4)的材质为弹簧钢；所述钢带(4)的弹性模量为180-220GPa。
6.根据权利要求1所述的划片机底座，其特征在于，所述第三驱动装置(10)为正反转电机。
7.根据权利要求2所述的划片机底座，其特征在于，所述主动轮(2)的材料为不锈钢；所述主动轮(2)的表面经过喷钨丝气体热喷涂。
8.根据权利要求1所述的划片机底座，其特征在于，所述第三驱动装置(10)与所述主动轮(2)键连接。
9.根据权利要求1所述的划片机底座，其特征在于，所述第一安装板(7)的滑动方向与所述第二安装板(6)的滑动方向垂直设置。
10.一种划片机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的划片机底座。
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