KR930020153A - 다색상 반사 판별을 이용한 물체 또는 표면 검사방법 및 장치 - Google Patents

다색상 반사 판별을 이용한 물체 또는 표면 검사방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

신규의 자동 검사 기술 및 방법이 물체 또는 표면(고체 웨이퍼, 인쇄 회로기관, 또는 하나의 색상을 가진 영역과 그 것의 아웃하는 또는 서로 다른 색상의 주변 영역과 구별하는 더욱 일반적인 적용)의 서로 다른 색상의 영역을 구별하기 위하여 공개되며, 물체 또는 표면으로부터 반사된 광영상을 분리하여 검색하는 적어도 한 쌍의 검색기(CCD 카메라가 바람직함)을 포함하고 물체 또는 표면의 서로 다른 색상에 상응하는 서로 다른 색상의 광학 필터가 설치되어 있으며; 그리고 신호 콘트라스트를 최적화하기 위하여 필터 응답 사이의 비를 최대화하도록 선택된 서로 다른 웨이팅 계수에 의하여 검색기 신호를 배수화하는 전자적 여과 과정을 포함하고, 그 후에 배수화된 신호를 선형적으로 합한다. 그 것에 의하여 광범위한 조명도 변화와 물체의 처리 과정에서 생성된 색상 변화에 대하여 독립적인 결과가 얻어진다.

Description

다색상 반사 판별을 이용한 물체 또는 표면 검사방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 바람직한 형태로 본 발명을 나타낸 결합된 블럭 및 호로의 다이아그램이다.
제2도는 색상 주파수 함수로서 본 발명에 의하여 개발된 처리신호의 그래프이다.

Claims (16)

  1. 다수의 분산된 위치에서 물체 또는 표면의 반사된 빛의 영상을 독립적으로 수신하고 전자기적으로 검색하는 단계; 각각의 위치에서 각각의 여과 과정의 서로 다른 신호로부터 생성하기 위하여 영상의 서로 다른 광학적 색상 여과과정을 제공하는 단계; 서로 다른 여과된 색상 사이의 신호를 최적화하기 위하여 선택된 서로 다른 웨이팅 계수에 의하여 상기 각각의 신호를 배수화하는 단계; 및 광도 및 물체 또는 표면에서 생성된 색상 변화의 광범위한 변화에 관계없이 색상 판별력을 제공하기 위하여 충분한 신호 콘트라스트 범위의 전자기적으로 여과된 신호를 생성하기 위하여 배가된 신호를 선형적으로 합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사된 빛에 의하여 조명된 물체 또는 표면의 서로 다른 색상 영역을 자동적으로 검사하고 구별하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 영상 수신 및 검색이 색상을 가진 빛을 반사하는 물체 또는 표면의 서로 다른 영역에 상응하는 서로 다른 색상을 가진 광학적으로 여과된 두개의 스캐닝 카메라에 의하여 달성되고; 그리고 웨이팅 계수 선택이 두 카메라의 여과 과정의 응답 사이의 비를 최대로 하여 달성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 물체가 전도체 영역이 금색이고 주변 영역이 본질적으로 연분홍, 청색, 및 황색중의 하나인 고체 웨이퍼이고; 그리고 서로 다른 색상 여과가 전도체 영역에 상응하도록 선택되고 적어도 주변 영역 색상의 하나인 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 물체가 인쇄 회로 기판이고 이 것의 전도체 영역이 동 색상이고 이 것의 주변 영역이 녹색이며; 그리고 서로 다른 색상이 여과 과정이 전도체 영역과 주변 영역의 색상에 상응하도록 선택된 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 수신된 광 영상에 응답하는 전자 신호를 발생시키기 위한 스캐닝 카메라와 같은 다수의 분리된 광 영상 검색수단; 상기 물체 또는 표면으로부터 반사된 광 영상을 각각의 검색기 수단에 유도하는 수단; 검사되는 물체 또는 표면의 각각의 검색기 수단의 전면에 위치한 광학 필터 수단; 다양한 필터 응답 사이의 비를 최대화하여 서로 다른 색상 사이의 신호 콘트라스트를 최적화하기 위하여 선택된 서로 다른 상응하는 웨이팅 계수에 의하여 각각의 검색기 수단에서 발생된 상기 신호를 배수화하는 수단; 그리고 물체 또는 표면에서 생성되는 조명도 및 색상 변화의 광범위한 변화에 관계없이 색상을 판별하기 위하여 충분한 신호 콘트라스트 범위의 전자기적으로 여과된 신호를 발생시키기 위하여 배수화된 신호를 선형적으로 합하는 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사된 빛에 의하여 조명된 물체 또는 표면의 서로 다른 색상 영역을 구별하는 자동 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서, 수단이 상기 반사된 빛 영상을 각각의 검색기 수단에 정렬된 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서, 다수의 거색기 수단이 CCD 카메라와 같은 회색 스케일이 미리 지정된 적어도 한 쌍의 전자식 카메라와 검사 과정에서 구별되는 물체 또는 표면의 두 개의 서로 다른 색상 영역에 상응하는 광학 필터의 상응하는 쌍; 조명 및 다른 콘트라스트 제한을 회피하기 위한 광학적 방법과 영상처리 과정의 색상 스펙트럼 정보를 함유한 서로 다른 회색 스케일 영상 응답을 생성하는 상기 신호를 가진 한 쌍의 필터 스펙트럼 응답 사이의 비를 최대화하기 위하여 선택된 웨이팅 계수를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 물체가 전도체 영역이 하나의 색상이고 주변 영역이 다른 색상인 고체 웨이퍼이고; 그리고 한 쌍의 필터가 상기 하나 및 다른 색상에 상응하도록 선택된 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 하나의 색상이 금색이고 상기 다른 색상이 본질적으로 연분홍색, 청색 또는 황색중의 하나인 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서, 금색이 여과된 색상 및 여과된 다른 색상을 수신하는 각각의 카메라로부터 신호를 배수화하는 웨이팅 계수가 각각 약 19 및 -39인 서울 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 물체가 전도체 영역이 동 색상이며 주변 영역이 녹색인 인쇄 회로 기판이며; 한 쌍의 광학 필터가 전도체 영역과 주변 영역의 색상에 상응하도록 선택된 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  12. 제11항에 있어, 동 색상 전도체 영역에 안접한 영역이 은색 땜납을 포함하며, 은색 색상의 여과를 위하여 설치된 검색기 수단중의 하나가 제공된 광학 필터를 가진 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 물체가 품질 상태가 하나의 색상이며 손상된 것과 같은 이상 상태가 또 다른 색상인 음식이고; 한 쌍의 광학 필터가 상기 하나 및 또 다른 색상에 상응하도록 선택된 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 신호로부터 검색된 영역의 서로 다른 물질을 식별하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 식별 단계가 특정 영역의 물질에 상응하는 상기 신호의 조합을 저장하고 신호의 조합에 응답하는 물질을 지정하여 달성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제5항에 있어서, 수단이 상기 신호로부터 서로 다른 검색된 영역의 물질을 식별하기 위하여 설치된 것을 특징으로 하는 자동 검사 장치
    ※ 참고사항 : 최초 출원된 내용에 의하여 공개하는 것임.
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