JPH04294204A - 物体表面の欠陥抽出装置 - Google Patents
物体表面の欠陥抽出装置Info
- Publication number
- JPH04294204A JPH04294204A JP3059939A JP5993991A JPH04294204A JP H04294204 A JPH04294204 A JP H04294204A JP 3059939 A JP3059939 A JP 3059939A JP 5993991 A JP5993991 A JP 5993991A JP H04294204 A JPH04294204 A JP H04294204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- color
- images
- image
- defects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外観検査装置において物
体表面の凹凸の区別を要する各局面で適用可能な物体表
面の欠陥抽出装置に関する。
体表面の凹凸の区別を要する各局面で適用可能な物体表
面の欠陥抽出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置として関連するものには、例
えば、日本非破壊検査協会、第２回産業における画像セ
ンシング技術シンポジウムの予稿、第２９１頁から第２
９４頁において論じられている。この方法は、図１に示
すように、表面実装部品の装着不良を検出するために、
部品の斜め上方から二つのランプを交互に発光させ各々
の発光タイミングでの画像を二回撮像し、画像間の差分
をとることで影の付き方の違いを利用して物体外形を抽
出，位置計測を行っている。
えば、日本非破壊検査協会、第２回産業における画像セ
ンシング技術シンポジウムの予稿、第２９１頁から第２
９４頁において論じられている。この方法は、図１に示
すように、表面実装部品の装着不良を検出するために、
部品の斜め上方から二つのランプを交互に発光させ各々
の発光タイミングでの画像を二回撮像し、画像間の差分
をとることで影の付き方の違いを利用して物体外形を抽
出，位置計測を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は外観不
良を検出する上で二回の撮像が必要であり、処理時間を
要する。
良を検出する上で二回の撮像が必要であり、処理時間を
要する。
【０００４】本発明の目的は凹凸抽出を一回の撮像で迅
速、かつ、正確に処理することにある。
速、かつ、正確に処理することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、物体表面に色彩照明を多方向から照射
してカラーテレビ用カメラで入力し、その色彩画像から
それぞれの照明方向の画像を分離し、画像間の比較を行
う。これにより欠陥候補の凹凸を判別し、欠け，割れ等
の欠陥と、物体表面に付着した異物とを区別することで
、正確な検出が可能となる。
に、本発明では、物体表面に色彩照明を多方向から照射
してカラーテレビ用カメラで入力し、その色彩画像から
それぞれの照明方向の画像を分離し、画像間の比較を行
う。これにより欠陥候補の凹凸を判別し、欠け，割れ等
の欠陥と、物体表面に付着した異物とを区別することで
、正確な検出が可能となる。
【０００６】
【作用】色彩照明を用いた物体表面の欠陥抽出装置は、
色彩照明による多方向からの斜方照明と落斜照明を用い
、それぞれの照明方向の画像を一回で撮像し、色信号の
分離により各照明方向の画像を得るため、撮像は一回で
済み処理時間が大幅に短縮される。
色彩照明による多方向からの斜方照明と落斜照明を用い
、それぞれの照明方向の画像を一回で撮像し、色信号の
分離により各照明方向の画像を得るため、撮像は一回で
済み処理時間が大幅に短縮される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図２から図７に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【０００８】図２は、本方式の適用される、色彩照明を
用いた物体表面の欠陥抽出装置である。被検査物２０１
は、Ｘ−Ｙテーブル２０２上で位置決めされ、前後およ
び左右四方向の斜方照明２０３と、落射照明２０４から
なる色彩照明系で照射し、この状態をカラーテレビ用カ
メラ２０５で撮像して、画像処理装置で物体形状と物体
表面の欠陥を抽出する。色彩照明系内の、斜方照明２０
３には前後および左右でそれぞれ赤色光Ｒ，緑色光Ｇを
対にして用いる。落射照明２０４には青色光Ｂを用いる
。
用いた物体表面の欠陥抽出装置である。被検査物２０１
は、Ｘ−Ｙテーブル２０２上で位置決めされ、前後およ
び左右四方向の斜方照明２０３と、落射照明２０４から
なる色彩照明系で照射し、この状態をカラーテレビ用カ
メラ２０５で撮像して、画像処理装置で物体形状と物体
表面の欠陥を抽出する。色彩照明系内の、斜方照明２０
３には前後および左右でそれぞれ赤色光Ｒ，緑色光Ｇを
対にして用いる。落射照明２０４には青色光Ｂを用いる
。
【０００９】図３と図４は、多方向から異なる色彩照明
を照射した色彩画像から、それぞれの照明方向の画像を
分離する二つの方法の概略を示したものである。
を照射した色彩画像から、それぞれの照明方向の画像を
分離する二つの方法の概略を示したものである。
【００１０】一つは図３に示すように、色相により画像
を分離する方法である。各照明の波長範囲を図３（ａ）
に示す。また、このときの各照明の色相をＬ＊ａ＊ｂ＊
表色系の色空間で表現したときの色相角の範囲を図３（
ｂ）に示す。このように、各照明の色相角の範囲をあら
かじめ定めておけば、色彩画像の各点における色相角を
求めることにより、それぞれの照明方向の画像を分離す
ることが出来る。
を分離する方法である。各照明の波長範囲を図３（ａ）
に示す。また、このときの各照明の色相をＬ＊ａ＊ｂ＊
表色系の色空間で表現したときの色相角の範囲を図３（
ｂ）に示す。このように、各照明の色相角の範囲をあら
かじめ定めておけば、色彩画像の各点における色相角を
求めることにより、それぞれの照明方向の画像を分離す
ることが出来る。
【００１１】以下に色相角Ｈａｂを求める手順を示す。
まずカラーカメラのＲ，Ｇ，Ｂ信号それぞれの濃淡値か
ら次のＸ，Ｙ，Ｚを数１，数２，数３で求める。
ら次のＸ，Ｙ，Ｚを数１，数２，数３で求める。
【００１２】
【数１】Ｘ ＝ ２．７６８９Ｒ ＋ １．７
５１７Ｇ ＋ １．１３０２Ｂ
５１７Ｇ ＋ １．１３０２Ｂ
【００１３】
【数２】Ｙ ＝ １．００００Ｒ ＋ ４．５
９０７Ｇ ＋ ０．０６０１Ｂ
９０７Ｇ ＋ ０．０６０１Ｂ
【００１４】
【数３】Ｚ ＝ ０．０５６５Ｒ ＋ ５．５
９４３Ｂ次に、このＸ，Ｙ，ＺからＬ＊ａ＊ｂ＊表色系
のＬ＊，ａ＊，ｂ＊を数４，数５，数６で求める。ここ
で、Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０は、白色光の値である
９４３Ｂ次に、このＸ，Ｙ，ＺからＬ＊ａ＊ｂ＊表色系
のＬ＊，ａ＊，ｂ＊を数４，数５，数６で求める。ここ
で、Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０は、白色光の値である
【００１５
】
】
【数４】
【００１６】
【数５】
【００１７】
【数６】
【００１８】さらにａ＊，ｂ＊から色相角Ｈａｂを数７
で求める。
で求める。
【００１９】
【数７】
【００２０】もう一つは、各照明の色彩をカラーテレビ
用カメラの特性に合わせることにより、それぞれの照明
方向の画像を分離する方法である。照明に用いるＲ，Ｇ
，Ｂのフィルタの特性 図４（ａ）とカラーカメラの
ＲＧＢ感度特性 図４（ｂ）を示す。カラーカメラの
Ｒ，Ｇ，Ｂの感度曲線それぞれに、フィルタの特性を一
致するようにすることで、各フィルタから発せられた光
がカラーカメラのＲ，Ｇ，Ｂ信号にそれぞれ個別に取り
出される。以下、この二番目の方法による照明を説明す
る。
用カメラの特性に合わせることにより、それぞれの照明
方向の画像を分離する方法である。照明に用いるＲ，Ｇ
，Ｂのフィルタの特性 図４（ａ）とカラーカメラの
ＲＧＢ感度特性 図４（ｂ）を示す。カラーカメラの
Ｒ，Ｇ，Ｂの感度曲線それぞれに、フィルタの特性を一
致するようにすることで、各フィルタから発せられた光
がカラーカメラのＲ，Ｇ，Ｂ信号にそれぞれ個別に取り
出される。以下、この二番目の方法による照明を説明す
る。
【００２１】図５から図７は、画像処理部で行う欠陥お
よび異物の抽出と、それらを区別するための、画像処理
の過程を示したものである。
よび異物の抽出と、それらを区別するための、画像処理
の過程を示したものである。
【００２２】図５は、光学系と、平坦部，凹部，凸部に
おける照明の反射方向を示す。ここでは、以下の説明を
簡単にするために図５（ａ）に示すように斜方照明を左
右二方向とし、左から緑色光Ｇ、右から赤色光Ｒとする
。平坦部では、図５（ｂ）に示すように青色光Ｂ（落射
照明）だけがカメラ方向に反射され、緑色光Ｇ，赤色光
Ｒ（斜方照明）はカメラに入射しない。凹部では、図５
（ｃ）に示すように、青色光Ｂ（落射照明）は乱反射し
、緑色光Ｇ（左斜方照明）は凹部の右側からの反射光が
入射し、また、赤色光Ｒ（右斜方照明）は凹部の左側か
らの反射光が、それぞれ、カメラに入射する。凸部では
、図５（ｄ）に示すように図５（ｃ）の逆になる。
おける照明の反射方向を示す。ここでは、以下の説明を
簡単にするために図５（ａ）に示すように斜方照明を左
右二方向とし、左から緑色光Ｇ、右から赤色光Ｒとする
。平坦部では、図５（ｂ）に示すように青色光Ｂ（落射
照明）だけがカメラ方向に反射され、緑色光Ｇ，赤色光
Ｒ（斜方照明）はカメラに入射しない。凹部では、図５
（ｃ）に示すように、青色光Ｂ（落射照明）は乱反射し
、緑色光Ｇ（左斜方照明）は凹部の右側からの反射光が
入射し、また、赤色光Ｒ（右斜方照明）は凹部の左側か
らの反射光が、それぞれ、カメラに入射する。凸部では
、図５（ｄ）に示すように図５（ｃ）の逆になる。
【００２３】図６は、図５の色彩画像からそれぞれの照
明方向の画像を分離し、物体表面の欠陥を抽出する方法
を示している。ここで左側の図は凹部、右側の図は凸部
である。図６（ａ）はカラーカメラで撮像した色彩画像
であり、それぞれの照明方向の分離が図６（ｂ），（ｃ
），となり、それぞれＲ，Ｇ，Ｂ画像とする。Ｂ画像は
図６（ｂ）に示すように、凹部または凸部で暗くなって
おり、欠陥候補が抽出できる。
明方向の画像を分離し、物体表面の欠陥を抽出する方法
を示している。ここで左側の図は凹部、右側の図は凸部
である。図６（ａ）はカラーカメラで撮像した色彩画像
であり、それぞれの照明方向の分離が図６（ｂ），（ｃ
），となり、それぞれＲ，Ｇ，Ｂ画像とする。Ｂ画像は
図６（ｂ）に示すように、凹部または凸部で暗くなって
おり、欠陥候補が抽出できる。
【００２４】つぎに、この欠陥候補から欠陥と表面上の
異物を区別するには、凹凸を判定すればよい。図６の下
部は図６の上部における直線ＡＢ上の断面輝度を示して
いる。図６（ｄ）は直線ＡＢ上の差（Ｒ画像）−（Ｇ画
像）であり、凹形状の場合は右下がり、凸形状の場合は
右上がりになることが分かる。ここで簡単に凹凸を判定
するには、差が最大値、最小値をとるときのＸ座標をそ
れぞれＸｍａｘ，Ｘｍｉｎとすると、差（Ｘｍａｘ−Ｘ
ｍｉｎ）の符号が、正のとき凸形状、負のとき凹形状と
判定できる。 しかし、この方式はノイズに弱いので、次に示すように
統計的な手法で判断した方が信頼性が高くなる。直線Ａ
Ｂ上の欠陥候補の範囲で、次式の総和Ｓを計算する。す
なわち、
異物を区別するには、凹凸を判定すればよい。図６の下
部は図６の上部における直線ＡＢ上の断面輝度を示して
いる。図６（ｄ）は直線ＡＢ上の差（Ｒ画像）−（Ｇ画
像）であり、凹形状の場合は右下がり、凸形状の場合は
右上がりになることが分かる。ここで簡単に凹凸を判定
するには、差が最大値、最小値をとるときのＸ座標をそ
れぞれＸｍａｘ，Ｘｍｉｎとすると、差（Ｘｍａｘ−Ｘ
ｍｉｎ）の符号が、正のとき凸形状、負のとき凹形状と
判定できる。 しかし、この方式はノイズに弱いので、次に示すように
統計的な手法で判断した方が信頼性が高くなる。直線Ａ
Ｂ上の欠陥候補の範囲で、次式の総和Ｓを計算する。す
なわち、
【００２５】
【数８】
Ｓ＝Σ（Ｘｉ−Ｃｘ）・（Ｒ（Ｘｉ）−Ｇ（Ｘｉ））但
し、Ｃｘ ：範囲の中心Ｘ座標Ｒ（Ｘｉ）：
直線ＡＢ上ＸｉにおけるＲ画像値Ｇ（Ｘｉ）：直線ＡＢ
上ＹｉにおけるＧ画像値このＳの符号が、正のとき凸形
状、負のとき凹形状と判定できる。
し、Ｃｘ ：範囲の中心Ｘ座標Ｒ（Ｘｉ）：
直線ＡＢ上ＸｉにおけるＲ画像値Ｇ（Ｘｉ）：直線ＡＢ
上ＹｉにおけるＧ画像値このＳの符号が、正のとき凸形
状、負のとき凹形状と判定できる。
【００２６】図７は画像処理のフローチャートを示す。
ステップ７０１では、被検査物をカラーカメラにより画
像入力を行う。ステップ７０２では、撮像された画像は
、Ｒ、Ｇ、Ｂ信号毎に別々に画像メモリに格納される。 ステップ７０３は、落射照明によるＢ画像から欠陥候補
（欠陥または、付着した異物等）の抽出を行う。ステッ
プ７０４では、抽出した欠陥候補部の凹凸を判定し、欠
陥か異物かの判定を行う。
像入力を行う。ステップ７０２では、撮像された画像は
、Ｒ、Ｇ、Ｂ信号毎に別々に画像メモリに格納される。 ステップ７０３は、落射照明によるＢ画像から欠陥候補
（欠陥または、付着した異物等）の抽出を行う。ステッ
プ７０４では、抽出した欠陥候補部の凹凸を判定し、欠
陥か異物かの判定を行う。
【００２７】
【発明の効果】本発明によればカラー画像を用いて、物
体表面の凹凸が区別できる。
体表面の凹凸が区別できる。
【図１】従来技術の検査原理図。
【図２】本発明の一実施例の説明図。
【図３】色相による色分離の原理図。
【図４】フィルタ，カラーテレビ用カメラの特性曲線図
。
。
【図５】物体表面における反射光の説明図。
【図６】欠陥検査および凹凸判定の原理図。
【図７】欠陥抽出の処理フローチャート図。
２０１…被検査物
２０２…Ｘ−Ｙテ−ブル
２０３…斜方照明
２０４…落射照明
２０５…カラーＴＶカメラ
２０６…赤色光フィルタ
２０７…緑色光フィルタ
２０８…赤色光フィルタ
２０９…緑色光フィルタ
２１０…青色光フィルタ
２１１…ハーフミラー
２１２…モニタ
Claims (6)
- 【請求項１】異なる色彩照明を多方向から照射する色彩
照明系、カラーテレビ用カメラ、またその信号を解析す
る画像処理装置からなる外観検査装置において、前記カ
ラーテレビ用カメラから入力した色彩画像を解析するこ
とにより、それぞれの照明方向の画像を分離し、画像間
の比較を行うことを特徴とする物体表面の欠陥抽出装置
。 - 【請求項２】請求項１において、前記色彩照明系の色彩
を前記カラーテレビ用カメラの特性に合わせた物体表面
の欠陥抽出装置。 - 【請求項３】請求項１において、色彩画像から照明方向
の画像の分離を色相で行う物体表面の欠陥抽出装置。 - 【請求項４】請求項１において、それぞれの照明方向の
画像を分離して画像間の比較をする物体表面の欠陥抽出
装置。 - 【請求項５】請求項１の前記色彩照明系の落射照明と多
方向の斜方照明を組み合わせた物体表面の欠陥抽出装置
。 - 【請求項６】請求項５の前記色彩照明系の落射照明に短
波長の青色光を用いる物体表面の欠陥抽出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3059939A JPH04294204A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 物体表面の欠陥抽出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3059939A JPH04294204A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 物体表面の欠陥抽出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04294204A true JPH04294204A (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=13127613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3059939A Pending JPH04294204A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 物体表面の欠陥抽出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04294204A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329919A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 照明装置、該照明装置を用いた画像処理装置および画像処理方法 |
| JP2008241408A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kyushu Institute Of Technology | 対象物表面の欠陥検査方法 |
| JP2010175558A (ja) * | 2010-04-01 | 2010-08-12 | Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd | 検査装置 |
| WO2016208622A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出装置および表面欠陥検出方法 |
| WO2016208626A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 |
| EP3315950A4 (en) * | 2015-06-25 | 2018-12-19 | JFE Steel Corporation | Surface flaw detection device, surface flaw detection method, and manufacturing method for steel material |
| EP3252457A4 (en) * | 2016-04-08 | 2019-01-16 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | METALLIC BODY SURFACE STATE MONITORING DEVICE AND METALLIC BODY SURFACE STATE MONITORING METHOD |
| EP4095518A4 (en) * | 2020-01-20 | 2023-02-08 | JFE Steel Corporation | SURFACE INSPECTION DEVICE, SURFACE INSPECTION METHOD, STEEL MATERIAL MANUFACTURING METHOD, STEEL MATERIAL QUALITY MANAGEMENT METHOD AND STEEL MATERIAL MANUFACTURING PLANT |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP3059939A patent/JPH04294204A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329919A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 照明装置、該照明装置を用いた画像処理装置および画像処理方法 |
| JP2008241408A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kyushu Institute Of Technology | 対象物表面の欠陥検査方法 |
| JP2010175558A (ja) * | 2010-04-01 | 2010-08-12 | Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd | 検査装置 |
| WO2016208622A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出装置および表面欠陥検出方法 |
| WO2016208626A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 |
| JP6079948B1 (ja) * | 2015-06-25 | 2017-02-15 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出装置および表面欠陥検出方法 |
| JPWO2016208626A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2017-06-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 |
| CN107709977A (zh) * | 2015-06-25 | 2018-02-16 | 杰富意钢铁株式会社 | 表面缺陷检测装置及表面缺陷检测方法 |
| KR20180019734A (ko) * | 2015-06-25 | 2018-02-26 | 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 | 표면 결함 검출 장치 및 표면 결함 검출 방법 |
| EP3315952A4 (en) * | 2015-06-25 | 2018-06-13 | JFE Steel Corporation | Surface flaw detection method, surface flaw detection device, and manufacturing method for steel material |
| EP3315950A4 (en) * | 2015-06-25 | 2018-12-19 | JFE Steel Corporation | Surface flaw detection device, surface flaw detection method, and manufacturing method for steel material |
| EP3315951A4 (en) * | 2015-06-25 | 2018-12-26 | JFE Steel Corporation | Surface defect detection apparatus and surface defect detection method |
| EP3252457A4 (en) * | 2016-04-08 | 2019-01-16 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | METALLIC BODY SURFACE STATE MONITORING DEVICE AND METALLIC BODY SURFACE STATE MONITORING METHOD |
| US10290113B2 (en) | 2016-04-08 | 2019-05-14 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Surface state monitoring apparatus for metallic body and surface state monitoring method for metallic body |
| EP4095518A4 (en) * | 2020-01-20 | 2023-02-08 | JFE Steel Corporation | SURFACE INSPECTION DEVICE, SURFACE INSPECTION METHOD, STEEL MATERIAL MANUFACTURING METHOD, STEEL MATERIAL QUALITY MANAGEMENT METHOD AND STEEL MATERIAL MANUFACTURING PLANT |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108445007B (zh) | 一种基于图像融合的检测方法及其检测装置 | |
| US4876457A (en) | Method and apparatus for differentiating a planar textured surface from a surrounding background | |
| KR20100015628A (ko) | 목재의 검사 방법, 장치 및 프로그램 | |
| JP2007292576A (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
| JPH04294204A (ja) | 物体表面の欠陥抽出装置 | |
| JPH07218451A (ja) | 光学式鋼板表面検査装置 | |
| JP4184511B2 (ja) | 金属試料表面の欠陥検査方法及び装置 | |
| JP2001056297A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
| JP4216485B2 (ja) | パターン検査方法およびその装置 | |
| JP2914967B2 (ja) | 外観検査方法 | |
| JPS59135353A (ja) | 表面傷検出装置 | |
| JP3454162B2 (ja) | 穴のある平面プレートの傷検査装置 | |
| JPH05126761A (ja) | 空びん分別装置 | |
| JP4967132B2 (ja) | 対象物表面の欠陥検査方法 | |
| JPH0682103B2 (ja) | 銅張配線板の外観検査装置 | |
| JPS6232345A (ja) | 欠点検出装置 | |
| JP4386326B2 (ja) | プリント基板の検査方法およびこれに用いる装置 | |
| JP2596158B2 (ja) | 部品認識装置 | |
| JP3203607B2 (ja) | 画面欠点検出装置 | |
| JP2000163582A (ja) | 金属試料表面の欠陥検査方法及び装置 | |
| KR0152885B1 (ko) | 인쇄회로 기판의 납땜상태 분류방법 | |
| KR200336984Y1 (ko) | 표면 및 형상 검사장치 | |
| JP3491874B2 (ja) | 穴のある平面プレートの傷検査装置 | |
| JPH0313850A (ja) | ウエハ欠陥検査の画像処理方法 | |
| JPH02190750A (ja) | はんだ付け検査装置 |