JPH07103905A - 傷検査装置 - Google Patents
傷検査装置Info
- Publication number
- JPH07103905A JPH07103905A JP5276062A JP27606293A JPH07103905A JP H07103905 A JPH07103905 A JP H07103905A JP 5276062 A JP5276062 A JP 5276062A JP 27606293 A JP27606293 A JP 27606293A JP H07103905 A JPH07103905 A JP H07103905A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半透明ガラス製品の表面または内部に存在す
る亀裂を容易に検出する傷検査装置であって、あらゆる
方向に存在する亀裂であっても死角を発生することなく
検出性能の低下を防ぐ傷検査装置を提供する。 【構成】 光の照射方向が被測定対象物の水平方向に互
いに約９０°ずれた位置に配置された３台の照明と、該
３台の照明に対し水平方向に４５°ずれた位置に配置さ
れた２台の撮像手段と、該撮像手段出力である画像信号
を入力する画像入力手段と、該画像入力手段出力を入力
し、前期比測定対象物の表面或いは内部に存在する亀
裂、傷等の特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽
出手段出力から入力した信号に基づいて傷、亀裂等の存
在判定を行う傷判定手段とを備えることにより、被測定
対象物の内部に存在する亀裂面を強調させ、確実に検出
することを可能としたものである。
る亀裂を容易に検出する傷検査装置であって、あらゆる
方向に存在する亀裂であっても死角を発生することなく
検出性能の低下を防ぐ傷検査装置を提供する。 【構成】 光の照射方向が被測定対象物の水平方向に互
いに約９０°ずれた位置に配置された３台の照明と、該
３台の照明に対し水平方向に４５°ずれた位置に配置さ
れた２台の撮像手段と、該撮像手段出力である画像信号
を入力する画像入力手段と、該画像入力手段出力を入力
し、前期比測定対象物の表面或いは内部に存在する亀
裂、傷等の特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽
出手段出力から入力した信号に基づいて傷、亀裂等の存
在判定を行う傷判定手段とを備えることにより、被測定
対象物の内部に存在する亀裂面を強調させ、確実に検出
することを可能としたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は傷検査装置に関するもの
であり、とりわけ水晶素板、擦りガラス等の半透明ガラ
ス製品の表面あるいは内部の傷、亀裂を検出する傷検出
装置の亀裂検出部の構成の改良に関するものである。
であり、とりわけ水晶素板、擦りガラス等の半透明ガラ
ス製品の表面あるいは内部の傷、亀裂を検出する傷検出
装置の亀裂検出部の構成の改良に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来より、ガラス製品等の傷検査装置の画
像取り込みに際しては、図４に示す如く被検査物１を載
置台２上に載置した後で、ＣＣＤカメラ３の下方に配置
したリング状発光部を有する無影照明４を発光させて、
被検査物１を照射すると共に、ＣＣＤカメラ３から被検
査物１の画像を画像入力手段５に取り込み、更に特徴抽
出手段６、判定手段７を介して処理を行うのが一般的で
ある。また、被検査物１の表面或は内部に存在する亀裂
をより確実に検出するために、斜め照明８を用いて前記
被検査物１の斜め方向から被検査物１の表面に光を照射
するか、或いは被検査物１の側面から帯状の光を入射さ
せる方法も従来から利用されている。
像取り込みに際しては、図４に示す如く被検査物１を載
置台２上に載置した後で、ＣＣＤカメラ３の下方に配置
したリング状発光部を有する無影照明４を発光させて、
被検査物１を照射すると共に、ＣＣＤカメラ３から被検
査物１の画像を画像入力手段５に取り込み、更に特徴抽
出手段６、判定手段７を介して処理を行うのが一般的で
ある。また、被検査物１の表面或は内部に存在する亀裂
をより確実に検出するために、斜め照明８を用いて前記
被検査物１の斜め方向から被検査物１の表面に光を照射
するか、或いは被検査物１の側面から帯状の光を入射さ
せる方法も従来から利用されている。
【０００３】このような従来の傷検査装置は、無影照明
４及び斜め照明８を被検査物１の表面に照射し、被検査
物１の表面からの反射光をＣＣＤカメラで撮像すること
により、被検査物１の画像を取り込み、処理を行うもの
である。
４及び斜め照明８を被検査物１の表面に照射し、被検査
物１の表面からの反射光をＣＣＤカメラで撮像すること
により、被検査物１の画像を取り込み、処理を行うもの
である。
【０００４】また、被検査物の表面或いは内部に存在す
る亀裂に関しては、一般に各照明から照射される光線の
照射方向と亀裂面との角度が直角に近いほど反射光量が
多くなるため、前述したような斜め照明８を用いること
より亀裂を検出することが一層容易となる。
る亀裂に関しては、一般に各照明から照射される光線の
照射方向と亀裂面との角度が直角に近いほど反射光量が
多くなるため、前述したような斜め照明８を用いること
より亀裂を検出することが一層容易となる。
【０００５】しかしながら、斜め照明８から出射する光
線が被検査物１に入射する入射角度と被検査物１の表面
或は内部に存在する亀裂の亀裂面との角度が所定角度以
上ない限り、亀裂面からの反射光が発生することがほと
んどなくなり、その結果、亀裂面の存在を明確に示す画
像を取り込むことができなくなる。更に、亀裂面が被検
査物の上部表面と直交する方向に存在している場合に
は、ＣＣＤカメラ３で捉えられる光量はかなり減少し、
検出感度が低下するという欠点がある。更に、水晶素板
或は擦りガラス等の半透明ガラス製品はその表面に凹凸
が存在するので、各照明から出射した光線は表面で拡散
され、亀裂面に当たる光量そのものが減少し、また、Ｃ
ＣＤカメラ３への入射光量も減衰するので、検出感度が
更に低下するという欠点がある。
線が被検査物１に入射する入射角度と被検査物１の表面
或は内部に存在する亀裂の亀裂面との角度が所定角度以
上ない限り、亀裂面からの反射光が発生することがほと
んどなくなり、その結果、亀裂面の存在を明確に示す画
像を取り込むことができなくなる。更に、亀裂面が被検
査物の上部表面と直交する方向に存在している場合に
は、ＣＣＤカメラ３で捉えられる光量はかなり減少し、
検出感度が低下するという欠点がある。更に、水晶素板
或は擦りガラス等の半透明ガラス製品はその表面に凹凸
が存在するので、各照明から出射した光線は表面で拡散
され、亀裂面に当たる光量そのものが減少し、また、Ｃ
ＣＤカメラ３への入射光量も減衰するので、検出感度が
更に低下するという欠点がある。
【０００６】
【発明の目的】本発明は上記した問題点を除去し、半透
明ガラス製品の表面または内部に存在する亀裂を容易に
検出する傷検査装置を提供するものであり、いかなる方
向に向って延在する亀裂であっても死角を発生すること
なく検出することを可能ならしめて、検出性能の低下を
防ぐ傷検査装置を提供することを目的としている。
明ガラス製品の表面または内部に存在する亀裂を容易に
検出する傷検査装置を提供するものであり、いかなる方
向に向って延在する亀裂であっても死角を発生すること
なく検出することを可能ならしめて、検出性能の低下を
防ぐ傷検査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【発明の概要】上記目的を達成する為、本発明の傷検査
装置は、光の照射方向が被測定対象物の水平方向に互い
に約９０°ずれた位置に配置された３台の照明と、該３
台の照明に対し水平方向に４５°ずれた位置に配置され
た２台の撮像手段と、該撮像手段出力である画像信号を
入力する画像入力手段と、該画像入力手段出力を入力
し、前期比測定対象物の表面或いは内部に存在する亀
裂、傷等の特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽
出手段出力から入力した信号に基づいて傷、亀裂等の存
在判定を行う傷判定手段とを備えることにより、被測定
対象物の内部に存在する亀裂面を強調させ、確実に検出
することを可能としたものである。
装置は、光の照射方向が被測定対象物の水平方向に互い
に約９０°ずれた位置に配置された３台の照明と、該３
台の照明に対し水平方向に４５°ずれた位置に配置され
た２台の撮像手段と、該撮像手段出力である画像信号を
入力する画像入力手段と、該画像入力手段出力を入力
し、前期比測定対象物の表面或いは内部に存在する亀
裂、傷等の特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽
出手段出力から入力した信号に基づいて傷、亀裂等の存
在判定を行う傷判定手段とを備えることにより、被測定
対象物の内部に存在する亀裂面を強調させ、確実に検出
することを可能としたものである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例の傷検査装置
の概念を示す図であり、同図に示すように、本発明に係
る傷検査装置の撮像系は、その撮像方向が互いに９０°
異なるように配置された２つのＣＣＤカメラ１０、１１
と、該ＣＣＤカメラ１０、１１に対して水平方向に４５
°ずれた位置に配置された３つの斜め照明１２乃至１４
から構成する。即ち、ＣＣＤカメラ１０に入射する光線
の光軸と斜め照明１２或いは１３より出射する光線の光
軸とは互いに４５°ずれ、一方、ＣＣＤカメラ１１に入
射する光線の光軸と、斜め照明１３或いは１４より出射
する光線の光軸とも互いに４５°ずれた位置関係にあ
る。
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例の傷検査装置
の概念を示す図であり、同図に示すように、本発明に係
る傷検査装置の撮像系は、その撮像方向が互いに９０°
異なるように配置された２つのＣＣＤカメラ１０、１１
と、該ＣＣＤカメラ１０、１１に対して水平方向に４５
°ずれた位置に配置された３つの斜め照明１２乃至１４
から構成する。即ち、ＣＣＤカメラ１０に入射する光線
の光軸と斜め照明１２或いは１３より出射する光線の光
軸とは互いに４５°ずれ、一方、ＣＣＤカメラ１１に入
射する光線の光軸と、斜め照明１３或いは１４より出射
する光線の光軸とも互いに４５°ずれた位置関係にあ
る。
【０００９】また、図２に示すように、前記ＣＣＤカメ
ラ及び斜め照明は被検査物２０の水平面に対し４５°の
角度をもった位置に配置されている。前記ＣＣＤカメラ
１０、１１及び斜め照明１２、１３、１４はそれぞれ画
像入力手段１５によりコントロールされると共に、前記
ＣＣＤカメラ１０、１１によって撮像された画像信号
は、前記画像入力手段１５、特徴抽出手段１６を介して
判定手段１７に入力する。
ラ及び斜め照明は被検査物２０の水平面に対し４５°の
角度をもった位置に配置されている。前記ＣＣＤカメラ
１０、１１及び斜め照明１２、１３、１４はそれぞれ画
像入力手段１５によりコントロールされると共に、前記
ＣＣＤカメラ１０、１１によって撮像された画像信号
は、前記画像入力手段１５、特徴抽出手段１６を介して
判定手段１７に入力する。
【００１０】図３はＣＣＤカメラ１０、１１、斜め照明
１２乃至１４及び被検査物２０の亀裂状態を示す平面図
であり、傷検査装置の動作について同図を用いて説明す
る。まず、画像入力手段１５の制御部からの信号により
斜め照明１２が点灯し、ＣＣＤカメラ１０が撮像状態と
なり、第一の画像を取り込み、その後、照明１２が消
灯、照明１３が点灯し、再びＣＣＤカメラ１０により撮
像が行われ、第二の画像が取り込まれる。即ち、亀裂ａ
〜ｄの内、ＣＣＤカメラ１０で捉えることができるもの
は、前記ＣＣＤカメラ１０の撮像方向と平行した亀裂ｃ
を除く亀裂ａ、ｂ、ｄであり、また、照明１２から出射
した光線を反射させることができる亀裂面は亀裂ｄを除
く亀裂ａ、ｂ、ｃであるので、照明１２・ＣＣＤカメラ
１０の組み合わせにより撮像可能な亀裂は亀裂ａ及びｂ
となる。同様に、照明１３・ＣＣＤカメラ１０の組み合
わせにより撮像可能な亀裂は亀裂ａ及びｄとなる。
１２乃至１４及び被検査物２０の亀裂状態を示す平面図
であり、傷検査装置の動作について同図を用いて説明す
る。まず、画像入力手段１５の制御部からの信号により
斜め照明１２が点灯し、ＣＣＤカメラ１０が撮像状態と
なり、第一の画像を取り込み、その後、照明１２が消
灯、照明１３が点灯し、再びＣＣＤカメラ１０により撮
像が行われ、第二の画像が取り込まれる。即ち、亀裂ａ
〜ｄの内、ＣＣＤカメラ１０で捉えることができるもの
は、前記ＣＣＤカメラ１０の撮像方向と平行した亀裂ｃ
を除く亀裂ａ、ｂ、ｄであり、また、照明１２から出射
した光線を反射させることができる亀裂面は亀裂ｄを除
く亀裂ａ、ｂ、ｃであるので、照明１２・ＣＣＤカメラ
１０の組み合わせにより撮像可能な亀裂は亀裂ａ及びｂ
となる。同様に、照明１３・ＣＣＤカメラ１０の組み合
わせにより撮像可能な亀裂は亀裂ａ及びｄとなる。
【００１１】次に、画像入力手段１５からの制御信号に
よりＣＣＤカメラ１１が撮像状態に切り替わり、照明１
３・ＣＣＤカメラ１１の組み合わせにより亀裂ｃ、ｄが
第三の画像として撮像され、照明１４・ＣＣＤカメラ１
１の組み合わせにより亀裂ｂ、ｃが第四の画像信号とし
て捉えられる。
よりＣＣＤカメラ１１が撮像状態に切り替わり、照明１
３・ＣＣＤカメラ１１の組み合わせにより亀裂ｃ、ｄが
第三の画像として撮像され、照明１４・ＣＣＤカメラ１
１の組み合わせにより亀裂ｂ、ｃが第四の画像信号とし
て捉えられる。
【００１２】このように第一乃至第四の画像信号を画像
入力手段に記憶し、これらすべての画像信号それぞれに
ついて特徴抽出、良否判定を行うことにより、被検査物
２０の表面或いは内部に存在する亀裂の発生方向がいか
なる方向であるとしても、確実に亀裂を捉えることが可
能となる。即ち、各画像は亀裂の方向に対してほぼ９０
°の範囲で感度があるため、４画像で３６０°の検出範
囲をもつことになり、各画像にたいして特徴抽出手段１
６、良否判定手段１７を介して判定を行い、亀裂方向に
依存しない検査が可能となる。また、各照明の配置とし
ては、互いに９０°異なった方向に照射し、各照明の間
にＣＣＤカメラが配置されるものを用いて説明したが、
各照明及び各ＣＣＤカメラの配置角度は厳密なものでは
なく、多少のずれは許容される。
入力手段に記憶し、これらすべての画像信号それぞれに
ついて特徴抽出、良否判定を行うことにより、被検査物
２０の表面或いは内部に存在する亀裂の発生方向がいか
なる方向であるとしても、確実に亀裂を捉えることが可
能となる。即ち、各画像は亀裂の方向に対してほぼ９０
°の範囲で感度があるため、４画像で３６０°の検出範
囲をもつことになり、各画像にたいして特徴抽出手段１
６、良否判定手段１７を介して判定を行い、亀裂方向に
依存しない検査が可能となる。また、各照明の配置とし
ては、互いに９０°異なった方向に照射し、各照明の間
にＣＣＤカメラが配置されるものを用いて説明したが、
各照明及び各ＣＣＤカメラの配置角度は厳密なものでは
なく、多少のずれは許容される。
【００１３】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、水晶素
板或いは擦りガラスのような半透明ガラス製品等その表
面に凹凸がある検査物であっても、照明の拡散或いは亀
裂よりの反射光の減衰を考慮して検査対称物の撮像を複
数方向から行うため、感度の高い傷検出が可能となる。
板或いは擦りガラスのような半透明ガラス製品等その表
面に凹凸がある検査物であっても、照明の拡散或いは亀
裂よりの反射光の減衰を考慮して検査対称物の撮像を複
数方向から行うため、感度の高い傷検出が可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す傷検査装置の概念図を
示す図。
示す図。
【図２】本発明に用いるＣＣＤカメラ及び斜め照明の垂
直方向の配置状態を示す図。
直方向の配置状態を示す図。
【図３】被検査物の亀裂状態を示す平面図。
【図４】従来のガラス製品等の傷検査装置の概略構成を
示す図。
示す図。
１０、１１・・・画像取り込み手段（ＣＣＤカメラ）、 １２、１３、１４・・・照明、 １５・・・画像入力手段、 １６・・・特徴抽出手段、 １７・・・判定手段、 ２０・・・被測定物、 ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・亀裂
Claims (1)
- 【請求項１】 光の照射方向が被測定対象物の水平方向
に互いに約９０°ずれた位置に配置された３台の照明
と、前記３台の照明に対し水平方向に約４５°ずれた位
置であって、互いの撮像方向が約９０。ずれた位置に配
置された２台の撮像手段と、前記撮像手段出力である画
像信号を入力する画像入力手段と、前記画像入力手段出
力を入力し、前期比測定対象物の表面或いは内部に存在
する亀裂、傷等の特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記
特徴抽出手段出力から入力した信号に基づいて傷、亀裂
等の存在判定を行う傷判定手段とを備えたことを特徴と
する傷検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276062A JPH07103905A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 傷検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276062A JPH07103905A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 傷検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103905A true JPH07103905A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17564272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5276062A Pending JPH07103905A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 傷検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103905A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256091B1 (en) | 1997-08-25 | 2001-07-03 | Nippon Maxis Co., Ltd. | Transparent substrate mounting platform, transparent substrate scratch inspection device, transparent substrate bevelling inspection method and device, and transparent substrate inspection method |
| JP2008075936A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 冷蔵庫 |
| JP2008275618A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Emhart Glass Sa | ガラス容器の検査機 |
| JP2010139434A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Yamatake Corp | 異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法 |
| JP2019120491A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 欠陥検査方法、および、欠陥検査システム |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP5276062A patent/JPH07103905A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256091B1 (en) | 1997-08-25 | 2001-07-03 | Nippon Maxis Co., Ltd. | Transparent substrate mounting platform, transparent substrate scratch inspection device, transparent substrate bevelling inspection method and device, and transparent substrate inspection method |
| JP2008075936A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 冷蔵庫 |
| JP2008275618A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Emhart Glass Sa | ガラス容器の検査機 |
| US8135206B2 (en) | 2007-05-02 | 2012-03-13 | Emhart Glass S.A. | Machine for inspecting glass containers |
| JP2010139434A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Yamatake Corp | 異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法 |
| JP2019120491A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 欠陥検査方法、および、欠陥検査システム |
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