CN201311924Y

CN201311924Y - 基板尺寸定位机构校准装置

Info

Publication number: CN201311924Y
Application number: CNU2008200092677U
Authority: CN
Inventors: 余政杰
Original assignee: Shenchao Photoelectric Shenzhen Co Ltd
Current assignee: Shenchao Photoelectric Shenzhen Co Ltd
Priority date: 2008-01-31
Filing date: 2008-03-28
Publication date: 2009-09-16
Anticipated expiration: 2018-03-28

Abstract

本实用新型提供一种基板尺寸定位机构校准装置，具有一承载台，其用承载至少一基板；一线性滑轨，其装设于该承载台上；以及至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。利用传感器来对传送入于承载台的基板进行尺寸确认的基板尺寸定位机构较准，实用性强，可推广利用，具有较大的市场潜力。

Description

基板尺寸定位机构校准装置

技术领域

本实用新型属一种半导体制程的定位机构校准技术领域，是对现有技术的改进，具体涉及一种基板尺寸定位机构校准装置。

背景技术

自动化一贯的生产流程成为现在制程技术上趋势，其优势除了可大幅度节省人力外，更是一可在较高洁净度下运作的方式，能有效的提高生产率。在自动化生产流程中因为极为依赖机械全自动化的运作，因此取代人工对料品规格判断的校准技术就扮演了极为重要的角色，对料品规格的判定将决定整个后续制程如尺寸切割、微影曝光的失败与否。

举液晶显示器制程为范例来说，生产投料模式为采TFT(薄膜晶体管)基板与CF(彩色滤光片)基板混合投入的方式，并辅助以基板讯号控制定位机构，来对基板规格进行判断，以对定位机构的冲程距离进行定位，如第1图所示，在理想状态下，由上游基板尺寸讯号所接收的基板讯号判定基板10尺寸为”a”，而基板10实际的尺寸为”b”，当”b”与”a”相同时，定位机构12将恰可位基板10的周缘。但是当基板讯号与实际基板相异时，往往所产生的后果将是定位机构动作点异常，而造成基板破片或者制程失效。如图2所示，当基板讯号判定基板10尺寸为”a”，而基板10实际的尺寸为”b”，当”b”＞”a”相同时，定位机构12将前进距离过大，而导致定位机构12碰撞到基板10边缘，而使得基板10边缘产生裂缝，而在后续制程中搬送基板10过程中产生破片。或者如图3所示，当基板讯号判定基板10尺寸为”a”，而基板10实际的尺寸为”b”，而”b”＜”a”相同时，定位机构12将前进距离不足，而导致基板10未能定位对准，进行使得基板10偏移，造成后续显影曝光对准、滴下式注入法(ODF)过程与光学检测等的失误。

实用新型内容

本实用新型的目的是避免上述现有技术中的不足之处而提供的一种基板尺寸定位机构校准装置，该装置利用可线性移动的传感器来对传入于承载台上的基板进行尺寸侦测，并与上游的基板尺寸讯号所产生的基板讯号进行核对，以决定是否驱动定位机构运作以及定位机构移动的距离。

本实用新型的另一目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其利用固定式的传感器来对传入于承载台上的基板进行尺寸侦测，并与上游的基板尺寸讯号所产生的基板讯号进行核对，以决定是否驱动定位机构运作以及定位机构移动的距离。

本实用新型的再一目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其能有效地避免定位机构异常移动距离运作下，所可能引起的基板破片与基板未定位完成所导致的制程失效与检测失误。

本实用新型的又一目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其能够通过设置不同尺寸的间距的传感器或简易的修正传感器线性移动参数来解决随着基板投料尺寸种类的增加，所造成的基板尺寸监控不易的情况。

本实用新型的目的可通过下列措施来实现：

一种基板尺寸定位机构校准装置，其包含有：一承载台，其用承载至少一基板；一线性滑轨，其装设于该承载台上；以及至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。

上述所述线性滑轨可装设于承载台上方或是承载台下方。

上述所述基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。

上述所述承载台可为一输送带装置。

上述所述传感器为光纤传感器、CCD摄影机。

上述所述还包含有一定位机构，其系用以定位该基板。

一种基板尺寸定位机构校准装置，其包含有：一承载台，其用承载至少一基板；以及至少二对传感器，其装设于该承载台上方或下方，且每一该对传感器以该承载台中心为基准对称设置，每一该对传感器间距代表一基板尺寸，利用该些传感器的遮蔽状态，来判断该基板之尺寸。

上述所述该二对传感器包含有：一第一对传感器，其间距为1100厘米(mm)；以及一第二对传感器，其间距为1200厘米。

上述所述基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。

上述所述承载台可为一输送带装置。

上述所述传感器为光纤传感器、CCD摄影机。

上述所述还包含还有一定位机构，其用以定位该基板。

本实用新型相比现有技术具有如下优点：由于本实用新型是对现有技术的改进，利用传感器来对传送入于承载台的基板进行尺寸确认的基板尺寸定位机构较准，实用性强，可推广利用，本实用新型具有较大的市场潜力。

附图说明

图1是现有技术基板定位机构的示意图。

图2是现有技术基板定位机构在基板讯号所获知的基板尺寸小于实际基板尺寸时，所产生定位机构移动距离太过，而导致基板受到定位机构碰撞的示意图。

图3是现有技术基板定位机构在基板讯号所获知的基板尺寸大于实际基板尺寸时，所产生的定位机构移动距离不足，而导致基板未定位的情况。

图4是本实用新型的基板定位机构校准的一实施例示意图。

图5是本实用新型的基板定位机构校准的另一实施例示意图。

图6是利用本实用新型的基板定位机构校准进行校准运作时的步骤流程图。

图7是利用本实用新型的可线性滑移的传感器对基板进行尺寸定义的具体实施例示意图。

图8是利用本实用新型的可线性滑移的传感器对基板进行尺寸定义的另一具体实施例示意图。

图9是本实用新型的基板定位机构校准的另一种实施例示意图。

图10是利用本实用新型的固定式传感器对基板进行尺寸定义的具体实施例示意图。

图11是利用本实用新型的固定式传感器对基板进行尺寸定义的另一具体实施例示意图。

图12是本实用新型的固定式传感器的另一种实施例示意图。

以下是图号说明：

10基板 12定位机构 20承载台

22线性滑轨 24传感器 26基板

30传感器 32传感器 34传感器

实施方式

本实用新型的精神所在是在原有机台内的用以承载基板的承载台的取放片范围内安装适当数量的传感器，以利用传感器对基板尺寸的进行再次确认，而与基板讯号进行核对，以确保定位机构的位移量，避免基板讯号与实际基板误差所可能引起的基板损伤或者是制程失效。

此基板可以是玻璃基板、TFT基板或者彩色滤光片，承载台可为一输送带装置，而传感器可以是光纤传感器、CCD摄影机。

接续，下列说明针对上述本实用新型的精神所提出的具体实施例说明，但须陈明的是下列说明仅是为使熟悉该项技术更清楚、明白本实用新型，而并不能以此具体实施例来作为本实用新型的权利范围的局限。

请参阅图4，本实用新型之基板尺寸定位机构校准装置包含有一基板承载台20；一线性滑轨22；以及一对传感器24，其系设置于线性滑轨22上且可于线性滑轨22上移动，以侦测基板(图中未示)的尺寸。

其中传感器的设置起始位置可以是较靠近承载台中心线的位置，而采相对由承载台中心线往外移动，利用传感器所感测出的未遮蔽位置及遮蔽位置，获得基板的边缘，再经由传感器移动距离，来推断出基板的尺寸，最后再由定位机构进行定位。或者传感器的设置起始位置可以是较靠近承载台两侧缘的位置，而采相向由承载台的两侧往基板的两侧外缘(也就是朝向承载台中心线)移动，利用传感器所感测出的未遮蔽位置及遮蔽位置，设定为基板之边缘，再经由传感器移动距离，来推断出基板的尺寸，最后再由定位机构进行定位。

也可如图5所示，以单一传感器24测量方式，其传感器24的初始定位为线性滑轨22上之一侧边的边缘处，运作系由传感器24自单一侧移动至另一侧，再依遮蔽位置起始点算至遮蔽位置终点结束，藉此移动之距离运算出基板大小，最后再由定位机构进行定位。

接续，请参阅图6，其是各为一机台使用本实用新型的基板尺寸定位机构校准与上游之基板讯号进行尺寸校准的步骤流程示意图。首先，如步骤S1所述，首先接收上游基板尺寸讯号，其讯号包含基板尺寸，而产生一基板讯号；接续，如步骤S2所示，将基板传入承载台；再如步骤S3所述，利用传感器对此基板并进行尺寸判定；然后，如步骤S4所示，将由传感器所获知的基板尺寸与上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号进行比对，如果传感器所获知的基板尺寸与上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号相同时，则如步骤S5所示，依照预设的基板尺寸相对应的定位机构位移量参数(recipe)，将定位机构移至基板侧缘，以进行后续制程的对位基准；反之，若传感器所获知的基板尺寸与上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号不相同时，则如步骤S6所示，产生一警告讯号(alarm)，并终止定位机构的移动，等待工程师或在线制程人员确认核对上游基板尺寸讯号之基板讯号有无异常、基板尺寸有无异常并进一步修正异常讯号后，再重新回到步骤S3，再重新利用传感器对基板尺寸进行量测定义，并再次如步骤S4所示，将传感器所获知的基板尺寸与上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号进行比对，直到两者所判定的基板尺寸相同时，才将定位机构移至基板侧缘，以进行后续制程的对位基准。

上述步骤中，可藉由一包含有运算程序、控制程序及比对程序的处理器单元来进行，以接收上游基板尺寸讯号与传感器所获知的基板尺寸，并控制传感器的作动，随后，将传感器传送来的讯号藉由运算程序进行运算，以获得传感器所量测的基板尺寸，最后透过比对程序将传感器所量测的基板尺寸与上游基板尺寸讯号进行比对，以控制定位机构的作动。

请参阅图7，其是针对上述步骤S3所述的利用本实用新型的可线性滑移的传感器对此基板进行尺寸定义的具体实施例示意图。在这个示意图中，传感器24是采起始位置设置于较靠近承载台20两侧缘的位置，采相向由承载台20之两侧沿着线性滑轨22往基板26的两侧外缘(也就是朝向承载台中心线)移动，当传感器24因接近基板外侧缘，而感测出遮蔽位置时，则设定为基板26之边缘，再将传感器24在线性滑轨22上所移动的距离进行换算，以得知基板26尺寸大小所相对应的距离讯号”d”，当上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号为”a”，而”d”与”a”相同时，则可驱动定位机构12依照预设的基板26尺寸相对应的定位机构位移量参数(recipe)移至基板26侧缘，以进行后续制程的对位基准。

请参阅图8，其系针对上述步骤S3所述的利用本实用新型的传感器对此基板并进行尺寸定义的具体实施例示意图。在这个示意图中，传感器24同样是采起始位置设置于较靠近承载台20两侧缘的位置，采相向由承载台20的两侧沿着线性滑轨22往基板26的两侧外缘(也就是朝向承载台中心线)移动。当传感器24感测出被基板外侧缘遮蔽位置时，则设定为基板26的边缘，再将传感器24在线性滑轨22上所移动的距离换算得知基板尺寸大小”d”，当上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号为”a”，而”d”与”a”不相同时，则产生警告讯号，并终止定位机构12的移动，以等待工程师或在线制程人员确认核对上游基板尺寸讯号的基板讯号有无异常、基板尺寸有无异常并进一步修正异常讯号后。

请参阅图9，其是本实用新型的传感器的另一种实施例示意图。在这个实施例中在承载台20上方或下方设置两组传感器30、32来作为基板的尺寸校准。其中第一组传感器间30、30’的间距系为一种基板尺寸”d1”，而另一组传感器32、32’间的间距是为另一种基板尺寸”d2”。举例来说，就目前玻璃基板的尺寸为范例的话，基板尺寸”d1”可以为1100厘米(mm)，而基板尺寸”d2”为1200厘米(mm)。最初基板会从承载台之前端传送开口处将基板传至承载台之定位基构上，而此前端传送开口有限制，若基板输送时位置偏移量过大时，基板会无法传入设备中，故当基板传入承载台后，利用传感器被遮断的情况，来判断此基板的尺寸。在此具体实施例下，传感器将不需要进行线性移动，如此可有效的节省量产线的工作站时间。

请参阅图10，其是上述使用二组固定式传感器来对基板尺寸进行校准的一具体实施。在图7中，二组固定式传感器30、32皆被遮断，因此可获知基板26之尺寸为”d2”，当上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号为”a”，而”d2”与”a”相同时，则可驱动定位机构12依照预设的基板尺寸相对应的定位机构位移量参数(recipe)移至基板侧缘，以进行后续制程的对位基准。

请参阅图11，其是上述使用二组固定式传感器来对基板尺寸进行校准的一具体实施。在第8图中，仅有一组固定式传感器30、30’被遮断，因此可断定基板尺寸为”d1”，但上游基板尺寸讯号所产生的基板讯号为”a”，而”d1”与”a”不相同时，则产生警告讯号，并终止定位机构12的移动，以等待工程师或在线制程人员确认核对上游基板尺寸讯号的基板讯号有无异常、基板尺寸有无异常并进一步修正异常讯号后。

综上所述，此再详细述说，上述实施例中应用两组传感器(四颗传感器)，因其基板在传送开口处基板传出会有所偏移，故其判断模式如下，如测得两组传感器皆有遮蔽状况则判断为较大尺寸基板(1200厘米)，若仅测得另一组传感器30、30’有遮蔽状况则判断为较小基板(1100厘米)，若是基板偏移量较大只测得三颗传感器有遮蔽状况则判断为较大尺寸基板(1200厘米)，若是基板偏移量较大只测得两颗传感器(传感器30与传感器32或传感器30’与传感器32’)有遮蔽状况则判断为较小尺寸基板(1100厘米)，若是无测得遮蔽状况则需检查传感器是否损坏或是否有基板在承载平台上。

请参阅图12，其是本实用新型的使用数对传感器来感测基板尺寸的具体实施例。这样的设计下将可以设定第一组传感器30、30’间的距离为”d1”，第二组传感器32、32’间的距离为”d2”，第三组传感器34、34’间的距离为”d3”。这样的设计将可以随着对不同基板尺寸制程需求下，利用简易的传感器设置来达到对基板尺寸校准。

综上所述，本实用新型提出一种利用传感器来对传入于承载台的基板进行尺寸确认的基板尺寸定位机构校准，在第一种实施例中，是使用直线移动式传感器的基板尺寸定位机构校准。此种实施例是利用传感器直线移动后的遮蔽与否，来获知传感器相对于基板间的位置关系，并藉由传感器的线性移动距离，而得到基板的尺寸信息，再将此尺寸信息与上游的基板讯号进行核对，以设定对后续的定位机构的前进距离，或者暂停运作的情况，以避免因基板尺寸判断错误所产生的基板破片或者定位失误所导致的检测、制程失误。本实用新型尚提供另一种使用固定式传感器的基板尺寸定位机构校准装置，其将每一对传感器依照不同基板尺寸进行设置，以当基板传入承载台时，可立即由传感器的被遮避状态，而获知基板的尺寸。再者，这样的实施方式更可有效的节省对基板尺寸判断所需的时间。

唯以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围。故即凡依本实用新型申请范围所述的特征及精神所为的均等变化或修饰，均应包括于本实用新型的申请专利范围内。

Claims

1、一种基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：具有，

一承载台，其用承载至少一基板；

一线性滑轨，其装设于该承载台上；以及

至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。

2、根据权利要求1所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该线性滑轨可装设于承载台上方或是承载台下方。

3、根据权利要求1所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。

4、根据权利要求1所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该承载台为一输送带装置。

5、根据权利要求1所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该传感器为光纤传感器、CCD摄影机。

6、根据权利要求1所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：还有一定位机构，其是用以定位该基板。

7、一种基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：具有

一承载台，其用承载至少一基板；以及

至少二对传感器，其装设于该承载台上方或下方，且每一该对传感器以该承载台中心为基准对称设置，每一该对传感器间距代表一基板尺寸，利用该些传感器的遮蔽状态，来判断该基板的尺寸。

8、根据权利要求7所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该二对传感器具有：

一第一对传感器，其间距为1100厘米(mm)；以及

一第二对传感器，其间距为1200厘米。

9、根据权利要求7所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。

10、根据权利要求7所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该承载台为一输送带装置。

11、根据权利要求7所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：该传感器为光纤传感器、CCD摄影机。

12、根据权利要求7所述基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：还有一定位机构，其用以定位该基板。