JPH0626843A - 薄板状物の外観検査方法 - Google Patents
薄板状物の外観検査方法Info
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- JPH0626843A JPH0626843A JP4075104A JP7510492A JPH0626843A JP H0626843 A JPH0626843 A JP H0626843A JP 4075104 A JP4075104 A JP 4075104A JP 7510492 A JP7510492 A JP 7510492A JP H0626843 A JPH0626843 A JP H0626843A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】薄板状物の外観検査で、Ｘ・Ｙ方向と共にＺ方
向へのリードピンの変形の有無を判別し、加えて表・裏
面の状態やピン固定用接着剤の固定位置の良否等をも、
高精度かつ迅速に判別可能とする。 【構成】搬送される薄板状物１に、表・裏側からレーザ
ービーム光２を、その表・裏面と直交する線ｚの前また
は後方から一定角度θで、かつ搬送方向と直角方向への
定速の反復照射で走査し、各側への透過光２ａを画像処
理して得た各２次元画像の位相差から３次元情報を得
て、基準パターンとの比較照合でＺ方向ヘのリードピン
６の変形の有無を判別し、加えて表・裏面の各反射光２
ｂから得た各２次元画像を基準パターンと比較照合し
て、表・裏面の状態の良否を判別し、かつ上記各透過光
２ａまたは各反射光２ｂから得た各２次元画像を基準パ
ターンと比較照合して、ピン固定用接着剤７等の位置の
良否をも判別する。
向へのリードピンの変形の有無を判別し、加えて表・裏
面の状態やピン固定用接着剤の固定位置の良否等をも、
高精度かつ迅速に判別可能とする。 【構成】搬送される薄板状物１に、表・裏側からレーザ
ービーム光２を、その表・裏面と直交する線ｚの前また
は後方から一定角度θで、かつ搬送方向と直角方向への
定速の反復照射で走査し、各側への透過光２ａを画像処
理して得た各２次元画像の位相差から３次元情報を得
て、基準パターンとの比較照合でＺ方向ヘのリードピン
６の変形の有無を判別し、加えて表・裏面の各反射光２
ｂから得た各２次元画像を基準パターンと比較照合し
て、表・裏面の状態の良否を判別し、かつ上記各透過光
２ａまたは各反射光２ｂから得た各２次元画像を基準パ
ターンと比較照合して、ピン固定用接着剤７等の位置の
良否をも判別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄板状物即ちＩＣリー
ドフレームやＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ
ｂｏｎｄｉｎｇ）用テープ等の外観検査方法に関するも
のである。詳しくは、第１に薄板状物特にリードピンの
変形の有無を判別する検査方法に関するものであり、第
２に上記リードピンの変形の有無に加えて、表面および
裏面の状態即ちリードフレーム等のキズ・ピット・ピン
ホール・ムラ・シミ・汚れの有無や光沢の良否等をも判
別する検査方法に関するものであり、第３に上記リード
ピンの変形および表面および裏面の状態の良否等に加え
て、ピン保持用の接着剤やテープの固定位置の良否をも
判別する検査方法に関するものである。
ドフレームやＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ
ｂｏｎｄｉｎｇ）用テープ等の外観検査方法に関するも
のである。詳しくは、第１に薄板状物特にリードピンの
変形の有無を判別する検査方法に関するものであり、第
２に上記リードピンの変形の有無に加えて、表面および
裏面の状態即ちリードフレーム等のキズ・ピット・ピン
ホール・ムラ・シミ・汚れの有無や光沢の良否等をも判
別する検査方法に関するものであり、第３に上記リード
ピンの変形および表面および裏面の状態の良否等に加え
て、ピン保持用の接着剤やテープの固定位置の良否をも
判別する検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】リードフレーム等の薄板状物の外観検査
方法は、かつては人間の眼による目視検査が行われてい
た。しかし、近時の半導体素子の高密度化に伴いリード
フレーム等も多ピン化し、また生産コストの低減・量産
化・品質の均質化等の要求を受けて、リードフレーム等
の外観検査も、自動化・高速化・高精度化が必要となっ
た。そこで近時は、リードフレーム等の外観検査手段と
して、ＣＣＤ（電荷結合素子）を用いたテレビカメラ方
式が多く利用されている。
方法は、かつては人間の眼による目視検査が行われてい
た。しかし、近時の半導体素子の高密度化に伴いリード
フレーム等も多ピン化し、また生産コストの低減・量産
化・品質の均質化等の要求を受けて、リードフレーム等
の外観検査も、自動化・高速化・高精度化が必要となっ
た。そこで近時は、リードフレーム等の外観検査手段と
して、ＣＣＤ（電荷結合素子）を用いたテレビカメラ方
式が多く利用されている。
【０００３】その概略を述べれば、リードフレーム等の
薄板状物を、検査位置へ移送させて検査要求信号を出力
し、ＣＣＤテレビカメラによってその外観を撮影し、そ
れを画像処理して得た画像パターンを、予めＣＡＤシス
テムで設計した比較照合用の基準パターンと比較照合す
ることにより、リードピンの変形の有無、表・裏面のキ
ズ・汚れその他の各項目の良否を判別するようにしてい
る（例えば特開平２−２２６４８１号公報参照）。
薄板状物を、検査位置へ移送させて検査要求信号を出力
し、ＣＣＤテレビカメラによってその外観を撮影し、そ
れを画像処理して得た画像パターンを、予めＣＡＤシス
テムで設計した比較照合用の基準パターンと比較照合す
ることにより、リードピンの変形の有無、表・裏面のキ
ズ・汚れその他の各項目の良否を判別するようにしてい
る（例えば特開平２−２２６４８１号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記の外観検
査手段は、通常１箇所に設けた１台のＣＣＤテレビカメ
ラにより撮影し、画像処理して得た画像パターンを検査
パターンと比較照合して判別している。そのため、薄板
状物のリードピンの変形、表・裏面の状態の良否やピン
固定用接着剤等の固定位置の良否の判別は、各々別個に
行わざるを得なかった。
査手段は、通常１箇所に設けた１台のＣＣＤテレビカメ
ラにより撮影し、画像処理して得た画像パターンを検査
パターンと比較照合して判別している。そのため、薄板
状物のリードピンの変形、表・裏面の状態の良否やピン
固定用接着剤等の固定位置の良否の判別は、各々別個に
行わざるを得なかった。
【０００５】またリードピンの変形の内で、Ｚ方向即ち
リードフレーム等の厚み方向へのリードピンの変形の有
無の判別は、Ｘ方向即ちリードフレーム等の長手方向
や、Ｙ方向即ちリードフレーム等の幅方向ヘのリードピ
ンの変形と異なり、上記１台のＣＣＤテレビカメラで１
方向からのみ撮影して判別することは不可能である。そ
れには複数台のＣＣＤテレビカメラが必要となるし、複
数台のＣＣＤテレビカメラを用いると、各々で得た情報
を画像処理して比較照合すべき画像パターンを得るの
に、時間を多く要することになる。そこで従来は、Ｚ方
向へのリードピンの変形の判別は目視によっているが、
一度に大量のリードフレーム等の検査は難しいし、同一
基準で行われず個人差が出がちであった。
リードフレーム等の厚み方向へのリードピンの変形の有
無の判別は、Ｘ方向即ちリードフレーム等の長手方向
や、Ｙ方向即ちリードフレーム等の幅方向ヘのリードピ
ンの変形と異なり、上記１台のＣＣＤテレビカメラで１
方向からのみ撮影して判別することは不可能である。そ
れには複数台のＣＣＤテレビカメラが必要となるし、複
数台のＣＣＤテレビカメラを用いると、各々で得た情報
を画像処理して比較照合すべき画像パターンを得るの
に、時間を多く要することになる。そこで従来は、Ｚ方
向へのリードピンの変形の判別は目視によっているが、
一度に大量のリードフレーム等の検査は難しいし、同一
基準で行われず個人差が出がちであった。
【０００６】さらに、ＣＣＤテレビカメラの焦点深度は
一般に浅いため、例えばリードフレーム等の表・裏面の
キズと付着物との判別を正確に行うことができない。キ
ズのあるものは不良品だが、付着物なら洗浄して良品と
なるので、そのいずれに当たるのかの判別は最終的には
目視検査に頼らざるを得ず、精度と検査時間の面で問題
点があった。
一般に浅いため、例えばリードフレーム等の表・裏面の
キズと付着物との判別を正確に行うことができない。キ
ズのあるものは不良品だが、付着物なら洗浄して良品と
なるので、そのいずれに当たるのかの判別は最終的には
目視検査に頼らざるを得ず、精度と検査時間の面で問題
点があった。
【０００７】しかもＣＣＤテレビカメラの画素子は、レ
ーザービームの画素と比べて大きいので解像度が悪い。
そのため微細な凹凸や汚れに関するデーターを得ること
が難しく、正確に判定することができなかった。ＣＣＤ
テレビカメラの走査位置を少しずらして繰り返し検査す
る方法もあるが、それでは検査時間が２倍近くかかって
しまう。また、ＣＣＤテレビカメラの画素子面積を小さ
くすることが考えられるが、それでは光感度が低下して
光電変換する積分時間が長くかかり、やはり検査時間が
長くかかるという問題点があった。
ーザービームの画素と比べて大きいので解像度が悪い。
そのため微細な凹凸や汚れに関するデーターを得ること
が難しく、正確に判定することができなかった。ＣＣＤ
テレビカメラの走査位置を少しずらして繰り返し検査す
る方法もあるが、それでは検査時間が２倍近くかかって
しまう。また、ＣＣＤテレビカメラの画素子面積を小さ
くすることが考えられるが、それでは光感度が低下して
光電変換する積分時間が長くかかり、やはり検査時間が
長くかかるという問題点があった。
【０００８】本発明は、上記従来のＩＣリードフレーム
やＴＡＢ用テープ等の薄板状物の外観検査手段がもつ問
題点を解決しようとするものである。即ち本発明の第１
の目的は、薄板状物特に多ピン化するリードフレーム等
のリードピンのＺ方向への変形の有無を正確に判別する
検査方法を提供することである。第２の目的は、上記変
形の有無の判別に加えて表・裏面の状態の良否をも正確
に判別する検査方法を提供することである。第３の目的
は、上記変形の有無および表・裏面の状態の良否の判別
に加えて、ピン保持用接着剤等の固定位置の良否をも正
確に判別する検査方法を提供することである。
やＴＡＢ用テープ等の薄板状物の外観検査手段がもつ問
題点を解決しようとするものである。即ち本発明の第１
の目的は、薄板状物特に多ピン化するリードフレーム等
のリードピンのＺ方向への変形の有無を正確に判別する
検査方法を提供することである。第２の目的は、上記変
形の有無の判別に加えて表・裏面の状態の良否をも正確
に判別する検査方法を提供することである。第３の目的
は、上記変形の有無および表・裏面の状態の良否の判別
に加えて、ピン保持用接着剤等の固定位置の良否をも正
確に判別する検査方法を提供することである。
【０００９】
１）本発明に係る薄板状物の外観検査方法の第１は、薄
板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄板状物１の表
・裏両側からレーザービーム光２を、その表・裏面と直
交する線ｚの前または後方から一定角度θで、かつ搬送
方向と直角方向へ定速で反復照射して、表面３および裏
面４を各々走査し、表側および裏側からの各透過光２ａ
を、裏側および表側の各受光センサー８で受け電気信号
に変えて画像処理し、該両２次元画像についての位相差
から３次元情報を得て、予め入力した基準パターンとの
比較照合で、Ｚ方向へのリードピン６の変形の有無を判
別するようにしたものである（図１および図２参照）。
板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄板状物１の表
・裏両側からレーザービーム光２を、その表・裏面と直
交する線ｚの前または後方から一定角度θで、かつ搬送
方向と直角方向へ定速で反復照射して、表面３および裏
面４を各々走査し、表側および裏側からの各透過光２ａ
を、裏側および表側の各受光センサー８で受け電気信号
に変えて画像処理し、該両２次元画像についての位相差
から３次元情報を得て、予め入力した基準パターンとの
比較照合で、Ｚ方向へのリードピン６の変形の有無を判
別するようにしたものである（図１および図２参照）。
【００１０】２）本発明に係る薄板状物の外観検査方法
の第２は、薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄
板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、その
表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度θ
で、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、表
面３および裏面４を各々走査し、表側および裏側からの
各透過光２ａを、裏側および表側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該両２次元画像につ
いての位相差から３次元情報を得て、予め入力した基準
パターンとの比較照合で、Ｚ方向ヘのリードピン６の変
形の有無を判別し、同時に、表面３および裏面４からの
各反射光２ｂを、表側および裏側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該各２次元画像を予
め入力した基準パターンと比較照合して、表面３および
裏面４の状態の良否を判別するようにしたものである
（図１および図３参照）。
の第２は、薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄
板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、その
表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度θ
で、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、表
面３および裏面４を各々走査し、表側および裏側からの
各透過光２ａを、裏側および表側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該両２次元画像につ
いての位相差から３次元情報を得て、予め入力した基準
パターンとの比較照合で、Ｚ方向ヘのリードピン６の変
形の有無を判別し、同時に、表面３および裏面４からの
各反射光２ｂを、表側および裏側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該各２次元画像を予
め入力した基準パターンと比較照合して、表面３および
裏面４の状態の良否を判別するようにしたものである
（図１および図３参照）。
【００１１】３）本発明に係る薄板状物の外観検査方法
の第３は、薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄
板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、その
表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度θ
で、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、表
面３および裏面４を各々走査し、表側および裏側からの
各透過光２ａを、裏側および表側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該両２次元画像につ
いての位相差から３次元情報を得て、予め入力した基準
パターンとの比較照合で、Ｚ方向へのリードピン６の変
形の有無を判別し、同時に、表面３および裏面４からの
各反射光２ｂを、表側および裏側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該各２次元画像を予
め入力した基準パターンと比較照合して、表面３および
裏面４の状態の良否を判別するとともに、上記表・裏側
からの各透過光２ａ、または表・裏面からの各反射光２
ｂを、各受光センサー８で受け電気信号に変えて画像処
理し、該各２次元画像を予め入力した基準パターンと比
較照合して、ピン固定用接着剤７等の位置の良否を判別
するようにしたものである（図１・図２および図３参
照）。
の第３は、薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該薄
板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、その
表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度θ
で、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、表
面３および裏面４を各々走査し、表側および裏側からの
各透過光２ａを、裏側および表側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該両２次元画像につ
いての位相差から３次元情報を得て、予め入力した基準
パターンとの比較照合で、Ｚ方向へのリードピン６の変
形の有無を判別し、同時に、表面３および裏面４からの
各反射光２ｂを、表側および裏側の各受光センサー８で
受け電気信号に変えて画像処理し、該各２次元画像を予
め入力した基準パターンと比較照合して、表面３および
裏面４の状態の良否を判別するとともに、上記表・裏側
からの各透過光２ａ、または表・裏面からの各反射光２
ｂを、各受光センサー８で受け電気信号に変えて画像処
理し、該各２次元画像を予め入力した基準パターンと比
較照合して、ピン固定用接着剤７等の位置の良否を判別
するようにしたものである（図１・図２および図３参
照）。
【００１２】上記構成において、薄板状物１とはＩＣリ
ードフレームやＴＡＢ用テープ等をいう。Ｘ方向とは上
記薄板状物１の長手方向、Ｙ方向とは薄板状物１の幅方
向、Ｚ軸方向とは薄板状物１の厚み方向を各々意味す
る。
ードフレームやＴＡＢ用テープ等をいう。Ｘ方向とは上
記薄板状物１の長手方向、Ｙ方向とは薄板状物１の幅方
向、Ｚ軸方向とは薄板状物１の厚み方向を各々意味す
る。
【００１３】上記の変形とは、特にリードピン６のＸ・
Ｙ・Ｚ方向への変形をいう。なお、変形にはエッチング
不良、プレス不良等をも含むものとする。また表面３お
よび裏面４の状態とは、薄板状物１の表・裏各面のキズ
・ピット・ピンホール・ムラ・シミ・汚れ等の有無や光
沢の良否の他に、メッキ部分のムラ・シミ・汚れ・異物
の付着等の有無、さらにはメッキの寸法位置・光沢等の
良否をも含む。ピン固定用接着剤７等の位置とは、リー
ドピン６を保持用する接着剤７やテープの固定位置をい
う。
Ｙ・Ｚ方向への変形をいう。なお、変形にはエッチング
不良、プレス不良等をも含むものとする。また表面３お
よび裏面４の状態とは、薄板状物１の表・裏各面のキズ
・ピット・ピンホール・ムラ・シミ・汚れ等の有無や光
沢の良否の他に、メッキ部分のムラ・シミ・汚れ・異物
の付着等の有無、さらにはメッキの寸法位置・光沢等の
良否をも含む。ピン固定用接着剤７等の位置とは、リー
ドピン６を保持用する接着剤７やテープの固定位置をい
う。
【００１４】上記表側からのレーザービーム光２の照射
と、裏側からのレーザービーム光２の照射は、一方から
の透過光２ａが他方の反射光２ｂと干渉しないように、
定速で反復するタイミングをずらしてある。上記各レー
ザービーム光２を受ける各受光センサー８は、各透過光
２ａまたは反射光２ｂを受光しそれを電気信号に変換す
るものである。
と、裏側からのレーザービーム光２の照射は、一方から
の透過光２ａが他方の反射光２ｂと干渉しないように、
定速で反復するタイミングをずらしてある。上記各レー
ザービーム光２を受ける各受光センサー８は、各透過光
２ａまたは反射光２ｂを受光しそれを電気信号に変換す
るものである。
【００１５】受光センサー８からの電気信号を画像処理
し、予め入力した基準パターンと比較照合して判別する
ため、コンピューターによる画像処理ユニット（図示
略）が設けてある。２次元画像または２次元画像の位相
差から得た３次元情報を、予め入力した基準パターンと
比較照合して、リードピン６の変形の有無、表面３・裏
面４の状態の良否、ピン固定用接着剤７等の固定位置の
良否等を判別可能なソフトウエアを組み込んでおく。
し、予め入力した基準パターンと比較照合して判別する
ため、コンピューターによる画像処理ユニット（図示
略）が設けてある。２次元画像または２次元画像の位相
差から得た３次元情報を、予め入力した基準パターンと
比較照合して、リードピン６の変形の有無、表面３・裏
面４の状態の良否、ピン固定用接着剤７等の固定位置の
良否等を判別可能なソフトウエアを組み込んでおく。
【００１６】図において、９は薄板状物のピン間等の間
隙、１０は集光レンズ、１１はポリゴンミラー、１２は
ｆθレンズ、１３はミラー、１４は拡散板を示す。
隙、１０は集光レンズ、１１はポリゴンミラー、１２は
ｆθレンズ、１３はミラー、１４は拡散板を示す。
【００１７】
【作用】ＩＣリードフレームまたはＴＡＢ用テープ等の
薄板状物１を外観検査位置へ搬送させ、該薄板状物１が
外観検査位置を通過時に、薄板状物１の表・裏両側から
レーザービーム光２を照射させる。該レーザービーム光
２の照射は、薄板状物１の表・裏面と直交する線ｚの前
または後方から一定角度θで、かつ搬送方向（図では薄
板状物の長手方向）と直角の方向（図では薄板状物の幅
方向）へ定速で反復して行われ、表・裏側の各受光セン
サー８で受光する（図１参照）。
薄板状物１を外観検査位置へ搬送させ、該薄板状物１が
外観検査位置を通過時に、薄板状物１の表・裏両側から
レーザービーム光２を照射させる。該レーザービーム光
２の照射は、薄板状物１の表・裏面と直交する線ｚの前
または後方から一定角度θで、かつ搬送方向（図では薄
板状物の長手方向）と直角の方向（図では薄板状物の幅
方向）へ定速で反復して行われ、表・裏側の各受光セン
サー８で受光する（図１参照）。
【００１８】ａ）まず、上記１）に記載の薄板状物の変
形、特にリードピンの変形の有無を判別する場合（図２
参照） 上記薄板状物１の表・裏両側からのレーザービーム光２
の照射により、薄板状物１は表面３および裏面４から各
々走査される。照射されたレーザービーム光２の内で、
薄板状物１のピン間その他の空９を通過した各透過光２
ａは、各々裏側または表側の各受光センサー８で受光さ
れる。この際、上記の如く表側からのレーザービーム光
２の照射と、裏側からのレーザービーム光２の照射との
タイミングをずらしてあるので、表側からの透過光２ａ
が裏側の反射光２ｂと干渉することはない。
形、特にリードピンの変形の有無を判別する場合（図２
参照） 上記薄板状物１の表・裏両側からのレーザービーム光２
の照射により、薄板状物１は表面３および裏面４から各
々走査される。照射されたレーザービーム光２の内で、
薄板状物１のピン間その他の空９を通過した各透過光２
ａは、各々裏側または表側の各受光センサー８で受光さ
れる。この際、上記の如く表側からのレーザービーム光
２の照射と、裏側からのレーザービーム光２の照射との
タイミングをずらしてあるので、表側からの透過光２ａ
が裏側の反射光２ｂと干渉することはない。
【００１９】上記の裏・表側の各受光センサー８で受光
された各透過光２ａは、直ちに電気信号に変えられ画像
処理ユニットで画像処理され、２次元画像が得られる。
この２次元画像を、予め入力してあるＸ・Ｙ方向への変
形の有無判別用の基準パターンと比較照合することによ
り、Ｘ方向・Ｙ方向ヘのリードピン６の変形の有無が判
別される。さらに上記各２次元画像は、薄板状物１の表
・裏両側から照射された別個のレーザービーム光２の各
透過光２ａによるものであるから、両２次元画像間には
位相差が生じている。そのためこの位相差から３次元情
報が得られることになり、該３次元情報を、予め入力し
てあるＺ方向ヘの変形の有無判別用の基準パターンと比
較照合することで、Ｚ方向へのリードピン６の変形の有
無が判別される。
された各透過光２ａは、直ちに電気信号に変えられ画像
処理ユニットで画像処理され、２次元画像が得られる。
この２次元画像を、予め入力してあるＸ・Ｙ方向への変
形の有無判別用の基準パターンと比較照合することによ
り、Ｘ方向・Ｙ方向ヘのリードピン６の変形の有無が判
別される。さらに上記各２次元画像は、薄板状物１の表
・裏両側から照射された別個のレーザービーム光２の各
透過光２ａによるものであるから、両２次元画像間には
位相差が生じている。そのためこの位相差から３次元情
報が得られることになり、該３次元情報を、予め入力し
てあるＺ方向ヘの変形の有無判別用の基準パターンと比
較照合することで、Ｚ方向へのリードピン６の変形の有
無が判別される。
【００２０】ｂ）次に、上記２）に記載の薄板状物の表
・裏面の状態の良否をも判別する場合（図３参照） 上記の透過光２ａにより薄板状物１の変形の有無が判別
されるが、それに加えて、表・裏両側から照射されたレ
ーザービーム光２は、薄板状物１の表・裏面でリードピ
ン６等により反射され、その各反射光２ｂが表・裏側の
各受光センサー８で受光される。これを上記と同様に電
気信号に変え、画像処理して得た各２次元画像を、表・
裏面の状態の良否判別用として予め入力してある基準パ
ターンと比較対照することで、薄板状物１の表面３およ
び裏面４の状態、即ちリードフレーム等のキズ・ピット
・ピンホール・ムラ・シミ・汚れの有無や光沢の良否等
も判別されることになる。
・裏面の状態の良否をも判別する場合（図３参照） 上記の透過光２ａにより薄板状物１の変形の有無が判別
されるが、それに加えて、表・裏両側から照射されたレ
ーザービーム光２は、薄板状物１の表・裏面でリードピ
ン６等により反射され、その各反射光２ｂが表・裏側の
各受光センサー８で受光される。これを上記と同様に電
気信号に変え、画像処理して得た各２次元画像を、表・
裏面の状態の良否判別用として予め入力してある基準パ
ターンと比較対照することで、薄板状物１の表面３およ
び裏面４の状態、即ちリードフレーム等のキズ・ピット
・ピンホール・ムラ・シミ・汚れの有無や光沢の良否等
も判別されることになる。
【００２１】ｃ）さらに、上記３）に記載のピン固定用
接着剤等の固定位置の良否をも判別する場合（図２・図
３参照） 上記各透過光２ａにより薄板状物１の変形の有無が判別
され、各反射光２ｂにより薄板状物１の表・裏面の状態
の良否が判別されるが、それに加えて、上記各透過光２
ａまたは各反射光２ｂから得られた各２次元画像を、固
定用接着剤７等の位置判別用として予め入力した基準パ
ターンと比較照合する。これにより、ピン固定用接着剤
７またはテープの固定位置の良否も判別されることにな
る。
接着剤等の固定位置の良否をも判別する場合（図２・図
３参照） 上記各透過光２ａにより薄板状物１の変形の有無が判別
され、各反射光２ｂにより薄板状物１の表・裏面の状態
の良否が判別されるが、それに加えて、上記各透過光２
ａまたは各反射光２ｂから得られた各２次元画像を、固
定用接着剤７等の位置判別用として予め入力した基準パ
ターンと比較照合する。これにより、ピン固定用接着剤
７またはテープの固定位置の良否も判別されることにな
る。
【００２２】上記いずれの場合も、レーザービーム光に
より走査して得た透過光２ａまたは反射光２ｂによる情
報を、画像処理ユニットが２次元画像または３次元情報
として、予め入力してある基準パターンと比較照合して
判別するものである。そのため判別の精度は、従来のＣ
ＣＤテレビカメラ方式や目視検査と異なり、高精度で処
理され、かつ大量の検査でも個人差が出ず正確である。
より走査して得た透過光２ａまたは反射光２ｂによる情
報を、画像処理ユニットが２次元画像または３次元情報
として、予め入力してある基準パターンと比較照合して
判別するものである。そのため判別の精度は、従来のＣ
ＣＤテレビカメラ方式や目視検査と異なり、高精度で処
理され、かつ大量の検査でも個人差が出ず正確である。
【００２３】特にレーザービーム光２による画素は、Ｃ
ＣＤテレビカメラの画素子と異なり小さく解像度がよ
く、かつＣＣＤＤテレビカメラのように焦点深度が浅い
と言う欠点もないので、微細な凹凸や汚れに等に関する
情報も正確に得られ、例えば薄板状物１の表裏面のキズ
と汚れの違い等についても正確に判定される。またＣＣ
Ｄテレビカメラと異なり光感度の低下もないので、検査
時間が短縮されている。しかも、一時に、薄板状物の変
形特にリードピンの変形の有無、表裏面の状態の良否、
ピン固定用接着剤の固定位置の良否等の全ての検査を行
うことが可能である。
ＣＤテレビカメラの画素子と異なり小さく解像度がよ
く、かつＣＣＤＤテレビカメラのように焦点深度が浅い
と言う欠点もないので、微細な凹凸や汚れに等に関する
情報も正確に得られ、例えば薄板状物１の表裏面のキズ
と汚れの違い等についても正確に判定される。またＣＣ
Ｄテレビカメラと異なり光感度の低下もないので、検査
時間が短縮されている。しかも、一時に、薄板状物の変
形特にリードピンの変形の有無、表裏面の状態の良否、
ピン固定用接着剤の固定位置の良否等の全ての検査を行
うことが可能である。
【００２４】
【実施例】図１・図２・図３は、本発明に係る薄板状物
の外観検査方法を実施例を示すものであり、システムは
外観検査位置を移動する薄板状物１にレーザービーム光
２を照射する走査ユニットと、受光ユニットと、画像処
理ユニットとで構成されている。
の外観検査方法を実施例を示すものであり、システムは
外観検査位置を移動する薄板状物１にレーザービーム光
２を照射する走査ユニットと、受光ユニットと、画像処
理ユニットとで構成されている。
【００２５】上記走査ユニットは、表面３を上に裏面４
を下にして移動する薄板状物１の上側と下側に各々、発
光器５としてのレーザーダイオードと、レーザービーム
光２を集光させる集光レンズ１０と、レーザービーム光
２を薄板状物１の表・裏面で反復走査させるため一定速
度で回転するポリゴンミラー１１と、その反復走査の振
幅を薄板状物１の幅以上にするｆθレンズ１２と、レー
ザービーム光２を薄板状物１の表・裏面の垂線ｚに対し
一定角度θ、例えば１５度で照射させるためのミラー１
３とを設けてある。
を下にして移動する薄板状物１の上側と下側に各々、発
光器５としてのレーザーダイオードと、レーザービーム
光２を集光させる集光レンズ１０と、レーザービーム光
２を薄板状物１の表・裏面で反復走査させるため一定速
度で回転するポリゴンミラー１１と、その反復走査の振
幅を薄板状物１の幅以上にするｆθレンズ１２と、レー
ザービーム光２を薄板状物１の表・裏面の垂線ｚに対し
一定角度θ、例えば１５度で照射させるためのミラー１
３とを設けてある。
【００２６】受光ユニットも、上記走査ユニットと同様
に薄板状物１の上側と下側に各々、レーザービーム光２
の透過光２ａや反射光２ｂを拡散させる拡散板１４と、
拡散後の透過光２ａや反射光２ｂを受光し電気信号に変
えるため、受光センサー８としてのディテクターを設け
てある。
に薄板状物１の上側と下側に各々、レーザービーム光２
の透過光２ａや反射光２ｂを拡散させる拡散板１４と、
拡散後の透過光２ａや反射光２ｂを受光し電気信号に変
えるため、受光センサー８としてのディテクターを設け
てある。
【００２７】画像処理ユニットはコンピューターを用い
ており、上記の如く受光センサー８からの電気信号を画
像処理し予め入力した基準パターンと比較照合して判別
するためのもので、２次元画像または２次元画像の位相
差から得た３次元情報を、予め入寮した基準パターンと
比較照合して、リードピン６の変形の有無、表面３・裏
面４の状態の良否、ピン固定用接着剤７等の固定位置の
良否等を判別可能なソフトウエアを組み込んである。な
お比較照合用の基準パターンの入力は、ＣＡＤによるパ
ターン入力でもよいし、シルエット入力でもよい。
ており、上記の如く受光センサー８からの電気信号を画
像処理し予め入力した基準パターンと比較照合して判別
するためのもので、２次元画像または２次元画像の位相
差から得た３次元情報を、予め入寮した基準パターンと
比較照合して、リードピン６の変形の有無、表面３・裏
面４の状態の良否、ピン固定用接着剤７等の固定位置の
良否等を判別可能なソフトウエアを組み込んである。な
お比較照合用の基準パターンの入力は、ＣＡＤによるパ
ターン入力でもよいし、シルエット入力でもよい。
【００２８】図示実施例では、外観検査位置を通過する
際の該薄板状物１は、表面３・裏面４が上・下関係にあ
るが、それに限らず表面３・裏面４が左・右関係になる
ような横長垂直状であってもよい。いずれの場合も、レ
ーザービーム光２は、薄板状物１の表・裏両面から各々
照射するものとし、発光器５は薄板状物１の表・裏各側
にに設けてもよいが、１つの発光器５からのレーザービ
ーム光２を、ハーフミラーで分割して各側から照射する
ようにしてもよい。
際の該薄板状物１は、表面３・裏面４が上・下関係にあ
るが、それに限らず表面３・裏面４が左・右関係になる
ような横長垂直状であってもよい。いずれの場合も、レ
ーザービーム光２は、薄板状物１の表・裏両面から各々
照射するものとし、発光器５は薄板状物１の表・裏各側
にに設けてもよいが、１つの発光器５からのレーザービ
ーム光２を、ハーフミラーで分割して各側から照射する
ようにしてもよい。
【００２９】また図示実施例では、薄板状物１をその長
手方向に搬送しているが、幅方向に搬送してもよく、そ
の場合にレーザービーム光２の反復照射は薄板状物１の
長手方向に行われる。
手方向に搬送しているが、幅方向に搬送してもよく、そ
の場合にレーザービーム光２の反復照射は薄板状物１の
長手方向に行われる。
【００３０】
【発明の効果】以上で明らかな如く、本発明に係る薄板
状物の外観検査方法は、次の効果を奏する。 イ）薄板状物の変形、特にリードピンの変形の有無を、
Ｘ方向・Ｙ方向に限らず、Ｚ方向についても正確に判別
できる。即ち、従来の１台のＣＣＤテレビカメラ方式で
は、Ｘ・Ｙ方向についての変形の有無の判別は可能であ
ったが、Ｚ方向について検査が不可能であり、複数台の
ＣＣＤテレビカメラを設けて、複雑な画像処理を必要と
した。これに対して、本発明に係る薄板状物の外観検査
方法は、薄板状物の表・裏側からの各レーザービーム光
の各透過光に基づいて画像処理するので、２次元画像に
おける位相差から３次元情報を得られることになり、そ
れを基準パターンと比較照合することで容易・迅速かつ
正確に、リードピンのＺ方向への変形を判別できるよう
になる。
状物の外観検査方法は、次の効果を奏する。 イ）薄板状物の変形、特にリードピンの変形の有無を、
Ｘ方向・Ｙ方向に限らず、Ｚ方向についても正確に判別
できる。即ち、従来の１台のＣＣＤテレビカメラ方式で
は、Ｘ・Ｙ方向についての変形の有無の判別は可能であ
ったが、Ｚ方向について検査が不可能であり、複数台の
ＣＣＤテレビカメラを設けて、複雑な画像処理を必要と
した。これに対して、本発明に係る薄板状物の外観検査
方法は、薄板状物の表・裏側からの各レーザービーム光
の各透過光に基づいて画像処理するので、２次元画像に
おける位相差から３次元情報を得られることになり、そ
れを基準パターンと比較照合することで容易・迅速かつ
正確に、リードピンのＺ方向への変形を判別できるよう
になる。
【００３１】ロ）上記薄板状物の変形の有無に加えて、
薄板状物の表・裏面の状態の良否も正確に判別できる。
即ち、従来のＣＣＤテレビカメラ方式では、焦点深度が
一般に浅いため、薄板状物の表・裏面でキズか付着物か
の判別を正確に行えなかった。またＣＣＤテレビカメラ
の画素子が比較的大きいので、解像度が悪く微細な凹凸
や汚れ等に関する情報が得られず、表・裏面の状態の良
否を正確に判別するのが難しかった。これに対して、本
発明に係る外観検査方法は、レーザービーム光を薄板状
物の表・裏側から反復走査して、各反射光により情報を
得るものである。そのため解像度がよいし、微細な凹凸
や汚れ等に関して高密度な情報が得られることになり、
これを基準パターンと比較照合することで、表・裏面の
状態の良否を正確に、例えばキズと汚れの違いについて
も判別できるようになる。また最終検査を目視に頼る必
要がなくなるので、外観検査の時間短縮もできる。
薄板状物の表・裏面の状態の良否も正確に判別できる。
即ち、従来のＣＣＤテレビカメラ方式では、焦点深度が
一般に浅いため、薄板状物の表・裏面でキズか付着物か
の判別を正確に行えなかった。またＣＣＤテレビカメラ
の画素子が比較的大きいので、解像度が悪く微細な凹凸
や汚れ等に関する情報が得られず、表・裏面の状態の良
否を正確に判別するのが難しかった。これに対して、本
発明に係る外観検査方法は、レーザービーム光を薄板状
物の表・裏側から反復走査して、各反射光により情報を
得るものである。そのため解像度がよいし、微細な凹凸
や汚れ等に関して高密度な情報が得られることになり、
これを基準パターンと比較照合することで、表・裏面の
状態の良否を正確に、例えばキズと汚れの違いについて
も判別できるようになる。また最終検査を目視に頼る必
要がなくなるので、外観検査の時間短縮もできる。
【００３２】ハ）上記薄板状物の変形の有無や、表・裏
面の状態の良否に加えて、ピン固定接着剤等の固定位置
の良否も同時に判別可能である。即ち、従来の従来のＣ
ＣＤテレビカメラ方式では、薄板状物の変形特にリード
ピンの変形の有無、表・裏面の状態の良否、ピン固定接
着剤等の固定位置の良否等の判別は、同時に行うことが
できず、各々別個に検査せざるを得なかった。これに対
して、本発明に係る外観検査方法は、表・表側からの各
透過光、または表・裏面の各反射光を、各受光センサー
受け画像処理して各２次元画像を得て、基準パターンと
比較照合することでピン固定用接着剤等の位置の良否を
も判別することができる。そのため、一度に、薄板状物
の変形の有無や、表・裏面の状態の良否やピン固定用接
着剤等の固定位置の良否について判別することもできる
ようになる。
面の状態の良否に加えて、ピン固定接着剤等の固定位置
の良否も同時に判別可能である。即ち、従来の従来のＣ
ＣＤテレビカメラ方式では、薄板状物の変形特にリード
ピンの変形の有無、表・裏面の状態の良否、ピン固定接
着剤等の固定位置の良否等の判別は、同時に行うことが
できず、各々別個に検査せざるを得なかった。これに対
して、本発明に係る外観検査方法は、表・表側からの各
透過光、または表・裏面の各反射光を、各受光センサー
受け画像処理して各２次元画像を得て、基準パターンと
比較照合することでピン固定用接着剤等の位置の良否を
も判別することができる。そのため、一度に、薄板状物
の変形の有無や、表・裏面の状態の良否やピン固定用接
着剤等の固定位置の良否について判別することもできる
ようになる。
【図１】本発明に係る薄板状物の外観検査方法の実施例
で、要部の一部縦断斜視図である。
で、要部の一部縦断斜視図である。
【図２】図１で示す実施例で、リードピンの変形の有無
を検査時の一部縦断正面図である。
を検査時の一部縦断正面図である。
【図３】図１で示す実施例で、薄板状物の表・裏面の良
否を検査時の一部縦断正面図である。
否を検査時の一部縦断正面図である。
１−薄板状物 ２−レーザービーム光 ２ａ
−透過光 ２ｂ−反射光 ３−表面 ４−
裏面 ５−発光器 ６−リードピン ７−
ピン固定用接着剤 ８−受光センサー ９−空隙 １０−
集光レンズ １１−ポリゴンミラー １２−ｆθレンズ １３
−ミラー １４−拡散板 ｚ−直交する線 θ
−一定角度
−透過光 ２ｂ−反射光 ３−表面 ４−
裏面 ５−発光器 ６−リードピン ７−
ピン固定用接着剤 ８−受光センサー ９−空隙 １０−
集光レンズ １１−ポリゴンミラー １２−ｆθレンズ １３
−ミラー １４−拡散板 ｚ−直交する線 θ
−一定角度
Claims (3)
- 【請求項１】薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該
薄板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、そ
の表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度
θで、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、
表面３および裏面４を各々走査し、 表側と裏側からの各透過光２ａを、裏側と表側の各受光
センサー５で受け電気信号に変えて画像処理し、該両２
次元画像についての位相差から３次元情報を得て、予め
入力した基準パターンとの比較照合で、Ｚ方向へのリー
ドピン６の変形の有無を判別することを特徴とする、薄
板状物の外観検査方法。 - 【請求項２】薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該
薄板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、そ
の表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度
θで、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、
表面３および裏面４を各々走査し、 表側と裏側からの各透過光２ａを、裏側と表側の各受光
センサー５で受け電気信号に変えて画像処理し、該両２
次元画像についての位相差から３次元情報を得て、予め
入力した基準パターンとの比較照合で、Ｚ方向ヘのリー
ドピン６の変形の有無を判別し、 同時に、表面３と裏面４からの各反射光２ｂを、表側と
裏側の各受光センサー５で受け電気信号に変えて画像処
理し、該各２次元画像を予め入力した基準パターンと比
較照合して、表面３と裏面４の各状態の良否を判別する
ことを特徴とする、薄板状物の外観検査方法。 - 【請求項３】薄板状物１が外観検査位置を通過時に、該
薄板状物１の表・裏両側からレーザービーム光２を、そ
の表・裏面と直交する線ｚの前または後方から一定角度
θで、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、
表面３および裏面４を各々走査し、 表側と裏側からの各透過光２ａを、裏側と表側の各受光
センサー５で受け電気信号に変えて画像処理し、該両２
次元画像についての位相差から３次元情報を得て、予め
入力した基準パターンとの比較照合で、Ｚ方向ヘのリー
ドピン６の変形の有無を判別し、 同時に、表面３と裏面４からの各反射光２ｂを、表側と
裏側の各受光センサー５で受け電気信号に変えて画像処
理し、該各２次元画像を予め入力した基準パターンと比
較照合して、表面３と裏面４の各状態の良否を判別する
とともに、 上記表・裏側からの各透過光２ａ、または表・裏面から
の各反射光２ｂを、各受光センサー５で受け電気信号に
変えて画像処理し、該各２次元画像を予め入力した基準
パターンと比較照合して、ピン固定用接着剤７等の位置
の良否を判別するようにしたことを特徴とする、薄板状
物の外観検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4075104A JPH07111332B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 薄板状物の外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4075104A JPH07111332B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 薄板状物の外観検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626843A true JPH0626843A (ja) | 1994-02-04 |
| JPH07111332B2 JPH07111332B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=13566533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4075104A Expired - Fee Related JPH07111332B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 薄板状物の外観検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111332B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100453710B1 (ko) * | 2002-02-09 | 2004-10-20 | 국방과학연구소 | 표면 측정장치 및 그 측정방법 |
| WO2021070405A1 (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | オムロン株式会社 | シート検査装置 |
-
1992
- 1992-02-13 JP JP4075104A patent/JPH07111332B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100453710B1 (ko) * | 2002-02-09 | 2004-10-20 | 국방과학연구소 | 표면 측정장치 및 그 측정방법 |
| WO2021070405A1 (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | オムロン株式会社 | シート検査装置 |
| US20220373476A1 (en) * | 2019-10-09 | 2022-11-24 | Omron Corporation | Sheet inspection device |
| US11959863B2 (en) * | 2019-10-09 | 2024-04-16 | Omron Corporation | Sheet inspection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07111332B2 (ja) | 1995-11-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |