JP2015049213A - ワーク検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの表面又は裏面の傷等の欠陥を精度良く検出する。【解決手段】搬送路１７に沿って搬送されるワーク３の欠陥を検査するワーク検査装置１は、ワーク３の表面３ａを撮像する第１の撮像装置５と、ワーク３の表面３ａへ光を照射する第１の光照射部７と、ワーク３の同じ面へ光を照射する第２の光照射部９とを備える。第１の撮像装置５は、第１の光照射部７により照射された光がワーク３で正反射する光路と当該第１の撮像装置５の光軸とが一致するように配置される。第２の光照射部９は、撮像装置５の光軸に対し第１の光照射部７に対向して配置される。第１の光照射部７の光量及び第２の光照射部９の光量は、第１の光照射部７により光がワーク３の表面３ａに照射されたときの照度が第２の光照射部９により光がワーク３の表面３ａに照射されたときの照度よりも低くなるように、予め設定される。【選択図】図３

Description

本発明は、ワークの表面の状態を検査するワーク検査装置に関する。

従来、紙、透明又は半透明のフィルム、蒸着物等の板状部材であるワークの表面及び裏面の一方又は両方を検査し、検査に合格したワークを製函する製函装置が知られている。

特許文献１に記載された製函装置は、積層された複数のワークを保持し、一枚毎にワークを供給する給紙部と、ワークを製函する製函部と、給紙部から製函部へワークを搬送する搬送部と、ワーク検査部とを備える。ワーク検査部は、搬送部により供給されたワークの片面を撮像する撮像手段と、撮像手段により取得されたワークの被検査画像とワークのマスタ画像とを比較する比較手段と、比較手段により取得された比較値が許容値以上の場合に、当該箇所を欠陥箇所として検出する欠陥検出手段とを有する。

特開２００８−１２７０２９号公報

しかしながら、特許文献１に記載された製函装置に備えるワーク検査部では、ワークの材質、形状等によっては、ワークに対し十分な光を照射することができず、ワークの表面又は裏面に存在する傷、汚れ等の欠陥、またはワークの面上に付された絵柄等の欠陥を十分な精度で検出することができないという問題があった。

そこで、本発明は前記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ワークの表面又は裏面の傷等の欠陥を精度良く検出可能なワーク検査装置を提供することにある。

前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１のワーク検査装置は、搬送路に沿って搬送される板状のワークの欠陥を検査するワーク検査装置において、前記ワークの一方の面を撮像する第１の撮像手段と、前記ワークの一方の面へ光を照射する第１の光照射手段及び第２の光照射手段と、を備え、前記第１の撮像手段が、前記第１の光照射手段により照射される光が前記ワークの一方の面で正反射する光路と当該第１の撮像手段の光軸とが一致するように配置され、前記第２の光照射手段が、前記第１の撮像手段の光軸に対し前記第１の光照射手段に対向して配置され、前記ワークの一方の面の材質に応じて、前記第１の光照射手段及び第２の光照射手段、または前記第１の光照射手段のみが使用され、
前記第１の光照射手段及び第２の光照射手段が使用される場合、前記第１の光照射手段の光量及び前記第２の光照射手段の光量が、前記第１の光照射手段から光を前記ワークの一方の面に照射させたときの照度が前記第２の光照射手段から光を前記ワークの一方の面に照射させたときの照度よりも低くなるように設定される、ことを特徴とする。

また、請求項２のワーク検査装置は、請求項１に記載のワーク検査装置において、さらに、前記ワークの他方の面を撮像する第２の撮像手段と、前記ワークの他方の面へ光を照射する第３の光照射手段及び第４の光照射手段と、を備え、前記第１の光照射手段が、前記第２の撮像手段の光軸上であって、前記ワークに対し前記第２の撮像手段に対向して配置され、前記第２の撮像手段が、前記第３の光照射手段により照射される光が前記ワークの他方の面で正反射する光路と当該第２の撮像手段の光軸とが一致するように配置され、前記第３の光照射手段が、前記第１の撮像手段の光軸上であって、前記ワークに対し前記第１の撮像手段に対向して配置され、前記第４の光照射手段が、前記第２の撮像手段の光軸に対し前記第３の光照射手段に対向して配置され、前記ワークの他方の面の材質に応じて、前記第３の光照射手段及び第４の光照射手段、または前記第３の光照射手段のみが使用され、前記第３の光照射手段及び第４の光照射手段が使用される場合、前記第３の光照射手段の光量及び前記第４の光照射手段の光量が、前記第３の光照射手段から光を前記ワークの他方の面に照射させたときの照度が前記第４の光照射手段から前記ワークの他方の面に照射させたときの照度よりも低くなるように設定され、前記ワークが前記第１の撮像手段の光軸と前記第２の撮像手段の光軸とが交差する撮像位置に搬送されたときに、前記第１の撮像手段が前記ワークの一方の面を撮像すると共に、前記第２の撮像手段が前記ワークの他方の面を撮像する、ことを特徴とする。

また、請求項３のワーク検査装置は、請求項２に記載のワーク検査装置において、前記ワークの一部に透明体を含む場合、前記ワークの一方の面に対して、前記第１の撮像手段、前記第１の光照射手段、前記第２の光照射手段、及び、前記透明体を透過する光を照射する前記第３の光照射手段を用いて検査し、前記ワークの他方の面に対して、前記第２の撮像手段、前記第３の光照射手段、前記第４の光照射手段、及び、前記透明体を透過する光を照射する前記第１の光照射手段を用いて検査する、ことを特徴とする。

また、請求項４のワーク検査装置は、請求項１から３までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、さらに、請求項１の第１の光照射手段及び第２の光照射手段、並びに請求項２の第３の光照射手段及び第４の光照射手段により照射される光の光路上にそれぞれ配置され、前記光を拡散させる光拡散手段を備えることを特徴とする。

また、請求項５のワーク検査装置は、請求項１から４までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、さらに、前記ワークを搬送するための搬送ころ組立体を備え、前記搬送ころ組立体が、前記ワークの一方の面に当接するころを有し、前記ころが、前記搬送路の長手方向と前記長手方向に垂直な幅方向とに、前記ワークを同じタイミングで当接するように位置決めされている、ことを特徴とする。

また、請求項６のワーク検査装置は、請求項１から５までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、さらに、前記搬送路上の撮像位置で前記ワークを支持すると共に、光を透過するガイド手段を備えることを特徴とする。

以上のように、本発明のワーク検査装置によれば、ワークの面が鏡面であっても、凹凸面であっても、光照射を適確に行うことができる。これにより、精度良くワークの面の画像情報を取得することができ、結果として、ワークの材質に拘わらず、ワークの表面又は裏面の傷等の欠陥を精度良く検出することができる。

本発明の実施形態によるワーク検査装置を模式的に示す正面図である。 ワーク検査装置の一部を模式的に示す平面図である。 ワーク検査装置における検査部の構成要素の位置関係を示す正面図である。 （ａ）は、拡散部材を配置しない場合において、第１の光照射部からの光の光路等を示す正面図であり、（ｂ）は、拡散部材を配置する場合において、第１の光照射部からの光の光路等を示す正面図であり、（ｃ）は、拡散部材を配置しない場合において、ワークが撓んだときの第１の光照射部からの光の光路等を示す正面図であり、（ｄ）は、拡散部材を配置する場合において、ワークが撓んだときの第１の光照射部からの光の光路等を示す正面図である。 （ａ）は、ガイド部材を示す正面図、（ｂ）は、ガイド手段の一例である補助ガイド部材を示す正面図、（ｃ）は、ガイド手段の他の例である拡張ガイド部材を示す正面図、（ｄ）は、ガイド手段の他の例である補助ガイド部材を示す正面図である。 複雑な形状を有するワークと搬送ころとの位置関係を示す平面図である。

以下に、本発明の実施形態によるワーク検査装置を製函装置に適用した例について、図面を参照しつつ説明する。

〔ワーク検査装置１〕
まず、本発明の実施形態によるワーク検査装置の全体構成について説明する。図１は、本発明の実施形態によるワーク検査装置１を模式的に示す正面図であり、図２は、ワーク検査装置１の一部を模式的に示す平面図であり、図３は、ワーク検査装置１における検査部１００の構成要素の位置関係を示す正面図である。尚、図２においては、図面の明瞭化のため説明に関連する構成要素のみを示している。

図１を参照して、このワーク検査装置１は、製函装置の一部であり、搬送方向Ｐに沿って搬送される板状のワーク３の欠陥を検査する装置である。ワーク検査装置１は、供給装置１０１、搬送装置４１、検査部１００、排出装置１０３を備え、この順に搬送方向Ｐの上流側から配置されている。以下、各構成要素について説明する。

［検査部１００］（撮像装置５、６及び光照射部７、９、１３、１５）
まず、ワーク検査装置１に備えた検査部１００について説明する。検査部１００は、ワーク３の一方の面である表面３ａを撮像するための撮像手段である第１の撮像装置５と、ワーク３の表面３ａを光照射し、搬送方向Ｐに対して離間配置される一対の光照射手段である第１の光照射部７及び第２の光照射部９とを備える。

ここで、搬送路１７は、供給装置１０１、搬送装置４１、検査部１００及び排出装置１０３において、ワーク３が通る空間を意味する。また、撮像位置２６は、搬送路１７において、第１の撮像装置５の光軸ｐ１及び第２の撮像装置６の光軸ｐ２が交差する位置である。

図３に示すように、第１の撮像装置５は、第１の光照射部７による光がワーク３の表面３ａで正反射する正反射光の光路である光軸ｐ１上に配置される。正反射光の光路は、第１の撮像装置５の光軸ｐ１と一致する。第２の光照射部９は、第１の撮像装置５の光軸ｐ１に対し、第１の光照射部７に対向して配置される。

また、本実施形態では、ワーク３の裏面３ｂ側にも、表面３ａ側と同様に、撮像手段である第２の撮像装置６と、一対の照明手段である第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５とが配置される。図３に示すように、第２の撮像装置６は、第３の光照射部１３による光がワーク３の裏面３ｂで正反射する正反射光の光路である光軸ｐ２上に配置される。第３の光照射部１３からの正反射光の光路は、第２の撮像装置６の光軸ｐ２と一致する。第４の光照射部１５は、第２の撮像装置６の光軸ｐ２に対し、第３の光照射部１３に対向して配置される。

第１の撮像装置５は、ＣＣＤ（電荷結合素子）ラインセンサから構成され、搬送路１７の幅方向Ｗ寸法より若干長い範囲に亘り複数のＣＣＤが配列されている。また、第１の光照射部７及び第２の光照射部９も同様に、搬送路１７の幅方向Ｗ寸法より若干長い範囲に亘りＬＥＤ等の光照射手段が配列されている。また、ワーク３の裏面３ｂ側に配置される第２の撮像装置６、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５も、前記した表面３ａ側に配置される第１の撮像装置５、第１の光照射部７及び第２の光照射部９と同様の構成である。尚、第１の撮像装置５及び第２の撮像装置６は、ＣＣＤラインセンサの代わりに、ＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）ラインセンサ等のその他の撮像手段を使用することが可能である。

さらに、図３に示すように、検査部１００は、ワーク３の搬送路１７を規定するガイド部材１９を備える。本実施形態では、ワーク３の表面３ａ及び裏面３ｂの検査を行う構成としているので、撮像位置２６は、第１の撮像装置５及び第２の撮像装置６の光軸ｐ１、ｐ２上であって、上流側のガイド部材１９ａ、１９ｂと下流側のガイド部材１９ｃ、１９ｄとの間における搬送路１７上の空間に位置することになる。

（供給用ころ組立体２０）
また、検査部１００は、ワーク３を撮像位置２６へ導入するための導入手段と、撮像位置２６からワーク３を排出するための排出手段とを備える。導入手段は、搬送方向Ｐに直交する方向（法線ｘ方向、ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。）に対し対向配置される複数の供給用ころ組立体２０及び供給用ローラ２２により構成される。

供給用ころ組立体２０は、搬送路１７の幅方向Ｗにのみ移動可能な構成であり、ワーク３に応じた所定位置に固定配置される。図２に示すように、本実施形態では、５つの供給用ころ組立体２０が配置されている。各供給用ころ組立体２０は、同じ形状及び寸法である。供給用ころ組立体２０は、供給用ころ２１と、ころ支持部６５と、ころ支持部６５が連結されるキャリッジ６９とを備える。

ころ支持部６５は、ワーク３が搬送方向Ｐへ移動するに伴って、供給用ころ２１を回転自在に支持すると共に、ワーク３の搬送方向Ｐへの移動及びワーク３の厚みによって、供給用ころ２１を法線ｘ方向（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。図１及び図３を参照。）上方及び下方へ移動可能に支持する。各キャリッジ６９は、幅方向Ｗに移動可能であり、両端部が装置の筺体部３１に連結されるレール部材７１に摺動可能に装着されており、オペレータの調整により所定位置に固定される。

キャリッジ６９には、回転可能なハンドル６７が支持されている。ハンドル６７の回転軸（不図示）の先端部はねじ切りされ、ハンドル６７の回転軸のねじ部が、レール部材７１の側面に刻設されている平歯車（不図示）に螺合する構成である。したがって、オペレータの調整にて、ハンドル６７を回転させることにより、キャリッジ６９がレール部材７１に沿って幅方向Ｗに摺動し、供給用ころ２１を所定位置に配置できる。

供給用ころ２１は、円盤部材である。また、図１及び図３を参照して、供給用ローラ２２は、幅方向Ｗに延びる円筒状部材から構成され、モータ４２（図１を参照。）から回転力が供給され、後述する排出用ローラ２５及び吸着無端ベルト４９、１３７と同速度で回転するように固定設置されている。

図３を参照して、供給用ころ２１は、その自重により供給用ローラ２２に当接しており、供給用ローラ２２の回転に伴って回転する。ワーク３は、搬送装置４１から搬送方向Ｐへ移動して供給用ころ２１に到着すると、供給用ころ２１は、ワーク３の厚みによって持ち上がり、回転しながら供給用ローラ２２との間でワーク３を把持する状態になる。つまり、ワーク３の厚みによって、供給用ころ２１が法線ｘ方向（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。）上方へ移動する。これにより、供給用ころ２１と供給用ローラ２２との間には、ワーク３が通る搬送路１７が形成される。そして、ワーク３が供給用ころ２１と供給用ローラ２２とにより把持されながら移動し、当該箇所を通り過ぎると、供給用ころ２１がその自重により法線ｘ方向下方へ移動し、供給用ころ２１が供給用ローラ２２に当接する。

つまり、供給用ローラ２２が反時計回り（図３の矢印方向）に回転し、供給用ローラ２２に当接している供給用ころ２１が時計回り方向（図３の矢印方向）に回転している状態で、モータ４２（図１を参照）により回転力が供給された搬送装置４１からワーク３が搬送されてくると、ワーク３の搬送に伴って、供給用ころ２１は、法線ｘ方向の上側に持ち上がり、ワーク３が通り過ぎると、自重により法線ｘ方向の下側に戻り、供給用ローラ２２に当接する。そして、ワーク３は撮像位置２６を通過して下流側へ移動する。

（排出用ころ組立体２３）
供給用ころ組立体２０及び供給用ローラ２２の搬送方向Ｐの下流側には、複数の排出用ころ組立体２３及び排出用ローラ２５が、ワーク３が通る搬送路１７を形成するように配置されている。排出用ころ組立体２３は、供給用ころ組立体２０と同様に、搬送路１７の幅方向Ｗにのみ移動可能な構成であり、ワーク３に応じた所定位置に固定配置される。図２に示すように、本実施形態では、５つの排出用ころ組立体２３が配置されている。各排出用ころ組立体２３は、同じ形状及び寸法である。

排出用ころ組立体２３は、排出用ころ２４、ころ支持部７５と、ころ支持部７５が連結されるキャリッジ７９とを備える。ころ支持部７５は、ワーク３が搬送方向Ｐへ移動するに伴って、排出用ころ２４を回転自在に支持すると共に、ワーク３の搬送方向Ｐへの移動及びワーク３の厚みによって、排出用ころ２４を法線ｘ方向（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。図１及び図３を参照。）上方及び下方へ移動可能に支持する。各キャリッジ７９は、幅方向Ｗに移動可能であり、両端部が装置の筺体部３１に連結されるレール部材８１に摺動可能に装着されており、オペレータの調整により所定位置に固定される。

キャリッジ７９には、回転可能なハンドル７７が支持されている。ハンドル７７の回転軸（不図示）の先端部はねじ切りされており、ハンドル７７の回転軸のねじ部が、レール部材８１の側面に刻設されている平歯車（不図示）に螺合する構成である。したがって、オペレータの調整にて、ハンドル７７を回転させることにより、キャリッジ７９がレール部材８１に沿って幅方向Ｗに摺動し、排出用ころ２４を所定位置に配置できる。

排出用ころ２４は、円盤部材である。また、図１及び図３を参照して、排出用ローラ２５は、幅方向Ｗに延びる円筒状部材から構成され、モータ４２（図１を参照。）から回転力が供給され、供給用ローラ２２及び後述する吸着無端ベルト４９、１３７と同速度で回転するように固定設置されている。

図３を参照して、排出用ころ２４は、その自重により排出用ローラ２５に当接しており、排出用ローラ２５の回転に伴って回転する。ワーク３は、供給用ころ２１及び供給用ローラ２２から撮像位置２６を通過して搬送方向Ｐへ移動し排出用ころ２４に到着すると、排出用ころ２４は、ワーク３の厚みによって持ち上がり、排出用ローラ２５との間でワーク３を把持する状態になる。つまり、ワーク３の厚みによって、供給用ころ２４が回転しながら法線ｘ方向（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。）上方へ移動する。これにより、排出用ころ２４と排出用ローラ２５との間には、ワーク３が通る搬送路１７が形成される。そして、ワーク３が排出用ころ２４と排出用ローラ２５とにより把持されならが移動し、当該箇所を通り過ぎると、排出用ころ２４がその自重により法線ｘ方向下方へ移動し、排出用ころ２４が排出用ローラ２５に当接する。

つまり、排出用ローラ２５が反時計回り（図３の矢印方向）に回転し、排出用ローラ２５に当接している排出用ころ２４が時計回り方向（図３の矢印方向）に回転している状態で、ワーク３が供給用ころ２１及び供給用ローラ２２から撮像位置２６を通過して搬送されてくると、ワーク３の搬送に伴って、排出用ころ２４は、法線ｘ方向の上側に持ち上がり、ワーク３が通り過ぎると、自重により法線ｘ方向の下側に戻り、排出用ローラ２５に当接する。そして、ワーク３は排出装置１０３へ移動する。

（ガイド部材１９）
図３を参照して、ワーク３を支持する支持手段であるガイド部材１９は、撮像位置２６の上流側に配置される上方供給ガイド１９ａ及び下方供給ガイド１９ｂと、撮像位置２６の下流側に配置される上方排出ガイド１９ｃ及び下方排出ガイド１９ｄとを備える。

本実施形態では、上方供給ガイド１９ａ及び下方供給ガイド１９ｂと、上方排出ガイド１９ｃ及び下方排出ガイド１９ｄとは、形状が互いに異なるが、本発明はこの構成に限定されない。すなわち、ガイド部材１９は、ワーク３を撮像位置２６で支持でき、撮像位置２６に干渉しない形状及び寸法であれば適宜変更できる。尚、ガイド部材１９の幅方向Ｗの寸法は、図面には示していないが、搬送路１７の幅方向Ｗの長さより若干長く寸法付けされ、ワーク３は、その幅方向Ｗ全体で支持できるように構成されている。

（拡散部材２７〜３０）
図３を参照して、ガイド部材１９に対し、法線ｘ方向の上方及び下方には、光を拡散させる乳白色または白色の光拡散手段である拡散部材２７〜３０が配置されている。本実施形態の拡散部材２７〜３０は、搬送方向Ｐに対し上流側であって、上方供給ガイド１９ａに対し法線ｘ方向の上方に配置される上流側上方拡散部材２７と、搬送方向Ｐに対し上流側であって、下方供給ガイド１９ｂに対し法線ｘ方向の下方に配置される上流側下方拡散部材２８と、搬送方向Ｐに対し下流側であって、上方排出ガイド１９ｃに対し法線ｘ方向の上方に配置される下流側上方拡散部材２９と、搬送方向Ｐに対し下流側であって、下方排出ガイド１９ｄに対し法線ｘ方向の下方に配置される下流側下方拡散部材３０とを備える。

上流側上方拡散部材２７について説明する。上流側下方拡散部材２８、下流側上方拡散部材２９及び下流側下方拡散部材３０は、上流側上方拡散部材２７と寸法及び形状が同じであるので、これらの説明は省略する。上流側上方拡散部材２７は、第２の光照射部９の光路上に配置される拡散板２７ａと、第２の光照射部９からの光が所定角度で拡散板２７ａに入射するように拡散板２７ａを固定する固定部２７ｂとを有する。固定部２７ｂは、正面視でＬ字形状であり、ワーク検査装置１の筺体部３１（図１を参照。）に不図示の締結手段により固定される。その他の上流側下方拡散部材２８、下流側上方拡散部材２９及び下流側下方拡散部材３０は、それぞれ、第４の光照射部１５、第１の光照射部７、第３の光照射部１３に対応して配置される。

したがって、光照射部９、７から照射される光は、対応する拡散板２７ａ、２９ａを介して、ワーク３の上面３ａに到達し、光照射部１５、１３から照射される光は、対応する拡散板２８ａ、３０ａを介して、ワーク３の下面３ｂに到達する。尚、拡散板２７ａ〜３０ａは、例えば、乳白色または白色の光拡散物質を含有する透明又は半透明のガラス材等から形成される。また、拡散板２７ａ〜３０ａを通る光の光路については、図４に関連し後述する。

（制御部３３）
図１を参照して、検査部１００は、撮像装置５、６等の各構成要素を制御するための制御部３３を備える。制御部３３は、既知のＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、所定のプログラムを格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、所定のプログラム及び各種設定値を格納するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）及びＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ ａｎｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等を備える。

また、不図示のキーボード等の入力手段により、操作者が所定の命令を入力することにより、ＣＰＵがＲＯＭ等に記憶されている制御プログラムを実行することで撮像装置５、６により撮像された画像を取得する等の種々の処理が行われる。入力手段から入力される設定値及び制御部３３にて処理された検査結果等は、モニタ３５に表示される。

［搬送装置４１］
次に、ワーク検査装置１に備えた搬送装置４１について説明する。図１を参照して、ワーク検査装置１は、供給用ころ組立体２０及び供給用ローラ２２にワーク３を搬送する搬送装置４１をさらに備える。搬送装置４１は、搬送方向Ｐに対し上流側に配置される上流側ローラ４３と、下流側に配置される下流側ローラ４５と、上流側ローラ４３及び下流側ローラ４５の間に配置される中間ローラ４７と、これらのローラに巻回される吸着無端ベルト４９と、吸着無端ベルト４９の上流側であって、供給装置１０１からワーク３を受け渡される位置に配置される搬送ころ組立体５１（図２参照。）とを備える。上流側ローラ４３、下流側ローラ４５、中間ローラ４７及び吸着無端ベルト４９により搬送コンベアが構成される。

中間ローラ４７は、吸着無端ベルト４９の緩みを防止し適正な張力を付与する機能を有する。また、吸着無端ベルト４９は、ワーク３が載置される表面に微細な穴を有し、不図示の負圧源からの負圧が穴から供給されると、負圧に基づく吸引力によりワーク３が吸着無端ベルト４９上に位置決めされ保持される。上流側ローラ４３、下流側ローラ４５及び中間ローラ４７は、モータ４２から回転力が供給され、吸着無端ベルト４９が、上流側ローラ４３、下流側ローラ４５及び中間ローラ４７の回りを回動する。

（搬送ころ組立体５１）
搬送ころ組立体５１は、図２に示すように、搬送路１７の幅方向Ｗに複数配置されている。この構成により、吸着無端ベルト４９と搬送ころ組立体５１とによりワーク３が挟持され、搬送方向Ｐに沿ってワーク３が搬送される。

搬送ころ組立体５１の構成について説明する。図２を参照して、本実施形態では、４つの搬送ころ組立体５１ａ〜５１ｄが搬送路１７の幅方向Ｗに沿って配置されている。各搬送ころ組立体５１ａ〜５１ｄは、ほぼ同じ構成であるので、搬送ころ組立体５１ａについて説明する。

搬送ころ組立体５１ａは、ワーク３の表面３ａ上を転動する搬送ころ５３と、搬送ころ５３を回転自在及び法線ｘ（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。図１及び図３を参照。）方向上方及び下方へ移動可能に支持するころ支持部５５と、支持部５５を搬送路１７の長手方向Ｌ（搬送方向の上流側及び下流側）に移動可能に支持する支持部ホルダ５７と、支持部ホルダ５７を幅方向Ｗに摺動可能なキャリッジ５８とを備える。ころ支持部５５は、ワーク３が搬送方向Ｐへ移動するに伴って、搬送ころ５３を回転自在に支持すると共に、ワーク３の搬送方向Ｐへの移動及びワーク３の厚みに伴って、搬送ころ５３を法線ｘ方向上方及び下方へ移動可能に支持する。キャリッジ５８は、幅方向Ｗに移動し、筺体部３１に連結されるレール部材５９に摺動可能に装着されており、オペレータの調整により所定位置に固定される。キャリッジ５８とレール部材５９は、既知であるリニアガイドを構成する。

また、キャリッジ５８には、調整用ハンドル６１が装着され、この調整用ハンドル６１の回転軸（不図示）の先端部はねじ切りされ、支持部ホルダ５７の側面に刻設されている平歯車（不図示）に螺合している。したがって、オペレータの調整にて、調整用ハンドル６１を適宜回転させることにより、支持部ホルダ５７を長手方向Ｌの所定位置へ移動し、搬送ころ５３を位置決めすることができる。

さらに、キャリッジ５８は、レール部材５９に装着されており、キャリッジ５８に回転可能に支持されているキャリッジハンドル６３を有する。キャリッジハンドル６３の回転軸（不図示）の先端部はねじ切りされており、レール部材５９の側面に刻設されている平歯車（不図示）に螺合している。したがって、オペレータの調整にて、キャリッジハンドル６３を回転させると、キャリッジ５８がレール部材５９に沿って幅方向Ｗに摺動し、搬送ころ５３を所定位置に配置できる。すなわち、ラックピニオン方式により、搬送ころ５３が搬送路１７の長手方向Ｌ及び幅方向Ｗへの位置決めがなされる。

搬送ころ５３は、円盤部材である。搬送ころ５３は、その自重により吸着無端ベルト４９に当接しており、吸着無端ベルト４９の回転に伴って回転する。ワーク３は、供給装置１０１から搬送装置４１に受け渡されて搬送ころ５３に到着すると（供給装置１０１から受け渡されて吸着無端ベルト４９に吸着し、吸着無端ベルト４９の回転により搬送方向Ｐへ移動して搬送ころ５３に到着すると）、搬送ころ５３は、ワーク３の厚みによって持ち上がり、吸着無端ベルト４９との間でワーク３を把持する状態になる。つまり、搬送ころ５３が回転し、ワーク３の厚みによって、搬送ころ５３が法線ｘ方向（ワーク３が移動する搬送方向Ｐの面に直交する方向。図１及び図３を参照。）上方へ移動する。これにより、搬送ころ５３と吸着無端ベルト４９との間には、吸着無端ベルト４９に吸着したワーク３が通る搬送路１７が形成される。そして、吸着無端ベルト４９に吸着したワーク３が搬送ころ５３と吸着無端ベルト４９により把持されならが移動し、当該箇所を通り過ぎると、搬送ころ５３がその自重により法線ｘ方向下方へ移動し、搬送ころ５３が吸着無端ベルト４９に当接する。尚、吸着無端ベルト４９は、供給用ローラ２２、排出用ローラ２５及び吸着無端ベルト１３７と同速度で回転している。

［供給装置１０１］
次に、ワーク検査装置１に備えた供給装置１０１について説明する。図１を参照して、搬送装置４１の上流側には、供給装置１０１が配置されている。供給装置１０１は、積み重ねられている複数のワーク３を保持するスライダ１１１と、スライダ１１１からワーク３を一枚ずつ搬送する搬送コンベアと、回転モータ１２１とを備える。搬送コンベアは、上流側ローラ１１３、下流側ローラ１１７及び駆動ローラ１１５と、これらのローラに巻回され、回転モータ１２１からの回転力を伝達するベルト１１９とを有する。駆動ローラ１１５が回転モータ１２１からの回転力を受けて回転すると、その回転力により、ベルト１１９が上流側ローラ１１３、下流側ローラ１１７及び駆動ローラ１１５の回りを回動する。

［排出装置１０３］
次に、ワーク検査装置１に備えた排出装置１０３について説明する。図１を参照して、検査部１００の下流側には、排出装置１０３が配置されている。排出装置１０３は、検査部１００により検査されたワーク３を受け取り、次の工程へ移送するための手段である。排出装置１０３は、ワーク３が載置される排出コンベアを備える。排出コンベアは、上流側ローラ１３３、下流側ローラ１３５及び中間ローラ１３１と、これらのローラに巻回され、モータ４２からの回転力を伝達する吸着無端ベルト１３７とを有する。中間ローラ１３１は、吸着無端ベルト１３７の緩みを防止し適正な張力を付与する機能を有する。また、吸着無端ベルト１３７は、ワーク３が載置される表面に微細な穴を有し、不図示の負圧源からの負圧が穴から供給されると、負圧に基づく吸引力によりワーク３が吸着無端ベルト１３７上に位置決めされ保持される。上流側ローラ１３３、下流側ローラ１３５及び中間ローラ１３１は、モータ４２から回転力が供給され、吸着無端ベルト１３７が、上流側ローラ１３３、下流側ローラ１３５及び中間ローラ１３１の回りを回動する。

〔ワーク検査方法〕
次に、ワーク検査装置１によりワーク３の表面３ａを検査する方法について説明する。このワーク検査方法は、第１の撮像装置５と、第１の光照射部７と、第２の光照射部９とを利用し、検査を行う。第１の光照射部７及び第２の光照射部９の光量は、第１の光照射部７によるワーク３の表面３ａの照度が第２の光照射部９によるワーク３の表面３ａの照度よりも低くなるように、かつワーク３の表面３ａの材質に応じて、オペレータにより予め設定される。

図３を参照して、第１の撮像装置５と第１の光照射部７とは、ワーク３の表面３ａが鏡面である場合、第１の光照射部７からワーク３の表面３ａに入射する光が正反射する反射光の光軸と、第１の撮像装置５の光軸ｐ１とが一致するような位置関係にある。但し、ワーク３の表面３ａ（水平面）に対する法線ｘと第１の光照射部７の光路及び第１の撮像装置５の光軸ｐ１とは、一致しないように配置される。

他方、第２の光照射部９は、第１の撮像装置５の光軸ｐ１に対し上流側に配置される。第１の撮像装置５と第２の光照射部９とは、第２の光照射部９からワーク３の表面３ａに入射する光が正反射する反射光の光軸と第１の撮像装置５の光軸ｐ１とが一致しないような位置関係で配置される。また、ワーク３の表面３ａ（水平面）に対する法線ｘと第２の光照射部９の光路が一致しないように配置される。すなわち、第１の光照射部７と第２の光照射部９とは、光軸ｐ１に対し対向して配置される。

このように、第１の光照射部７及び第２の光照射部９並びに第１の撮像装置５を構成することにより、ワーク３の表面３ａが鏡面でなく凹凸がある場合には、第１の撮像装置５へ到達する第１の光照射部７からの光成分が減少する。しかしながら、第２の光照射部９からの光の内、ワーク３の表面３ａで反射する光成分が第１の撮像装置５へ到達する。これにより、第１の光照射部７からの光成分の減少分を、第２の光照射部９からの光成分にて補うことができる。

また、第２の光照射部９によるワーク３の照度は、第１の光照射部７によるワーク３の照度より高い。また、第２の光照射部９からワーク３の表面３ａへ入射する光の正反射する反射光の光軸は、第１の撮像装置５の光軸ｐ１とは一致しない。したがって、第１の光照射部７からの光によるワーク３の照度が不足する場合、不足する照度は、第２の光照射部９からの光により補うことができる。

一方、第２の光照射部９からの光が第１の撮像装置５へ到達する光量が多過ぎることもない。したがって、第１の撮像装置５は、ワーク３の表面３ａの画像情報を適確に取得することができる。結果として、ワーク３の表面３ａが鏡面でなく凹凸がある場合であっても、ワーク３の表面３ａに存在する汚れ、傷等の欠陥を確実かつ正確に識別することができ、また、ワーク３の表面３ａ上の絵柄等を確実かつ正確に検査することができる。

尚、ワーク３の裏面３ｂを第２の撮像装置６により撮像する場合も、上記と同様の方法により、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５を用いて適確に行うことができる。この場合、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５の光量は、第３の光照射部１３によるワーク３の裏面３ｂの照度が第４の光照射部１５によるワーク３の裏面３ｂの照度よりも低くなるように、かつワーク３の裏面３ｂの材質に応じて、オペレータにより予め設定される。

この場合、上流側のガイド部材１９ａ、１９ｂと下流側のガイド部材１９ｃ、１９ｄとの間の空間においてワーク３の検査を行うようにしたから、ワーク３の表面３ａ及び裏面３ｂの画像情報を同時に取得することができる。この場合、第２の撮像装置６は、第１の撮像装置５がワーク３の表面３ａを撮像する同じタイミングで、ワーク３の裏面３ｂを撮像する。したがって、ワーク検査装置１により、ワーク３の表面３ａ及び裏面３ｂを同じタイミングで検査することができる。

（ワーク３が透明体又は半透明体である場合の検査方法）
ワーク３が透明体又は半透明体（以下、透明体等と称す。）である場合、またはワーク３の一部に透明体等を含む場合には、第１の光照射部７及び第２の光照射部９からの光はその透明体等を透過するから、ワーク３の表面３ａの照度が不足し、第１の撮像装置５によりワーク３の表面３ａを適確に撮像することができない恐れがある。これを解決するために、図３を参照して、第１の光照射部７及び第２の光照射部９に加え、第３の光照射部１３を使用する。第１の撮像装置５、第１の光照射部７、第２の光照射部９の位置関係は、前述したとおりである。第３の光照射部１３は、その光路が第１の撮像装置５の光軸ｐ１に一致し、かつ、ワーク３の裏面３ｂ側に配置される。

第３の光照射部１３からの光がワーク３の裏面３ｂ側からワーク３の透明体等内に入射すると、その光は、ワーク３の透明体等を介して第１の撮像装置５へ放射される。これにより、第１の撮像装置５は、ワーク３の表面３ａを白色に（明るく）撮像することができる。一方、ワーク３の表面３ａにある傷等の欠陥領域では光が放射せず暗くなり、傷等のない正常領域では明るくなるから、欠陥領域と正常領域との間のコントラストが鮮明になる。結果として、ワーク３が透明体等の場合またはワーク３の一部に透明体等を含む場合であっても、ワーク３の表面３ａに存在する傷等の欠陥を確実かつ正確に識別することができ、検査精度を向上させることができる。

この場合も、ワーク検査装置１により、透明体等のワーク３の表面３ａ及び裏面３ｂについて、画像情報を同時に取得することができ、同じタイミングで検査することができる。つまり、透明体等のワーク３の裏面３ｂを検査する場合は、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５に加え、第１の光照射部７を使用する。透明体等のワーク３の表面３ａを検査する場合、第１の光照射部７、第２の光照射部９及び第３の光照射部１３の光量は、第１の光照射部７によるワーク３の表面３ａの照度が第２の光照射部９によるワーク３の表面３ａの照度よりも低くなるように、かつワーク３の表面３ａの材質及び透明体等の透明度合いに応じて、オペレータにより予め設定される。また、透明体等のワーク３の裏面３ｂを検査する場合、第３の光照射部１３、第４の光照射部１５及び第１の光照射部７の光量は、第３の光照射部１３によるワーク３の裏面３ｂの照度が第４の光照射部１５によるワーク３の裏面３ｂの照度よりも低くなるように、かつワーク３の裏面３ｂの材質及び透明体等の透明度合いに応じて、オペレータにより予め設定される。

（ワーク３が撓む場合に対応する拡散部材２７〜３０を用いた検査方法）
ワーク３が撓む場合の検査方法について、図４を参照しつつ説明する。図４（ａ）は、拡散部材２７〜３０を配置しない場合において、第１の光照射部７からの光の光路等を示す正面図であり、図４（ｂ）は、拡散部材２７〜３０を配置する場合において、第１の光照射部７からの光の光路等を示す正面図であり、図４（ｃ）は、拡散部材２７〜３０を配置しない場合において、ワーク３が撓んだときの第１の光照射部７からの光の光路等を示す正面図であり、（ｄ）は、拡散部材２７〜３０を配置する場合において、ワーク３が撓んだときの第１の光照射部７からの光の光路等を示す正面図である。

図４（ａ）に示すように、ワーク３が撓んでいない場合、図３に関連して説明したとおり、第１の光照射部７及び第２の光照射部９からの光により、ワーク３の表面３ａの検査を行うことができる。

図４（ｂ）に示すように、ワーク３が撓んでいない場合、第１の光照射部７から照射される光は、拡散板２９ａに入射し、拡散板２９ａ内で拡散して拡散板２９から乱反射する。そして、拡散板２９ａから出射する光の内、ワーク３の表面３ａで正反射する反射光が第１の撮像装置５に入射する。同様に、図示はしていないが、第２の光照射部９から拡散板２７ａを介して出射する光が、ワーク３の表面３ａで反射して第１の撮像装置５に入射する。したがって、ワーク３が撓んでいない場合には、拡散部材２９の有無に拘わらず、検査部１００は、ワーク３の表面３ａ、裏面３ｂを的確に撮像し検査することができる。

図４（ｃ）に示すように、ワーク３が下方供給ガイド１９ｂ、下方排出ガイド１９ｄ間（又は上方供給ガイド１９ａ、上方排出ガイド１９ｃ間）のガイドギャップ８５（８６）で撓んでいる状態であり、下方供給ガイド１９ｂに支持されていないワーク３の部位が法線ｘ方向（図３を参照。）に湾曲している。この場合には、第１の光照射部７から照射される光であって、ワーク３の表面３ａで正反射する反射光は、第１の撮像装置５に入射しない。また、第２の光照射部９からの光であって、ワーク３により反射される光のみでは第１の撮像装置５はワーク３から十分な照度が得られない恐れがある。よって、ワーク３の表面３ａで十分な明るさが得られず、第１の撮像装置５は画像情報を取得できない。

一方、本実施形態では、図４（ｄ）に示すように、第１の光照射部７により照射される光は、拡散板２９ａに到達し、拡散板２９ａ内で拡散して拡散板２９から乱反射する。第１の光照射部７からの光は、拡散板２９ａにて乱反射してワーク３の表面３ａに照射される。ワーク３における反射光の内、第１の撮像装置５の光軸ｐ１（図３を参照。）と一致する光路を通る光が第１の撮像装置５に入射する。したがって、仮に、ワーク３が法線ｘ方向に湾曲する場合であっても、確実にワーク３の表面３ａの画像情報を取得することができる。

このように、ワーク３が法線ｘ方向に撓んだり暴れたりした場合であっても、光拡散手段を設けることにより、ワーク３を確実に撮像することができ、検査精度を向上させることができる。

（ワーク３の撓みを防止する手段）
次に、ワーク３の撓みを防止する手段について、図５を参照しつつ説明する。この撓みを防止する手段（ガイド手段）は、撮像位置２６において、ワーク３の撓みを抑えて支持するものである。図５（ａ）は、図１及び図３に示すガイド部材１９を示す正面図、図５（ｂ）は、ガイド手段の一例である補助ガイド部材８７を示す正面図、図５（ｃ）は、ガイド手段の他の例である拡張ガイド部材８９を示す正面図、図５（ｄ）は、ガイド手段の他の例である拡張ガイド部材９１を示す正面図である。

上記説明したように、図１及び図３に示す本実施形態では、ワーク３が撮像位置２６から搬送路１７に対して垂直な方向（法線ｘ方向）へ撓んだ場合でも、拡散部材２７〜３０を配置することにより、正確な画像情報を取得できる。しかし、ワーク３の撓みが大きくなり、所定の撮像位置２６からワーク３がずれてしまうと、正確な撮像を実現できない場合があり得る。また、ワーク３を円滑に搬送できない場合もあり得る。そこで、補助ガイド部材８７、９１又は拡張ガイド部材８９を配置する。

図５（ａ）に示すように、撮像位置２６に到達するワーク３の先端部は、法線ｘ方向（図３を参照。）上方又は下方に湾曲している。この場合には、所定の撮像位置２６からワーク３がずれてしまうと、正確な撮像を実現できず、ワーク３を円滑に搬送できない場合もあり得る。

そこで、図５（ｂ）に示すように、法線ｘ方向下方（図３を参照。）へのワーク３の撓みを抑制するために、下方供給ガイド１９ｂと下方排出ガイド１９ｄとに連結又は近接してこれらの間のガイドギャップ８５を塞ぐように、ガラス板、アクリル板、プラスチック板等の光透過性の高い（透明な）板状部材である補助ガイド部材８７を配置する。例えば、ワーク３の自重や搬送の勢い等により、下方供給ガイド１９ｂ又は下方排出ガイド１９ｄから片持ち梁状態で、法線ｘ方向下方へワーク３が撓むことを防止でき、法線ｘ方向下方へのワーク３の暴れも軽減することができ、検査精度を向上させることができる。

また、図５（ｃ）に示すように、図５（ｂ）の下方排出ガイド１９ｄの代わりに、下方供給ガイド１９ｂの下流端部に連結又は近接して延在する拡張ガイド部材８９を配置する。この拡張ガイド部材８９は、補助ガイド部材８７と同様に、ガラス板、アクリル板、プラスチック板等の光透過性の高い材質から形成することが好ましい。

また、図５（ｄ）に示すように、図５（ｂ）の補助ガイド部材８７に加え、補助ガイド部材９１を配置する。図５（ｄ）の法線ｘ方向上方（図３を参照。）へのワーク３の撓みを抑制するために、上方供給ガイド１９ａと上方排出ガイド１９ｃとに連結又は近接してこれらの間のガイドギャップ８６を塞ぐように、ガラス板、アクリル板、プラスチック板等の光透過性の高い板状部材である補助ガイド部材９１を配置する。例えば、ワーク３が搬送方向Ｐに進む際に、上方供給ガイド１９ａ又は上方排出ガイド１９ｃから片持ち梁状状態で、法線ｘ方向上方へワーク３が撓むことを防止できる。つまり、法線ｘ方向上方及び下方へワーク３が撓むことを防止でき、法線ｘ方向上方及び下方へのワーク３の暴れも軽減することができ、検査精度を向上させることができる。

〔複雑な形状を有するワーク３に対する搬送ころ組立体５１の調整〕
次に、複雑な形状を有するワーク３に対する搬送ころ組立体５１の調整について、図６を参照しつつ説明する。複雑な形状を有するワーク３とは、例えば搬送路１７の長手方向Ｌに関し、長さが異なる部位を有する場合をいう。図６は、複雑な形状を有するワーク３と搬送ころ５３との位置関係を示す平面図である。

本実施形態では、供給装置１０１から移送されるワーク３は、搬送装置４１の搬送ころ組立体５１と吸着無端ベルト４９（図１を参照。）とにより把持されるから、４つの搬送ころ組立体５１は、それぞれがほぼ同じタイミングでワーク３を把持する、すなわち４つの搬送ころ５３がワーク３を同じタイミングで当接するように位置決めされていることが好ましい。これは、搬送装置４１の吸着無端ベルト４９が供給装置１０１のベルト１１９よりも高速で回転することから、搬送ころ組立体５１の各々でワーク３を把持するタイミングが異なると、先に把持したワーク３の部位が、ワーク３のその他の部位より先に引っ張られることになり、搬送路１７に対するワーク３の相対位置がずれてしまうからである。そこで、ワーク３を把持するタイミングを同期させるために、すなわちワーク３を同じタイミングで把持するために、搬送ころ組立体５１各々の配置位置をワーク３の形状に対応させる。これにより、幅方向Ｗに関し、ワーク３に対する引っ張り力を同時に均等に付与することでき、ワーク３を所定の姿勢で搬送することができる。尚、搬送装置４１の吸着無端ベルト４９及び排出装置１０３の吸着無端ベルト１３７は、同速度で回転する。

具体的には、図６に示すように、最も上方に配置される搬送ころ組立体５１ｄの搬送ころ５３の位置は、搬送方向Ｐに関し、その他の搬送ころ組立体５１ａ〜ｃの搬送ころ５３に比べて下流側に配置されている。これは、搬送ころ組立体５１ｄが当接するワーク３の部位は、ワーク３のその他の部位に比べ、長手方向Ｌに長いからである。尚、搬送ころ組立体５１ｄのころ支持部５５の位置は、オペレータにて調整用ハンドル６１により調節され、搬送ころ５３の位置決めがなされる。

また、搬送ころ組立体５１ａ〜５１ｄは、それぞれ、独立して長手方向Ｌ及び幅方向Ｗに対し搬送ころ５３を移動可能な構成であるので、オペレータの調整にて、幅方向Ｗに搬送ころ５３を等間隔で配置すること、ワーク３の幅方向Ｗの長さが比較的短い場合には、一部の搬送ころ５３のみを使用すること等、種々の態様で利用できる。

このように、搬送ころ組立体５１ａ〜５１ｄのそれぞれの搬送ころ５３は、ワーク３を同じタイミングで挟持するように、ワーク３の形状に応じて位置決めすることができ、結果として、あらゆる形状のワーク３に対応することができ、撮像位置２６へのワーク３の移動を適切な姿勢で行うことができる。したがって、複雑な形状を有するワーク３の搬送方向の暴れを軽減し、検査精度を向上させることができる。

また、従来は、ワーク３の姿勢を矯正するための矯正区間が必要であったが、本実施形態では、搬送装置４１において、供給装置１０１からワーク３が受け渡される供給装置１０１に近い所定箇所の上部に搬送ころ組立体５１ａ〜５１ｄを設けるようにしたから、矯正区間が不要になり、搬送装置４１の小型化を実現することができる。

〔外形検出方法〕
次に、ワーク３の外形を検出する外形検出方法について、図３を参照しつつ説明する。従来、ワーク３の傷等を検出する前に、ワーク３の外形を検出する処理が行われる。ワーク３の外形検出は、ワーク３の傷等を検出する際の検出範囲を設定するために、ワーク３の全体形状を予め取得するものである。この外形検出処理は、ワーク３の表面３ａについて、第１の撮像装置５により画像情報が取得され、ワーク３の裏面３ｂについて、第２の撮像装置６により画像情報が取得される。しかしながら、ワーク３が配置されている載置部の背景色と、ワーク３の表面３ａ又は裏面３ｂの色とが似ている場合には、この境界を判別することが困難になるから、ワーク３の外形検出を十分な精度で行うことができない恐れがある。

本実施形態においては、第１の撮像装置５を用いて外形検出処理を行う場合、ワーク３の裏面３ｂ側に配置され、第１の撮像装置５の光軸ｐ１と一致する光路を有する第３の光照射部１３を利用する。尚、第３の光照射部１３を除く第１の光照射部７、第２の光照射部９及び第４の光照射部１５によるワーク３の照度は、第３の光照射部１３によるワーク３の照度より低く設定するか、又は、外形検出の際には、第３の光照射部１３のみを使用し、第１の光照射部７、第２の光照射部９及び第４の光照射部１５を使用しない。

このように構成することにより、ワーク３の表面３ａにおける色彩のコントラストを背景色に対して大きくすることができる。結果として、第１の撮像装置５により取得されるワーク３の画像情報を用いることで、外形検出処理を高精度に行うことができる。

同様に、第２の撮像装置６を用いて外形検出処理を行う場合には、ワーク３の表面３ａ側に配置され、第２の撮像装置６の光軸ｐ２と一致する光路を有する第１の光照射部７を利用する。尚、第１の光照射部７を除く第２の光照射部９、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５によるワーク３の照度は、第１の光照射部７によるワーク３の照度より低く設定するか、又は、外形検出の際には、第１の光照射部７のみを使用し、第２の光照射部９、第３の光照射部１３及び第４の光照射部１５を使用しない。

このように構成することにより、ワーク３の裏面３ｂにおける色彩のコントラストを背景色に対して大きくすることができる。結果として、第２の撮像装置６により取得されるワーク３の画像情報を用いることで、外形検出処理を高精度に行うことができる。

以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その技術思想を逸脱しない範囲で種々変形可能である。例えば、前記実施形態では、供給用ころ組立体２０の数を５、排出用ころ組立体２３の数を５、搬送ころ組立体５１の数を４として説明したが、本発明におけるこれらの数は、ワーク検査装置１、ワーク３等の寸法、形状等により適宜変更可能である。

また、ワーク検査装置１により検査されるワーク３は、例えば紙、透明又は半透明のフィルム、蒸着物等の板状部材である。本発明は、ワーク３の種類を限定するものではなく、ブランクスだけでなく、ブランクス以外の板状部材にも適用がある。

また、前記実施形態では、ワーク３の表面３ａの欠陥を検査するために、第１の光照射部７及び第２の光照射部９を用いるようにしたが、例えばワーク３の表面３ａが鏡面状の場合には、第２の光照射部９の使用を止めて、第１の光照射部７のみを用いるようにしてもよい。同様に、ワーク３の裏面３ｂの欠陥を検査するために、例えばワーク３の表面３ａが鏡面状の場合には、第４の光照射部１５の使用を止めて、第３の光照射部１３のみを用いるようにしてもよい。この場合、第１の光照射部７の光量は、ワーク３の表面３ａの材質に応じて、オペレータにより予め設定され、第３の光照射部１３の光量も、ワーク３の裏面３ｂの材質に応じて、オペレータにより予め設定される。

１ ワーク検査装置
３ ワーク
３ａ 表面
３ｂ 裏面
５、６ 撮像装置
７、９、１３、１５ 光照射部
１７ 搬送路
１９ ガイド部材
２０ 供給用ころ組立体
２１ 供給用ころ
２３ 排出用ころ組立体
２４ 排出用ころ
２５ 排出用ローラ
２６ 撮像位置
２７、２８、２９、３０ 拡散部材
３１ 筐体部
３３ 制御部
４１ 搬送装置
５１ 搬送ころ組立体
５３ 搬送ころ
８５、８６ ガイドギャップ
８７、９１ 補助ガイド部材
８９ 拡張ガイド部材
１００ 検査部
１０１ 供給装置
１０３ 排出装置
Ｌ 長手方向
Ｐ 搬送方向
ｐ１、ｐ２ 光軸
Ｗ 幅方向
ｘ 法線

Claims (6)

1. 搬送路に沿って搬送される板状のワークの欠陥を検査するワーク検査装置において、
   前記ワークの一方の面を撮像する第１の撮像手段と、
   前記ワークの一方の面へ光を照射する第１の光照射手段及び第２の光照射手段と、を備え、
   前記第１の撮像手段は、前記第１の光照射手段により照射される光が前記ワークの一方の面で正反射する光路と当該第１の撮像手段の光軸とが一致するように配置され、
   前記第２の光照射手段は、前記第１の撮像手段の光軸に対し前記第１の光照射手段に対向して配置され、
   前記ワークの一方の面の材質に応じて、前記第１の光照射手段及び第２の光照射手段、または前記第１の光照射手段のみが使用され、
   前記第１の光照射手段及び第２の光照射手段が使用される場合、前記第１の光照射手段の光量及び前記第２の光照射手段の光量は、前記第１の光照射手段から光を前記ワークの一方の面に照射させたときの照度が前記第２の光照射手段から光を前記ワークの一方の面に照射させたときの照度よりも低くなるように設定される、ことを特徴とするワーク検査装置。
2. 請求項１に記載のワーク検査装置において、
   さらに、前記ワークの他方の面を撮像する第２の撮像手段と、
   前記ワークの他方の面へ光を照射する第３の光照射手段及び第４の光照射手段と、を備え、
   前記第１の光照射手段は、前記第２の撮像手段の光軸上であって、前記ワークに対し前記第２の撮像手段に対向して配置され、
   前記第２の撮像手段は、前記第３の光照射手段により照射される光が前記ワークの他方の面で正反射する光路と当該第２の撮像手段の光軸とが一致するように配置され、
   前記第３の光照射手段は、前記第１の撮像手段の光軸上であって、前記ワークに対し前記第１の撮像手段に対向して配置され、
   前記第４の光照射手段は、前記第２の撮像手段の光軸に対し前記第３の光照射手段に対向して配置され、
   前記ワークの他方の面の材質に応じて、前記第３の光照射手段及び第４の光照射手段、または前記第３の光照射手段のみが使用され、
   前記第３の光照射手段及び第４の光照射手段が使用される場合、前記第３の光照射手段の光量及び前記第４の光照射手段の光量は、前記第３の光照射手段から光を前記ワークの他方の面に照射させたときの照度が前記第４の光照射手段から前記ワークの他方の面に照射させたときの照度よりも低くなるように設定され、
   前記ワークが前記第１の撮像手段の光軸と前記第２の撮像手段の光軸とが交差する撮像位置に搬送されたときに、前記第１の撮像手段が前記ワークの一方の面を撮像すると共に、前記第２の撮像手段が前記ワークの他方の面を撮像する、ことを特徴とするワーク検査装置。
3. 請求項２に記載のワーク検査装置において、
   前記ワークの一部に透明体を含む場合、前記ワークの一方の面に対して、前記第１の撮像手段、前記第１の光照射手段、前記第２の光照射手段、及び、前記透明体を透過する光を照射する前記第３の光照射手段を用いて検査し、
   前記ワークの他方の面に対して、前記第２の撮像手段、前記第３の光照射手段、前記第４の光照射手段、及び、前記透明体を透過する光を照射する前記第１の光照射手段を用いて検査する、ことを特徴とするワーク検査装置。
4. 請求項１から３までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、
   さらに、請求項１の第１の光照射手段及び第２の光照射手段、並びに請求項２の第３の光照射手段及び第４の光照射手段により照射される光の光路上にそれぞれ配置され、前記光を拡散させる光拡散手段を備えることを特徴とするワーク検査装置。
5. 請求項１から４までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、
   さらに、前記ワークを搬送するための搬送ころ組立体を備え、
   前記搬送ころ組立体は、前記ワークの一方の面に当接するころを有し、
   前記ころは、前記搬送路の長手方向と前記長手方向に垂直な幅方向とに、前記ワークを同じタイミングで当接するように位置決めされている、ことを特徴とするワーク検査装置。
6. 請求項１から５までのいずれか一項に記載のワーク検査装置において、
   さらに、前記搬送路上の撮像位置で前記ワークを支持すると共に、光を透過するガイド手段を備えることを特徴とするワーク検査装置。

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