JPH01113639A - 銅張配線板の外観検査装置 - Google Patents
銅張配線板の外観検査装置Info
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- JPH01113639A JPH01113639A JP27107087A JP27107087A JPH01113639A JP H01113639 A JPH01113639 A JP H01113639A JP 27107087 A JP27107087 A JP 27107087A JP 27107087 A JP27107087 A JP 27107087A JP H01113639 A JPH01113639 A JP H01113639A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
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- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 3
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野１
本発明は、銅張配線板等の被検査物の表面に生じる打痕
、傷、しみ等の欠陥を検査する外観検査装置に関するも
のである。
、傷、しみ等の欠陥を検査する外観検査装置に関するも
のである。
し背景技術１
従来よりこの種の外観検査装置としては、被検査物の表
面に光を照射する１つの光源と、この光源に対して被検
査物の表面での正反射光と拡散反射光とをそれぞれ受光
する２つの受光部とを設けたものが提供されている。
面に光を照射する１つの光源と、この光源に対して被検
査物の表面での正反射光と拡散反射光とをそれぞれ受光
する２つの受光部とを設けたものが提供されている。
この構成の外観検査装置では、両受光部は被検査物の同
じ位置からの情報を得なければならないから、両受光部
の光軸が被検査物の表面で交差するように光軸の位置合
わせをする必要があり、この調節作又が非常に面倒であ
るという問題がある。
じ位置からの情報を得なければならないから、両受光部
の光軸が被検査物の表面で交差するように光軸の位置合
わせをする必要があり、この調節作又が非常に面倒であ
るという問題がある。
また、両受光部の光軸が少しずれただけでも、被検査物
の表面の同じ位置からの情報が得られなくなり、表面状
態の正確な情報が得られなくなるという問題がある。
の表面の同じ位置からの情報が得られなくなり、表面状
態の正確な情報が得られなくなるという問題がある。
［発明の目的］
本発明は上述の点に鑑みて為されたものであって、その
目的とするところは、受光部の光軸合わせが不要で、被
検査物の表面の凹凸やしみ等の欠陥を精度よく検出でき
るようにした外観検査装置を提供することにある。
目的とするところは、受光部の光軸合わせが不要で、被
検査物の表面の凹凸やしみ等の欠陥を精度よく検出でき
るようにした外観検査装置を提供することにある。
［発明の開示］
（構成）
本発明に係る外観検査装置は、互いに異なる光軸を有し
被検査物の表面に光を照射する第１の光源および第２の
光源と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射
光を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表
面での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の
変化を電気信号に変換する受光部とを具備し、第１の光
源から放射される光線と第２の光源から放射される光線
とは互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光された
反射光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第１
の光源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信号
とに分離して処理することにより被検査物の表面状態に
応じた情報を出力する信号処理部を備えているものであ
り、２つの光源と１つの受光部とで被検査物の表面状態
を検知できるようにしたことにより、受光部の光軸合わ
せを不要としたものである。
被検査物の表面に光を照射する第１の光源および第２の
光源と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射
光を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表
面での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の
変化を電気信号に変換する受光部とを具備し、第１の光
源から放射される光線と第２の光源から放射される光線
とは互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光された
反射光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第１
の光源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信号
とに分離して処理することにより被検査物の表面状態に
応じた情報を出力する信号処理部を備えているものであ
り、２つの光源と１つの受光部とで被検査物の表面状態
を検知できるようにしたことにより、受光部の光軸合わ
せを不要としたものである。
（実施例）
以下の実施例では、被検査物１が銅張配線板であるもの
とする。第１図および第２図に示すように、ｔＩＳｌの
光源１０ｇと第２の光源１０ｂとが設けられており、各
光源１０ａｒｌＯｂは、それぞれ直管状のランプｌｌａ
、ｌｌｂと、反射板１２ａ、１２ｂと、フィルタ１３ａ
、１３ｂとを備えた線状光源であって、ランプＩｌａ、
ｌｌｂは白色光を放射するようになっている。第１の光
源１０．ａと第２の光ａｉｏｂとは、互いに略平行とな
るように配設されている。また、被検査物１はＰＡｉの
光源１０ａおよび第２の光源１０ｂと略平行な方向に移
動する。ｆｊＳｌの光源１０ａの光軸は被検査物１の表
面に対して角度θだけ傾斜しており、＠２の光源１０ｂ
の光軸は被検査物１の表面に対して略直交するように配
設されている。また、第１の光源１０ａのフィルタ１３
ａは青色光が透過するように設定され、第２の光源１０
ｂのフィルタ１３ｂは赤色光と緑色光との混合色が透過
するように設定されている。
とする。第１図および第２図に示すように、ｔＩＳｌの
光源１０ｇと第２の光源１０ｂとが設けられており、各
光源１０ａｒｌＯｂは、それぞれ直管状のランプｌｌａ
、ｌｌｂと、反射板１２ａ、１２ｂと、フィルタ１３ａ
、１３ｂとを備えた線状光源であって、ランプＩｌａ、
ｌｌｂは白色光を放射するようになっている。第１の光
源１０．ａと第２の光ａｉｏｂとは、互いに略平行とな
るように配設されている。また、被検査物１はＰＡｉの
光源１０ａおよび第２の光源１０ｂと略平行な方向に移
動する。ｆｊＳｌの光源１０ａの光軸は被検査物１の表
面に対して角度θだけ傾斜しており、＠２の光源１０ｂ
の光軸は被検査物１の表面に対して略直交するように配
設されている。また、第１の光源１０ａのフィルタ１３
ａは青色光が透過するように設定され、第２の光源１０
ｂのフィルタ１３ｂは赤色光と緑色光との混合色が透過
するように設定されている。
一方、第１の光源１０ａに対して第２の光源１０ｂを挟
んで反対側には、受光部２０が設けられる。受光部２０
は、赤色光、緑色光、青色光をそれぞれ受光する受光素
子２１Ｒ＊２ ｉｃ、２Ｉｎを一直線上に多数配列した
カラーイメージセンサ２１であって、各色の受光量に応
じた電気信号を出力するようになっている。受光部２０
はこのように一直線上に形成されているのであって、そ
の方向は第１の光源１０ａおよび第２の光源１０ｂと略
平行になっており、また、受光部２０の光軸は被検査物
１の表面に対して角度θだけ傾斜している。
んで反対側には、受光部２０が設けられる。受光部２０
は、赤色光、緑色光、青色光をそれぞれ受光する受光素
子２１Ｒ＊２ ｉｃ、２Ｉｎを一直線上に多数配列した
カラーイメージセンサ２１であって、各色の受光量に応
じた電気信号を出力するようになっている。受光部２０
はこのように一直線上に形成されているのであって、そ
の方向は第１の光源１０ａおよび第２の光源１０ｂと略
平行になっており、また、受光部２０の光軸は被検査物
１の表面に対して角度θだけ傾斜している。
ここに、第１の光源１０ａの光軸と受光部２０の光軸と
はおおよそ上の関係を満たすように配設すればよいので
あり、第１の光源１０ａからの光束はある程度拡散する
から、受光部２０では必ず第１の光源１０ａからの正反
射光が受光できるのである。また、第２の光源１０ｂの
光軸は被検査物１の表面に対して略直交しているから、
受光ｆｆ１ｓ２０では第２の光源１０ｂの拡散反射光を
受光することになる。ここに、受光部２０の焦点位置を
被検査物１の表面に略一致させておくだけで、第１の光
源１０ａと第２の光源１０ｂとは光軸を完全に調節して
いなくても、正反射光と拡散反射光とが受光部２０で受
光されるのであり、従来のような厳密な光軸合わせが不
要となるのである。以上のようにして青色光の受光素子
２１１１１からは正反射光に対応する電気信号が得られ
、赤色光と緑色光の受光素子２１Ｒ，２１ｃからは拡散
度射光に対応する電気信号が得られることになる。
はおおよそ上の関係を満たすように配設すればよいので
あり、第１の光源１０ａからの光束はある程度拡散する
から、受光部２０では必ず第１の光源１０ａからの正反
射光が受光できるのである。また、第２の光源１０ｂの
光軸は被検査物１の表面に対して略直交しているから、
受光ｆｆ１ｓ２０では第２の光源１０ｂの拡散反射光を
受光することになる。ここに、受光部２０の焦点位置を
被検査物１の表面に略一致させておくだけで、第１の光
源１０ａと第２の光源１０ｂとは光軸を完全に調節して
いなくても、正反射光と拡散反射光とが受光部２０で受
光されるのであり、従来のような厳密な光軸合わせが不
要となるのである。以上のようにして青色光の受光素子
２１１１１からは正反射光に対応する電気信号が得られ
、赤色光と緑色光の受光素子２１Ｒ，２１ｃからは拡散
度射光に対応する電気信号が得られることになる。
以上のようにして得られた電気信号は、第３図に示すよ
うに、信号処理部３０に入力される。信号処理部３０で
は、赤色、緑色、青色に応じた各信号Ｒ，Ｇ、Ｂをそれ
ぞれ増幅する増幅回路３１Ｒ９３１、，３１Ｂと、赤色
と緑色とに対応する増幅回路３１Ｒ，３１，の出力を受
けて色を識別する色認識部３２と、色認識部３２の出力
と青色に対応する増幅回路３１．の出力とから、被検査
物１の表面状態を判定する判定部３３とを備えており、
判定部３３では６状態が判定できるようになっている。
うに、信号処理部３０に入力される。信号処理部３０で
は、赤色、緑色、青色に応じた各信号Ｒ，Ｇ、Ｂをそれ
ぞれ増幅する増幅回路３１Ｒ９３１、，３１Ｂと、赤色
と緑色とに対応する増幅回路３１Ｒ，３１，の出力を受
けて色を識別する色認識部３２と、色認識部３２の出力
と青色に対応する増幅回路３１．の出力とから、被検査
物１の表面状態を判定する判定部３３とを備えており、
判定部３３では６状態が判定できるようになっている。
すなわち、受光部２０の出力により、次のよ以上のよう
にして、正反射光と拡散反射光との状態に応じて被検査
物１の表面状態を知ることができるのであり、また、正
反射光と拡散反射光とを色で識別し、しかも、拡散反射
光に２色を用いることにより、被検査物１の表面の色の
状態も識別することができ、被検査物１の表面状態の分
類数を増やすことができるのである。ここに、色の選択
については、対象となる被検査物１に応じて設定を変え
てもよい。また、色情報が不要であれば、正反射光と拡
散反射光とを識別するのに、変調光等を用いることもで
きるものである。なお、信号処理部にｉいてパターンを
認識できるようにしておけば、被検査物１の表面に形成
されているパターンの認識も可能となるものである。こ
の場合、色情報を含めることも可能であるのはいうまで
もない。
にして、正反射光と拡散反射光との状態に応じて被検査
物１の表面状態を知ることができるのであり、また、正
反射光と拡散反射光とを色で識別し、しかも、拡散反射
光に２色を用いることにより、被検査物１の表面の色の
状態も識別することができ、被検査物１の表面状態の分
類数を増やすことができるのである。ここに、色の選択
については、対象となる被検査物１に応じて設定を変え
てもよい。また、色情報が不要であれば、正反射光と拡
散反射光とを識別するのに、変調光等を用いることもで
きるものである。なお、信号処理部にｉいてパターンを
認識できるようにしておけば、被検査物１の表面に形成
されているパターンの認識も可能となるものである。こ
の場合、色情報を含めることも可能であるのはいうまで
もない。
［発明の効果］
本発明は上述のように、互いに異なる光軸を有し被検査
物の表面に光を照射する第１の光源および第２の光源と
、第１の光源に対して被検査物の表ｉ１ｉでの正反射光
を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表面
での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の変
化を電気信号に変換する受光部とを具備し、ｔＩＳｌの
光源から放射される光線と第２の光源から放射される光
線とは互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光され
た反射光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第
１の光源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信
号とに分離して処理することにより被検査物の表面状態
に応じた情報を出力する信号処理部を備えているもので
あり、２つの光源と１つの受光部とを用い、両光源から
放射されて被検査物の表面で反射された正反射光と拡散
反射光とに関する情報を受光部で検出し、信号処理部で
この情報から被検査物の表面状態を検出するので、第１
の光源から放射され被検査物の表面で正反射された光線
が受光部で受光でき、第２の光源から放射され被検査物
に表面で拡散反射された光線が受光部で受光できるよう
に、３者の位置関係をだいたい設定しておけば、従来の
ような厳密なｍ整を行なわずに大まがなｉ１！！整のみ
で被検査物の表面の状態を正確に検出することができる
という利点を有するのである。
物の表面に光を照射する第１の光源および第２の光源と
、第１の光源に対して被検査物の表ｉ１ｉでの正反射光
を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表面
での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の変
化を電気信号に変換する受光部とを具備し、ｔＩＳｌの
光源から放射される光線と第２の光源から放射される光
線とは互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光され
た反射光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第
１の光源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信
号とに分離して処理することにより被検査物の表面状態
に応じた情報を出力する信号処理部を備えているもので
あり、２つの光源と１つの受光部とを用い、両光源から
放射されて被検査物の表面で反射された正反射光と拡散
反射光とに関する情報を受光部で検出し、信号処理部で
この情報から被検査物の表面状態を検出するので、第１
の光源から放射され被検査物の表面で正反射された光線
が受光部で受光でき、第２の光源から放射され被検査物
に表面で拡散反射された光線が受光部で受光できるよう
に、３者の位置関係をだいたい設定しておけば、従来の
ような厳密なｍ整を行なわずに大まがなｉ１！！整のみ
で被検査物の表面の状態を正確に検出することができる
という利点を有するのである。
第１図は本発明の一実施例を示す概略摺成を示す側面図
、第２図は同上の概略構成を示す絣視図、第３図は同上
に用いる信号処理回路を示すブロック図である。 １は被検査物、１０ａはｆｊＳｉの光源、ｉｏｂは第２
の光源、２０は受光部、２１はカラーイメージセンサ、
２１．．２１Ｇ、２１０は受光素子、３０は信号処理回
路である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 ｔａｂ・・・第２の光源 ２１＊、２１４．−２１ｅ”’受光素子第２図 第３図
、第２図は同上の概略構成を示す絣視図、第３図は同上
に用いる信号処理回路を示すブロック図である。 １は被検査物、１０ａはｆｊＳｉの光源、ｉｏｂは第２
の光源、２０は受光部、２１はカラーイメージセンサ、
２１．．２１Ｇ、２１０は受光素子、３０は信号処理回
路である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 ｔａｂ・・・第２の光源 ２１＊、２１４．−２１ｅ”’受光素子第２図 第３図
Claims (3)
- （１）互いに異なる光軸を有し被検査物の表面に光を照
射する第１の光源および第２の光源と、第１の光源に対
して被検査物の表面での正反射光を受光するとともに第
２の光源に対して被検査物の表面での拡散反射光を受光
できる位置に配設され受光量の変化を電気信号に変換す
る受光部とを具備し、第１の光源から放射される光線と
第２の光源から放射される光線とは互いに異なる識別要
素を含み、受光部で受光された反射光に対する電気信号
を上記識別要素に基づいて第１の光源に対する電気信号
と第２の光源に対する電気信号とに分離して処理するこ
とにより被検査物の表面状態に応じた情報を出力する信
号処理部を備えていることを特徴とする外観検査装置。 - （２）上記識別要素は光の色であって、第１の光源は青
色光を放射し、第２の光源は赤色と緑色との混合色を放
射するように設定され、上記被検査物は銅張配線板の銅
張面であって、受光部は青色光と赤色光と緑色光とをそ
れぞれ独立して受光する受光素子より成ることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の外観検査装置。 - （３）上記識別要素は光の色であっで、第１の光源は青
色光を放射する線光源であり、第２の光源は赤色と緑色
との混合色を放射する線光源であって、第１の光源と第
２の光源とは互いに略平行に配設され、被検査物は第１
の光源および第２の光源に略直交する方向に移動し、受
光部は青色光と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して受
光する複数の受光素子を第１の光源および第２の光源と
略平行となる一直線上に配列したカラーイメージセンサ
より成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271070A JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271070A JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01113639A true JPH01113639A (ja) | 1989-05-02 |
| JPH0682103B2 JPH0682103B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17494969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62271070A Expired - Lifetime JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682103B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992000517A1 (en) * | 1990-06-22 | 1992-01-09 | Alcan International Limited | Illumination system for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet |
| FR2817964A1 (fr) * | 2000-12-11 | 2002-06-14 | Usinor | Dispositif d'inspection automatique de surface d'une bande en defilement |
| EP1710566A2 (en) * | 2005-04-08 | 2006-10-11 | Omron Corporation | Defect inspection method and defect inspection system using the method |
| US20100091272A1 (en) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | Yasunori Asada | Surface inspection apparatus |
| KR101538696B1 (ko) * | 2014-05-23 | 2015-07-29 | 주식회사 포스코 | 열간 슬라브 표면의 면세로 크랙 검출 장치 및 방법 |
| WO2022193568A1 (zh) * | 2021-03-16 | 2022-09-22 | 北京天玛智控科技股份有限公司 | 液压马达 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6238348A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Mitsubishi Metal Corp | 光学的表面欠陥検査方法 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP62271070A patent/JPH0682103B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US6995838B2 (en) | 2000-12-11 | 2006-02-07 | Usinor | Device for automatic surface inspection of an unwinding strip |
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| EP1710566A3 (en) * | 2005-04-08 | 2007-12-12 | Omron Corporation | Defect inspection method and defect inspection system using the method |
| US7446864B2 (en) | 2005-04-08 | 2008-11-04 | Omron Corporation | Defect inspection method and defect inspection system using the method |
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| US8493558B2 (en) * | 2008-10-10 | 2013-07-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Surface inspection apparatus |
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| WO2022193568A1 (zh) * | 2021-03-16 | 2022-09-22 | 北京天玛智控科技股份有限公司 | 液压马达 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682103B2 (ja) | 1994-10-19 |
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