JPH0236339A - 光による欠点検査装置 - Google Patents
光による欠点検査装置Info
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光によってフィルムシートの欠点やディスク
表面の欠点などを検査するための光を用いた欠点検査装
置で、例えばフィルムシートなどに蛍光灯などの線状の
光を当てフィルムシートを透過する光または反射する光
を一次元のＣＣＤカメラにて受け、フィルムシートを走
行させてその透過光または反射光の変化を捉えることに
よってフィルムの欠点を検知する欠点検査装置に関する
ものである。
表面の欠点などを検査するための光を用いた欠点検査装
置で、例えばフィルムシートなどに蛍光灯などの線状の
光を当てフィルムシートを透過する光または反射する光
を一次元のＣＣＤカメラにて受け、フィルムシートを走
行させてその透過光または反射光の変化を捉えることに
よってフィルムの欠点を検知する欠点検査装置に関する
ものである。
［従来の技術］
光を用いた欠点検査装置は従来より知られている。従来
の欠点検査装置は、フィルムシートなどの検査対象物に
蛍光灯などの横に長い線状の光を当て、検査対象物を透
過した光を一次元ＣＣＤカメラにて測定するものである
。
の欠点検査装置は、フィルムシートなどの検査対象物に
蛍光灯などの横に長い線状の光を当て、検査対象物を透
過した光を一次元ＣＣＤカメラにて測定するものである
。
第９図乃至第１２図は従来の欠、兎検査装置の概要を示
す図で、第９図、第１Ｏ図は透過方式のもの、第１１図
、第１２図は反射方式のものである。これらの図におい
てｌは直線状の光源、２は検査対象物であるフィルムシ
ート、３は一次元ＣＣＤカメラなどの光検出手段である
。つまり光源からの光でフィルムシートを透過またはフ
ィルムシートで反射した光を検出することによって欠点
を知るものである。
す図で、第９図、第１Ｏ図は透過方式のもの、第１１図
、第１２図は反射方式のものである。これらの図におい
てｌは直線状の光源、２は検査対象物であるフィルムシ
ート、３は一次元ＣＣＤカメラなどの光検出手段である
。つまり光源からの光でフィルムシートを透過またはフ
ィルムシートで反射した光を検出することによって欠点
を知るものである。
［発明が解決すべき課題］
上記のような従来の欠点検査装置は、光源が蛍光灯など
の横に長い線状の光源を用いるために横方向のあらゆる
角度からの光です８射される。そのため特に検査対象物
の欠点が光源の横長方向と直交するもの例えば縦傷など
の場合、一次元ＣＣＤカメラへ入射する透過光または反
射光は、光源の広い範囲の角度からの光であるので、欠
点の特徴を表わす光信号が得にく（欠点検知が困難であ
る。
の横に長い線状の光源を用いるために横方向のあらゆる
角度からの光です８射される。そのため特に検査対象物
の欠点が光源の横長方向と直交するもの例えば縦傷など
の場合、一次元ＣＣＤカメラへ入射する透過光または反
射光は、光源の広い範囲の角度からの光であるので、欠
点の特徴を表わす光信号が得にく（欠点検知が困難であ
る。
このような欠点を解消するために光源からの光がすべて
一次元ＣＣＤカメラに向かうようにするために光源を点
光源に置き換えこれと凸レンズとを組み合わせることに
よる方法が従来より知られている。しかしこの方法は、
例えばフィルムシートのように検査対象物の寸法が大き
い場合にはそれだけ大きなレンズと強力なパワーの光源
を必要とするため実用的ではなく採用しえない。
一次元ＣＣＤカメラに向かうようにするために光源を点
光源に置き換えこれと凸レンズとを組み合わせることに
よる方法が従来より知られている。しかしこの方法は、
例えばフィルムシートのように検査対象物の寸法が大き
い場合にはそれだけ大きなレンズと強力なパワーの光源
を必要とするため実用的ではなく採用しえない。
本発明の目的は、光源からの光を近似的な平行光線に簡
単に成しつる構成を有することによってより高精度に欠
点を検知し得る欠点検査装置を提供することにある。
単に成しつる構成を有することによってより高精度に欠
点を検知し得る欠点検査装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の欠点検査装置は、前記の課題を解決”づるため
に、線状光源からの光を検査対象物に当てでその透過光
または反射光を一次元ＣＣＤカメラにて受光し、受光光
量の変化に基すいて検査対象物の傷等の欠点を検査する
装置であって、上記線状光源と検査対象物との開に前記
一次元ＣＣｌ）カメラのＣＯＤの配列方向と直交する方
向に平行に並んだ多数のスリット板からなるスリット部
材を配置したことを特徴とするものである。
に、線状光源からの光を検査対象物に当てでその透過光
または反射光を一次元ＣＣＤカメラにて受光し、受光光
量の変化に基すいて検査対象物の傷等の欠点を検査する
装置であって、上記線状光源と検査対象物との開に前記
一次元ＣＣｌ）カメラのＣＯＤの配列方向と直交する方
向に平行に並んだ多数のスリット板からなるスリット部
材を配置したことを特徴とするものである。
この本発明の欠点検査装置は、前記のスリット板によっ
て線状光源よりの光が平行光線と同様の光線になって検
査対象物に当たり、透過した光または反射した光がＣＣ
Ｄカメラにて受光される。
て線状光源よりの光が平行光線と同様の光線になって検
査対象物に当たり、透過した光または反射した光がＣＣ
Ｄカメラにて受光される。
したがって斜めからの散乱光はスリット板にて遮断され
それにて影響されることなく検査を行なうことが出来る
。
それにて影響されることなく検査を行なうことが出来る
。
［実施例］
次に本発明の欠点検査装置の一実施例について説明する
。第１図、第２図は本発明の欠点検査装置の実施例で透
過型の装置の正面図及側面図である。これら図において
、１は蛍光灯のような綿状の光源、２は検査対象物であ
るフィルムシート、３は一次元ＣＣＤカメラ、４は光源
１とフィルムシートとの間に配置されている光源の長さ
方向に直交する方向のスリットｌｆｉ ４ ａを多数設
けたスリット部材で、第８図に示すような構造のもので
ある。そして光源１より発した光は、スリット部材４の
スリットｌｉ ４ ａの間を通った光だけが一次元ＣＣ
Ｄカメラに入射するようにセットされている。つまり図
示するように、各スリット板４ａの間を通った光束が互
いにほぼ平行であってしかもこれら光束がすべて一次元
ＣＣＤカメラの方向へ向かうように各スリット板間の間
隔が光源側（入射側）においては検査対象物側（射出側
）におけるよりも僅かに大になっている。
。第１図、第２図は本発明の欠点検査装置の実施例で透
過型の装置の正面図及側面図である。これら図において
、１は蛍光灯のような綿状の光源、２は検査対象物であ
るフィルムシート、３は一次元ＣＣＤカメラ、４は光源
１とフィルムシートとの間に配置されている光源の長さ
方向に直交する方向のスリットｌｆｉ ４ ａを多数設
けたスリット部材で、第８図に示すような構造のもので
ある。そして光源１より発した光は、スリット部材４の
スリットｌｉ ４ ａの間を通った光だけが一次元ＣＣ
Ｄカメラに入射するようにセットされている。つまり図
示するように、各スリット板４ａの間を通った光束が互
いにほぼ平行であってしかもこれら光束がすべて一次元
ＣＣＤカメラの方向へ向かうように各スリット板間の間
隔が光源側（入射側）においては検査対象物側（射出側
）におけるよりも僅かに大になっている。
この実施例の装置によれば、光源１より発せられスリッ
ト部材４のスリット板４ａの間を通り検査対象物である
フィルムシートを透過した光は、一次元ＣＣＤカメラに
入射する。ここで一次元ＣＣＤカメラに入射する光は、
多数のスリットを通った光源１の長さ方向に直角な互い
にほぼ嘔行な光束だけであるので、斜めからの外乱光は
なく、ノイズのない精度のよい検出が可能になる。
ト部材４のスリット板４ａの間を通り検査対象物である
フィルムシートを透過した光は、一次元ＣＣＤカメラに
入射する。ここで一次元ＣＣＤカメラに入射する光は、
多数のスリットを通った光源１の長さ方向に直角な互い
にほぼ嘔行な光束だけであるので、斜めからの外乱光は
なく、ノイズのない精度のよい検出が可能になる。
この実施例で用いるスリット部材４の各スリシト板４ａ
は、その厚さが機械的強度を損なわない範囲内で出来る
かぎり薄くまたスリット幅やスリット間隔は出来るだけ
小で且つ光路方向には出来るだけ長い方が精度が向上す
るので望ましい。しかし光路方向にあまり長すぎると光
源からの光の量が減少し、感度の低下を招（。したがっ
て上記の長さは検査対象物とその欠点の状態に応じて適
当な長さにするのが望ましい。またスリット部材４と検
査対象物２との間隔は一次元ＣＣＤカメラ３の焦点深度
内に入らない程度においてできるかぎり小であるほうが
よい。しかしあまり小さすぎて焦点深度内に入るとスリ
ット板４ａの陰がノイズになるので好ましくない。
は、その厚さが機械的強度を損なわない範囲内で出来る
かぎり薄くまたスリット幅やスリット間隔は出来るだけ
小で且つ光路方向には出来るだけ長い方が精度が向上す
るので望ましい。しかし光路方向にあまり長すぎると光
源からの光の量が減少し、感度の低下を招（。したがっ
て上記の長さは検査対象物とその欠点の状態に応じて適
当な長さにするのが望ましい。またスリット部材４と検
査対象物２との間隔は一次元ＣＣＤカメラ３の焦点深度
内に入らない程度においてできるかぎり小であるほうが
よい。しかしあまり小さすぎて焦点深度内に入るとスリ
ット板４ａの陰がノイズになるので好ましくない。
第３図および第４図は２本発明の装置の反射型の実施例
の正面図と側面図である９図に示すように、光源１とス
リット部材４とが検査対象物に関して一次元ＣＣＤカメ
ラ３と同し側に配置されている点で透過型と異なってい
る。この反射型の場合、光源１からの光は、スリット部
材４の各スリット４ａを通った後検査対象物２にて反射
されてから一次元ＣＣＤカメラにて検出される。その他
の作用や測定原理等は透過型と実質的に同しである。
の正面図と側面図である９図に示すように、光源１とス
リット部材４とが検査対象物に関して一次元ＣＣＤカメ
ラ３と同し側に配置されている点で透過型と異なってい
る。この反射型の場合、光源１からの光は、スリット部
材４の各スリット４ａを通った後検査対象物２にて反射
されてから一次元ＣＣＤカメラにて検出される。その他
の作用や測定原理等は透過型と実質的に同しである。
第５図は、本発明の透過型の装置の画像処理システム等
を含めたものの概要を示す図である。前述のように光源
ｌよりの光は各スリット板４ａの間を通り更に検査対象
物２を透過し一次元ＣＣＤカメラにより受光される。一
次元ＣＣＤカメラ３において検査対象物の欠点の有無に
応じた光量差によって生じる各ＣＣＤ素子よりの出力信
号を一次元ビデオ信号として信号処理装置５に入力され
、その信号をもとにしてパソコン６にて画像処理し、欠
点の判定を行ない、結果をＣＲＴデイスプレー７および
プリンター８に出力される。
を含めたものの概要を示す図である。前述のように光源
ｌよりの光は各スリット板４ａの間を通り更に検査対象
物２を透過し一次元ＣＣＤカメラにより受光される。一
次元ＣＣＤカメラ３において検査対象物の欠点の有無に
応じた光量差によって生じる各ＣＣＤ素子よりの出力信
号を一次元ビデオ信号として信号処理装置５に入力され
、その信号をもとにしてパソコン６にて画像処理し、欠
点の判定を行ない、結果をＣＲＴデイスプレー７および
プリンター８に出力される。
第６図は、スリット部材４の各スリット板４ａを光源１
に対して全て垂直配置し、さらに検査対象物２と一次元
ＣＣＤカメラ３との間に集光レンズ９を設けたもので、
光源１から発してスリット板４を通った平行光線を一次
元ＣＣＤカメラ３に集光するようにした他の実施例を示
す図である。
に対して全て垂直配置し、さらに検査対象物２と一次元
ＣＣＤカメラ３との間に集光レンズ９を設けたもので、
光源１から発してスリット板４を通った平行光線を一次
元ＣＣＤカメラ３に集光するようにした他の実施例を示
す図である。
この実施例は、検査対象物２の幅とスリット板４の設置
幅が同一寸法であるので、図示するように一次元ＣＣＤ
カメラ３が２台またはそれ以上の時に、検査対象物２の
検査ラインを同一ラインに揃えることができる利点を有
している。
幅が同一寸法であるので、図示するように一次元ＣＣＤ
カメラ３が２台またはそれ以上の時に、検査対象物２の
検査ラインを同一ラインに揃えることができる利点を有
している。
［発明の効果］
本発明の欠点検査装置によれば、検査対象物の傷等の欠
点部分に対して照射される光は光源から一次元ＣＯＤの
各素子へ直進する光のみであるので外乱光による影響を
除去でき、これによってＳ／Ｎが向上し、従来の装置で
は外乱光のために検知し得なかった欠点部分をも検出し
つる。
点部分に対して照射される光は光源から一次元ＣＯＤの
各素子へ直進する光のみであるので外乱光による影響を
除去でき、これによってＳ／Ｎが向上し、従来の装置で
は外乱光のために検知し得なかった欠点部分をも検出し
つる。
第１図は本発明の透過型の実施例の正面図、第２図は同
実施例の側面図、第３図は反射型の実施例の正面図、第
４図は同実施例の側面図、第５図は透過型の実施例の画
像処理システムを含む構成のｗ！要を示す図、第６図は
他の実施例の正面図、第７図は同実施例の側面図、第８
図は本発明の装置で用いるスリット部材の一例を示す斜
視図、第一３図は従来の透過型の欠点検査装置の正面図
、第１０図は同従来例の側面図、第１１図は従来の反射
型の欠点検査装置の正面図、第１２図は同従来例の側面
図である。 ■・・・線状光源、２・・・検査対象物、３・・・一次
元ＣＣＤカメラ、４・・・スリット部材、４ａ・・・ス
リット板
実施例の側面図、第３図は反射型の実施例の正面図、第
４図は同実施例の側面図、第５図は透過型の実施例の画
像処理システムを含む構成のｗ！要を示す図、第６図は
他の実施例の正面図、第７図は同実施例の側面図、第８
図は本発明の装置で用いるスリット部材の一例を示す斜
視図、第一３図は従来の透過型の欠点検査装置の正面図
、第１０図は同従来例の側面図、第１１図は従来の反射
型の欠点検査装置の正面図、第１２図は同従来例の側面
図である。 ■・・・線状光源、２・・・検査対象物、３・・・一次
元ＣＣＤカメラ、４・・・スリット部材、４ａ・・・ス
リット板
Claims (1)
- 線状光源からの光を検査対象物に当てその透過光また
は反射光を一次元ＣＣＤカメラにて捉えその光量の変化
に基ずき該検査対象物の欠点を検査する欠点検査装置に
おいて、前記線状光源と検査対象物との間に前記一次元
ＣＣＤカメラのＣＣＤの配列方向と直交する方向の平行
に並んだ多数のスリット板からなるスリット部材を配置
したことを特徴とする光による欠点検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63185655A JP2873450B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光による欠点検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63185655A JP2873450B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光による欠点検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236339A true JPH0236339A (ja) | 1990-02-06 |
| JP2873450B2 JP2873450B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=16174560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63185655A Expired - Fee Related JP2873450B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光による欠点検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2873450B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632353A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-08 | Kawatetsu Container Kk | 耐内圧用補強部材及び耐内圧用補強部材を使用した容器 |
| US5452079A (en) * | 1992-06-26 | 1995-09-19 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| JPH0989798A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | シート状物のくぼみ検出方法及びシート状物のくぼみ検出装置 |
| JP2006522934A (ja) * | 2003-03-05 | 2006-10-05 | コーニング インコーポレイテッド | 欠陥に関する透明な基板の検査 |
| JP2009133725A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂塗布フィルムの塗膜欠陥の検査方法 |
| CN110589122A (zh) * | 2018-06-12 | 2019-12-20 | Ckd株式会社 | 检查装置、ptp包装机和ptp片的制造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135268U (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP63185655A patent/JP2873450B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135268U (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 |
Cited By (6)
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| US5452079A (en) * | 1992-06-26 | 1995-09-19 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| JPH0632353A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-08 | Kawatetsu Container Kk | 耐内圧用補強部材及び耐内圧用補強部材を使用した容器 |
| JPH0989798A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | シート状物のくぼみ検出方法及びシート状物のくぼみ検出装置 |
| JP2006522934A (ja) * | 2003-03-05 | 2006-10-05 | コーニング インコーポレイテッド | 欠陥に関する透明な基板の検査 |
| JP2009133725A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂塗布フィルムの塗膜欠陥の検査方法 |
| CN110589122A (zh) * | 2018-06-12 | 2019-12-20 | Ckd株式会社 | 检查装置、ptp包装机和ptp片的制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2873450B2 (ja) | 1999-03-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |