JPS6238348A - 光学的表面欠陥検査方法 - Google Patents
光学的表面欠陥検査方法Info
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- JPS6238348A JPS6238348A JP60179056A JP17905685A JPS6238348A JP S6238348 A JPS6238348 A JP S6238348A JP 60179056 A JP60179056 A JP 60179056A JP 17905685 A JP17905685 A JP 17905685A JP S6238348 A JPS6238348 A JP S6238348A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、例えば、核燃料用のウランベレットあるいは
燃料棒の外観の検査を行なう光学的表面欠陥検査方法に
関する。
燃料棒の外観の検査を行なう光学的表面欠陥検査方法に
関する。
「従来の技術」
一般に、表面欠陥忙は、幅は狭いが深いクランクや比較
的なだらかな窪み等槁々のものがあシ、それぞれの欠陥
形状によシ、検査に適した光諒の方向が異なる すなわ
ち、第３図に示すように、クラックや汚れ等の欠陥は、
被検査面に対してほぼ垂直方向から当てた光の反射光（
これを正反射光と称す）を調べた方が検出し易いのに対
して、窪みや欠は等の欠陥は、被検食面に対して斜め方
向から光を当てて、その散乱光を調べた方が検出し易い
。このため、従来は、照明の方向を変えた検査を別々に
行ない、クランク、汚れ、窪み、欠は等の欠陥を区別し
ていた（例えば、特開昭５６−１６０６４５号公報参照
）。
的なだらかな窪み等槁々のものがあシ、それぞれの欠陥
形状によシ、検査に適した光諒の方向が異なる すなわ
ち、第３図に示すように、クラックや汚れ等の欠陥は、
被検査面に対してほぼ垂直方向から当てた光の反射光（
これを正反射光と称す）を調べた方が検出し易いのに対
して、窪みや欠は等の欠陥は、被検食面に対して斜め方
向から光を当てて、その散乱光を調べた方が検出し易い
。このため、従来は、照明の方向を変えた検査を別々に
行ない、クランク、汚れ、窪み、欠は等の欠陥を区別し
ていた（例えば、特開昭５６−１６０６４５号公報参照
）。
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、上記従来の表面欠陥検査方法に６つ【は
、種々の欠陥を区別して検出するために、異なる角度か
ら光を被検査面に当てる検査を別々に行なわなければな
らず、手間がかか〕、面倒であるという問題がある。
、種々の欠陥を区別して検出するために、異なる角度か
ら光を被検査面に当てる検査を別々に行なわなければな
らず、手間がかか〕、面倒であるという問題がある。
また、この問題を解消しようとして、同時に複数の方向
から光を被検査面に当てて検査しようとすると、複数の
方向から来た光が互いに干渉して欠陥抽出感度が大幅に
低下するという問題が生じる。
から光を被検査面に当てて検査しようとすると、複数の
方向から来た光が互いに干渉して欠陥抽出感度が大幅に
低下するという問題が生じる。
本発明は、上記事情に鑑みでなされたもので、その目的
とするところは、一度の検査で容易に種々の欠陥を区別
して検出することができ、多くの種類の表面欠陥を検査
対象とすることができて、検査工程を簡素化できる光学
的表面欠陥検査方法を提供することにあるう 「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本発明は、複数の異なる波
長の光をそれぞれ異なる角度から被検食物体に当て、こ
の被検査物体からの散乱光及び正反射光を受光手段で受
取った後、波長別に分けて画像データを処理し、欠陥抽
出を行ない、異なる波長毎の欠陥抽出結果に基づいて、
総合的に表面欠陥を検査するものである。
とするところは、一度の検査で容易に種々の欠陥を区別
して検出することができ、多くの種類の表面欠陥を検査
対象とすることができて、検査工程を簡素化できる光学
的表面欠陥検査方法を提供することにあるう 「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本発明は、複数の異なる波
長の光をそれぞれ異なる角度から被検食物体に当て、こ
の被検査物体からの散乱光及び正反射光を受光手段で受
取った後、波長別に分けて画像データを処理し、欠陥抽
出を行ない、異なる波長毎の欠陥抽出結果に基づいて、
総合的に表面欠陥を検査するものである。
「作用」
本発明の光学的表面欠陥検査方法にｂっては、被検査物
体にそれぞれ異なる角度から尚てた複数の異なる波長の
光の散乱光及び正反射光を受光手段に取シ込み、波長毎
に分離して画像データを処理することによって、光の干
渉現象が生じることなく、７度１ｃ各種の表面欠陥の検
査が行なわれる。
体にそれぞれ異なる角度から尚てた複数の異なる波長の
光の散乱光及び正反射光を受光手段に取シ込み、波長毎
に分離して画像データを処理することによって、光の干
渉現象が生じることなく、７度１ｃ各種の表面欠陥の検
査が行なわれる。
「実施例」
以下、第７図と第一図に基づいて、本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
図中１は、例えば、核燃料ＦＦｌペレントのような被検
食物体であり、まず、この被検査物体１の検査しようと
する而（被検査面）１ａＶｃに種類の波長の異なる光（
例えば、青色光と赤色光）を出す二つの光源２，３を用
いて、それぞれ上記被検食面１ａに均して、はぼ垂直な
角度及び斜め方向（例えば１．２００〜Ａ Ｏｕ程度）
から光を照射する。
食物体であり、まず、この被検査物体１の検査しようと
する而（被検査面）１ａＶｃに種類の波長の異なる光（
例えば、青色光と赤色光）を出す二つの光源２，３を用
いて、それぞれ上記被検食面１ａに均して、はぼ垂直な
角度及び斜め方向（例えば１．２００〜Ａ Ｏｕ程度）
から光を照射する。
そして、上記光を受取るカラーカメラ（受光手段）４を
、上記被検査面１ａを滑らかな鏡面と仮定した場合に、
光源２からの光が反射する方向（正反射方向）に、あら
かじめ設置しておくことによシ、上記カラーカメラ４は
、光源２からの正反射光５と、光源３からの散乱光６と
をそれぞれ取り込む。
、上記被検査面１ａを滑らかな鏡面と仮定した場合に、
光源２からの光が反射する方向（正反射方向）に、あら
かじめ設置しておくことによシ、上記カラーカメラ４は
、光源２からの正反射光５と、光源３からの散乱光６と
をそれぞれ取り込む。
このカラーカメラ４は、第一図に示すように、撮影レン
ズ７と、プリズム８と、二つの撮像管９゜１０とから構
成された光分離部１１を有するものであり、この光分離
部１１のプリズム８で二方向に分離された波長の異なる
光は、それぞれ撮像管９．１０に取り込まれる。次いで
、これらの撮像管９，１０において画像データにそれぞ
れ変換された後、各画像データは画像処理部１２におい
て、各波長毎に、対象となる欠陥を検出するための処理
を行ない、欠陥の有無の判定を行なう。すなわち、正反
射光５については、クランク、汚れ等の欠陥の有無を調
べるのに用い、かつ散乱光６については、欠け、窪み等
の欠陥の検査に用いる。さらに、各波長毎の判定結果に
基づいて総合的な欠陥の有無の判定を行なう。
ズ７と、プリズム８と、二つの撮像管９゜１０とから構
成された光分離部１１を有するものであり、この光分離
部１１のプリズム８で二方向に分離された波長の異なる
光は、それぞれ撮像管９．１０に取り込まれる。次いで
、これらの撮像管９，１０において画像データにそれぞ
れ変換された後、各画像データは画像処理部１２におい
て、各波長毎に、対象となる欠陥を検出するための処理
を行ない、欠陥の有無の判定を行なう。すなわち、正反
射光５については、クランク、汚れ等の欠陥の有無を調
べるのに用い、かつ散乱光６については、欠け、窪み等
の欠陥の検査に用いる。さらに、各波長毎の判定結果に
基づいて総合的な欠陥の有無の判定を行なう。
このようにして、二捜類の波長の異なる光を、被検査面
１ａに対して、はぼ垂直な角度及び斜め方向（，２００
〜乙Ｏ０程度）から当てて、正反射光５と散乱光６とを
ぞれぞれ、カラーカメラ４に取シ込み、光分離部１１Ｖ
ｃおいて、波長別に分離して、それぞれ画像データに変
換し、＋ｉ！］ｉ歇処理部１２において、谷波長毎に、
欠陥の有無の判定を行なうものであるから、７度の検査
で、対象となる各棟の欠陥が容易に検出でき、検査工程
が簡素化できる上に、＠検査面１＆に照射する光の波長
が異なるから、光の干渉現象が生じず、欠陥抽出感度が
低下することがない。
１ａに対して、はぼ垂直な角度及び斜め方向（，２００
〜乙Ｏ０程度）から当てて、正反射光５と散乱光６とを
ぞれぞれ、カラーカメラ４に取シ込み、光分離部１１Ｖ
ｃおいて、波長別に分離して、それぞれ画像データに変
換し、＋ｉ！］ｉ歇処理部１２において、谷波長毎に、
欠陥の有無の判定を行なうものであるから、７度の検査
で、対象となる各棟の欠陥が容易に検出でき、検査工程
が簡素化できる上に、＠検査面１＆に照射する光の波長
が異なるから、光の干渉現象が生じず、欠陥抽出感度が
低下することがない。
なお、本実施例罠お・いては、二つの波長の異なる光を
光分離部１１−において分離する場合に、プリズム８を
用いた方式で説明したが、これに限らず、ダイクロイン
クミラ一方式、ストライブフィルタ一方式等を用いても
よい。また、本実施例にあっては、二つの波長の異なる
可視光線で説明したが、場合によっては可視光線以外の
電磁波を用いてもよい。さらに、正反射光５用の光源２
の被検を面１ａＫ対する照射角度についてはほぼ垂直方
向で説明したが、傾けてもよい。、ただし、散乱光６用
の光源３の照射角度よシ大きいことが望ましい。
光分離部１１−において分離する場合に、プリズム８を
用いた方式で説明したが、これに限らず、ダイクロイン
クミラ一方式、ストライブフィルタ一方式等を用いても
よい。また、本実施例にあっては、二つの波長の異なる
可視光線で説明したが、場合によっては可視光線以外の
電磁波を用いてもよい。さらに、正反射光５用の光源２
の被検を面１ａＫ対する照射角度についてはほぼ垂直方
向で説明したが、傾けてもよい。、ただし、散乱光６用
の光源３の照射角度よシ大きいことが望ましい。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明によれば、′ｆｊｉ数の異
なる波長の光をそれぞれ異なる角度から級検査物体に当
て、この級倹査物体からの散乱光及び正反射光を受光手
段で受取った後、波長別に分けて画像データを処理し、
欠陥抽出を行ない、異なる波長毎の欠陥抽出結果に基づ
いて、総合的に表面欠陥を検査するものであるから、光
の干渉現象が生じることがなく、一度の検査で容易にか
つ確実に棟々の欠陥を区別して検出することができ、多
くの種類の表面欠陥を検査対象とすることができて、検
査工程な簡累化できるという優れた効果を有する。
なる波長の光をそれぞれ異なる角度から級検査物体に当
て、この級倹査物体からの散乱光及び正反射光を受光手
段で受取った後、波長別に分けて画像データを処理し、
欠陥抽出を行ない、異なる波長毎の欠陥抽出結果に基づ
いて、総合的に表面欠陥を検査するものであるから、光
の干渉現象が生じることがなく、一度の検査で容易にか
つ確実に棟々の欠陥を区別して検出することができ、多
くの種類の表面欠陥を検査対象とすることができて、検
査工程な簡累化できるという優れた効果を有する。
第７図と第一図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は概略説明図、第一図は光分離部の概略構成図、第３
図は欠陥と使用する光との関係を示す説明図である。 １・・・・・・被Ｓ査物体、２，３・・・・・・光源、
４・・・・・・カラーカメラ（受光手段）、５・・・・
・・正反射光、６・・・・・・散乱光、１１・・・・・
・光分離部、１２・・・・・・画像処理部。 第１図 第２図
図は概略説明図、第一図は光分離部の概略構成図、第３
図は欠陥と使用する光との関係を示す説明図である。 １・・・・・・被Ｓ査物体、２，３・・・・・・光源、
４・・・・・・カラーカメラ（受光手段）、５・・・・
・・正反射光、６・・・・・・散乱光、１１・・・・・
・光分離部、１２・・・・・・画像処理部。 第１図 第２図
Claims (1)
- 複数の異なる波長の光を、被検査物体に対してそれぞれ
異なる角度から当て、この被検査物体からの散乱光及び
正反射光を受光手段で受取つた後、波長別に分けて画像
データを処理し、欠陥抽出を行ない、異なる波長毎の欠
陥抽出結果に基づいて総合的に表面欠陥を検査すること
を特徴とする光学的表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179056A JPS6238348A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光学的表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179056A JPS6238348A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光学的表面欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238348A true JPS6238348A (ja) | 1987-02-19 |
Family
ID=16059341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60179056A Pending JPS6238348A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光学的表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238348A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1985
- 1985-08-14 JP JP60179056A patent/JPS6238348A/ja active Pending
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