JPS59113707U - 鏡面体の表面検査装置 - Google Patents

鏡面体の表面検査装置

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JPS59113707U
JPS59113707U JP545083U JP545083U JPS59113707U JP S59113707 U JPS59113707 U JP S59113707U JP 545083 U JP545083 U JP 545083U JP 545083 U JP545083 U JP 545083U JP S59113707 U JPS59113707 U JP S59113707U
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JP
Japan
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light
inspected
inspection device
surface inspection
receiving element
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Pending
Application number
JP545083U
Other languages
English (en)
Inventor
実 勝山
米澤　武敏
Original Assignee
松下電器産業株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP545083U priority Critical patent/JPS59113707U/ja
Publication of JPS59113707U publication Critical patent/JPS59113707U/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来から開発されていたテレビカメラ方式を示
す概略図、第２図は第１図における一部分を示す概略図
、第３図ａは本考案の一実施例を示す要部側面図、第３
図すは第３図ａの平面図、第４図は第３図の本考案にお
ける一部拡大図を示す概略図、第５図は被検査体の一部
を示す概略図、第６図は第３図の本考案における一部拡
大図を示す概略図、第７図及び第８図は被検者体の一部
を示す概略図である。 １・・・高輝度光源、４・・・被検査体、６・・・高感
度テレビカメラ、８・・・傷、９，１０・・・−殻内色
光光源、１１．１２・・・レンズ系、１３．１４・・・
平行照明光線、１５・・・散乱光、１６・・・テレビカ
メラ、１７・・・テレビモニター、２０．２１・・・異
物、α°・・・被検査体と平行照明光線との成す角度、
Ａ・・・照射できる幅。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）検査すべき被検査体に互いに異なる方向より光を
    照射する複数の光源と、被検査体表面で散乱された前記
    光源からの光を受光する受光素子を備え、前記受光素子
    上に照射された光の状態により被検査体の表面の異物、
    傷等を検査する鏡面体の表面検査装置において、被検査
    体の表面と複数の光源からの光とのなす角度が垂直でな
    く、受光素子に照射される光源と被検査体の表面とのな
    す角度が垂直であることを特徴とする鏡面体の表面検査
    装置。
  2. （２）前記被検査体の表面と°複数の光源からの光との
    なす角度が６５°〜８８″であることを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第（１）項記載の鏡面体の表面検査
    装置。
  3. （３）被検査体の表面と受光素子との距離が２０α〜５
    ０ｃ１ｒＬであることを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第（１）項記載の鏡面体の表面検査装置。
JP545083U 1983-01-20 1983-01-20 鏡面体の表面検査装置 Pending JPS59113707U (ja)

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JPS59113707U true JPS59113707U (ja) 1984-08-01

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001322295A (ja) * 2000-05-17 2001-11-20 Konica Corp インクジェット射出検査装置
JP2017062157A (ja) * 2015-09-24 2017-03-30 株式会社Sumco エピタキシャルウェーハ表面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ表面検査方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001322295A (ja) * 2000-05-17 2001-11-20 Konica Corp インクジェット射出検査装置
JP2017062157A (ja) * 2015-09-24 2017-03-30 株式会社Sumco エピタキシャルウェーハ表面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ表面検査方法

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