JP4216485B2 - パターン検査方法およびその装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板に形成されたパターンの画像を用いてパターンを外観検査するパターン検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、各種検査対象の外観検査を行う画像処理技術が提案されている。この種の画像処理技術を、回路基板に形成されたパターンに適用した例は特開平10−185832号公報に記載されており、この公報に記載の技術では、検査対象物の表面を均一に照明した状態で検査対象物の正面を撮像手段で撮像することによって、微小な凹凸と比較的大きな凹凸との画像のコントラストの差が大きくなるようにしてある。つまり、コントラスト差によって比較的大きな凹凸である欠陥を非欠陥である微小な凹凸と分離し、欠陥の検出精度を高めている。
【0003】
ところで、図9に示すように、ベアチップである集積回路11を回路基板12に実装する際に、回路基板12にパターン13として形成したボンディングパッドと集積回路11に形成したボンディングパッド11aとの間を金線などのワイヤ14を用いて接続することがある。集積回路11と回路基板12との間の接続をワイヤボンディングによって行うときには、ボンディングパッドであるパターン13に、ピンホール、しみ、凹、凸が不良として存在するとパターン13とワイヤ14との接合強度が低下することが知られている。また、不良の種類ごとに不良のサイズと接合強度が低下する程度との関係が異なることも知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、ワイヤボンディングを行うときには、ボンディングパッドであるパターン13とワイヤ14との接合強度を確保するために、ボンディングパッドであるパターン13に生じた不良の種類を区別し、さらに不良のサイズを検出することが要求される。
【0005】
しかしながら、上記公報に記載の技術では、回路基板に形成されたパターン13に生じている不良の種類がピンホール、しみ、凹、凸のいずれであるかを区別することができないという問題がある。また、不良の種類を区別することができないから、当然のことながら、接合強度を確保するためのサイズを不良の種類別に設定することができない。その結果、不良の種類にかかわらずサイズに関して不良と判定する水準をもっとも小さいものに合わせることになり、結果的に不良の発生率が高くなって全体としての歩留まりが低下するという問題が生じる。
【0006】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、不良の種類を識別可能としたパターン検査方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、回路基板に金属で形成されたパターンを検査対象とし、検査対象の正面方向から撮像した画像を用いて検査対象の不良の有無を検査する方法であって、検査対象の正面方向から照明したときの画像をテンプレートと比較して不良部分の領域を抽出するとともに不良部分のサイズを計測する第1ステップと、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画像内において第1ステップで不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良の種類を識別する第2ステップとを有し、第2ステップにおいて、第1ステップで抽出された不良部分の全領域が周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定し、第1ステップで抽出された不良部分の全領域について周囲との濃度差が規定範囲内であるときに不良の種類をしみと判定し、第1ステップで抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明るい領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定し、第1ステップで抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定することを特徴とする。
【0012】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置から照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別することを特徴とする。
【0013】
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離することによって、検査対象の正面方向から照明したときの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画像とを抽出することを特徴とする。
【0014】
請求項4の発明は、回路基板に金属で形成されたパターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像する撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明する斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態で撮像装置に撮像された画像をテンプレートと比較して不良部分の領域を抽出しかつ不良部分のサイズを計測するとともに、斜方光源により検査対象を照明した状態で撮像装置に撮像された画像内において落射光源での照射時の画像から不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良の種類を識別する画像処理部とを備え、画像処理部は、斜方光源での照射時の画像について、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分の全領域が周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分の全領域について周囲との濃度差が規定範囲内であるときに不良の種類をしみと判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明るい領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定するものである。
【0015】
なお、検査対象は平面であることが良品であって、その面に直交する方向を検査対象の正面方向とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図1に本実施形態の基本的な構成を示す。図示例ではTVカメラである撮像手段1によって検査対象2を正面から撮像することができるように、撮像手段1の正面に検査対象2を配置してあり、さらに検査対象2を正面から均一に照明することができる光源(以下、「落射光源」という)3と、検査対象2の正面に対して斜め方向から照明する光源(以下、「斜方光源」という)4とを配置してある。
【0017】
ただし、検査対象2に対して落射光源3から照射される光の中心線と撮像手段1の光軸とが一致するように、撮像手段1と検査対象2との間にハーフミラー5が配置され、撮像手段1ではハーフミラー5を通して検査対象2を撮像し、落射光源3からの光はハーフミラー5で反射された後に検査対象2に照射されるようにしてある。ただし、この関係は逆であってもよく、撮像手段1が検査対象2をハーフミラー5で反射させて撮像し、落射光源3からハーフミラー5を通して検査対象2に照射してもよい。落射光源3には、光の出射面が円環状であるいわゆるリング照明を用いたり、発光ダイオードのような発光素子を多数個配列した面状光源などを用いたりすればよい。いずれにしても、検査対象2を正面から均一に照明できる構成であれば落射光源3の構成はとくに制限を受けない。
【0018】
一方、斜方光源4は光の出射面の正面方向が検査対象2の正面方向に対して傾斜するように配置されており、検査対象2に対して斜め方向から光を照射する。斜方光源4としては光の出射面の輝度が均一である面状光源を用いるのが望ましく、また斜方光源4は検査対象2を一様に照明できるように発光面の大きさおよび検査対象2からの距離が設定されている。つまり、斜方光源4は検査対象2をむらなく照明することができるように配置される。
【0019】
撮像装置1の光軸および落射光源3からの光の中心線を検査対象2の中心付近に位置させるために検査対象2をX−Yテーブル6の上に載せてある。したがって、X−Yテーブル6によって検査対象2の位置を調節することで撮像装置1および落射光源3と検査対象2との位置合わせを行うから、撮像装置1と落射光源3とハーフミラー5との位置を固定しておくことができ、これらの部材の位置ずれを防止することができる。
【0020】
落射光源3と斜方光源4とを用いて検査対象2を照明した状態で撮像装置1により検査対象2を撮像することにより得られる画像は、マイコンを主構成とする画像処理部7に入力される。本実施形態では、撮像装置1としてモノクロの濃淡画像を出力するものを用いており、落射光源3と斜方光源4とを照明制御部8によって択一的に点灯させることにより、撮像装置1から出力されている画像が落射光源3と斜方光源4とのどちらで照明されているときの画像かを容易に識別できるようにしてある。ここに、画像処理部7には照明制御部8から落射光源3と斜方光源4とのどちらで検査対象2を照明しているかの情報が入力される。
【0021】
ところで、本発明における検査対象2は、図9を用いて従来構成として説明したように、パターン13を形成した回路基板12であり、本発明では、落射光源3により検査対象2を照明したときに撮像装置1で得られる画像と、斜方光源4により検査対象2を照明したときに撮像装置1で得られる画像との特性を利用してパターン13に生じた不良の種類を区別して検出する。区別可能な不良の種類には、ピンホール、しみ、凹、凸の4種類があり、図3に示すような組合せにより不良の種類を区別する。ピンホールはパターンに生じた小孔、しみはパターンに付着した汚れ、凹はパターンの凹み、凸はパターンの盛り上がりを意味し、図3の1行目にそれぞれの典型例を示してある。図3の2〜4行目は、落射光源3による照明(落射照明)での画像、斜方光源4による検査対象2の左側からの照明(斜方照明(左))での画像、斜方光源4による検査対象2の右側からの照明(斜方照明(右))での画像をそれぞれ示している。ここに、図3において、白抜きは濃度がもっとも高い(明るい)状態、黒塗りは濃度がもっとも低い(暗い)状態を示し、濃度が低いほうに向かって、白抜き(明部という)、細点部(準明部という)、斜線部(準暗部という)、黒塗り(暗部という)で順に表してある。
【0022】
落射光源3によって検査対象2を照明したときに撮像装置1によって得られる画像は、不良の正面形状が同じであれば、図3の2列目に示すように、濃淡に若干の差が生じるもののほぼ同様の画像になる。ここに、不良部分の周囲の濃度が高い(明るい)のは落射光源3で照明すると正反射に近い反射光が撮像装置1に入射するからである。
【0023】
斜方光源4からの光を検査対象2の左側から照射するか右側から照射するかは、ピンホールやしみでは差がほとんど生じないが、凹や凸では陰影の位置に差が生じる。また、不良の種類が凹あるいは凸の場合には、不良部分の領域内において周囲よりも明るい領域と暗い領域とが形成される。つまり、凹では斜方光源4に近い側が影になるが遠い側が明るくなり、逆に凸では斜方光源4から遠い側が影になるが近い側が明るくなる。要するに、斜方光源4に近い側から準暗部(周囲)→暗部→明部→準暗部(周囲)と変化すれば凹であり、斜方光源4に近い側から準暗部(周囲)→明部→暗部→準暗部(周囲)と変化すれば凸であると言える。したがって、斜方光源4と検査対象2との位置関係と、明暗の位置関係とを抽出すれば、凹か凸かの区別が可能になる。また、しみは斜方光源4では不良部分が周囲とほぼ同程度の濃度になり(つまり、不良部分の領域と周囲との濃度差が規定範囲内になり)、ピンホールでは斜方光源4を用いたときに不良部分の領域が周囲よりも明るくなる。これは、検査対象が回路基板に形成したパターンであって、パターンが一般に銅箔のような金属であることに起因する特徴であると言える。
【0024】
したがって、落射光源3で検査対象2を照明したときに撮像装置1で得られる画像によって検査対象2における不良の有無および位置を知ることができ、斜方光源4で検査対象2を照明したときに撮像装置1で得られる画像によって不良の種類を識別することができることになる。
【0025】
いま、落射光源3で検査対象2を照明したときに図4に示す濃淡画像P1が得られたとする。ここで、図4にA部で示す部分については、図5(a)のような濃淡画像P1が得られているものとする。画像処理部7ではまず濃淡画像P1に微分を施す。濃淡画像P1を微分すれば濃度変化の大きい部分が強調されて図5(b)のような微分画像P2が得られる。こうして得られた微分画像P2にいわゆる膨張処理を施して図5(c)のような画像P3を生成し、さらにこの画像P3からエッジを抽出する。抽出されたエッジはあらかじめ設定してあるテンプレートと比較すれば、不良部分を抽出することが可能になる。こうして不良部分が抽出されると、不良部分の位置および大きさ(寸法)の特定が可能になる。
【0026】
上述のようにして落射光源3により照明したときの画像から不良部分の位置が特定されると、斜方光源4により照明したときの画像に対して上述の特性を利用して不良の種類を識別することができる。
【0027】
上述した処理の手順をまとめると図2のようになる。すなわち、まずX−Yテーブル6を移動させて検査対象2と撮像装置1との位置合わせを行う(S1)。次に、落射光源3を点灯させて撮像装置1で検査対象2を撮像し(S2)、さらに照明制御部8により落射光源3を消灯させるとともに斜方光源4を点灯させ(S3)、この状態で撮像装置1で検査対象2を撮像する(S4)。このようにして落射光源3を用いて撮像した画像と、斜方光源4を用いて撮像した画像とが得られると、落射光源3による画像から不良部位を特定するとともに不良部分のサイズを計測し(S5)、さらに不良部位として特定された位置について、斜方光源4による画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定するのである(S6)。
【0028】
上述のようにして不良の種類を識別することができるとともに不良部分のサイズを知ることができるから、不良部分の種類ごとにサイズを判別して不良品とすべきか否かの判断を細かく行うことができ、結果的に歩留まりの向上につながる。また、不良の種類ごとの集計をとるようにすれば、検査前の工程での不良の発生原因に応じて製造装置の管理などが可能になり、結果的に前工程における不良の発生率を低減させるような管理が可能になる。
【0029】
(第2の実施の形態)
第1の実施の形態では斜方光源4を1個としたが、本実施形態は図6に示すように左右2個の斜方光源4a,4bを用いるものである。つまり、斜方光源4a,4bを用いると不良の種類を識別することができるのであるが、斜方光源4a,4bと不良部位との距離が大きいほど、斜方光源4a,4bからの光が検査対象の表面となす角度が小さくなるから、不良部位における濃度変化の特性がより強く生じると考えられる。そこで、本実施形態では、落射光源3を用いて撮像した画像によって不良部位の位置が特定されると、その位置から遠いほうの斜方光源4a,4bによって得られた画像を用いることによって、不良の種類の識別を第1の実施の形態よりも容易にしているのである。
【0030】
本実施形態において不良を検出する手順は、図7に示すように、第1の実施の形態とほぼ同様であって、まずX−Yテーブル6を移動させて検査対象2と撮像装置1との位置合わせを行い(S1)、次に、落射光源3を点灯させて撮像装置1で検査対象2を撮像し(S2)、照明制御部8により落射光源3を消灯させるとともに図6の左側の斜方光源4aを点灯させ(S3)、この状態で撮像装置1で検査対象2を撮像する(S4)。さらに、照明制御部8により図6の左側の斜方光源4aを消灯させるとともに図6の右側の斜方光源4bを点灯させ(S5)、この状態で撮像装置1で検査対象2を撮像する(S6)。落射光源3を用いて撮像した画像と、左右2個の斜方光源4a,4bを用いてそれぞれ撮像した画像とが得られると、落射光源3による画像から不良部位を特定するとともに不良部分のサイズを計測する(S7)。ここで、不良部位が画像の中央に対して左右どちら側に偏っているかを判定し(S8)、右側の不良部位であれば左側の斜方光源4aで照明したときの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定し(S9)、左側の不良部位であれば右側の斜方光源4bで照明したときの画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定する(S10)。他の構成および動作は第1の実施の形態と同様である。なお、本実施形態では2個の斜方光源4a,4bを用いているが、さらに多数個の斜方光源を検査対象2の周囲に配置してもよい。
【0031】
(第3の実施の形態)
本実施形態は、第2の実施の形態と同様に2個の斜方光源4a,4bを用いるものであるが、第2の実施の形態では落射光源3と各斜方光源4a,4bとを別々に点灯させていたのに対して、本実施形態では落射光源3と2個の斜方光源4a,4bとを同時に点灯可能としたものである。このような動作を実現するために、本実施形態では撮像装置1としてカラーTVカメラを用い、落射光源3と各斜方光源4a,4bの各発光色を異ならせている。つまり、落射光源3と各斜方光源4a,4bとをそれぞれ異なる発光色として、撮像装置1において得られるカラー画像から画像処理部7において色ごとの情報を分離抽出することにより、第2の実施の形態において3回の撮像を行って得た情報と同等の情報を1回の撮像によって得るのである。
【0032】
いま、撮像装置1での色情報の分離を容易にするために、落射光源3の発光色を赤色、図6における左側の斜方光源4aの発光色を緑色、図6における右側の斜方光源の発光色を青色に設定しているものとする。図8に示すように、本実施形態では、まずX−Yテーブル6を移動させて検査対象2と撮像装置1との位置合わせを行い(S1)、次に、落射光源3と2個の斜方光源4a,4bとを同時に点灯させ(S2)、撮像装置1で検査対象2を撮像する(S3)。画像処理部7では、撮像装置1で撮像されたカラー画像について、赤色成分と緑色成分と青色成分とが分離して処理される。赤色成分は落射光源3により撮像された画像になるから、赤色成分の画像から不良部位を特定するとともに不良部分のサイズを計測する(S4)。ここで、不良部位が画像の中央に対して左右どちら側に偏っているかを判定し(S5)、右側の不良部位であれば左側の斜方光源4aでの照明に相当する緑色成分の画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定し(S6)、左側の不良部位であれば右側の斜方光源4bでの照明に相当する青色成分の画像の濃度変化に基づいて不良の種類を特定する(S7)。このように、本実施形態では第2の実施の形態と同様の情報量を持ちながらも、処理手順が第2の実施の形態よりも少なくなる。他の構成および動作は第1の実施の形態と同様である。
【0033】
【発明の効果】
請求項1の発明の構成によれば、照明方向を変えることによって、検査対象の正面から照明したときの画像に基づいて不良部分の領域およびサイズを抽出することができ、検査対象の正面に対して斜め方向から照明したときの画像内において、正面から照明したときの画像から不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良部分の種類を識別することができるという利点がある。不良部分の種類としては、ピンホールとしみと凹と凸との4種類の不良をそれぞれ他の不良と区別して抽出するから、これらの不良の発生を抑制するための対策をとりやすくなる。しかも、不良部分の種類ごとにサイズを判別することができるから、不良品とすべきか否かの判断を細かく行うことができる。
【0038】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置から照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別することを特徴としており、検査対象を複数の方向から照明するとともに不良の種類の特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別するから、不良の種類の識別が容易になる。
【0039】
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記検査対象の正面方向からの照明光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離することによって、検査対象の正面方向から照明したときの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画像とを抽出することを特徴としており、カラー画像を用いることによって検査対象を複数の光色の照明で同時に照明しても、色ごとの画像を分離することによって照明光を方向別に分離することが可能になり、複数の照明を順に行う場合に比較して短時間で検査することが可能になる。
【0040】
請求項4の発明の構成によれば、照明方向を変えることによって、検査対象の正面から照明したときの画像に基づいて不良部分の領域およびサイズを抽出することができ、斜方光源により検査対象を照明したときの画像内において、落射光源により検査対象を照明したときの画像から不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良部分の種類を識別することができるという利点がある。不良部分の種類としては、ピンホールとしみと凹と凸との4種類の不良をそれぞれ他の不良と区別して抽出するから、これらの不良の発生を抑制するための対策をとりやすくなる。しかも、不良部分の種類ごとにサイズを判別することができるから、不良品とすべきか否かの判断を細かく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示すブロック図である。
【図2】同上の動作説明図である。
【図3】同上の原理説明図である。
【図4】同上における画像の一例を示す図である。
【図5】同上における画像の一例を示す図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示すブロック図である。
【図7】同上の動作説明図である。
【図8】本発明の第3の実施の形態を示す動作説明図である。
【図9】検査対象物の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 撮像装置
2 検査対象
3 落射光源
4 斜方光源
4a,4b 斜方光源
5 ハーフミラー
6 X−Yテーブル
7 画像処理部
8 照明制御部
12 回路基板
13 パターン
Claims (4)
- 回路基板に金属で形成されたパターンを検査対象とし、検査対象の正面方向から撮像した画像を用いて検査対象の不良の有無を検査する方法であって、検査対象の正面方向から照明したときの画像をテンプレートと比較して不良部分の領域を抽出するとともに不良部分のサイズを計測する第1ステップと、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画像内において第1ステップで不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良の種類を識別する第2ステップとを有し、第2ステップにおいて、第1ステップで抽出された不良部分の全領域が周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定し、第1ステップで抽出された不良部分の全領域について周囲との濃度差が規定範囲内であるときに不良の種類をしみと判定し、第1ステップで抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明るい領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定し、第1ステップで抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定することを特徴とするパターン検査方法。
- 前記検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明する際に検査対象の周囲の複数の位置から照明し、各位置から照明したときの画像のうち不良部分の領域で不良の種類の特徴を最大に表している画像を用いて不良の種類を識別することを特徴とする請求項1記載のパターン検査方法。
- 前記検査対象の正面方向からの照明光と前記検査対象の正面方向に対する斜め方向からの照明光とを異なる光色として検査対象を同時に照明し、検査対象のカラー画像から各照明光の色ごとの画像を分離することによって、検査対象の正面方向から照明したときの画像と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明したときの画像とを抽出することを特徴とする請求項1または請求項2記載のパターン検査方法。
- 回路基板に金属で形成されたパターンを検査対象とし検査対象を正面方向から撮像する撮像装置と、検査対象の正面方向から照明する落射光源と、検査対象の正面方向に対して斜め方向から照明する斜方光源と、落射光源により検査対象を照明した状態で撮像装置に撮像された画像をテンプレートと比較して不良部分の領域を抽出しかつ不良部分のサイズを計測するとともに、斜方光源により検査対象を照明した状態で撮像装置に撮像された画像内において落射光源での照射時の画像から不良部分として抽出された領域の周囲の濃度および当該領域の内部の濃度の関係により不良の種類を識別する画像処理部とを備え、画像処理部は、斜方光源での照射時の画像について、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分の全領域が周囲よりも明るいときに不良の種類をピンホールと判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分の全領域について周囲との濃度差が規定範囲内であるときに不良の種類をしみと判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも暗い領域と明るい領域とが順に並ぶときに不良の種類を凹と判定し、落射光源での照射時の画像から抽出された不良部分で検査対象を照明する光源に近い側から周囲よりも明るい領域と暗い領域とが順に並ぶときに不良の種類を凸と判定することを特徴とするパターン検査装置。
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