JPH0682216A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0682216A JPH0682216A JP23445792A JP23445792A JPH0682216A JP H0682216 A JPH0682216 A JP H0682216A JP 23445792 A JP23445792 A JP 23445792A JP 23445792 A JP23445792 A JP 23445792A JP H0682216 A JPH0682216 A JP H0682216A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected light
- wavelength
- inspected
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】波長が異なる複数の光源を配置して被検査品を
所定の角度から照明することにより、撮像操作を簡単に
して処理時間を短縮する。 【構成】照明装置１０の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，
１２ｂを同時に点灯し、波長ａおよび波長ｂの光を被検
査品４０に照射する。レンズ系２１を通過した反射光Ｌ
をビームスプリッタ２２によって分岐する。分岐した一
方の反射光Ｌ１は、フィルタ２３を介してビデオカメラ
２５に入射する。フィルタ２３は、反射光Ｌ１の波長ａ
の光のみを通過させる。分岐した他方の反射光Ｌ２は、
フィルタ２４を介してビデオカメラ２６に入射する。フ
ィルタ２４は、反射光Ｌ２の波長ｂの光のみを通過させ
る。ビデオカメラ２５，２６は、画像信号Ｓ１，Ｓ２を
送出する。画像処理装置３０は、画像信号Ｓ１，Ｓ２を
処理して被検査品４０の外観状態の良否を判定する。
所定の角度から照明することにより、撮像操作を簡単に
して処理時間を短縮する。 【構成】照明装置１０の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，
１２ｂを同時に点灯し、波長ａおよび波長ｂの光を被検
査品４０に照射する。レンズ系２１を通過した反射光Ｌ
をビームスプリッタ２２によって分岐する。分岐した一
方の反射光Ｌ１は、フィルタ２３を介してビデオカメラ
２５に入射する。フィルタ２３は、反射光Ｌ１の波長ａ
の光のみを通過させる。分岐した他方の反射光Ｌ２は、
フィルタ２４を介してビデオカメラ２６に入射する。フ
ィルタ２４は、反射光Ｌ２の波長ｂの光のみを通過させ
る。ビデオカメラ２５，２６は、画像信号Ｓ１，Ｓ２を
送出する。画像処理装置３０は、画像信号Ｓ１，Ｓ２を
処理して被検査品４０の外観状態の良否を判定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外観検査装置に関し、特
に被検査品を異なる角度から照明してビデオカメラで撮
像し、画像信号を処理して外観検査を行う外観検査装置
に関する。
に被検査品を異なる角度から照明してビデオカメラで撮
像し、画像信号を処理して外観検査を行う外観検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、被検査品を撮像して画像処理に
より外観検査を行う外観検査装置、例えば、はんだ付け
外観検査装置等では、被検査品に対して所定の異なる角
度から照明してそれぞれビデオカメラで撮像し、照明の
角度を変える毎に撮像した画像信号を処理することによ
り、はんだ付け状態の良否を判定している。
より外観検査を行う外観検査装置、例えば、はんだ付け
外観検査装置等では、被検査品に対して所定の異なる角
度から照明してそれぞれビデオカメラで撮像し、照明の
角度を変える毎に撮像した画像信号を処理することによ
り、はんだ付け状態の良否を判定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
外観検査装置では、照明の角度を変える毎に撮像してい
るので、撮像操作が面倒であり処理時間がかかるという
問題点がある。
外観検査装置では、照明の角度を変える毎に撮像してい
るので、撮像操作が面倒であり処理時間がかかるという
問題点がある。
【０００４】本発明の目的は、照明の角度を変える毎に
撮像することなく短時間で撮像できる外観検査装置を提
供することにある。
撮像することなく短時間で撮像できる外観検査装置を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の外観検査装置
は、波長が異なる複数の光源を配置して被検査品を異な
る角度から照明する照明装置と、前記被検査品からの反
射光を結像させるレンズ系と、このレンズ系の光軸上に
配置されて前記反射光を分岐するビームスプリッタと、
このビームスプリッタによって分岐された反射光の一つ
を受けて所定の波長の反射光のみを通過させる複数のフ
ィルタと、この複数のフィルタを通過した反射光をそれ
ぞれ撮像して画像信号を送出する複数のビデオカメラ
と、前記画像信号を処理して前記被検査品の外観状態の
良否を判定する画像処理装置とを備えて構成されてい
る。
は、波長が異なる複数の光源を配置して被検査品を異な
る角度から照明する照明装置と、前記被検査品からの反
射光を結像させるレンズ系と、このレンズ系の光軸上に
配置されて前記反射光を分岐するビームスプリッタと、
このビームスプリッタによって分岐された反射光の一つ
を受けて所定の波長の反射光のみを通過させる複数のフ
ィルタと、この複数のフィルタを通過した反射光をそれ
ぞれ撮像して画像信号を送出する複数のビデオカメラ
と、前記画像信号を処理して前記被検査品の外観状態の
良否を判定する画像処理装置とを備えて構成されてい
る。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。ここで、被検査品４０を照明装置１０によって
照明し、撮像装置２０によって撮像し、画像信号Ｓ１，
Ｓ２を画像処理装置３０によって処理することにより、
被検査品４０の外観状態の良否を判定している。
である。ここで、被検査品４０を照明装置１０によって
照明し、撮像装置２０によって撮像し、画像信号Ｓ１，
Ｓ２を画像処理装置３０によって処理することにより、
被検査品４０の外観状態の良否を判定している。
【０００８】ところで、照明装置１０には、被検査品４
０に対して異なる角度から照明するように、波長が異な
る複数の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２ｂを設けて
いる。ここで、光源１１ａ，１２ａは波長ａの光を発
し、光源１１ｂ，１２ｂは異なる波長ｂの光を発するよ
うにしている。例えば、光源１１ａ，１２ａを赤色とす
れば、光源１１ｂ，１２ｂは緑色とする。
０に対して異なる角度から照明するように、波長が異な
る複数の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２ｂを設けて
いる。ここで、光源１１ａ，１２ａは波長ａの光を発
し、光源１１ｂ，１２ｂは異なる波長ｂの光を発するよ
うにしている。例えば、光源１１ａ，１２ａを赤色とす
れば、光源１１ｂ，１２ｂは緑色とする。
【０００９】撮像装置２０は、被検査品４０からの反射
光Ｌを結像させるレンズ系２１と、レンズ系の光軸上に
配置されて反射光Ｌを分岐するビームスプリッタ２２
と、波長ａの反射光のみを通過させ波長ｂの反射光を吸
収するフィルタ２３と、波長ｂの反射光のみを通過させ
波長ａの反射光を吸収するフィルタ２４と、フィルタ２
３，２４を通過した反射光により被検査品４０を撮像す
るビデオカメラ２５，２６とを備えている。
光Ｌを結像させるレンズ系２１と、レンズ系の光軸上に
配置されて反射光Ｌを分岐するビームスプリッタ２２
と、波長ａの反射光のみを通過させ波長ｂの反射光を吸
収するフィルタ２３と、波長ｂの反射光のみを通過させ
波長ａの反射光を吸収するフィルタ２４と、フィルタ２
３，２４を通過した反射光により被検査品４０を撮像す
るビデオカメラ２５，２６とを備えている。
【００１０】さて、被検査品４０の外観検査を行う場合
は、照明装置１０の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２
ｂを同時に点灯し、波長ａおよびｂの光を被検査品４０
にそれぞれ照射する。被検査品４０で反射した波長ａお
よびｂの反射光Ｌは、レンズ系２１を通過した後、ビー
ムスプリッタ２２によって分岐される。
は、照明装置１０の光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２
ｂを同時に点灯し、波長ａおよびｂの光を被検査品４０
にそれぞれ照射する。被検査品４０で反射した波長ａお
よびｂの反射光Ｌは、レンズ系２１を通過した後、ビー
ムスプリッタ２２によって分岐される。
【００１１】分岐された一方の反射光Ｌ１は、フィルタ
２３を介してビデオカメラ２５に入射する。このとき、
フィルタ２３は、反射光Ｌ１の内、波長ａの光を通過さ
せるので、ビデオカメラ２５からは、光源１１ａ，１２
ａによって照明された被検査品４０の画像信号Ｓ１が得
られる。同様に、分岐された他方の反射光Ｌ２は、フィ
ルタ２４を介してビデオカメラ２６に入射する。このと
き、フィルタ２４は、反射光Ｌ２の波長ｂの光を通過さ
せるので、ビデオカメラ２６からは、光源１１ｂ，１２
ｂによって照明された被検査品４０の画像信号Ｓ２が得
られる。
２３を介してビデオカメラ２５に入射する。このとき、
フィルタ２３は、反射光Ｌ１の内、波長ａの光を通過さ
せるので、ビデオカメラ２５からは、光源１１ａ，１２
ａによって照明された被検査品４０の画像信号Ｓ１が得
られる。同様に、分岐された他方の反射光Ｌ２は、フィ
ルタ２４を介してビデオカメラ２６に入射する。このと
き、フィルタ２４は、反射光Ｌ２の波長ｂの光を通過さ
せるので、ビデオカメラ２６からは、光源１１ｂ，１２
ｂによって照明された被検査品４０の画像信号Ｓ２が得
られる。
【００１２】このようにすることにより、被検査品に対
して異なる角度から照明した画像信号を同時に得ること
ができる。
して異なる角度から照明した画像信号を同時に得ること
ができる。
【００１３】画像処理装置３０は、画像信号Ｓ１，Ｓ２
を処理して被検査品４０の外観状態の良否を判定する。
ここで、例えば、画像信号Ｓ１とＳ２とを加算すること
により、光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２ｂを同時に
照射した場合の画像信号となる。
を処理して被検査品４０の外観状態の良否を判定する。
ここで、例えば、画像信号Ｓ１とＳ２とを加算すること
により、光源１１ａ，１２ａ，１１ｂ，１２ｂを同時に
照射した場合の画像信号となる。
【００１４】なお、本実施例では、波長が異なる２種類
の光源について説明したが、２種類以上であっても同様
な効果が得られる。
の光源について説明したが、２種類以上であっても同様
な効果が得られる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、波
長が異なる複数の光源を配置して被検査品を所定の角度
から照明し、被検査品からの反射光をビームスプリッタ
によって分岐し、分岐した反射光の内、所望の波長の光
をフィルタによって抽出して撮像することにより、被検
査品に対して異なる角度から照明した画像信号を同時に
得ることができる。従って、従来のように、照明の角度
を変える毎に撮像する必要はないので、撮像操作が簡単
となり処理時間を短縮できる。
長が異なる複数の光源を配置して被検査品を所定の角度
から照明し、被検査品からの反射光をビームスプリッタ
によって分岐し、分岐した反射光の内、所望の波長の光
をフィルタによって抽出して撮像することにより、被検
査品に対して異なる角度から照明した画像信号を同時に
得ることができる。従って、従来のように、照明の角度
を変える毎に撮像する必要はないので、撮像操作が簡単
となり処理時間を短縮できる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
４０ 被検査品 １０ 照明装置 １１ａ，１２ａ 波長ａの光源 １１ｂ，１２ｂ 波長ｂの光源 ２０ 撮像装置 ２１ レンズ系 ２２ ビームスプリッタ ２３，２４ フィルタ ２５，２６ ビデオカメラ ３０ 画像処理装置 Ｓ１，Ｓ２ 画像信号 Ｌ 反射光 Ｌ１，Ｌ２ 分岐された反射光
Claims (1)
- 【請求項１】 波長が異なる複数の光源を配置して被検
査品を異なる角度から照明する照明装置と、前記被検査
品からの反射光を結像させるレンズ系と、このレンズ系
の光軸上に配置されて前記反射光を分岐するビームスプ
リッタと、このビームスプリッタによって分岐された反
射光の一つを受けて所定の波長の反射光のみを通過させ
る複数のフィルタと、この複数のフィルタを通過した反
射光をそれぞれ撮像して画像信号を送出する複数のビデ
オカメラと、前記画像信号を処理して前記被検査品の外
観状態の良否を判定する画像処理装置とを備えることを
特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23445792A JPH0682216A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23445792A JPH0682216A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682216A true JPH0682216A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=16971305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23445792A Pending JPH0682216A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682216A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0777850A1 (en) * | 1994-08-26 | 1997-06-11 | Pressco Technology Inc. | Integral field lens illumination for video inspection |
| US5964981A (en) * | 1997-12-17 | 1999-10-12 | Tuboscope Vetco International, Inc. | Apparatus for lining tubulars |
| KR100561156B1 (ko) * | 1997-12-18 | 2006-06-21 | 린텍 가부시키가이샤 | 관측장치 |
| EP3255415A4 (en) * | 2015-02-04 | 2018-01-17 | Bosch Packaging Technology K.K. | Inspection device and inspection system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713340A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for surface defect |
| JPS6238348A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Mitsubishi Metal Corp | 光学的表面欠陥検査方法 |
| JPH01184582A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Omron Tateisi Electron Co | 実装部品検査装置 |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP23445792A patent/JPH0682216A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713340A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for surface defect |
| JPS6238348A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Mitsubishi Metal Corp | 光学的表面欠陥検査方法 |
| JPH01184582A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Omron Tateisi Electron Co | 実装部品検査装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0777850A1 (en) * | 1994-08-26 | 1997-06-11 | Pressco Technology Inc. | Integral field lens illumination for video inspection |
| EP0777850A4 (en) * | 1994-08-26 | 1999-02-03 | Pressco Tech Inc | INTEGRAL LIGHTING WITH FIELD LENS FOR VIDEO INSPECTION |
| US5964981A (en) * | 1997-12-17 | 1999-10-12 | Tuboscope Vetco International, Inc. | Apparatus for lining tubulars |
| KR100561156B1 (ko) * | 1997-12-18 | 2006-06-21 | 린텍 가부시키가이샤 | 관측장치 |
| EP3255415A4 (en) * | 2015-02-04 | 2018-01-17 | Bosch Packaging Technology K.K. | Inspection device and inspection system |
| US10408766B2 (en) | 2015-02-04 | 2019-09-10 | Bosch Packaging Technology K.K. | Inspection device and inspection system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990209 |