JPH0921724A - ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法 - Google Patents
ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法Info
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- JPH0921724A JPH0921724A JP19264695A JP19264695A JPH0921724A JP H0921724 A JPH0921724 A JP H0921724A JP 19264695 A JP19264695 A JP 19264695A JP 19264695 A JP19264695 A JP 19264695A JP H0921724 A JPH0921724 A JP H0921724A
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- monitor
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 モニターを介した目視観察にてビューファイ
ンダー用カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出がで
きる欠陥検出方法を提供する。 【解決手段】 （Ａ）ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０を複数回撮像し、複数回分数分の画像信号
を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号を得
る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずかにずらして、ビュ
ーファインダー用カラーフイルター１１０を複数回撮像
し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第二
の加算平均処理画像信号を得る工程、（Ｃ）前記第一の
加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画像信号と
の差信号を得る工程、（Ｄ）得られた差信号に対し、近
傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定のスライ
スレベルで２値化してモニター画像用データを得る工
程、（Ｅ）前記モニター画像用データをモニターにて映
像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有する。
ンダー用カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出がで
きる欠陥検出方法を提供する。 【解決手段】 （Ａ）ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０を複数回撮像し、複数回分数分の画像信号
を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号を得
る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずかにずらして、ビュ
ーファインダー用カラーフイルター１１０を複数回撮像
し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第二
の加算平均処理画像信号を得る工程、（Ｃ）前記第一の
加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画像信号と
の差信号を得る工程、（Ｄ）得られた差信号に対し、近
傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定のスライ
スレベルで２値化してモニター画像用データを得る工
程、（Ｅ）前記モニター画像用データをモニターにて映
像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの外観欠陥を目視検査する方法に関す
る。
カラーフイルターの外観欠陥を目視検査する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダー用ーカラーフイルターについて
は、益々、高品質化、微細化、およびその量産化が求め
られるようになってきた。高品質化、微細化に伴い、欠
陥についても、益々、微細な欠陥を検出することが要求
されるようになってきており、従来の投光器や顕微鏡を
用いた肉眼での検査については、人による差や再現性に
問題がある為、より簡単に、正確に欠陥検出ができ、且
つ、量産化にも対応できる欠陥検査方法が求められてき
た。そして、ビューファインダー用カラーフイルターに
おいては、製品の表裏のほぼ全面が検査対象領域である
為、全種類の欠陥を対象にして検査することは難しく、
表裏の欠陥全てを一つの検査装置にて、できるだけコン
パクトにした状態で欠陥検出することが望まれており、
その対応が求められていた。
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダー用ーカラーフイルターについて
は、益々、高品質化、微細化、およびその量産化が求め
られるようになってきた。高品質化、微細化に伴い、欠
陥についても、益々、微細な欠陥を検出することが要求
されるようになってきており、従来の投光器や顕微鏡を
用いた肉眼での検査については、人による差や再現性に
問題がある為、より簡単に、正確に欠陥検出ができ、且
つ、量産化にも対応できる欠陥検査方法が求められてき
た。そして、ビューファインダー用カラーフイルターに
おいては、製品の表裏のほぼ全面が検査対象領域である
為、全種類の欠陥を対象にして検査することは難しく、
表裏の欠陥全てを一つの検査装置にて、できるだけコン
パクトにした状態で欠陥検出することが望まれており、
その対応が求められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの高品質
化、微細化、量産化に対応でき、ビューファインダー用
カラーフイルターの表裏の全ての種類の欠陥検出を、簡
単に、正確に欠陥が検出できる欠陥検出方法が求められ
ていた。本発明は、ビューファインダー用カラーフイル
ターの全ての種類の欠陥検出をモニターを介した目視観
察にて、簡単に、且つ、正確に欠陥検出ができる欠陥検
出方法を提供しようとするものである。
と、ビューファインダー用カラーフイルターの高品質
化、微細化、量産化に対応でき、ビューファインダー用
カラーフイルターの表裏の全ての種類の欠陥検出を、簡
単に、正確に欠陥が検出できる欠陥検出方法が求められ
ていた。本発明は、ビューファインダー用カラーフイル
ターの全ての種類の欠陥検出をモニターを介した目視観
察にて、簡単に、且つ、正確に欠陥検出ができる欠陥検
出方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検査方法は、透過照明手
段およびまたは反射照明手段を用いて、ＸＹ駆動制御さ
れたＸＹステージ上の透明な保持板上のビューファイン
ダー用カラーフイルターをＣＣＤ素子等の画素分割素子
からなる撮像手段により撮像し、撮像により得られた信
号を処理した処理信号をモニターにて映像化し、該モニ
ターの画像を目視することにより欠陥を検出する目視欠
陥検査方法であって、順次、（Ａ）試料であるビューフ
ァインダー用カラーフイルターを複数回撮像し、複数回
分数分の画像信号を加算、平均処理し、第一の加算平均
処理画像信号を得る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずか
にずらして、試料であるビューファインダー用カラーフ
イルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加
算、平均処理し、第二の加算平均処理画像信号を得る工
程、（Ｃ）前記第一の加算平均処理画像信号と第二の加
算平均処理画像信号との差信号を得る工程、（Ｄ）得ら
れた差信号に対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理
を施し、所定のスライスレベルで２値化してモニター画
像用データを得る工程、（Ｅ）前記モニター画像用デー
タをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出する工
程、とを有することを特徴とするものである。また、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
査方法は、透過照明手段およびまたは反射照明手段を用
いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な保持
板上のビューファインダー用カラーフイルターをＣＣＤ
素子等の画素分割素子からなる撮像手段により撮像し、
撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニター
にて映像化し、該モニターの画像を目視することにより
欠陥を検出する目視欠陥検査方法であって、順次、
（ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ーを撮像し、画像信号を得る工程、（ｂ）得られた画像
信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差をエ
ンハンストするエンハンスト処理を施すことにより、モ
ニター画像用データを得る工程、（ｃ）前記モニター画
像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検
出する工程、とを有することを特徴とするものである。
ダー用カラーフイルターの欠陥検査方法は、透過照明手
段およびまたは反射照明手段を用いて、ＸＹ駆動制御さ
れたＸＹステージ上の透明な保持板上のビューファイン
ダー用カラーフイルターをＣＣＤ素子等の画素分割素子
からなる撮像手段により撮像し、撮像により得られた信
号を処理した処理信号をモニターにて映像化し、該モニ
ターの画像を目視することにより欠陥を検出する目視欠
陥検査方法であって、順次、（Ａ）試料であるビューフ
ァインダー用カラーフイルターを複数回撮像し、複数回
分数分の画像信号を加算、平均処理し、第一の加算平均
処理画像信号を得る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずか
にずらして、試料であるビューファインダー用カラーフ
イルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加
算、平均処理し、第二の加算平均処理画像信号を得る工
程、（Ｃ）前記第一の加算平均処理画像信号と第二の加
算平均処理画像信号との差信号を得る工程、（Ｄ）得ら
れた差信号に対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理
を施し、所定のスライスレベルで２値化してモニター画
像用データを得る工程、（Ｅ）前記モニター画像用デー
タをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出する工
程、とを有することを特徴とするものである。また、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
査方法は、透過照明手段およびまたは反射照明手段を用
いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な保持
板上のビューファインダー用カラーフイルターをＣＣＤ
素子等の画素分割素子からなる撮像手段により撮像し、
撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニター
にて映像化し、該モニターの画像を目視することにより
欠陥を検出する目視欠陥検査方法であって、順次、
（ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ーを撮像し、画像信号を得る工程、（ｂ）得られた画像
信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差をエ
ンハンストするエンハンスト処理を施すことにより、モ
ニター画像用データを得る工程、（ｃ）前記モニター画
像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検
出する工程、とを有することを特徴とするものである。
【０００５】
【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検査装置は、このような構成にすることによ
り、目視に、簡単に、正確に、全ての種類の外観欠陥の
検出ができ、且つ、量産にも対応できるものである。詳
しくは、順次、（Ａ）試料であるビューファインダー用
カラーフイルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像
信号を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号
を得る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずかにずらして、
試料であるビューファインダー用カラーフイルターを複
数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理
し、第二の加算平均処理画像信号を得る工程、（Ｃ）前
記第一の加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画
像信号との差信号を得る工程、（Ｄ）得られた差信号に
対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定
のスライスレベルで２値化してモニター画像用データを
得る工程、（Ｅ）前記モニター画像用データをモニター
にて映像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有す
ることにより、撮像装置からのビデオ信号から、バター
ンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやかな信
号変化（シェーディング）とビデオ信号回路で発生する
ランダムノイズ、および光学系に付着したゴミなどによ
る信号の局部的変化の影響を無くし、試料であるビュー
ファインダー用カラーフイルターの欠陥のみをモニター
にて映像化して検出できるものとしている。そして、順
次、（ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイ
ルターを撮像し、画像信号を得る工程、（ｂ）得られた
画像信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差
をエンハンストするエンハンスト処理を施すことによ
り、モニター画像用データを得る工程、（ｃ）前記モニ
ター画像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視
にて検出する工程、とを有することにより、撮像信号の
輝度の変化を強調した、階調差をエンハンストしたデー
タにてモニターにて映像化することにより、欠陥検出が
し易いものとしている。
ーの欠陥検査装置は、このような構成にすることによ
り、目視に、簡単に、正確に、全ての種類の外観欠陥の
検出ができ、且つ、量産にも対応できるものである。詳
しくは、順次、（Ａ）試料であるビューファインダー用
カラーフイルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像
信号を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号
を得る工程、（Ｂ）撮影する位置をわずかにずらして、
試料であるビューファインダー用カラーフイルターを複
数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理
し、第二の加算平均処理画像信号を得る工程、（Ｃ）前
記第一の加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画
像信号との差信号を得る工程、（Ｄ）得られた差信号に
対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定
のスライスレベルで２値化してモニター画像用データを
得る工程、（Ｅ）前記モニター画像用データをモニター
にて映像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有す
ることにより、撮像装置からのビデオ信号から、バター
ンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやかな信
号変化（シェーディング）とビデオ信号回路で発生する
ランダムノイズ、および光学系に付着したゴミなどによ
る信号の局部的変化の影響を無くし、試料であるビュー
ファインダー用カラーフイルターの欠陥のみをモニター
にて映像化して検出できるものとしている。そして、順
次、（ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイ
ルターを撮像し、画像信号を得る工程、（ｂ）得られた
画像信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差
をエンハンストするエンハンスト処理を施すことによ
り、モニター画像用データを得る工程、（ｃ）前記モニ
ター画像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視
にて検出する工程、とを有することにより、撮像信号の
輝度の変化を強調した、階調差をエンハンストしたデー
タにてモニターにて映像化することにより、欠陥検出が
し易いものとしている。
【０００６】
【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査方法を実施例に基づいて説明する。先ず、
本発明のビューファインダー用カラーフイルター欠陥検
査方法の実施例１を説明する。図１は実施例１のビュー
ファインダー用カラーフイルター欠陥検査方法を実施す
るための装置概略図であり、図２は、実施例１の処理に
対応した信号を表した図である。図１中、１００は欠陥
検査装置、１０１、１０２は撮像カメラ、１０３、１０
４はレンズ、１０５、１０６、１０７は光源、１０８、
１０９はハーフミラー、１１０はビューファインダー用
カラーフイルター、１３０は保持板、１４０はＸ、Ｙス
テージ、１５０は画像処理装置、１６０はモニターであ
る。本実施例のビューファインダー用カラーフイルター
欠陥検査方法は、撮像カメラ１０１、１０２で撮像され
たビューファインダー用カラーフイルター１１０の画像
は、画像処理装置１５０にて画像処理を行い、画像処理
により得られた信号をモニター１６０にて映像化し、こ
れを目視にて観察することにより欠陥を検出するもので
ある。ビューファインダー用カラーフイルターの着色画
素部の断面は、一般には図５（ロ）に示すになってお
り、図１に示す欠陥検査装置では、ビューファインダー
用カラーフイルター１１０を着色面側を上にして、透明
な保持板等の上に載せた状態で、カラーフイルターの表
裏を照明して撮像するもので、ビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０は、通常、保持板１３０とともに
ＸＹ駆動制御可能なＸＹステージ１４０上にて位置制御
される。尚、図５（イ）は、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０の平面を示す。撮像手段としては、
ＣＣＤ素子等の画素分割素子を用いた撮像カメラで、特
に、電子シャッターを有し、露光時間の調整ができるも
のが好ましい。照明手段の光源としては、キセノン光源
等が挙げられるが、特にこれに限定はされない。
ター欠陥検査方法を実施例に基づいて説明する。先ず、
本発明のビューファインダー用カラーフイルター欠陥検
査方法の実施例１を説明する。図１は実施例１のビュー
ファインダー用カラーフイルター欠陥検査方法を実施す
るための装置概略図であり、図２は、実施例１の処理に
対応した信号を表した図である。図１中、１００は欠陥
検査装置、１０１、１０２は撮像カメラ、１０３、１０
４はレンズ、１０５、１０６、１０７は光源、１０８、
１０９はハーフミラー、１１０はビューファインダー用
カラーフイルター、１３０は保持板、１４０はＸ、Ｙス
テージ、１５０は画像処理装置、１６０はモニターであ
る。本実施例のビューファインダー用カラーフイルター
欠陥検査方法は、撮像カメラ１０１、１０２で撮像され
たビューファインダー用カラーフイルター１１０の画像
は、画像処理装置１５０にて画像処理を行い、画像処理
により得られた信号をモニター１６０にて映像化し、こ
れを目視にて観察することにより欠陥を検出するもので
ある。ビューファインダー用カラーフイルターの着色画
素部の断面は、一般には図５（ロ）に示すになってお
り、図１に示す欠陥検査装置では、ビューファインダー
用カラーフイルター１１０を着色面側を上にして、透明
な保持板等の上に載せた状態で、カラーフイルターの表
裏を照明して撮像するもので、ビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０は、通常、保持板１３０とともに
ＸＹ駆動制御可能なＸＹステージ１４０上にて位置制御
される。尚、図５（イ）は、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０の平面を示す。撮像手段としては、
ＣＣＤ素子等の画素分割素子を用いた撮像カメラで、特
に、電子シャッターを有し、露光時間の調整ができるも
のが好ましい。照明手段の光源としては、キセノン光源
等が挙げられるが、特にこれに限定はされない。
【０００７】図１に示す装置において、試料であるビュ
ーファインダー用カラーフイルター１１０の撮像は、以
下のようにして行う。ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０は、着色面を上にして保持板１３０の上に
載っており、保持板１３０はＸＹステージ１４０の上に
載っている。撮像カメラ１０１、１０２はＣＣＤ素子エ
リアセンサを有している。レンズ１０３は試料であるビ
ューファインダー用カラーフイルター１１０の着色面の
像が撮像カメラ１０１の受像面上に結像するように調整
されており、レンズ１０４は試料の非着色面の像が撮像
カメラ１０２の受像面上に結像するように調整されてい
る。光源１０５はハーフミラー１０８、レンズ１０３を
介して試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０の着色面を正反射照明する。光源１０６はハー
フミラー１０９、レンズ１０４を介して試料であるビュ
ーファインダー用カラーフイルター１１０を透過明視野
照明する。光源１０７はリング型ファイバー光源を使用
しており、試料であるビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０を透過視野照明および非着色面側を反射視
野照明する。
ーファインダー用カラーフイルター１１０の撮像は、以
下のようにして行う。ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０は、着色面を上にして保持板１３０の上に
載っており、保持板１３０はＸＹステージ１４０の上に
載っている。撮像カメラ１０１、１０２はＣＣＤ素子エ
リアセンサを有している。レンズ１０３は試料であるビ
ューファインダー用カラーフイルター１１０の着色面の
像が撮像カメラ１０１の受像面上に結像するように調整
されており、レンズ１０４は試料の非着色面の像が撮像
カメラ１０２の受像面上に結像するように調整されてい
る。光源１０５はハーフミラー１０８、レンズ１０３を
介して試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０の着色面を正反射照明する。光源１０６はハー
フミラー１０９、レンズ１０４を介して試料であるビュ
ーファインダー用カラーフイルター１１０を透過明視野
照明する。光源１０７はリング型ファイバー光源を使用
しており、試料であるビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０を透過視野照明および非着色面側を反射視
野照明する。
【０００８】ビューファインダー用カラーフイルター１
１０を透過明視野照明して撮像する場合、図１中、光源
１０６を点灯してハーフミラー１０９で反射させ、レン
ズ１０４で集光、試料であるビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０を透過照明し、透過光をレンズ１０
３で集光して撮像カメラ１０１の受光面上に結像させて
撮像する。ビューファインダー用カラーフイルター１１
０を透過暗視野照明して撮像する場合、光源１０７を点
灯して試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０を透過暗視野照明し、試料であるビューファイ
ンダー用カラーフイルター１１０に微小白欠陥がある場
合には回折光をレンズ１０３で集光して撮像カメラ１０
１の受光面上に結像させて撮像する。ビューファインダ
ー用カラーフイルター１１０の着色面の正反射照明によ
る撮像は、光源１０５を点灯してハーフミラー１０８で
反射、レンズ１０３で集光してビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０の着色面を正反射照明し、反射光
をレンズ１０３により撮像カメラ１０１の受光面上に結
像させて撮像する。ビューファインダー用カラーフイル
ター１１０の下側非着色面の反射暗視野照明による撮像
は、光源１０７を点灯して試料であるビューファインダ
ー用カラーフイルター１１０非着色面を反射暗視野照明
し、試料表面の凹凸による散乱光をレンズ１０４により
撮像カメラ１０２の受光面上に結像させて撮像する。な
お、試料であるビューファインダー用カラーフイルター
１１０の表裏の透過率や反射率が異なる領域毎に適切な
映像信号レベルで撮像する。
１０を透過明視野照明して撮像する場合、図１中、光源
１０６を点灯してハーフミラー１０９で反射させ、レン
ズ１０４で集光、試料であるビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０を透過照明し、透過光をレンズ１０
３で集光して撮像カメラ１０１の受光面上に結像させて
撮像する。ビューファインダー用カラーフイルター１１
０を透過暗視野照明して撮像する場合、光源１０７を点
灯して試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０を透過暗視野照明し、試料であるビューファイ
ンダー用カラーフイルター１１０に微小白欠陥がある場
合には回折光をレンズ１０３で集光して撮像カメラ１０
１の受光面上に結像させて撮像する。ビューファインダ
ー用カラーフイルター１１０の着色面の正反射照明によ
る撮像は、光源１０５を点灯してハーフミラー１０８で
反射、レンズ１０３で集光してビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０の着色面を正反射照明し、反射光
をレンズ１０３により撮像カメラ１０１の受光面上に結
像させて撮像する。ビューファインダー用カラーフイル
ター１１０の下側非着色面の反射暗視野照明による撮像
は、光源１０７を点灯して試料であるビューファインダ
ー用カラーフイルター１１０非着色面を反射暗視野照明
し、試料表面の凹凸による散乱光をレンズ１０４により
撮像カメラ１０２の受光面上に結像させて撮像する。な
お、試料であるビューファインダー用カラーフイルター
１１０の表裏の透過率や反射率が異なる領域毎に適切な
映像信号レベルで撮像する。
【０００９】本実施例のビューファインダー用カラーフ
イルターの欠陥検査方法においては、上記のような各種
撮像により、着色面側の白欠陥、黒欠陥の検出、および
ガラス面側の汚れ、キズ等の欠陥検出ができる。即ち、
撮像手段から得られる画像信号により、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの全種類の外観欠陥の検出がで
きる。尚、ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピ
ンホールや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン
部の所定の絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を
言っており、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出
される。図５（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピン
ホール欠陥も、着色面側の正反射照明で検出できる。但
し、必要な場合は反射暗視野照明を併用する。また、こ
こでは、暗視野照明は照明光の光軸が撮像手段の受光部
の光軸と一致しないもの、明視野照明は照明光の光軸が
撮像手段の受光部の光軸と一致したものとしている。ま
た、透過暗視野照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮
像により得られた画像信号を処理することにより、明視
野照明単独使用による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感
度を上げている。
イルターの欠陥検査方法においては、上記のような各種
撮像により、着色面側の白欠陥、黒欠陥の検出、および
ガラス面側の汚れ、キズ等の欠陥検出ができる。即ち、
撮像手段から得られる画像信号により、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの全種類の外観欠陥の検出がで
きる。尚、ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピ
ンホールや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン
部の所定の絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を
言っており、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出
される。図５（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピン
ホール欠陥も、着色面側の正反射照明で検出できる。但
し、必要な場合は反射暗視野照明を併用する。また、こ
こでは、暗視野照明は照明光の光軸が撮像手段の受光部
の光軸と一致しないもの、明視野照明は照明光の光軸が
撮像手段の受光部の光軸と一致したものとしている。ま
た、透過暗視野照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮
像により得られた画像信号を処理することにより、明視
野照明単独使用による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感
度を上げている。
【００１０】本実施例のビューファインダー用カラーフ
イルターの検査方法は、このようにして、撮像された、
各撮像毎にえられた画像信号に対し、画像処理装置１５
０にて画像信号処理を施して、得られたモニター用デー
タにより、モニター上に映像化して、これを目視にて観
察することにより欠陥検出を行う。簡単の為、試料であ
るビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過
明視野照明して撮像し、画像信号処理を施した画像信号
（モニター用データ）に基づいて、モニター上に映像化
して目視検査する場合について、画像信号処理を図２を
用いて説明する。先ず、撮像カメラ１０１により複数回
撮像し、画像信号を得て、得られた複数回数分の画像信
号を加算、平均処理する 欠陥部を含む箇所については、信号（ａ）のような光透
過率分布を得るが、撮像装置からのビデオ信号は、信号
（ｂ）のように、パターンのムラ、撮像面の感度ムラ等
によるゆるやかな信号変化（シェーディング）とビデオ
信号回路で発生するランダムノイズ、および光学系に付
着したゴミなどによる信号の局部的変化とが含まれた信
号となってしまう。同一箇所において、複数回、撮像手
段によって撮像し、画像信号をえて、得られた複数回数
分の画像信号を加算、平均処理するのは、ランダムノイ
ズの影響を少なくするためで、加算回数をＮとした場
合、加算平均しない場合に比べランダムノイズは１／Ｎ
1/2 となる ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもの
で、Ｃは光学系に付着したゴミ等による信号の局部的変
化を示す。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、
同様に、加算、平均処理することにより、信号（ｃ）を
わずかに変位させた信号（ｄ）を得る。そして、信号
（ｃ）と信号（ｄ）との差をとることにより差信号
（ｅ）を得る。信号（ｅ）は、シェーディングや撮像す
る位置の移動により変化しない信号分が除去されたもの
で、光の透過率変化による信号分と低減されたランダム
ノイズ成分だけが残る。次いで、この信号（ｅ）につい
て近傍平均値の減算処理または微分処理を施すと、信号
（ｆ）が得られる。信号（ｆ）は、欠陥部相当のみが局
部的に変化しており、強調されているため、これをモニ
ター画像用データとして用い、モニター上に映像化する
ことにより欠陥部のみが強調されて表示されるため、目
視にて欠陥検出が可能となる。
イルターの検査方法は、このようにして、撮像された、
各撮像毎にえられた画像信号に対し、画像処理装置１５
０にて画像信号処理を施して、得られたモニター用デー
タにより、モニター上に映像化して、これを目視にて観
察することにより欠陥検出を行う。簡単の為、試料であ
るビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過
明視野照明して撮像し、画像信号処理を施した画像信号
（モニター用データ）に基づいて、モニター上に映像化
して目視検査する場合について、画像信号処理を図２を
用いて説明する。先ず、撮像カメラ１０１により複数回
撮像し、画像信号を得て、得られた複数回数分の画像信
号を加算、平均処理する 欠陥部を含む箇所については、信号（ａ）のような光透
過率分布を得るが、撮像装置からのビデオ信号は、信号
（ｂ）のように、パターンのムラ、撮像面の感度ムラ等
によるゆるやかな信号変化（シェーディング）とビデオ
信号回路で発生するランダムノイズ、および光学系に付
着したゴミなどによる信号の局部的変化とが含まれた信
号となってしまう。同一箇所において、複数回、撮像手
段によって撮像し、画像信号をえて、得られた複数回数
分の画像信号を加算、平均処理するのは、ランダムノイ
ズの影響を少なくするためで、加算回数をＮとした場
合、加算平均しない場合に比べランダムノイズは１／Ｎ
1/2 となる ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもの
で、Ｃは光学系に付着したゴミ等による信号の局部的変
化を示す。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、
同様に、加算、平均処理することにより、信号（ｃ）を
わずかに変位させた信号（ｄ）を得る。そして、信号
（ｃ）と信号（ｄ）との差をとることにより差信号
（ｅ）を得る。信号（ｅ）は、シェーディングや撮像す
る位置の移動により変化しない信号分が除去されたもの
で、光の透過率変化による信号分と低減されたランダム
ノイズ成分だけが残る。次いで、この信号（ｅ）につい
て近傍平均値の減算処理または微分処理を施すと、信号
（ｆ）が得られる。信号（ｆ）は、欠陥部相当のみが局
部的に変化しており、強調されているため、これをモニ
ター画像用データとして用い、モニター上に映像化する
ことにより欠陥部のみが強調されて表示されるため、目
視にて欠陥検出が可能となる。
【００１１】上記画像処理における微分処理は、例え
ば、得られた画像データに対し、フイルタを用いて積和
算することにより行われる。尚、ここでは、画素データ
群Ｐ（ｘij）にフイルタテーブルＷ（Ａkl）を用い、Ｐ
（ｘij）とＷ（Ａkl）との積和演算を行うものをフイル
タと言う。例えば、特定画素列のＸ方向に限定した場合
には、図４（ａ）に示すようにフイルタテーブルを設定
することで一次微分処理が行え、図４（ｂ）にフイルタ
テーブルを設定することにより二次微分処理が行える。
二次微分の場合、着目画素データをＸn とすると、画素
データとフイルタテーブルとの積和演算は、Ｘn ＝（−
１）×Ｘn-2 ＋（−１）×Ｘn-1 ＋（＋２）×Ｘn ＋
（＋２）×Ｘn+1 ＋（−１）×Ｘn+2 ＋（−１）×Ｘ
n+3 となる。
ば、得られた画像データに対し、フイルタを用いて積和
算することにより行われる。尚、ここでは、画素データ
群Ｐ（ｘij）にフイルタテーブルＷ（Ａkl）を用い、Ｐ
（ｘij）とＷ（Ａkl）との積和演算を行うものをフイル
タと言う。例えば、特定画素列のＸ方向に限定した場合
には、図４（ａ）に示すようにフイルタテーブルを設定
することで一次微分処理が行え、図４（ｂ）にフイルタ
テーブルを設定することにより二次微分処理が行える。
二次微分の場合、着目画素データをＸn とすると、画素
データとフイルタテーブルとの積和演算は、Ｘn ＝（−
１）×Ｘn-2 ＋（−１）×Ｘn-1 ＋（＋２）×Ｘn ＋
（＋２）×Ｘn+1 ＋（−１）×Ｘn+2 ＋（−１）×Ｘ
n+3 となる。
【００１２】次に、本発明のビューファインダー用カラ
ーフイルター欠陥検査方法の実施例２を説明する。本実
施例の場合も、図１に示す装置により、撮像された、各
撮像毎にえられた画像信号に対し、画像信号処理を施し
て、得られたモニター用データにより、モニター上に映
像化して、これを目視にて観察することにより欠陥検出
を行う。本実施例のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査方法においては、撮像により得られた画像
信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差をエ
ンハンストするエンハンスト処理を施すことにより、モ
ニター画像用データを得て、このモニター用画像データ
を用い、モニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出す
るもので、実施例１とは、撮像により得られた画像信号
の処理が異なる。以下、本実施例における、撮像により
得られた画像信号の階調差をエンハンストするエッハン
スト処理の１例を、図３を用いて簡単に説明する。簡単
のため、図１において、試料であるビューファインダー
用カラーフイルター１１０を光源１０５で反射明視野照
明にして撮像カメラ１０１撮像した画像信号が画像処理
装置１５０にてエンハンスト処理し、得られたモニター
画像用データがモニターを表示する場合について説明す
る。先ず、撮影した画像信号（データ）を用い、そのま
まモニター上に映像化して表示する場合、図３（ａ）の
ように、撮影画像の画像信号レベルと表示画像の輝度レ
ベルとが１対１に対応した比例関係になるようにする。
ここで、横軸は撮影画像の画像信号レベル、縦軸は表示
画像の輝度レベルである。このような関係にある撮影画
像の画像信号レベルに対し、画像処理装置において、図
３（ｂ）に示すような関係が成り立つ画像信号処理を施
すことにより、図３（ｃ）に示すような、撮影画像の画
像信号レベルと表示画像の輝度レベルの関係を持たせる
ことができる。これより、図３（ａ）においては、撮影
画像の画像信号レベル変化ｂ１−ｂ２が表示画像の輝度
レベル変化ａ１−ａ２に対応していたのが、撮影画像の
画像信号レベル変化ｂ１−ｂ２が表示画像の輝度レベル
の変化ｃ１−ｃ２（ｃ２＝０）に対応するようになり、
図３（ｂ）においてｋを適当な値にとることにより、結
果的に（ｃ１−ｃ２）／（ａ１−ａ２）＞１だけ表示画
像の輝度レベルの階調差が拡大されて表示されることが
できる。即ち、モニター上に映像化され、表示される輝
度レベル変化を強調した映像を目視でみることができ、
欠陥検出がし易いものとしている。
ーフイルター欠陥検査方法の実施例２を説明する。本実
施例の場合も、図１に示す装置により、撮像された、各
撮像毎にえられた画像信号に対し、画像信号処理を施し
て、得られたモニター用データにより、モニター上に映
像化して、これを目視にて観察することにより欠陥検出
を行う。本実施例のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査方法においては、撮像により得られた画像
信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差をエ
ンハンストするエンハンスト処理を施すことにより、モ
ニター画像用データを得て、このモニター用画像データ
を用い、モニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出す
るもので、実施例１とは、撮像により得られた画像信号
の処理が異なる。以下、本実施例における、撮像により
得られた画像信号の階調差をエンハンストするエッハン
スト処理の１例を、図３を用いて簡単に説明する。簡単
のため、図１において、試料であるビューファインダー
用カラーフイルター１１０を光源１０５で反射明視野照
明にして撮像カメラ１０１撮像した画像信号が画像処理
装置１５０にてエンハンスト処理し、得られたモニター
画像用データがモニターを表示する場合について説明す
る。先ず、撮影した画像信号（データ）を用い、そのま
まモニター上に映像化して表示する場合、図３（ａ）の
ように、撮影画像の画像信号レベルと表示画像の輝度レ
ベルとが１対１に対応した比例関係になるようにする。
ここで、横軸は撮影画像の画像信号レベル、縦軸は表示
画像の輝度レベルである。このような関係にある撮影画
像の画像信号レベルに対し、画像処理装置において、図
３（ｂ）に示すような関係が成り立つ画像信号処理を施
すことにより、図３（ｃ）に示すような、撮影画像の画
像信号レベルと表示画像の輝度レベルの関係を持たせる
ことができる。これより、図３（ａ）においては、撮影
画像の画像信号レベル変化ｂ１−ｂ２が表示画像の輝度
レベル変化ａ１−ａ２に対応していたのが、撮影画像の
画像信号レベル変化ｂ１−ｂ２が表示画像の輝度レベル
の変化ｃ１−ｃ２（ｃ２＝０）に対応するようになり、
図３（ｂ）においてｋを適当な値にとることにより、結
果的に（ｃ１−ｃ２）／（ａ１−ａ２）＞１だけ表示画
像の輝度レベルの階調差が拡大されて表示されることが
できる。即ち、モニター上に映像化され、表示される輝
度レベル変化を強調した映像を目視でみることができ、
欠陥検出がし易いものとしている。
【００１３】
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
査方法は、モニターを目視にて観察することにより、ビ
ューファインダー用カラーフイルターの全欠陥を、簡単
に、正確に検出することを可能としている。これによ
り、ビューファインダー用カラーフイルターの量産化に
も対応できるものとしている。
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
査方法は、モニターを目視にて観察することにより、ビ
ューファインダー用カラーフイルターの全欠陥を、簡単
に、正確に検出することを可能としている。これによ
り、ビューファインダー用カラーフイルターの量産化に
も対応できるものとしている。
【図１】ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥
検査装置の概略図
検査装置の概略図
【図２】実施例１の欠陥検出方法を説明するための図
【図３】実施例２の欠陥検出方法を説明するための図
【図４】フイルター図
【図５】ビューファインダー用カラーフイルターの概略
図
図
１００ 欠陥検査装置 １０１、１０２ 撮像カメラ １０３、１０４ レンズ １０５、１０６、１０７ 光源 １１０ ビューファインダー用カラ
ーフイルター １０８、１０９ ハーフミラー １３０ 保持板 １４０ Ｘ、Ｙステージ １４１ Ｘ、Ｙステージ制御装置 １５０ 画像処理装置 １６０ モニター
ーフイルター １０８、１０９ ハーフミラー １３０ 保持板 １４０ Ｘ、Ｙステージ １４１ Ｘ、Ｙステージ制御装置 １５０ 画像処理装置 １６０ モニター
Claims (2)
- 【請求項１】 透過照明手段およびまたは反射照明手段
を用いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な
保持板上のビューファインダー用カラーフイルターをＣ
ＣＤ素子等の画素分割素子からなる撮像手段により撮像
し、撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニ
ターにて映像化し、該モニターの画像を目視することに
より欠陥を検出する目視欠陥検査方法であって、順次、
（Ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ーを複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平
均処理し、第一の加算平均処理画像信号を得る工程、
（Ｂ）撮影する位置をわずかにずらして、試料であるビ
ューファインダー用カラーフイルターを複数回撮像し、
複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第二の加
算平均処理画像信号を得る工程、（Ｃ）前記第一の加算
平均処理画像信号と第二の加算平均処理画像信号との差
信号を得る工程、（Ｄ）得られた差信号に対し、近傍平
均値の減算あるいは微分処理を施し、所定のスライスレ
ベルで２値化してモニター画像用データを得る工程、
（Ｅ）前記モニター画像用データをモニターにて映像化
し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有することを特
徴とするビューファインダー用カラーフイルターの検査
方法。 - 【請求項２】 透過照明手段およびまたは反射照明手段
を用いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な
保持板上のビューファインダー用カラーフイルターをＣ
ＣＤ素子等の画素分割素子からなる撮像手段により撮像
し、撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニ
ターにて映像化し、該モニターの画像を目視することに
より欠陥を検出する目視欠陥検査方法であって、順次、
（ａ）試料であるビューファインダー用カラーフイルタ
ーを撮像し、画像信号を得る工程、（ｂ）得られた画像
信号に対し、所定輝度領域の輝度信号のみ、階調差をエ
ンハンストするエンハンスト処理を施すことにより、モ
ニター画像用データを得る工程、（ｃ）前記モニター画
像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検
出する工程、とを有することを特徴とするビューファイ
ンダー用カラーフイルターの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19264695A JPH0921724A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19264695A JPH0921724A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0921724A true JPH0921724A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=16294718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19264695A Withdrawn JPH0921724A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0921724A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002014057A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| JP2008241718A (ja) * | 2001-06-22 | 2008-10-09 | Orbotech Ltd | メモリ集積化を用いる高感度光走査 |
| CN107402119A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-28 | 苏州华兴源创电子科技有限公司 | 用于检测oled屏的滤光装置、oled屏的检测装置及方法 |
-
1995
- 1995-07-06 JP JP19264695A patent/JPH0921724A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002014057A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| JP2008241718A (ja) * | 2001-06-22 | 2008-10-09 | Orbotech Ltd | メモリ集積化を用いる高感度光走査 |
| JP2008275611A (ja) * | 2001-06-22 | 2008-11-13 | Orbotech Ltd | メモリ集積化を用いる高感度光走査 |
| US7897902B2 (en) | 2001-06-22 | 2011-03-01 | Orbotech Ltd. | Imaging device and method for high-sensitivity optical scanning and integrated circuit therefor |
| US8119969B2 (en) | 2001-06-22 | 2012-02-21 | Orbotech Ltd | Imaging device and method for high-sensitivity optical scanning and integrated circuit therefor |
| US8536506B2 (en) | 2001-06-22 | 2013-09-17 | Orbotech Ltd. | Imaging device and method for high-sensitivity optical scanning and integrated circuit therefor |
| US9232114B2 (en) | 2001-06-22 | 2016-01-05 | Orbotech Ltd. | Imaging device and method for high-sensitivity optical scanning and integrated circuit therefor |
| CN107402119A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-28 | 苏州华兴源创电子科技有限公司 | 用于检测oled屏的滤光装置、oled屏的检测装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |