JPS63135268U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63135268U JPS63135268U JP2864487U JP2864487U JPS63135268U JP S63135268 U JPS63135268 U JP S63135268U JP 2864487 U JP2864487 U JP 2864487U JP 2864487 U JP2864487 U JP 2864487U JP S63135268 U JPS63135268 U JP S63135268U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface defect
- inspected
- light source
- inspection device
- defect inspection
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例に係る表面欠陥検査
装置の要部の概略構成を示す斜視図、第2図は第
1図装置の光束の状態を模式的に示した照明手段
の平面断面図、第3図は従来の表面欠陥装置の要
部の概略構成を示す斜視図、第4図は第3図の被
検査物表面の欠陥部分に斜めから光が照射された
状態を示す部分斜視図、第5図は従来の装置の照
明手段にレーザーを用いた場合の概略構成を示す
斜視図である。 符号の説明、1……照明手段、11……光源、
12……フレーム、13……仕切壁、W……被検
査物、S……被検査面。
装置の要部の概略構成を示す斜視図、第2図は第
1図装置の光束の状態を模式的に示した照明手段
の平面断面図、第3図は従来の表面欠陥装置の要
部の概略構成を示す斜視図、第4図は第3図の被
検査物表面の欠陥部分に斜めから光が照射された
状態を示す部分斜視図、第5図は従来の装置の照
明手段にレーザーを用いた場合の概略構成を示す
斜視図である。 符号の説明、1……照明手段、11……光源、
12……フレーム、13……仕切壁、W……被検
査物、S……被検査面。
Claims (1)
- 被検査物の表面欠陥部分を検査する表面欠陥検
査装置において、前記被検査物の表面を照射する
ライン状の光源を備えた照明手段に、該光源をラ
イン方向に区分する複数の仕切壁を設けて成るこ
とを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2864487U JPS63135268U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2864487U JPS63135268U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63135268U true JPS63135268U (ja) | 1988-09-05 |
Family
ID=30831801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2864487U Pending JPS63135268U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63135268U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0236339A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 光による欠点検査装置 |
JPH0862134A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-03-08 | Boehringer Mannheim Gmbh | 反射率評価装置 |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP2864487U patent/JPS63135268U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0236339A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 光による欠点検査装置 |
JPH0862134A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-03-08 | Boehringer Mannheim Gmbh | 反射率評価装置 |