WO2021070405A1 - シート検査装置 - Google Patents

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優人 川島
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    • G01N33/2045—Defects

Definitions

  • the present invention relates to a sheet inspection device.
  • the defect inspection device when an optical inspection device is adopted as the defect inspection device, the light is emitted from each of the front surface light source and the back surface light source, the front surface light source, and the back surface light source that irradiate the front and back surfaces of the material to be inspected, respectively. It is necessary to provide a front surface detection unit and a back surface detection unit for detecting the reflected light from the material to be inspected. Therefore, as the sheet inspection device, at least six elements are arranged together with a transmission light source for detecting holes in the material to be inspected and a hole detection unit for detecting light emitted from the transmission light source and transmitted through the holes. There is a need.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a sheet inspection device capable of saving space, reducing member costs, and reducing maintenance man-hours.
  • the present invention for solving the above problems
  • a first light source unit that irradiates the first surface of the sheet-shaped material to be inspected, and A first inspection unit that detects the reflected light of the light emitted by the first light source unit by the first surface of the material to be inspected, and a first inspection unit.
  • a second light source unit that irradiates the second surface of the material to be inspected,
  • a second inspection unit that detects the reflected light of the light emitted by the second light source unit by the second surface of the material to be inspected, and a second inspection unit.
  • a sheet inspection device that inspects defects in the material to be inspected.
  • a sheet inspection apparatus characterized in that when a hole is present in the material to be inspected, the first inspection unit is arranged at a position where light emitted from the second light source unit and transmitted through the hole can be detected. is there.
  • the second light source portion that irradiates the back surface of the sheet with light rays to inspect the defects on the second surface of the sheet also functions as a light source for inspecting the holes in the sheet, and the first of the sheets.
  • the first inspection unit for inspecting a defect on one surface also functions as a hole inspection unit for inspecting a hole in the sheet. Therefore, it is possible to omit the original light source and the inspection unit for inspecting the holes in the sheet. In this way, since the number of members of the sheet inspection device can be reduced, space saving and cost reduction can be realized, and maintenance man-hours can be further reduced.
  • the first inspection unit detects the specularly reflected light from the first surface of the light emitted by the first light source unit.
  • the second inspection unit may detect the specularly reflected light from the second surface of the light emitted by the second light source unit.
  • defects on the first surface and the second surface of the sheet can be inspected with high accuracy.
  • the incident angle of the light emitted by the first light source unit and the reflection angle of the specular reflected light detected by the first inspection unit are both 10 ⁇ 5 degrees.
  • the incident angle of the light emitted by the second light source unit and the reflection angle of the specularly reflected light detected by the second inspection unit may both be 10 ⁇ 5 degrees.
  • the present invention it is possible to provide a sheet inspection device capable of saving space, reducing member costs, and reducing maintenance man-hours.
  • FIG. 1 a first light source unit Ls1 and a first inspection unit S1 for inspecting a defect on the front surface of the sheet, a second light source unit Ls2 for inspecting a defect on the back surface of the sheet, and the like.
  • the second inspection unit S2 was arranged in a positional relationship so that the first inspection unit S1 could detect the light that was irradiated by the second light source unit and passed through the hole in the sheet when the sheet had holes.
  • a light source unit and an inspection unit for detecting holes in the sheet are provided separately from the first light source unit, the first inspection unit, the second light source unit, and the second inspection unit for inspecting the flaws in the sheet. No need.
  • the number of members of the sheet inspection device 1 can be reduced, space saving and cost reduction can be realized, and maintenance man-hours can be further reduced.
  • FIG. 1 shows the main configuration of the sheet inspection device 1 according to the present embodiment.
  • the sheet transport path T for transporting a sheet such as a steel plate, which is a sheet-shaped material to be inspected is formed so as to transport the sheet in the horizontal direction (from left to right on the paper surface). Further, the sheet transport path T has an extension along the width direction of the sheet in a direction orthogonal to the transport direction (a direction orthogonal to the paper surface from the front side to the back side of the paper surface).
  • the sheet is supported by a transfer device such as a conveyor and is conveyed along the sheet transfer path T.
  • the first light source unit Ls1 on the surface side (upper side of the paper surface) of the sheet is the sheet when the light beam emitted from the first light source unit Ls1 onto the sheet is incident upward on the sheet transport path T at an angle of ⁇ degree.
  • the first inspection unit S1 on the surface side of the surface side is incident from the first light source unit Ls1 and is reflected by the sheet (specularly reflected light), that is, is reflected upward at an angle of ⁇ degree with respect to the sheet transport path T. Arranged so that light rays are incident.
  • the optical path L11 from the first light source unit Ls1 to the sheet and the optical path L12 from which the light reflected by the sheet reaches the first inspection unit S1 are in the vertical plane V (front side of the paper surface) orthogonal to the sheet transport path T.
  • the incident angle ⁇ 11 and the reflection angle ⁇ 12 which are angles formed from the surface orthogonal to the paper surface from the back side to the back side, are at positions symmetrical with each other at an angle of 90- ⁇ degrees.
  • the sheet inspection device 1, which will be described later, is irradiated by the first light source unit Ls1 in this way, and the light reflected by the surface of the sheet is detected by the first inspection unit S1 to detect the presence or absence of defects as defects on the surface of the sheet.
  • the first inspection unit S1 By arranging the first inspection unit S1 so as to detect the specularly reflected light of the light emitted by the first light source unit Ls1, defects in the sheet can be detected with high accuracy.
  • the surface of the sheet corresponds to the "first surface" of the present invention.
  • the second light source portion Ls2 on the back surface side (lower side of the paper surface) of the sheet is such that the light rays emitted from the second light source portion Ls2 onto the sheet are incident on the sheet transport path T downward at an angle of ⁇ degree. Be placed.
  • the second inspection unit S2 on the back surface side of the sheet is a light ray (specularly reflected light) that is incident from the second light source unit Ls2 and is specularly reflected by the sheet, that is, an angle of ⁇ degree downward with respect to the sheet transport path T. It is arranged so that the light beam reflected by is incident.
  • the incident angle ⁇ 21 and the reflection angle ⁇ 22 are both plane-symmetrical with each other at an angle of 90- ⁇ degrees.
  • the sheet inspection device 1, which will be described later, is irradiated by the second light source unit Ls2 in this way, and the light reflected by the back surface of the sheet is detected by the second inspection unit S1 to detect the presence or absence of defects as defects on the back surface of the sheet. Inspect.
  • the second inspection unit S2 By arranging the second inspection unit S2 so as to detect the specularly reflected light of the light emitted by the first light source unit Ls2, defects in the sheet can be detected with high accuracy.
  • the back surface of the sheet corresponds to the "second surface" of the present invention.
  • the light rays emitted from the second light source unit Ls2 to the sheet are transmitted to the surface side due to the holes in the sheet, the light rays emitted from the second light source unit Ls2 are incident on the first inspection unit S1. Arranged to do.
  • the presence or absence of a hole as a defect of the sheet is detected by detecting the light emitted by the second light source unit Ls2 and transmitted through the hole of the sheet by the first inspection unit S1. inspect.
  • the second light source unit Ls2 that irradiates the back surface of the sheet with light rays to inspect the flaws on the back surface of the sheet also functions as a light source for inspecting the holes in the sheet, and the sheet.
  • the first inspection unit S1 for inspecting a flaw on the surface of the sheet also functions as a hole inspection unit for inspecting a hole in the sheet. Therefore, it is possible to omit the original light source and the inspection unit for inspecting the holes in the sheet.
  • since the number of members of the sheet inspection device 1 can be reduced, space saving and cost reduction can be realized, and maintenance man-hours can be further reduced.
  • the first light source unit Ls1 and the second light source unit Ls2 are in the direction orthogonal to the transport direction (from the front side to the back side of the paper surface, the paper surface). It is a linear light source having an extension in the direction orthogonal to.
  • the linear light source may be, for example, a plurality of LED elements arranged in a direction orthogonal to the transport direction and further provided with a diffuser plate, or a fluorescent lamp, and is not limited thereto.
  • the first inspection unit S1 and the second inspection unit S2 are line sensor cameras having a field of view in a direction orthogonal to the transport direction so that light reflected or transmitted from a sheet having a width in a direction orthogonal to the transport direction can be detected. Can be used.
  • FIG. 2 is a functional block diagram of the sheet inspection device 1 according to the present embodiment.
  • the sheet inspection device 1 includes an inspection unit 11, an input signal processing unit 12, a detection / determination processing unit 13, and an output unit 14.
  • the inspection unit 11 includes a first light source unit Ls1, a first inspection unit S1, a second light source unit Ls2, and a second inspection unit S2.
  • the input signal processing unit 12 processes the signals input from the first inspection unit S1 and the second inspection unit S2. For example, it includes an amplifier that amplifies an electric signal input from the first inspection unit S1 and the second inspection unit S2, a filter that cuts electrical noise, an AD converter, a processing unit that performs image processing, and the like. As the input signal processing unit, a known technique can be appropriately adopted depending on the configuration of the inspection unit.
  • the detection determination processing unit 13 detects and determines the presence / absence of defects, the type, and the presence / absence of holes based on the information output from the input signal processing unit 12. As the detection determination processing unit 13, a known technique can be appropriately adopted depending on the configuration of the inspection unit 11 and the input signal processing unit 12.
  • the input signal processing unit 12 and the detection / determination processing unit 13 can be configured by, for example, a computer including a CPU (Central Processing Unit) and a storage device such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory). ..
  • a computer including a CPU (Central Processing Unit) and a storage device such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory). ..
  • ROM Read Only Memory
  • RAM Random Access Memory
  • the input signal processing unit 12 and the detection / determination processing unit 13 may be realized by a dedicated circuit such as FPGA or ASIC.
  • the output unit 14 outputs the processing result of the detection determination processing unit 13 to a notification means such as a display, a printer, a lamp, a buzzer, or a marking device that marks the position where a flaw or a hole is generated on the sheet.
  • a notification means such as a display, a printer, a lamp, a buzzer, or a marking device that marks the position where a flaw or a hole is generated on the sheet.
  • the presence or absence of the hole in the sheet is inspected by being irradiated by the second light source unit Ls2 and detecting the light transmitted through the hole in the sheet by the first inspection unit S1.
  • the presence or absence of holes in the sheet may be inspected by detecting the light emitted by the first light source unit Ls1 and transmitted through the holes in the sheet by the second inspection unit S2.
  • the result of detecting the light emitted by the second light source unit Ls2 and transmitted through the hole of the sheet by the first inspection unit S1 and the light irradiated by the first light source unit Ls1 and transmitted through the hole of the sheet are subjected to the second inspection.
  • the presence or absence of holes in the sheet may be inspected using the result detected in the part S2.
  • Sheet inspection device 11 Inspection unit 12: Input signal processing unit 13: Detection judgment processing unit 14: Output unit Ls1: First light source unit Ls2: Second light source unit S1: First inspection unit S2: Second inspection unit

Abstract

省スペース化、部材コストの削減及びメンテナンス工数の削減が可能なシート検査装置を提供する。シートの表面の疵を検査するための第１光源部Ｌｓ１及び第１検査部Ｓ１と、シートの裏面の疵を検査するための第２光源部Ｌｓ２及び第２検査部Ｓ２とを、シートに穴がある場合に、第２光源部によって照射され、シートの穴を透過した光を第１検査部Ｓ１が検出し得るような位置関係に配置した。

Description

シート検査装置
　本発明は、シート検査装置に関する。
　従来、シート状の被検査材の表裏の欠陥や穴を検査するシート検査装置として、被検査材の表面側と裏面側の疵欠陥をそれぞれ検査する二つの疵欠陥検査部と、被検査材の穴欠陥を検査する透過光式の穴欠陥検査部とを備える構成が提案されていた（例えば、特許文献１を参照）。
　しかし、疵欠陥検査装置として光学式の検査装置を採用する場合には、被検査材の表裏面をそれぞれ照射する表面用光源及び裏面用光源、表面用光源及び裏面用光源のそれぞれから射出された光の被検査材からの反射光を検出する表面用検出部及び裏面用検出部を設ける必要がある。このため、シート検査装置としては、被検査材の穴検出用の透過光源及びこの透過光源から射出され穴を透過する光を検出する穴用検出部とを併せて、少なくとも六つの要素を配置する必要がある。
　しかし、このようなシート検査装置が、他装置の一部に組み込まれる場合等には、シート検査装置のために大きなスペースを確保する必要があり、装置全体の小型化を阻害する。また、シート検査装置の構成要素が多い分だけ、コストが上昇し、メンテナンスの工数も増加する。
特開２００１－３４３３３１号公報
　本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、省スペース化、部材コストの削減及びメンテナンス工数の減少が可能なシート検査装置を提供することを目的とする。
　上記の課題を解決するための本発明は、
　シート状の被検査材の第１面を照射する第１光源部と、
　前記第１光源部によって照射された光の前記被検査材の前記第１面による反射光を検出する第１検査部と、
　前記被検査材の第２面を照射する第２光源部と、
　前記第２光源部によって照射された光の前記被検査材の前記第２面による反射光を検出する第２検査部と、
　を備え、前記被検査材の欠陥を検査するシート検査装置であって、
　前記被検査材に穴が存在する場合に、前記第２光源部から照射され、前記穴を透過した光を検出し得る位置に前記第１検査部を配置したことを特徴とするシート検査装置である。
　本発明によれば、シートの第２面の欠陥を検査するために光線をシートの裏面に照射する第２光源部が、シートの穴を検査するための光源としても機能するとともに、シートの第１面の欠陥を検査するための第１検査部が、シートの穴を検査するための穴検査部としても機能する。従って、シートの穴を検査するための独自の光源と検査部とを省略することができる。このように、シート検査装置の部材数を減らすことができるので、省スペース化及び低コスト化を実現し、さらにメンテナンス工数を削減することができる。
　また、本発明においては、
　前記第１検査部は、前記第１光源部によって照射された光の前記第１面による正反射光を検出し、
　前記第２検査部は、前記第２光源部によって照射された光の前記第２面による正反射光を検出するようにしてもよい。
　これによれば、シートの第１面及び第２面の欠陥を精度よく検査することができる。
　また、本発明においては、
　前記第１光源部によって照射された光の入射角と、前記第１検査部によって検出される正反射光の反射角はいずれも１０±５度であり、
　前記第２光源部によって照射された光の入射角と、前記第２検査部によって検出される正反射光の反射角はいずれも１０±５度であるようにしてもよい。
　これによれば、厚さが薄い被検査材の小さな穴の有無を確実に検査することができる。
　本発明によれば、省スペース化、部材コストの削減及びメンテナンス工数の減少が可能なシート検査装置を提供することが可能となる。
本発明の実施例に係る検査装置の主要構成を示す図である。 本発明の実施例に係るシート検査装置の機能ブロック図である。
〔適用例〕
　以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。
　本発明では、図１に示すように、シートの表面の疵を検査するための第１光源部Ｌｓ１及び第１検査部Ｓ１と、シートの裏面の疵を検査するための第２光源部Ｌｓ２及び第２検査部Ｓ２とを、シートに穴がある場合に、第２光源部によって照射され、シートの穴を透過した光を第１検査部Ｓ１が検出し得るような位置関係に配置した。
　これにより、シートの穴を検出するための光源部と検査部とを、シートの疵を検査するための第１光源部、第１検査部、第２光源部及び第２検査部とは別に設ける必要がない。このように、本発明によれば、シート検査装置１の部材数を減らすことができるので、省スペース化及び低コスト化を実現し、さらにメンテナンス工数を削減することができる。
〔実施例１〕
　以下では、本発明の実施例に係るシート検査装置１について、図面を用いて、より詳細に説明する。
＜装置構成＞
　図１は、本実施例に係るシート検査装置１の主要構成を示す。
　図１では、シート状の被検査材である鋼板等のシートが搬送されるシート搬送路Ｔは、水平方向（紙面の左から右）にシートを搬送するように形成されている。また、シート搬送路Ｔは、搬送方向に直交する方向（紙面の手前側から奥側へ紙面に直交する方向）に、シートの幅方向に沿った延長を有する。図示を省略しているが、シートはコンベア等の搬送装置に支持されてシート搬送路Ｔに沿って搬送される。
　シートの表面側（紙面の上側）の第１光源部Ｌｓ１は、第１光源部Ｌｓ１からシートに照射される光線が、シート搬送路Ｔに対して上方にα度の角度で入射するとき、シートの表面側の第１検査部Ｓ１は、第１光源部Ｌｓ１から入射し、シートによって正反射した光線（正反射光）、すなわち、シート搬送路Ｔに対して上方にα度の角度で反射する光線が入射するように配置される。このように、第１光源部Ｌｓ１からシートに至る光路Ｌ１１と、シートによって反射された光が第１検査部Ｓ１に至る光路Ｌ１２が、シート搬送路Ｔに直交する鉛直面Ｖ（紙面の手前側から奥側へと紙面に直交する面）に対してなす角度である入射角θ１１と反射角θ１２はいずれも９０－α度の角度をなして互いに面対称となる位置にある。後述するシート検査装置１は、このように第１光源部Ｌｓ１によって照射され、シートの表面によって反射された光を第１検査部Ｓ１によって検出することにより、シートの表面の欠陥としての疵の有無を検査する。第１検査部Ｓ１を、第１光源部Ｌｓ１によって照射された光の正反射光を検出するように配置することにより、精度よくシートの欠陥を検出することができる。ここでは、シートの表面が、本発明の「第１面」に対応する。
　シートの裏面側（紙面の下側）の第２光源部Ｌｓ２は、第２光源部Ｌｓ２からシートに照射される光線が、シート搬送路Ｔに対して下方にα度の角度で入射するように配置される。そして、シートの裏面側の第２検査部Ｓ２は、第２光源部Ｌｓ２から入射し、シートによって正反射した光線（正反射光）、すなわち、シート搬送路Ｔに対して下方にα度の角度で反射する光線が入射するように配置される。このように、第２光源部Ｌｓ２からシートに至る光路Ｌ２１と、シートによって反射された光が第２検査部Ｓ２に至る光路Ｌ２２が、シート搬送路Ｔに直交する鉛直面Ｖに対してなす角度である入射角θ２１と反射角θ２２はいずれも９０－α度の角度をなして互いに面対称となる位置にある。後述するシート検査装置１は、このように第２光源部Ｌｓ２によって照射され、シートの裏面によって反射された光を第２検査部Ｓ１によって検出することにより、シートの裏面の欠陥としての疵の有無を検査する。第２検査部Ｓ２を、第１光源部Ｌｓ２によって照射された光の正反射光を検出するように配置することにより、精度よくシートの欠陥を検出することができる。ここでは、シートの裏面が、本発明の「第２面」に対応する。
　ここでは、第２光源部Ｌｓ２からシートに照射された光線が、シートに穴があることにより表面側に透過する場合には、第２光源部Ｌｓ２から出射した光線が第１検査部Ｓ１に入射するように配置されている。このように、後述するシート検査装置１では、第２光源部Ｌｓ２によって照射され、シートの穴を透過した光を、第１検査部Ｓ１で検出することにより、シートの欠陥としての穴の有無を検査する。本実施例のシート検査装置１では、θ１１＝θ１２＝θ２１＝θ２２＝１０度（α＝８０度）とした場合に、０．２５ｍｍ厚のシートの径０．１ｍｍ以上の穴を良好に検出することができた。θ１１（＝θ１２＝θ２１＝θ２２）は、１０±５度とすることが好ましく、これにより０．２０～０．３０ｍｍ厚のシートの穴を良好に検出することができる。また、θ１１（＝θ１２＝θ２１＝θ２２）１０±１度とすることがより好ましい。なお、上述の構成では、シートに穴がある場合には、第１光源部Ｌｓ１からシートに照射された光線がシートを透過し、第２検査部Ｓ２に入射する。
　このように、本実施例では、シートの裏面の疵を検査するために光線をシートの裏面に照射する第２光源部Ｌｓ２が、シートの穴を検査するための光源としても機能するともに、シートの表面の疵を検査するための第１検査部Ｓ１が、シートの穴を検査するための穴検査部としても機能する。従って、シートの穴を検査するための独自の光源と検査部とを省略することができる。このように、本実施例によれば、シート検査装置１の部材数を減らすことができるので、省スペース化及び低コスト化を実現し、さらにメンテナンス工数を削減することができる。
　ここで、第１光源部Ｌｓ１及び第２光源部Ｌｓ２は、搬送方向に直交する方向に幅を有するシートを照射するために、搬送方向に直交する方向（紙面の手前側から奥側に、紙面に直交する方向）に延長を有する線状の光源である。線状の光源は、例えば、複数のＬＥＤ素子を搬送方向に直交する方向に配置しさらに拡散板を設けたものでもよいし、蛍光灯でもよく、これらに限られない。
　第１検査部Ｓ１及び第２検査部Ｓ２は、搬送方向に直交する方向に幅を有するシートから反射または透過された光を検知できるように、搬送方向に直交する方向に視野を有するラインセンサカメラを用いることができる。
　図２は、本実施例に係るシート検査装置１の機能ブロック図である。
　シート検査装置１は、検査部１１、入力信号処理部１２、検出判定処理部１３及び出力部１４を含む。検査部１１は、第１光源部Ｌｓ１、第１検査部Ｓ１、第２光源部Ｌｓ２及び第２検査部Ｓ２を含む。
　入力信号処理部１２は、第１検査部Ｓ１及び第２検査部Ｓ２から入力される信号を処理する。例えば、第１検査部Ｓ１及び第２検査部Ｓ２から入力される電気信号を増幅する増幅器、電気的ノイズをカットするフィルタ、ＡＤコンバータや、画像処理を行う処理部等を含んで構成される。入力信号処理部としては、検査部の構成に応じて、公知の技術を適宜採用することができる。
　検出判定処理部１３は、入力信号処理部１２から出力される情報に基づいて、疵の有無や種別、穴の有無を検出判定する。検出判定処理部１３としては、検査部１１及び入力信号処理部１２の構成に応じて、公知の技術を適宜採用することができる。
　入力信号処理部１２及び検出判定処理部１３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶装置とを含むコンピュータによって構成することができる。ＲＯＭ等に記憶されたプログラムをＲＡＭ等の作業領域に展開してＣＰＵにおいて実行することにより、所定の目的に合致した各機能を実現することができる。また、入力信号処理部１２及び検出判定処理部１３は、ＦＰＧＡやＡＳＩＣなどの専用回路で実現してもよい。
　出力部１４は、検出判定処理部１３の処理結果を、ディスプレイ、プリンタ、ランプ、ブザー等の報知手段や、疵又は穴の発生位置をシートにマーキングするマーキング装置に出力する。
＜変形例＞
　上述のシート検査装置では、シートに穴がある場合に、第２光源部Ｌｓ２によって照射され、シートの穴を透過した光を第１検査部Ｓ１で検出することにより、シートの穴の有無を検査しているが、第１光源部Ｌｓ１によって照射され、シートの穴を透過した光を第２検査部Ｓ２で検出することにより、シートの穴の有無を検査するようにしてもよい。また、第２光源部Ｌｓ２によって照射され、シートの穴を透過した光を第１検査部Ｓ１で検出した結果と、第１光源部Ｌｓ１によって照射され、シートの穴を透過した光を第２検査部Ｓ２で検出した結果とを用いて、シートの穴の有無を検査するようにしてもよい。
　なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本発明の構成要件を図面の符号付きで記載しておく。
＜発明１＞
　シート状の被検査材の第１面を照射する第１光源部（Ｌｓ１）と、
　前記第１光源部（Ｌｓ１）によって照射された光の前記被検査材の前記第１面による反射光を検出する第１検査部（Ｓ１）と、
　前記被検査材の第２面を照射する第２光源部（Ｌｓ２）と、
　前記第２光源部（Ｌｓ２）によって照射された光の前記被検査材の前記第２面による反射光を検出する第２検査部（Ｓ２）と、
　を備え、前記被検査材の欠陥を検査するシート検査装置（１）であって、
　前記被検査材に穴が存在する場合に、前記第２光源部（Ｌｓ２）から照射され、前記穴を透過した光を検出し得る位置に前記第１検査部（Ｓ１）を配置したことを特徴とするシート検査装置（１）。
１：シート検査装置
１１：検査部
１２：入力信号処理部
１３：検出判定処理部
１４：出力部
Ｌｓ１：第１光源部
Ｌｓ２：第２光源部
Ｓ１：第１検査部
Ｓ２：第２検査部

Claims (3)

  1. 　シート状の被検査材の第１面を照射する第１光源部と、
    　前記第１光源部によって照射された光の前記被検査材の前記第１面による反射光を検出する第１検査部と、
    　前記被検査材の第２面を照射する第２光源部と、
    　前記第２光源部によって照射された光の前記被検査材の前記第２面による反射光を検出する第２検査部と、
    　を備え、前記被検査材の欠陥を検査するシート検査装置であって、
    　前記被検査材に穴が存在する場合に、前記第２光源部から照射され、前記穴を透過した光を検出し得る位置に前記第１検査部を配置したことを特徴とするシート検査装置。
  2. 　前記第１検査部は、前記第１光源部によって照射された光の前記第１面による正反射光を検出し、
    　前記第２検査部は、前記第２光源部によって照射された光の前記第２面による正反射光を検出することを特徴とする請求項１に記載のシート検査装置。
  3. 　前記第１光源部によって照射された光の入射角と、前記第１検査部によって検出される正反射光の反射角はいずれも１０±５度であり、
    　前記第２光源部によって照射された光の入射角と、前記第２検査部によって検出される正反射光の反射角はいずれも１０±５度であることを特徴とする請求項２に記載のシート検査装置。
     
     
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