JPH07113756A - ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査方法 - Google Patents
ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査方法Info
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- JPH07113756A JPH07113756A JP28390393A JP28390393A JPH07113756A JP H07113756 A JPH07113756 A JP H07113756A JP 28390393 A JP28390393 A JP 28390393A JP 28390393 A JP28390393 A JP 28390393A JP H07113756 A JPH07113756 A JP H07113756A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ビューファインダー用のカラーフイルター
の、表裏のほぼ全面を検査きる欠陥検査方法を提供す
る。 【構成】 ビューファインダー用のカラーフイルター３
を、透明な板の円弧状の凹部７にて保持し、透過照明お
よび／または反射照明にて該ビューファインダー用のカ
ラーフイルターを照射し、撮像カメラ１により撮影し、
得られた信号を画像処理することにより、欠陥検出を行
う。
の、表裏のほぼ全面を検査きる欠陥検査方法を提供す
る。 【構成】 ビューファインダー用のカラーフイルター３
を、透明な板の円弧状の凹部７にて保持し、透過照明お
よび／または反射照明にて該ビューファインダー用のカ
ラーフイルターを照射し、撮像カメラ１により撮影し、
得られた信号を画像処理することにより、欠陥検出を行
う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダーに
用いられるカラーフイルターの外観検査方法に関する。
用いられるカラーフイルターの外観検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥では、
顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近年、ビュ
ーファインダ用ーカラーフイルターについては、益々、
微細化、量産が求められるようになってきた。高精細化
に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠陥を検出する
ことが要求されるようになってきており、従来の投光器
や顕微鏡を用いた肉眼での検査については、人による差
や、再現性に問題がある為、人手でない、自動化された
検査方法が求められるようになってきた。また、量産対
応としても自動化された検査方法が求められるようにな
ってきた。しかしながら、ビューファインダー用カラー
フイルターのにおいては、製品の表裏全面が検査対象領
域となり、製品表裏全面の透過および反射照明で、欠陥
を検査することが必要であり、検査時のビューファイン
ダー用カラーフイルターの固定方法が難しいとされてい
た。ビューファインダー用カラーフイルターの側面を挟
み固定する方法も考えられるが、手間がかり、量産には
不向きである。又、図５のようにして、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの四角部のみで固定することも
提案されているが、この方法の場合、四隅の固定領域に
ついては、検査が不十分（固定側）できない欠点はあっ
たが、それ以外の領域においては、製品表裏で透過照明
および／または反射照明で、欠陥を検出することができ
る。上記のように、ビューファインダー用カラーフイル
ターの表裏全面を、透過照明および／または反射照明を
用い検査できる、量産に対応できる自動検査方法が求め
られていた。
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥では、
顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近年、ビュ
ーファインダ用ーカラーフイルターについては、益々、
微細化、量産が求められるようになってきた。高精細化
に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠陥を検出する
ことが要求されるようになってきており、従来の投光器
や顕微鏡を用いた肉眼での検査については、人による差
や、再現性に問題がある為、人手でない、自動化された
検査方法が求められるようになってきた。また、量産対
応としても自動化された検査方法が求められるようにな
ってきた。しかしながら、ビューファインダー用カラー
フイルターのにおいては、製品の表裏全面が検査対象領
域となり、製品表裏全面の透過および反射照明で、欠陥
を検査することが必要であり、検査時のビューファイン
ダー用カラーフイルターの固定方法が難しいとされてい
た。ビューファインダー用カラーフイルターの側面を挟
み固定する方法も考えられるが、手間がかり、量産には
不向きである。又、図５のようにして、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの四角部のみで固定することも
提案されているが、この方法の場合、四隅の固定領域に
ついては、検査が不十分（固定側）できない欠点はあっ
たが、それ以外の領域においては、製品表裏で透過照明
および／または反射照明で、欠陥を検出することができ
る。上記のように、ビューファインダー用カラーフイル
ターの表裏全面を、透過照明および／または反射照明を
用い検査できる、量産に対応できる自動検査方法が求め
られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、本発明は、ビューファインダー用カラーフイルター
の自動外観検査方法を提供とするもので、詳しくは、自
動検査において、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの表裏全面の撮像に支障のないように保持し、ビュー
ファインダー用カラーフイルターに透過照明および／ま
たは反射照明を照射し、表裏を撮像し、得られた画像信
号を処理することにより欠陥を検出する、自動欠陥検出
方法を提供とするものである。
と、本発明は、ビューファインダー用カラーフイルター
の自動外観検査方法を提供とするもので、詳しくは、自
動検査において、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの表裏全面の撮像に支障のないように保持し、ビュー
ファインダー用カラーフイルターに透過照明および／ま
たは反射照明を照射し、表裏を撮像し、得られた画像信
号を処理することにより欠陥を検出する、自動欠陥検出
方法を提供とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検査方法は、ビューファ
インダー用カラーフイルターを、透過照明および／また
は反射照明により照射し、撮像手段により撮影し、得ら
れた信号を画像処理することにより欠陥検出をする自動
検査方法であって、ビューファインダー用カラーフイル
ターを、着色面を上として、透明な板の円弧状の凹部に
て保持しながら検査を行うものである。図１、図２に示
すように、透明な板の円弧状の凹部にてビューファイン
ダー用カラーフイルターを保持した場合、板とカラーフ
イルターの接点は、カラーフイルターのエッヂ部のみで
あり、それ以外の領域では、両者は離れた状態となる。
これにより、ビューファインダー用カラーフイルターの
表裏のほぼ全領域を、透過照明およびまたは反射照明を
照射してＣＣＤエリアセンサー等からなる撮像手段によ
り撮影することができる。又、このようにすることによ
り、被検査物であるビューファインダー用カラーフイル
ターの表裏のほぼ全領域が、他のものと接していない
為、表裏面での、汚れや傷の発生を皆無としている。
尚、透明な保持板の、カラーフイルター側の円弧状の凹
部は、レンズ効果、干渉等による検査への悪影響が顕著
とならない範囲のものである。
ダー用カラーフイルターの欠陥検査方法は、ビューファ
インダー用カラーフイルターを、透過照明および／また
は反射照明により照射し、撮像手段により撮影し、得ら
れた信号を画像処理することにより欠陥検出をする自動
検査方法であって、ビューファインダー用カラーフイル
ターを、着色面を上として、透明な板の円弧状の凹部に
て保持しながら検査を行うものである。図１、図２に示
すように、透明な板の円弧状の凹部にてビューファイン
ダー用カラーフイルターを保持した場合、板とカラーフ
イルターの接点は、カラーフイルターのエッヂ部のみで
あり、それ以外の領域では、両者は離れた状態となる。
これにより、ビューファインダー用カラーフイルターの
表裏のほぼ全領域を、透過照明およびまたは反射照明を
照射してＣＣＤエリアセンサー等からなる撮像手段によ
り撮影することができる。又、このようにすることによ
り、被検査物であるビューファインダー用カラーフイル
ターの表裏のほぼ全領域が、他のものと接していない
為、表裏面での、汚れや傷の発生を皆無としている。
尚、透明な保持板の、カラーフイルター側の円弧状の凹
部は、レンズ効果、干渉等による検査への悪影響が顕著
とならない範囲のものである。
【０００５】又、本発明の欠陥検査方法は、ビューファ
インダー用カラーフイルターを、透明な円弧状の凹部を
有する保持板側から反射暗視野照明するものである。ビ
ューファインダー用カラーフイルターの着色面側を上側
とし、透明な板側にて反射暗視野照明することにより、
カラーフイルターのガラス面側の微細な汚れ、傷等の欠
陥の検出ができる。
インダー用カラーフイルターを、透明な円弧状の凹部を
有する保持板側から反射暗視野照明するものである。ビ
ューファインダー用カラーフイルターの着色面側を上側
とし、透明な板側にて反射暗視野照明することにより、
カラーフイルターのガラス面側の微細な汚れ、傷等の欠
陥の検出ができる。
【０００６】
【作用】本発明の欠陥検査方法は、ビューファインダー
用カラーフイルターを、透過照明および／または反射照
明により照射し、該ビューファインダー用カラーフイル
ターを撮像手段により撮影し、得られた信号を画像処理
することにより、カラーフイルターの表裏の自動欠陥検
査を可能としており、ビューファインダー用カラーフイ
ルターを、透明な板の円弧状の凹部にて保持しながら検
査することにより、カラーフイルターの表裏のほぼ全領
域の自動検査をできるものしている。そして又、透明な
板の円弧状の凹部にて保持しながら検査することによ
り、検査時でのカラーフイルター表裏面での、汚れや傷
の発生を皆無としている。又、透明な板側にて反射暗視
野照明することにより、カラーフイルターのガラス面で
の微細な、汚れ、傷の検出を可能としている。結局この
ような構成にすることにより、微細化、量産に対応でき
る、ビューファインダー用カラーフイルターの自動外観
検査方法の提供を可能としている。
用カラーフイルターを、透過照明および／または反射照
明により照射し、該ビューファインダー用カラーフイル
ターを撮像手段により撮影し、得られた信号を画像処理
することにより、カラーフイルターの表裏の自動欠陥検
査を可能としており、ビューファインダー用カラーフイ
ルターを、透明な板の円弧状の凹部にて保持しながら検
査することにより、カラーフイルターの表裏のほぼ全領
域の自動検査をできるものしている。そして又、透明な
板の円弧状の凹部にて保持しながら検査することによ
り、検査時でのカラーフイルター表裏面での、汚れや傷
の発生を皆無としている。又、透明な板側にて反射暗視
野照明することにより、カラーフイルターのガラス面で
の微細な、汚れ、傷の検出を可能としている。結局この
ような構成にすることにより、微細化、量産に対応でき
る、ビューファインダー用カラーフイルターの自動外観
検査方法の提供を可能としている。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１における自動検査装置の構成を示す
図で、ビューファインダー用カラーフイルター３を、着
色面側を上としてガラス面側で円弧状の凹部を設けた透
明な保持板４にて保持した状態で、透明な保持板４側か
ら光源２ａにより透過照明、カラーフイルター３着色面
側からは光源２ｂによりハーフミラー６を介して反射照
明して、ＣＣＤエリアセンサーからなる撮像カメラ１に
て撮影した画像信号を画像処理装置５にて処理する。図
中１は撮像カメラ、２ａ、２ｂは光源、３は実施例１で
用いたビューファインダー用カラーフイルター、４は保
持板、５は画像処理装置、６はハーフミラーである。撮
像カメラ１はＣＣＤエリアセンサーを有し、ビューファ
インダー用カラーフイルター３の像全面がレンズを通し
ＣＣＤエリアセンサー上に結像される。光源２ａはビュ
ーファインダー用カラーフイルター３の全面を透過照明
しており、光源２ｂはハーフミラー６で反射させてビュ
ーファインダー用カラーフイルター３の全面を反射明視
野照明している。保持板４はカラーフイルター３を保持
するためのためのもので、カラーフイルター３を保持す
る側は円弧状の凹部を形成しており、この部分にてカラ
ーフイルター３を保持している為、カラーフイルター３
は、保持板４にガラス面側のエッヂ部のみで、保持板４
と接する。又、保持板４は透明板であり、光源２ａによ
りカラーフイルター３の表裏の全面を照射することを可
能としている。尚、円弧状の凹部を設けた透明な、カラ
ーフイルター３の保持板４の拡大図を図３に示すが、カ
ラーフイルターのガラス面と最大間隔で０．５ｍｍ程度
となるものを使用したが、これは、ビューファインダー
用カラーフイルターのサイズが約１５ｍｍ×１３ｍｍ程
度であることより、保持板４に円弧状の凹部を形成する
ことにより、レンズ効果、干渉等による検査への悪影響
が顕著とならない範囲のものである。
る。図１は実施例１における自動検査装置の構成を示す
図で、ビューファインダー用カラーフイルター３を、着
色面側を上としてガラス面側で円弧状の凹部を設けた透
明な保持板４にて保持した状態で、透明な保持板４側か
ら光源２ａにより透過照明、カラーフイルター３着色面
側からは光源２ｂによりハーフミラー６を介して反射照
明して、ＣＣＤエリアセンサーからなる撮像カメラ１に
て撮影した画像信号を画像処理装置５にて処理する。図
中１は撮像カメラ、２ａ、２ｂは光源、３は実施例１で
用いたビューファインダー用カラーフイルター、４は保
持板、５は画像処理装置、６はハーフミラーである。撮
像カメラ１はＣＣＤエリアセンサーを有し、ビューファ
インダー用カラーフイルター３の像全面がレンズを通し
ＣＣＤエリアセンサー上に結像される。光源２ａはビュ
ーファインダー用カラーフイルター３の全面を透過照明
しており、光源２ｂはハーフミラー６で反射させてビュ
ーファインダー用カラーフイルター３の全面を反射明視
野照明している。保持板４はカラーフイルター３を保持
するためのためのもので、カラーフイルター３を保持す
る側は円弧状の凹部を形成しており、この部分にてカラ
ーフイルター３を保持している為、カラーフイルター３
は、保持板４にガラス面側のエッヂ部のみで、保持板４
と接する。又、保持板４は透明板であり、光源２ａによ
りカラーフイルター３の表裏の全面を照射することを可
能としている。尚、円弧状の凹部を設けた透明な、カラ
ーフイルター３の保持板４の拡大図を図３に示すが、カ
ラーフイルターのガラス面と最大間隔で０．５ｍｍ程度
となるものを使用したが、これは、ビューファインダー
用カラーフイルターのサイズが約１５ｍｍ×１３ｍｍ程
度であることより、保持板４に円弧状の凹部を形成する
ことにより、レンズ効果、干渉等による検査への悪影響
が顕著とならない範囲のものである。
【０００８】検出処理としては、透過照明および／また
は反射照明により照明して撮像カメラ１で撮影した映像
信号が画像処理装置５に入り、強調処理等を施して欠陥
が検出されるが、以下、画像処理について、一例を挙
げ、図４にそって説明する。先ず、試料の同一箇所にお
いて複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得
て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理す
る。これは、欠陥部を含む箇所については、図４の
（ａ）のような光透過率分布をえるが、撮像装置からの
ビデオ信号は（ｂ）のように、パターンの照明ムラ、撮
像面の感度ムラ等によるゆるやかな信号変化（シエーデ
イング）とビデオ信号回路で発生するランダムノイズ、
および光学系に付着したゴミなどによる信号の局部的変
化とが含まれた信号となってしまうことに対応するもの
で、同一箇所において、複数回、撮像手段によって撮像
し、画像信号を得て、得られた複数回分の画像信号を積
算、平均処理するもので、これにより（ｃ）のように、
加算回数をＮとした場合には、ランダムノイズの比率は
１／Ｎ1/2 となる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は
欠陥部を示すもので、Ｃは光学系に付着したゴミ等によ
る信号の局部的変化を示すものである。次いで、撮像す
る位置をわずかにずらして、同様に積算、平均処理する
ことにより、信号（ｃ）をわずかに変位させた信号
（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号を
えると（ｅ）のようになり、ゆるやかな信号変化（シエ
ーデイング）や撮像する位置の移動により変化しない信
号分が除去される。ここでは、光の透過率変化による信
号分と低減されたランダムノイズ成分だけが残るが、更
に、この信号（ｅ）について、近傍平均値の減算あるい
は微分処理を施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号
変化（シエーデイング）成分も除去され、結果として、
得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相当のみが局部的に変
化しており、強調されていることが分かる。又、スライ
ス処理による２値化については、信号（ｆ）を所定のス
ライスレベルＳＬで処理するもので、欠陥部のみを判定
し２値化するものである。尚、図４の（ｅ）での欠陥部
における信号の反転の順序によって、欠陥の種類（白欠
陥、黒欠陥）が識別できる。尚、ここでは、白欠陥と
は、着色パターン部のピンホールや絵柄欠けを言い、黒
欠陥とは、着色パターン部の所定の絵柄以外の余分な着
色部分または遮光部分を言っており、汚れやガラス部の
キズも黒欠陥として検出される。
は反射照明により照明して撮像カメラ１で撮影した映像
信号が画像処理装置５に入り、強調処理等を施して欠陥
が検出されるが、以下、画像処理について、一例を挙
げ、図４にそって説明する。先ず、試料の同一箇所にお
いて複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得
て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理す
る。これは、欠陥部を含む箇所については、図４の
（ａ）のような光透過率分布をえるが、撮像装置からの
ビデオ信号は（ｂ）のように、パターンの照明ムラ、撮
像面の感度ムラ等によるゆるやかな信号変化（シエーデ
イング）とビデオ信号回路で発生するランダムノイズ、
および光学系に付着したゴミなどによる信号の局部的変
化とが含まれた信号となってしまうことに対応するもの
で、同一箇所において、複数回、撮像手段によって撮像
し、画像信号を得て、得られた複数回分の画像信号を積
算、平均処理するもので、これにより（ｃ）のように、
加算回数をＮとした場合には、ランダムノイズの比率は
１／Ｎ1/2 となる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は
欠陥部を示すもので、Ｃは光学系に付着したゴミ等によ
る信号の局部的変化を示すものである。次いで、撮像す
る位置をわずかにずらして、同様に積算、平均処理する
ことにより、信号（ｃ）をわずかに変位させた信号
（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号を
えると（ｅ）のようになり、ゆるやかな信号変化（シエ
ーデイング）や撮像する位置の移動により変化しない信
号分が除去される。ここでは、光の透過率変化による信
号分と低減されたランダムノイズ成分だけが残るが、更
に、この信号（ｅ）について、近傍平均値の減算あるい
は微分処理を施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号
変化（シエーデイング）成分も除去され、結果として、
得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相当のみが局部的に変
化しており、強調されていることが分かる。又、スライ
ス処理による２値化については、信号（ｆ）を所定のス
ライスレベルＳＬで処理するもので、欠陥部のみを判定
し２値化するものである。尚、図４の（ｅ）での欠陥部
における信号の反転の順序によって、欠陥の種類（白欠
陥、黒欠陥）が識別できる。尚、ここでは、白欠陥と
は、着色パターン部のピンホールや絵柄欠けを言い、黒
欠陥とは、着色パターン部の所定の絵柄以外の余分な着
色部分または遮光部分を言っており、汚れやガラス部の
キズも黒欠陥として検出される。
【０００９】次いで、実施例２を図２を参照にしながら
説明する。図２は実施例２における自動検査装置の構成
を示す図で、ビューファインダー用カラーフイルター１
３を円弧状の凹部を設けた透明な保持板１４で保持し、
カラーフイルター１３の透明な保持板１４側をリング状
の光源１２により、反射暗視野照明して、ＣＣＤエリア
センサーからなる撮像カメラ１１にて撮影した画像信号
を画像処理装置１５にて処理する。撮像カメラ１１は、
ＣＣＤエリアセンサーを有し、カラーフイルター１３の
像全面がレンズを通し、ＣＣＤエリアセンサー上に結像
される。光源１２はビューファインダー用カラーフイル
ター１３の全面を反射暗視野照明している。ここでは、
リング型ファイバー光源を使用しているがこれに限定は
されない。ここで用いた円弧状の凹部を有する、透明な
保持板については、実施例１と同様で、カラーフイルタ
ーのガラス面と最大間隔で０．５ｍｍ程度となるもの
で、これは、ビューファインダー用カラーフイルターの
サイズが約１５ｍｍ×１３ｍｍ程度であることより、保
持板４に円弧状の凹部を形成することにより、レンズ効
果、干渉等による検査への悪影響が顕著とならない範囲
のものである。実施例１と同様に、カラーフイルター１
３のガラス面側のエッヂ部分のみが保持板１４と接する
こととなる為、カラーフイルター１３のガラス面のほぼ
全域を照明することができ、ガラス面のほぼ全域を撮影
することができる。そして、反射暗視野照明により、カ
ラーフイルター１３のガラス面側を照射しており、ガラ
ス面側のほぼ全領域について、微細な汚れ、傷等の欠陥
を保持板１４の影響を受けずに検出することを可能とし
ている。又、検査時に、カラーフイルター３のほぼ表裏
の全域が他と接することがなく、ゴミが付着したり、傷
がつくのを防止している。検出処理としては、反射暗視
野照明して撮像カメラで撮影した映像信号が画像処理装
置に入り、実施例１とほぼ同様にして強調処理等を施し
て欠陥が検出される。尚、暗視野光は、光軸が撮像手段
の受光部の光軸と一致しない為、受光部への暗視野照明
による光は、ほぼ、欠陥部の回折光のみが、検出される
為、明視野照明の場合に比べＳ／Ｎが大きくなる。
説明する。図２は実施例２における自動検査装置の構成
を示す図で、ビューファインダー用カラーフイルター１
３を円弧状の凹部を設けた透明な保持板１４で保持し、
カラーフイルター１３の透明な保持板１４側をリング状
の光源１２により、反射暗視野照明して、ＣＣＤエリア
センサーからなる撮像カメラ１１にて撮影した画像信号
を画像処理装置１５にて処理する。撮像カメラ１１は、
ＣＣＤエリアセンサーを有し、カラーフイルター１３の
像全面がレンズを通し、ＣＣＤエリアセンサー上に結像
される。光源１２はビューファインダー用カラーフイル
ター１３の全面を反射暗視野照明している。ここでは、
リング型ファイバー光源を使用しているがこれに限定は
されない。ここで用いた円弧状の凹部を有する、透明な
保持板については、実施例１と同様で、カラーフイルタ
ーのガラス面と最大間隔で０．５ｍｍ程度となるもの
で、これは、ビューファインダー用カラーフイルターの
サイズが約１５ｍｍ×１３ｍｍ程度であることより、保
持板４に円弧状の凹部を形成することにより、レンズ効
果、干渉等による検査への悪影響が顕著とならない範囲
のものである。実施例１と同様に、カラーフイルター１
３のガラス面側のエッヂ部分のみが保持板１４と接する
こととなる為、カラーフイルター１３のガラス面のほぼ
全域を照明することができ、ガラス面のほぼ全域を撮影
することができる。そして、反射暗視野照明により、カ
ラーフイルター１３のガラス面側を照射しており、ガラ
ス面側のほぼ全領域について、微細な汚れ、傷等の欠陥
を保持板１４の影響を受けずに検出することを可能とし
ている。又、検査時に、カラーフイルター３のほぼ表裏
の全域が他と接することがなく、ゴミが付着したり、傷
がつくのを防止している。検出処理としては、反射暗視
野照明して撮像カメラで撮影した映像信号が画像処理装
置に入り、実施例１とほぼ同様にして強調処理等を施し
て欠陥が検出される。尚、暗視野光は、光軸が撮像手段
の受光部の光軸と一致しない為、受光部への暗視野照明
による光は、ほぼ、欠陥部の回折光のみが、検出される
為、明視野照明の場合に比べＳ／Ｎが大きくなる。
【００１０】
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明の欠陥検査方法は、ビューファインダー用カラーカ
ラーフイルターの微細化、量産に対応できる、自動外観
検査方法の提供を可能としている。
発明の欠陥検査方法は、ビューファインダー用カラーカ
ラーフイルターの微細化、量産に対応できる、自動外観
検査方法の提供を可能としている。
【図１】本発明実施例１の装置概略図
【図２】本発明実施例２の装置概略図
【図３】本発明実施例１における保持板部拡大図
【図４】本発明の実施例における画像処理を説明するた
めの図
めの図
【図５】従来の欠陥検査におけるビューファインダー用
カラーフイルターの保持図
カラーフイルターの保持図
１ 、１１ 撮像カメラ ２ａ、２ｂ、１２ 光源 ３ 、１３、２３ ビューファインダー用カ
ラーフイルター ４ 、１４、２４ 保持板 ５ 、１５ 画像処理装置 ６ 、１６ ハーフミラー ７ 、１７ 円弧状の凹部
ラーフイルター ４ 、１４、２４ 保持板 ５ 、１５ 画像処理装置 ６ 、１６ ハーフミラー ７ 、１７ 円弧状の凹部
Claims (2)
- 【請求項１】 ビューファインダー用カラーフイルター
を、透過照明および／または反射照明により照射し、撮
像手段により撮影し、得られた信号を画像処理すること
により欠陥検出をする、自動検査方法において、ビュー
ファインダー用カラーフイルターを、着色面を上とし
て、透明な板の円弧状の凹部にて保持しながら検査を行
うことを特徴とする欠陥検査方法。 - 【請求項２】 請求項１において、ビューファインダー
用カラーフイルターを、透明な板側から反射暗視野照明
することを特徴とする欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28390393A JPH07113756A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28390393A JPH07113756A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113756A true JPH07113756A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17671682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28390393A Withdrawn JPH07113756A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113756A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162492A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Daishinku Corp | 検査装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
| TWI405962B (zh) * | 2005-02-23 | 2013-08-21 | Toray Eng Co Ltd | A stain detection method and a device thereof |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP28390393A patent/JPH07113756A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI405962B (zh) * | 2005-02-23 | 2013-08-21 | Toray Eng Co Ltd | A stain detection method and a device thereof |
| JP2009162492A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Daishinku Corp | 検査装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
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