CN104391390A - 基板检查装置及方法 - Google Patents

基板检查装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104391390A
CN104391390A CN201410803896.7A CN201410803896A CN104391390A CN 104391390 A CN104391390 A CN 104391390A CN 201410803896 A CN201410803896 A CN 201410803896A CN 104391390 A CN104391390 A CN 104391390A
Authority
CN
China
Prior art keywords
described substrate
substrate
scan camera
check
transfer station
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410803896.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104391390B (zh
Inventor
李庸珍
李彦燮
尹泰赫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201410803896.7A priority Critical patent/CN104391390B/zh
Publication of CN104391390A publication Critical patent/CN104391390A/zh
Priority to US14/895,703 priority patent/US9880408B2/en
Priority to PCT/CN2015/084373 priority patent/WO2016095517A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104391390B publication Critical patent/CN104391390B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/56—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof provided with illuminating means
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N7/00—Television systems
    • H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10004—Still image; Photographic image
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30121—CRT, LCD or plasma display

Abstract

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板检查装置及方法。该基板检查装置包括：传送台，用于在其表面上承载所述基板；区域扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的标准规格；线扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的边缘线及尺寸；光源，其位于与所述传送台的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板上，供所述区域扫描相机及所述线扫描相机检查所述基板使用。根据本发明实施例提供的基板检查装置及方法，可以检查多种多样形态基板的规格，特别是对有着异形特性的基板进行检查，从而能够准确的判定不良的基板。

Description

基板检查装置及方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板检查装置及方法。
背景技术
众所周知，显示设备中通常需要使用基板，例如，LCD显示设备中一般会使用阵列基板、彩膜基板，等等。因此，基板的选用对显示设备非常重要，如果基板是不良产品，显示设备很可能在使用中会出现故障。为此，基板在出厂前通常需要进行严格的检查，而现有技术中，用于检查基板的设备一般只能对标准的正四角形形态的基板进行检查，而不能对正四角形以外的异形基板进行有效的检查，从而导致异形基板的合格率大大降低。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：如何能够对正四角形以外形态的基板进行有效的检查。
(二)技术方案
为解决上述问题，本发明实施例提供了一种基板检查装置，包括：传送台，用于在其表面上承载所述基板；区域扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的标准规格；线扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的边缘线及尺寸；光源，其位于与所述传送台的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板上，供所述区域扫描相机及所述线扫描相机检查所述基板使用。
优选地，所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格具体包括：所述区域扫描相机通过扫描所述基板上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板的图形设计的实际坐标，检查所述基板的标准规格。
优选地，所述线扫描相机检查所述基板的边缘线包括：检查所述基板是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板是否良好。
优选地，还包括：运行控制器，用于控制所述传送台、所述区域扫描相机、以及所述线扫描相机的移动。
优选地，还包括：光源控制器，用于控制所述光源发光。
本发明实施例还提供了一种利用上述任一种所述基板检查装置对所述基板进行检查的方法，包括：在所述传送台的表面上装载所述基板；利用所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格；利用所述线扫描相机检查所述基板的边缘线及尺寸。
优选地，利用所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格具体包括：所述区域扫描相机通过扫描所述基板上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板的图形设计的实际坐标，检查所述基板的标准规格。
优选地，利用所述线扫描相机检查所述基板的边缘线包括：检查所述基板是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板是否良好。
(三)有益效果
根据本发明实施例提供的基板检查装置及方法，可以检查多种多样形态基板的规格，特别是对有着异形特性的基板进行检查，从而能够准确的判定不良的基板。
附图说明
图1为本发明实施例提供的基板检查装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的基板检查方法的流程示意图；
图3为本发明实施例提供的测定基板的圆形区域以及C形切削区域的示意图；
图4为本发明实施例提供的测定基板的圆形区域的示意图；
图5为本发明实施例提供的测定基板的C形切削区域的示意图；
图6为本发明实施例提供的基板检查方法实际操作流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明如下。
如图1所示，本发明的一个实施例提供了一种基板检查装置，其包括：区域扫描相机1、线扫描相机2、光源3、以及传送台4。
其中，所述传送台4用于在其表面上承载基板5。
可选地，所述传送台4可以是圆形旋转工作台。
其中，所述区域扫描相机1位于所述传送台4的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板5的标准规格。
其中，所述线扫描相机2位于所述传送台4的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板5的边缘线及尺寸。
其中，所述光源3位于与所述传送台4的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板5上，供所述区域扫描相机1及所述线扫描相机2检查所述基板5使用。
优选地，所述光源3可以是频闪闪光灯。
根据本发明实施例，所述区域扫描相机1检查所述基板5的标准规格具体可以包括：所述区域扫描相机1通过扫描所述基板5上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板5的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板5的图形设计的实际坐标，检查所述基板5的标准规格。
根据本发明实施例，所述线扫描相机2检查所述基板5的边缘线可以包括：检查所述基板5是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板5是否良好。
根据本发明实施例，所述基板检查装置还可以包括：运行控制器6，用于控制所述传送台4、所述区域扫描相机1、以及所述线扫描相机2的移动。
根据本发明实施例，所述基板检查装置还可以包括：光源控制器7，用于控制所述光源3发光。
根据本发明实施例，所述基板检查装置还可以包括：用户接口8，用于供用户控制所述基板检查装置进行工作，具体地，可以包括控制所述运行控制器6以及所述光源控制器7工作，另外，还可以供用户将所述基板5的图形设计的有关数据提供给所述基板检查装置，并且将所述区域扫描相机1以及所述线扫描相机2获取的有关图像提供给用户。
如图2所示，本发明的另一个实施例提供了一种利用上述任一种所述基板检查装置对所述基板进行检查的方法，包括步骤：
S1、在所述传送台的表面上装载所述基板；
S2、利用所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格；
S3、利用所述线扫描相机检查所述基板的边缘线及尺寸。
根据本发明实施例，所述步骤S2具体可以包括：
所述区域扫描相机通过扫描所述基板上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板的图形设计的实际坐标，检查所述基板的标准规格。
如图3和图4所示，根据本发明实施例，测定所述基板的圆形区域具体可以包括：
以所述玻璃基板(glass)上的校准标记为基准，作出所述校准标记的基准线"A"；
再作出与其相对称的虚拟的线102；
以此线105为基准，设定与线106的圆形区间；
把这个作为CAD上登录的坐标地点的数，作出等间距的圆形坐标点B；
把这个与CAD上的等间距比较后，测定所述基板的圆形区域。
如图3和图5所示，根据本发明实施例，测定所述基板的C形切削区域具体可以包括：
设定(C,D)和(G,H)作为开始和结束的1～5的测定点；
测定点的选定是由从(C,D)到下面的(G,H)，把X方向的Y以等间距划分的点；
(这时CAD上的测定坐标点也是由CAD上从(C,D)到下面的(G,H)，把X方向的Y以等间距划分的点作为其测定坐标点)
在视图检出的曲线和从直线的边界(E,F)到所述基板内侧的垂直距离，通过位移量与所述基板的边界相遇的(A,B)；
在视图检出的曲线和从直线的边界(G,H)到所述基板内侧的垂直距离，通过偏移量与所述基板的边界相遇的(C,D)；
从(A,B)和(C,D)的交叉点(X,Y)开始，测定各自的距离。
本实施例中取得从校准标记到测定坐标的加号之后，把其作为基准点，以此为基准，取得测定坐标和坐标之间的距离，再和CAD软件中读取的数据进行比较，并计算实际对象物和设计图面上的差异。
根据本发明实施例，所述步骤S3具体可以包括：
检查所述基板是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板是否良好。
如图6所示，下面具体描述实际操作中基板检查装置对所述基板进行检查的应用流程：
步骤S1：开始检查玻璃基板(glass)；
步骤S2：检查装置的初始化；
步骤S3：对glass的校准，CAD软件坐标自动输入；
该步骤中，把CAD设计成带有在主检查设备打开后自动设定检查数据的功能。
步骤S4：利用区域扫描相机检查glass上面形成的校准标记，该步骤中，需要利用区域扫描相机的Vision Alignment功能。
步骤S5：检测该校准标记是否良好；
步骤S6：若良好，则检查线扫描相机的边缘区域，该步骤中，应用对称算法的CAD设计数据与实际拍摄的影像上的数据相比较的功能；
步骤S7：判断Glass在CAD上的坐标数据和测定的坐标数据是否一致，若是，则正常判断glass状态。
步骤S6：检查结束。
其中，在步骤S5中，若校准不合格，则返回步骤S3中。
在步骤S7中，若不合格，则破损的区域通过校准线检查并移送到线扫描相机的下部，进而利用校准检查镜头，在拍照破损的区域，判断是否可以进行下一个工艺，若可以，则进入正常判断glass状态，若不可以，则判定glass状态不良，进入步骤S6，检查结束。
根据本发明实施例提供的基板检查装置及方法，可以检查多种多样形态基板的规格，特别是对有着异形特性的基板进行检查，从而能够准确的判定不良的基板。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (8)

1.一种基板检查装置，其特征在于，包括：
传送台，用于在其表面上承载所述基板；
区域扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的标准规格；
线扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的边缘线及尺寸；
光源，其位于与所述传送台的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板上，供所述区域扫描相机及所述线扫描相机检查所述基板使用。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格具体包括：
所述区域扫描相机通过扫描所述基板上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板的图形设计的实际坐标，检查所述基板的标准规格。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述线扫描相机检查所述基板的边缘线包括：
检查所述基板是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板是否良好。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：
运行控制器，用于控制所述传送台、所述区域扫描相机、以及所述线扫描相机的移动。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：
光源控制器，用于控制所述光源发光。
6.一种利用权利要求1～5任一项所述的基板检查装置对所述基板进行检查的方法，其特征在于，包括：
在所述传送台的表面上装载所述基板；
利用所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格；
利用所述线扫描相机检查所述基板的边缘线及尺寸。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，利用所述区域扫描相机检查所述基板的标准规格具体包括：
所述区域扫描相机通过扫描所述基板上的校准标记，获取所述校准标记的位置坐标，通过扫描所述基板的圆形区域和/或C形切削区域，获取所述圆形区域和/或所述C形切削区域的数据，并结合所述基板的图形设计的实际坐标，检查所述基板的标准规格。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，利用所述线扫描相机检查所述基板的边缘线包括：
检查所述基板是否存在毛刺、裂纹、缺口，并根据检查结果判断所述基板是否良好。
CN201410803896.7A 2014-12-18 2014-12-18 基板检查装置及方法 Expired - Fee Related CN104391390B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410803896.7A CN104391390B (zh) 2014-12-18 2014-12-18 基板检查装置及方法
US14/895,703 US9880408B2 (en) 2014-12-18 2015-07-17 Substrate inspection device and method
PCT/CN2015/084373 WO2016095517A1 (zh) 2014-12-18 2015-07-17 基板检查装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410803896.7A CN104391390B (zh) 2014-12-18 2014-12-18 基板检查装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104391390A true CN104391390A (zh) 2015-03-04
CN104391390B CN104391390B (zh) 2017-05-10

Family

ID=52609312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410803896.7A Expired - Fee Related CN104391390B (zh) 2014-12-18 2014-12-18 基板检查装置及方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9880408B2 (zh)
CN (1) CN104391390B (zh)
WO (1) WO2016095517A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016095517A1 (zh) * 2014-12-18 2016-06-23 京东方科技集团股份有限公司 基板检查装置及方法
CN106200042A (zh) * 2016-07-22 2016-12-07 武汉华星光电技术有限公司 偏光片的贴附方法及偏光片贴附机
CN106248690A (zh) * 2015-06-09 2016-12-21 东芝机械株式会社 缺陷检查方法及缺陷检查装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL2204681T3 (pl) 2008-12-30 2016-08-31 Draka Comteq Bv Kabel światłowodowy zawierający perforowany element blokujący wodę
US10139806B2 (en) * 2015-01-12 2018-11-27 The Boeing Company Systems and methods for coordinate transformation using non-destructive imaging
KR20200044252A (ko) * 2018-10-18 2020-04-29 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사 시스템, 표시 패널 검사 방법 및 이를 이용한 표시 패널.

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1445532A (zh) * 2002-03-15 2003-10-01 Lg.菲利浦Lcd株式会社 测试液晶显示器面板的装置和方法
CN1537227A (zh) * 2001-11-20 2004-10-13 三星宝石工业株式会社 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置
KR20090078566A (ko) * 2008-01-15 2009-07-20 주식회사 디쌤 기판 에지 검사장치 및 방법
KR100963603B1 (ko) * 2009-07-17 2010-06-15 주식회사 창성에이스산업 리니어로봇을 이용한 웨이퍼 검사장치
JP2011052967A (ja) * 2009-08-31 2011-03-17 Rayresearch Corp シリコンウエハー検査装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01169343A (ja) * 1987-12-25 1989-07-04 Nippon Sheet Glass Co Ltd ガラス板の切口欠点検出装置
KR100624024B1 (ko) * 2004-11-03 2006-09-15 (주)알티에스 액정패널 에지면의 회귀라인 도입에 의한 에지면 결함의검사방법
JP2009115479A (ja) * 2007-11-02 2009-05-28 Shigeki Kobayashi 検査装置
CN201311924Y (zh) * 2008-01-31 2009-09-16 深超光电（深圳）有限公司 基板尺寸定位机构校准装置
SG169913A1 (en) * 2009-09-28 2011-04-29 Rokko Technology Pte Ltd Punch singulation system and method
CN103913468B (zh) 2014-03-31 2016-05-04 湖南大学 生产线上大尺寸lcd玻璃基板的多视觉缺陷检测设备及方法
US9750646B2 (en) * 2014-06-26 2017-09-05 The Procter & Gamble Company Systems and methods for monitoring and controlling an absorbent article converting line
CN104391390B (zh) * 2014-12-18 2017-05-10 合肥鑫晟光电科技有限公司 基板检查装置及方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1537227A (zh) * 2001-11-20 2004-10-13 三星宝石工业株式会社 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置
CN1445532A (zh) * 2002-03-15 2003-10-01 Lg.菲利浦Lcd株式会社 测试液晶显示器面板的装置和方法
KR20090078566A (ko) * 2008-01-15 2009-07-20 주식회사 디쌤 기판 에지 검사장치 및 방법
KR100963603B1 (ko) * 2009-07-17 2010-06-15 주식회사 창성에이스산업 리니어로봇을 이용한 웨이퍼 검사장치
JP2011052967A (ja) * 2009-08-31 2011-03-17 Rayresearch Corp シリコンウエハー検査装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016095517A1 (zh) * 2014-12-18 2016-06-23 京东方科技集团股份有限公司 基板检查装置及方法
US9880408B2 (en) 2014-12-18 2018-01-30 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate inspection device and method
CN106248690A (zh) * 2015-06-09 2016-12-21 东芝机械株式会社 缺陷检查方法及缺陷检查装置
CN106200042A (zh) * 2016-07-22 2016-12-07 武汉华星光电技术有限公司 偏光片的贴附方法及偏光片贴附机

Also Published As

Publication number Publication date
WO2016095517A1 (zh) 2016-06-23
US20160363791A1 (en) 2016-12-15
US9880408B2 (en) 2018-01-30
CN104391390B (zh) 2017-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104391390A (zh) 基板检查装置及方法
CN100573236C (zh) 目测装置以及使用目测装置检查显示面板的方法
CN103885217B (zh) 一种检测液晶面板柱状隔垫物缺陷的方法及装置
CN103328959B (zh) 基板检查装置、基板检查系统以及基板检查结果的确认用画面的显示方法
CN105004252B (zh) 方形截面细长工件的拼接面与基准面间垂直度的检测方法
CN101568891A (zh) 定位工具用x-y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置
CN106842838B (zh) 对位标记及基板对位方法
CN207649542U (zh) 一种多量程大尺寸高精度视觉测量机构
CN104777168A (zh) 用于检测基板的边缘的设备
CN108132558A (zh) 对位检测方法及显示装置
CN108628015B (zh) 检测装置及其检测方法、检测设备
CN104979256B (zh) 一种基板传送装置
CN103075970B (zh) 测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置
EP2584307A1 (en) Glass bottle inspection device
CN105423963A (zh) 手机壳平面度测试仪
CN104515477A (zh) 三维测定装置、三维测定方法以及基板的制造方法
CN104034259A (zh) 一种影像测量仪校正方法
KR20160020125A (ko) 연마장치의 정렬모듈 및 그 제어방법
CN107907060A (zh) 一种玻璃屏幕高度及平面度检测装置
CN104776788A (zh) 一种纺织专用平直尺的校检装置及其使用方法
CN102749815A (zh) 套刻精度的检测方法
CN110455168A (zh) 一种高世代tft玻璃a型架检测装置
CN106482611A (zh) 复杂铸件加工尺寸快速检测工装及其检测方法
TWI475216B (zh) 光學檢驗方法
CN105431032A (zh) 一种基板检测方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170510

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee